專利名稱：元件安裝方法、元件安裝裝置及元件安裝系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種采用通過元件安裝用頭部單元從元件供給部取出元件并將其安裝在印刷基板等基板上的元件安裝裝置的元件安裝方法以及該裝置等。
背景技術(shù)：
以往已知的元件安裝裝置，通過可移動的元件安裝用頭部單元，從元件供給部吸附IC、晶體管(transistor)等芯片狀元件并將其安裝在印刷基板上。在這種元件安裝裝置中，為了確保相對于基板的安裝精度，在頭部單元中設(shè)置與其一體移動的攝像機(jī)(camera)，通過該攝像機(jī)識別基板上的標(biāo)記，從而確認(rèn)頭部單元和基板的相對位置關(guān)系(基板上的被安裝部分的位置偏差)。
另外，一般認(rèn)為在這種元件安裝裝置中，因頭部單元高速移動，其機(jī)構(gòu)部分因滑動摩擦等而發(fā)生熱膨脹，隨之產(chǎn)生的頭部單元的移動誤差導(dǎo)致安裝偏差(安裝誤差)的發(fā)生。為此，還提出了一種檢測伴隨上述熱膨脹等產(chǎn)生的頭部單元的移動誤差并進(jìn)行修正的元件安裝裝置(例如日本專利公開公報(bào)特開平8-18289號(以下稱作“專利文獻(xiàn)1”))。該裝置使用上述攝像機(jī)定期對固定設(shè)置在裝置主體上的一對標(biāo)記進(jìn)行圖像識別，根據(jù)這些標(biāo)記的圖像間隔的變化，求出伴隨上述熱膨脹等產(chǎn)生的頭部單元的移動誤差，并求得對應(yīng)于該誤差的修正數(shù)據(jù)，然后驅(qū)動控制頭部單元。
對于這種元件安裝裝置，近年來，伴隨著基板的高密度化，需要在一塊基板上安裝更多元件，而且，隨著基板的小型化，需要處理包含形成相同電路的多個區(qū)域的多聯(lián)基板。因此，基板上帶有多個標(biāo)記的基板也并不少見，對這種基板進(jìn)行安裝作業(yè)時，需要通過攝像機(jī)對多個標(biāo)記進(jìn)行拍攝、識別。
另一方面，希望元件安裝裝置的安裝速度進(jìn)一步提高，近年來，人們考慮開發(fā)一種對多個頭部單元分別進(jìn)行驅(qū)動的雙頭型裝置。具體而言，該裝置由不同的頭部單元交替地從元件供給部吸附元件和向基板上安裝元件，從而高效地進(jìn)行安裝作業(yè)。在這種裝置中，由于各頭部單元分別具有各自的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，因此需要對各個頭部單元進(jìn)行標(biāo)記識別，以檢測因熱膨脹等引起的頭部的移動誤差。
即，對于上述雙頭型元件安裝裝置，以多聯(lián)基板等含有多個標(biāo)記的基板為對象時，需要對各個頭部單元進(jìn)行以檢測頭部單元的移動誤差為目的的標(biāo)記識別和基板上帶有的多個標(biāo)記的識別，因此，一塊基板的安裝處理過程中的標(biāo)記識別處理時間增加。這成為高效進(jìn)行安裝處理過程中需要解決的一個課題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，使分別驅(qū)動多個頭部單元將元件安裝在基板上的元件安裝裝置等，可更高效且以更高的精度進(jìn)行元件的安裝處理。
為了解決上述課題，本發(fā)明的用于具有多個分別予以驅(qū)動的元件安裝用頭部單元，通過這些頭部單元分別從元件供給部取出元件并將其安裝在基板上的元件安裝裝置的元件安裝方法，其包括，相關(guān)數(shù)據(jù)生成工序，以上述頭部單元中的某一頭部單元為第一頭部單元、其他頭部單元為第二頭部單元，通過執(zhí)行由安裝在這些頭部單元中的攝像裝置分別拍攝共同的基準(zhǔn)標(biāo)記的基準(zhǔn)標(biāo)記識別實(shí)測處理，求出對應(yīng)于第一頭部單元和第二頭部單元的移動誤差的相關(guān)數(shù)據(jù)；基板標(biāo)記實(shí)測位置獲取工序，通過執(zhí)行由上述第一頭部單元的攝像裝置，拍攝停在規(guī)定位置的基板所帶有的基板標(biāo)記中至少包含由兩個頭部單元進(jìn)行元件安裝時共用的標(biāo)記的多個標(biāo)記的基板標(biāo)記識別實(shí)測處理，獲得該標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)；修正數(shù)據(jù)生成工序，根據(jù)上述基板標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于上述基板被安裝部分中由第一頭部單元安裝元件的部分的位置偏差的修正數(shù)據(jù)，并且根據(jù)上述基板標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)以及上述相關(guān)數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于由第二頭部單元安裝元件的被安裝部分的位置偏差的修正數(shù)據(jù)；元件安裝工序，根據(jù)上述修正數(shù)據(jù)，驅(qū)動上述第一及第二頭部單元，從而向基板的被安裝部分安裝元件；該元件安裝方法，針對各塊被安裝基板通過上述各工序進(jìn)行元件安裝(技術(shù)方案1)。
采用上述元件安裝方法，針對各塊被安裝基板，可根據(jù)由安裝在各頭部單元的攝像裝置拍攝共同的基準(zhǔn)標(biāo)記的基準(zhǔn)標(biāo)記識別實(shí)測處理，求出對應(yīng)于頭部單元之間的移動誤差例如由驅(qū)動系統(tǒng)的安裝誤差或作業(yè)過程中的熱膨脹等而引起的頭部單元之間的移動誤差的相關(guān)數(shù)據(jù)。而且，通過安裝在第一頭部單元的攝像裝置進(jìn)行基板標(biāo)記識別實(shí)測處理，對于第一頭部單元，利用根據(jù)該基板標(biāo)記識別實(shí)測處理而求得的修正數(shù)據(jù)，以良好的精度進(jìn)行對應(yīng)于基板被安裝部分的位置偏差的元件安裝位置修正。另一方面，對于第二頭部單元，省略對第一頭部單元安裝處理中共用的基板標(biāo)記進(jìn)行的基板標(biāo)記識別實(shí)測處理，根據(jù)利用第一頭部單元的攝像裝置進(jìn)行的上述基板標(biāo)記識別實(shí)測處理而求得的基板標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)和上述相關(guān)數(shù)據(jù)，求出修正數(shù)據(jù)，根據(jù)該修正數(shù)據(jù)，進(jìn)行對應(yīng)于基板被安裝部分的位置偏差的元件安裝位置修正。即，通過省略一部分或全部第二頭部單元的基板標(biāo)記識別實(shí)測處理(裝置基座上固定設(shè)置基準(zhǔn)標(biāo)記時為全部)，從而縮短基板標(biāo)記識別實(shí)測處理所需要的時間。關(guān)于根據(jù)該省略的基板標(biāo)記的第二頭部單元的修正數(shù)據(jù)，根據(jù)各基板每次求得的(被更新的)相關(guān)數(shù)據(jù)和利用第一頭部單元的攝像裝置進(jìn)行的基板標(biāo)記識別實(shí)測處理，求得該修正數(shù)據(jù)，從而確保第二頭部單元的元件安裝位置的修正精度。
另外，在上述元件安裝方法中，較為理想的是，當(dāng)設(shè)定上述第一頭部單元的實(shí)際的移動坐標(biāo)系為第一坐標(biāo)系、第二頭部單元的實(shí)際的移動坐標(biāo)系為第二坐標(biāo)系時，在上述相關(guān)數(shù)據(jù)生成工序中，求出坐標(biāo)變換數(shù)據(jù)作為上述相關(guān)數(shù)據(jù)，所述坐標(biāo)變換數(shù)據(jù)將利用第一頭部單元的上述攝像裝置進(jìn)行的基板標(biāo)記識別實(shí)測處理所獲得的第一坐標(biāo)系上的標(biāo)記的實(shí)測位置變換為第二坐標(biāo)系上的位置，在上述修正數(shù)據(jù)生成工序中，根據(jù)上述坐標(biāo)變換數(shù)據(jù)，變換利用第一頭部單元的攝像裝置進(jìn)行的基板標(biāo)記識別實(shí)測處理而求得的基板標(biāo)記的實(shí)測位置，根據(jù)通過上述變換求得的基板標(biāo)記的位置，求出對應(yīng)于第二頭部單元進(jìn)行元件安裝的被安裝部分的位置偏差的修正數(shù)據(jù)(技術(shù)方案2)。
采用上述元件安裝方法，能更精確地求出(近似求出)在利用第二頭部單元中裝備的攝像裝置進(jìn)行的基板標(biāo)記識別實(shí)測處理中所省略的基板標(biāo)記的位置，并能提高與第二頭部單元相關(guān)的上述修正數(shù)據(jù)的可靠性。
另外，在上述元件安裝方法中，較為理想的是，將上述基板標(biāo)記實(shí)測位置獲取工序作為第一標(biāo)記實(shí)測位置獲取工序時，還包括第二標(biāo)記實(shí)測位置獲取工序，通過執(zhí)行由第二頭部單元的攝像裝置拍攝第一標(biāo)記實(shí)測位置獲取工序中由第一頭部單元的攝像裝置拍攝的多個基板標(biāo)記中的至少一對基板標(biāo)記的基板標(biāo)記識別實(shí)測處理，獲得該標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)，在上述相關(guān)數(shù)據(jù)生成工序之前，實(shí)施第一、第二標(biāo)記實(shí)測位置獲取工序，在上述相關(guān)數(shù)據(jù)生成工序中，將上述第一、第二標(biāo)記實(shí)測位置獲取工序中獲得的上述至少一對基板標(biāo)記作為上述基準(zhǔn)標(biāo)記，根據(jù)該標(biāo)記的實(shí)測位置，求出上述相關(guān)數(shù)據(jù)(技術(shù)方案3)。
采用上述元件安裝方法，將基板上帶有的基板標(biāo)記兼作基準(zhǔn)標(biāo)記使用，因而能以合理的方法求出相關(guān)數(shù)據(jù)。
另外，在上述元件安裝方法中，當(dāng)上述基板帶有的基板標(biāo)記中存在僅涉及上述第二頭部單元進(jìn)行元件安裝的被安裝部分使用的固有基板標(biāo)記時，通過在上述第二標(biāo)記實(shí)測位置獲取工序中，執(zhí)行拍攝該固有基板標(biāo)記的基板標(biāo)記識別實(shí)測處理，獲得該固有標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)，在上述修正數(shù)據(jù)生成工序中，對于第二頭部單元進(jìn)行元件安裝的被安裝部分中使用上述固有標(biāo)記的部分，根據(jù)上述固有標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)，求出上述修正數(shù)據(jù)(技術(shù)方案4)。
如上所述，根據(jù)利用第二頭部單元的攝像裝置進(jìn)行的基板標(biāo)記識別實(shí)測處理，求出固有標(biāo)記的實(shí)測位置，則使用該固有標(biāo)記的部分的上述修正數(shù)據(jù)的可靠性提高，由此可以提高安裝精度。
另外，即使如上所述存在固有的基板標(biāo)記，也可以通過在上述第一標(biāo)記實(shí)測位置獲取工序中進(jìn)行的拍攝該固有基板標(biāo)記的基板標(biāo)記識別實(shí)測處理，獲得該固有標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)，在上述修正數(shù)據(jù)生成工序中，根據(jù)在第一標(biāo)記實(shí)測位置獲取工序中獲得的上述固有標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)和上述相關(guān)數(shù)據(jù)，求出第二頭部單元進(jìn)行元件安裝的被安裝部分中使用上述固有標(biāo)記的部分的修正數(shù)據(jù)(技術(shù)方案5)。
這樣，即可在第一標(biāo)記實(shí)測位置獲取工序中進(jìn)行大部分的基板標(biāo)記的實(shí)測處理。
另一方面，本發(fā)明所涉及的元件安裝裝置，具有分別予以驅(qū)動的元件安裝用第一及第二頭部單元，通過這些頭部單元從元件供給部取出元件并將其安裝在基板上，其包括，攝像裝置，分別安裝于上述頭部單元，與各頭部單元一體移動，用于識別標(biāo)記；相關(guān)數(shù)據(jù)生成裝置，根據(jù)通過上述各頭部單元的攝像裝置分別拍攝共同的基準(zhǔn)標(biāo)記的基準(zhǔn)標(biāo)記識別實(shí)測處理，生成對應(yīng)于第一頭部單元和第二頭部單元的移動誤差的相關(guān)數(shù)據(jù)，并且通過對各塊被安裝基板進(jìn)行上述基準(zhǔn)標(biāo)記識別實(shí)測處理，對各塊基板進(jìn)行上述相關(guān)數(shù)據(jù)的更新；基板標(biāo)記實(shí)測位置獲取裝置，通過執(zhí)行由上述第一頭部單元的攝像裝置拍攝被搬入并停在規(guī)定位置的基板所帶有的多個基板標(biāo)記中至少包含由兩個頭部單元進(jìn)行元件安裝時共用的標(biāo)記的多個標(biāo)記的基板標(biāo)記識別實(shí)測處理，獲得該標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)；修正數(shù)據(jù)生成裝置，根據(jù)上述基板標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于上述基板被安裝部分中由第一頭部單元安裝元件的部分的位置偏差的修正數(shù)據(jù)，并且根據(jù)上述基板標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)以及上述相關(guān)數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于由第二頭部單元安裝元件的被安裝部分的位置偏差的修正數(shù)據(jù)；驅(qū)動控制裝置，根據(jù)上述修正數(shù)據(jù)，分別驅(qū)動第一及第二頭部單元，從而向基板的被安裝部分安裝元件(技術(shù)方案6)。
采用上述元件安裝裝置，可以在具有元件安裝用第一及第二頭部單元的元件安裝裝置中實(shí)施技術(shù)方案1～5所涉及的元件安裝方法。
另外，本發(fā)明的另一元件安裝方法，用于具備串聯(lián)連接的多臺元件安裝裝置、且各元件安裝裝置分別具有從元件供給部取出元件并將其安裝在基板上的元件安裝用頭部單元的元件安裝系統(tǒng)，其使上述多臺元件安裝裝置中位于最前端的裝置，通過執(zhí)行由上述攝像裝置拍攝停在規(guī)定位置的基板所帶有的基板標(biāo)記中該最前端裝置使用的標(biāo)記的基板標(biāo)記識別實(shí)測處理，獲得該標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)，將該實(shí)測位置數(shù)據(jù)傳送至最前端裝置以外的后續(xù)裝置，并且根據(jù)該實(shí)測位置數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于上述基板被安裝部分中由該最前端裝置安裝元件的部分的位置偏差的修正數(shù)據(jù)，根據(jù)該修正數(shù)據(jù)，驅(qū)動上述頭部單元，通過該最前端裝置進(jìn)行元件的安裝，然后，在上述最前端裝置以外的后續(xù)裝置中，執(zhí)行由上述攝像裝置拍攝停在規(guī)定位置的基板的上述基板標(biāo)記中在最前端裝置中獲得實(shí)測位置數(shù)據(jù)的基板標(biāo)記中的一部分的基板標(biāo)記識別實(shí)測處理，根據(jù)該基板標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)和與該數(shù)據(jù)對應(yīng)的最前端裝置的上述實(shí)測位置數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于后續(xù)裝置的頭部單元和最前端裝置的頭部單元的移動誤差的相關(guān)數(shù)據(jù)，根據(jù)從最前端裝置傳來的上述實(shí)測位置數(shù)據(jù)中被該后續(xù)裝置所共用的基板標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)和上述相關(guān)數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于上述基板的被安裝部分中后續(xù)裝置進(jìn)行元件安裝的部分的位置偏差的修正數(shù)據(jù)，根據(jù)該修正數(shù)據(jù)，驅(qū)動上述頭部單元，通過該后續(xù)裝置進(jìn)行元件的安裝(技術(shù)方案7)。
采用上述元件安裝方法，在最前端裝置中，利用通過使用安裝于頭部單元的攝像裝置進(jìn)行的基板標(biāo)記識別實(shí)測處理中求得的修正數(shù)據(jù)，以較高的精度進(jìn)行對應(yīng)于基板被安裝部分的位置偏差的元件安裝位置修正。另一方面，在后續(xù)裝置中，可省略一部分基板標(biāo)記識別實(shí)測處理，具體而言，可省略最前端裝置中共用的基板標(biāo)記的識別實(shí)測處理，由此縮短基板標(biāo)記識別實(shí)測處理所需要的時間。而且，關(guān)于根據(jù)該被省略的基板標(biāo)記的修正數(shù)據(jù)，可根據(jù)上述相關(guān)數(shù)據(jù)和在最前端裝置中獲得的基板標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)，求得該修正數(shù)據(jù)，從而確保后續(xù)裝置的元件安裝位置的修正精度。
另一方面，本發(fā)明涉及的元件安裝系統(tǒng)，具備串聯(lián)連接的多臺元件安裝裝置、且各元件安裝裝置分別具有從元件供給部取出元件并將其安裝在基板上的元件安裝用頭部單元和與該頭部單元一體移動并拍攝基板上帶有的基板標(biāo)記的攝像裝置，上述多臺元件安裝裝置中位于最前端裝置具有傳送裝置，該傳送裝置將通過執(zhí)行由上述攝像裝置拍攝基板標(biāo)記的標(biāo)記識別實(shí)測處理而獲得的基板標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)傳送至上述最前端裝置以外的后續(xù)裝置，各后續(xù)裝置包括，相關(guān)數(shù)據(jù)生成裝置，通過執(zhí)行由上述攝像裝置拍攝上述基板標(biāo)記中在最前端裝置中獲得實(shí)測位置數(shù)據(jù)的基板標(biāo)記的一部分的基板標(biāo)記識別實(shí)測處理，根據(jù)該基板標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)和從最前端裝置傳來的傳送數(shù)據(jù)中對應(yīng)于該實(shí)測位置數(shù)據(jù)的實(shí)測位置數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于后續(xù)裝置的頭部單元和最前端裝置的頭部單元的移動誤差的相關(guān)數(shù)據(jù)；修正數(shù)據(jù)生成裝置，根據(jù)上述相關(guān)數(shù)據(jù)和上述傳送數(shù)據(jù)中包含的實(shí)測位置數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于上述基板被安裝部分中通過后續(xù)裝置安裝元件的部分的位置偏差的修正數(shù)據(jù)；驅(qū)動控制裝置，根據(jù)上述修正數(shù)據(jù)，驅(qū)動上述頭部單元，通過該后續(xù)裝置進(jìn)行元件的安裝(技術(shù)方案8)。
采用上述元件安裝裝置，可在具備串聯(lián)連接的多臺元件安裝裝置的元件安裝系統(tǒng)中實(shí)施技術(shù)方案7所涉及的元件安裝方法。
采用本發(fā)明的元件安裝方法以及元件安裝裝置，對各塊被安裝基板，求出對應(yīng)于第一頭部單元和第二頭部單元的移動誤差的相關(guān)數(shù)據(jù)，對于第一頭部單元，根據(jù)由安裝在該頭部單元的攝像裝置進(jìn)行的基板標(biāo)記識別實(shí)測處理，求出修正數(shù)據(jù)，從而以良好的精度進(jìn)行對應(yīng)于基板被安裝部分的位置偏差的元件安裝位置修正，另一方面，對于第二頭部單元，利用上述基板標(biāo)記識別實(shí)測處理的結(jié)果，根據(jù)該結(jié)果和上述相關(guān)數(shù)據(jù)，求出該修正數(shù)據(jù)，從而確保元件安裝位置的修正精度，由此可減少基板標(biāo)記識別實(shí)測處理的總時間并高效地進(jìn)行元件的安裝處理，而且，各頭部單元能以良好的精度進(jìn)行元件的安裝處理。


圖1表示本發(fā)明涉及的元件安裝裝置(適用本發(fā)明涉及的元件安裝方法的元件安裝裝置)一個例子的俯視圖。
圖2表示元件安裝裝置的正視圖。
圖3表示元件安裝裝置控制器的方框圖。
圖4表示控制器中含有的演算處理部的功能結(jié)構(gòu)的方框圖。
圖5表示被安裝基板的一個例子的俯視圖。
圖6表示通過控制器控制元件安裝的一個例子的流程圖(主程序)。
圖7表示通過控制器控制元件安裝(標(biāo)記識別處理)的一個例子的流程圖(子程序)。
圖8表示元件安裝系統(tǒng)的一個例子的模式圖。
具體實(shí)施例方式
通過附圖對本發(fā)明的具體實(shí)施方式
進(jìn)行說明。
圖1、圖2所示為本發(fā)明涉及的元件安裝裝置(采用本發(fā)明涉及的元件安裝方法的元件安裝裝置)的概略示意圖。上述圖中，在元件安裝裝置的基座1上，設(shè)置有用于搬送基板的搬送帶(conveyer)2，印刷基板P(以下簡稱基板P)通過該搬送帶2予以搬送并停止在規(guī)定的安裝作業(yè)位置。另外，在以下的說明中，必要時，以搬送帶2的搬送方向?yàn)閄軸方向、以在水平面中與X軸方向垂直的方向?yàn)閅軸方向，以與X軸及Y軸垂直的方向?yàn)閆軸方向進(jìn)行說明。
上述搬送帶2，具體包括沿著X軸方向排列的入口側(cè)搬送帶2A、作業(yè)用搬送帶2B以及出口側(cè)搬送帶2C，作業(yè)用搬送帶2B作為上述安裝作業(yè)位置，在該安裝作業(yè)位置，基板P在由未圖示的夾持機(jī)構(gòu)夾持的狀態(tài)下進(jìn)行元件的安裝處理。
關(guān)于作業(yè)用搬送帶2B，在圖中雖未詳示，其與以伺服電動機(jī)(servomotor)18為驅(qū)動源的Y軸方向的驅(qū)動機(jī)構(gòu)連接，進(jìn)行元件的安裝處理時，在承載基板P的狀態(tài)下受到Y(jié)軸方向的驅(qū)動，通過后述頭部單元5A、5B和該作業(yè)用搬送帶2B的移動，從而可以在基板P上的任意位置安裝元件。
在上述搬送帶2的Y軸方向兩側(cè)，設(shè)有元件供給部4A、4B，以提供被安裝用元件。在上述元件供給部4A、4B中，沿著X軸方向設(shè)置有多列帶式送料器(tape feeder)，還設(shè)置有未圖示的盤式送料器(trayfeeder)。各帶式送料器中，裝卸可能地設(shè)置有卷繞有儲存IC、晶體管、電容器(condenser)等小片狀芯片元件的帶子的卷軸(reel)，從該卷軸向送料器頂端的元件取出部間歇地送出上述帶子的同時，通過后述安裝用頭部20取出帶子內(nèi)的元件。此外，盤式送料器主要是將封裝元件等元件在盤上排列成矩陣(matrix)狀后送出。
在上述基座1的上方還設(shè)有一對元件安裝用頭部單元5A、5B(稱為第一單元5A、第二單元5B)。
上述頭部單元5A、5B在一定區(qū)域內(nèi)可分別沿X軸方向和Y軸方向移動，X軸方向的移動各自獨(dú)立進(jìn)行，Y軸方向的移動則一體進(jìn)行。即，基座1上設(shè)置有一對沿Y軸方向延伸的固定導(dǎo)軌7和通過Y軸伺服電動機(jī)9予以轉(zhuǎn)動驅(qū)動的滾珠絲杠8，在上述固定導(dǎo)軌7上設(shè)置有頭部單元支撐部件11，設(shè)置于該支撐部件11的螺母12與上述滾珠絲杠8螺合。而且，在上述支撐部件11的Y軸方向兩側(cè)(圖1中為上下兩側(cè))分別設(shè)置沿X軸方向延伸且相互平行的引導(dǎo)部件13A、13B和通過X軸伺服電動機(jī)15A、15B予以驅(qū)動的滾珠絲杠14A、14B，在上述各引導(dǎo)部件13A、13B上分別移動可能地安裝有頭部單元5A、5B，并且，分別設(shè)在各頭部單元5A、5B上的未圖示的螺母與上述滾珠絲杠14A、14B分別螺合。而且，伴隨Y軸伺服電動機(jī)9的運(yùn)作而引起的滾珠絲杠8的轉(zhuǎn)動，支撐部件11沿Y軸方向移動，該移動使各頭部單元5A、5B沿Y軸方向一體移動，另一方面，伴隨各X軸伺服電動機(jī)15A、15B的運(yùn)作而引起的滾珠絲杠14A、14B的轉(zhuǎn)動，各頭部單元5A、5B相對于支撐部件11分別獨(dú)立地沿X軸方向移動。
上述頭部單元5A、5B中分別搭載多根用于吸附元件并將其安裝在基板P上的安裝用頭部20(以下簡稱頭部20)，在本實(shí)施例中，8根頭部20以沿X軸方向排成一列的狀態(tài)予以搭載。
這些頭部20分別與以Z軸伺服電動機(jī)24(參照圖3)為驅(qū)動源的升降機(jī)構(gòu)以及以R軸伺服電動機(jī)25(參照圖3)為驅(qū)動源的轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)連接，通過這些機(jī)構(gòu)而相對于頭部單元5A、5B沿上下方向(Z軸方向)以及圍繞軸心(R軸方向)分別予以驅(qū)動。
在各頭部20的頂端設(shè)有用于吸附元件的吸嘴(nozzle)21。各吸嘴21通過未圖示的閥(valve)等與負(fù)壓供給裝置連接，在安裝作業(yè)過程中，根據(jù)需要向吸嘴頂端供給負(fù)壓，利用此負(fù)壓進(jìn)行元件的吸附。
各頭部單元5A、5B中還安裝有由CCD區(qū)域傳感器(area sensor)等構(gòu)成的基板識別用攝像機(jī)23A、23B(稱為第一基板攝像機(jī)23A、第二基板攝像機(jī)23B)。上述攝像機(jī)23A、23B拍攝位于上述安裝作業(yè)位置的基板P所帶有的各種標(biāo)記，因此相對于各頭部單元5A、5B向下、即拍攝方向朝下地固定安裝。
此外，基座上設(shè)有元件識別用攝像機(jī)17(稱為元件攝像機(jī)17)，其由用于拍攝各頭部20吸附元件的CCD線傳感器(line sensor)等構(gòu)成。該元件攝像機(jī)17分別設(shè)置在各元件供給部4A、4B上，當(dāng)上述頭部單元5A、5B通過上述攝像機(jī)17上方時，從各頭部20的吸附元件的下側(cè)分別對其進(jìn)行拍攝。
圖3表示進(jìn)行來自上述各攝像機(jī)17、23A、23B的信號處理以及各種驅(qū)動部的控制等的控制器(controller)30的結(jié)構(gòu)。
該圖中，控制器30，包括，由CPU等構(gòu)成的演算處理部3 1、存儲安裝程序的安裝程序存儲部32、存儲與基板搬送、元件安裝等相關(guān)的各種數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)存儲部33、控制驅(qū)動頭部單元5A、5B以及頭部20的X軸、Y軸、Z軸、R軸的各電動機(jī)15A、15B、9、24、25的電動機(jī)控制部34、外部輸入輸出部35、圖像處理部36和數(shù)據(jù)通信部37等。
上述電動機(jī)控制部34，根據(jù)從設(shè)在各電動機(jī)15A、15B、9、24、25上的編碼器(encoder)得到的信號和從演算處理部31得到的目標(biāo)值，對15A、15B、9、24、25進(jìn)行控制。上述外部輸入輸出部35，作為輸入單元，連接有如檢測基板P的搬入和搬出的傳感器等各種傳感器類27，作為輸出單元，連接有上述夾持驅(qū)動部28等。此外，外部輸入輸出部35上還連接有未圖示的搬送用驅(qū)動機(jī)構(gòu)和搬送帶間隔調(diào)節(jié)用驅(qū)動機(jī)構(gòu)等。
上述圖像處理部36與第一基板攝像機(jī)23A、第二基板攝像機(jī)23B以及元件攝像機(jī)17連接，從這些攝像機(jī)得到的圖像信號輸入圖像處理部36，實(shí)施了規(guī)定的圖像處理后，其圖像數(shù)據(jù)傳送至演算處理部31。
演算處理部31通過外部輸入輸出部35，對用于基板P的搬入和搬出的搬送帶2等、用于驅(qū)動基板搬入時和搬出時夾持運(yùn)作的夾持驅(qū)動部28進(jìn)行控制等，并且在安裝作業(yè)時，通過電動機(jī)控制部34對驅(qū)動各頭部單元5A、5B以及頭部20的各15A、15B、9、24、25進(jìn)行控制。此外，如圖4所示，作為相關(guān)數(shù)據(jù)生成裝置、基板標(biāo)記實(shí)測位置數(shù)據(jù)生成裝置(相當(dāng)于本發(fā)明涉及的基板標(biāo)記實(shí)測位置獲取裝置)以及修正數(shù)據(jù)生成裝置，求出對應(yīng)于基板P被安裝部分位置偏差的元件安裝位置的修正數(shù)據(jù)，并且根據(jù)該修正數(shù)據(jù)，控制各頭部單元5A、5B的運(yùn)作。
下面，對演算處理部31的上述各裝置的功能進(jìn)行說明。
<基板標(biāo)記實(shí)測位置數(shù)據(jù)生成裝置>
演算處理部31根據(jù)通過執(zhí)行由基板攝像機(jī)23A、23B分別實(shí)際拍攝基板P上帶有的后述各種標(biāo)記的標(biāo)記識別實(shí)測處理而獲得的圖像數(shù)據(jù)，求出各標(biāo)記的位置(實(shí)測位置數(shù)據(jù))。
<相關(guān)數(shù)據(jù)生成裝置>
演算處理部31利用基板攝像機(jī)23A、23B分別拍攝基板P所帶有的共同的兩個基準(zhǔn)標(biāo)記、具體為后述基板基準(zhǔn)標(biāo)記(fiducial mark)M1，根據(jù)得到的該標(biāo)記M1的實(shí)測位置數(shù)據(jù)，生成對應(yīng)于第一頭部單元5A和第二頭部單元5B之間的移動誤差的坐標(biāo)變換數(shù)據(jù)(本發(fā)明涉及的相關(guān)數(shù)據(jù))。具體而言，根據(jù)下述數(shù)式1，求出坐標(biāo)變換參數(shù)K、θ、ΔX、ΔY，由此可生成數(shù)式2的坐標(biāo)變換(式)數(shù)據(jù)，即當(dāng)假設(shè)第一頭部單元5A實(shí)際移動的坐標(biāo)系為第一坐標(biāo)系、第二頭部單元5B實(shí)際移動的坐標(biāo)系為第二坐標(biāo)系時，將第一基板攝像機(jī)23A拍攝的第一坐標(biāo)系上的標(biāo)記實(shí)測位置變換為第二坐標(biāo)系上的位置的坐標(biāo)系變換式。

B·X1B·Y1=Kcosθ-sinθsinθcosθA·X1A·Y1+ΔXΔY]]>B·X2B·Y2=Kcosθ-sinθsinθcosθA·X2A·Y2+ΔXΔY]]>其中，K比例θ轉(zhuǎn)動角度ΔXX軸方向的位移ΔYY軸方向的位移另外，(A·X1，A·Y1)、(A·X2、A·X2)分別為根據(jù)用第一基板攝像機(jī)23A拍攝上述兩個基板基準(zhǔn)標(biāo)記M1的標(biāo)記識別實(shí)測處理而求得的該標(biāo)記M1的實(shí)測位置(坐標(biāo))，(B·X1，B·Y1)、(X2b、X2b)為根據(jù)用第二基板攝像機(jī)23B拍攝該標(biāo)記M1的標(biāo)記識別實(shí)測處理而求得的該標(biāo)記M1的實(shí)測位置(坐標(biāo))。
VB·xVB·y=Kcosθ-sinθsinθcosθRA·xRA·yΔxΔy]]>其中，(RA·x，RA·y)為通過執(zhí)行用第一基板攝像機(jī)23A進(jìn)行的標(biāo)記識別實(shí)測處理并根據(jù)其圖像數(shù)據(jù)而求得的該標(biāo)記的實(shí)測位置(坐標(biāo))，(VB·x，VB·y)為上述實(shí)測位置(RA·x，RA·y)變換后的值。
<修正數(shù)據(jù)生成裝置>
演算處理部31，根據(jù)基板P所帶有的標(biāo)記中用第一基板攝像機(jī)23A進(jìn)行的標(biāo)記識別實(shí)測處理而求得的標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)和預(yù)先輸入安裝程序的標(biāo)記的理論位置數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于基板P被安裝部分中由第一頭部單元5A負(fù)責(zé)的部分(進(jìn)行元件安裝的部分)的位置偏差的修正數(shù)據(jù)。
此外，演算處理部31還求出對應(yīng)于基板P被安裝部分中由第二頭部單元5B負(fù)責(zé)的部分(進(jìn)行元件安裝的部分)的位置偏差的修正數(shù)據(jù)。
在此，演算處理部31對于被安裝部分中使用共同標(biāo)記(即兩個頭部單元5A、5B進(jìn)行元件安裝時共用的標(biāo)記)的部分的修正數(shù)據(jù)，首先，根據(jù)通過用第一基板攝像機(jī)23A進(jìn)行的標(biāo)記識別實(shí)測處理而求得的標(biāo)記實(shí)測位置數(shù)據(jù)和上述相關(guān)數(shù)據(jù)，求出該共同標(biāo)記的變換位置，根據(jù)該變換位置數(shù)據(jù)和該標(biāo)記的理論位置數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于該被安裝部分的位置偏差的修正數(shù)據(jù)。此外，對于被安裝部分中使用固有標(biāo)記(即僅第二頭部單元5B安裝元件時使用的標(biāo)記)的部分的修正數(shù)據(jù)，根據(jù)用第二基板攝像機(jī)23B進(jìn)行的標(biāo)記識別實(shí)測處理而求得的標(biāo)記實(shí)測位置數(shù)據(jù)和該標(biāo)記的理論位置數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于該被安裝部分的位置偏差的修正數(shù)據(jù)。
下面，通過圖5對通過上述元件安裝裝置進(jìn)行元件安裝處理的基板P及其帶有的標(biāo)記的一個例子進(jìn)行說明。
同圖所示為多聯(lián)基板(以下，除必要外，稱為基板P)。該基板P為包含形成同一電路的多塊區(qū)域的基板P(圖示的例子中為4塊區(qū)域A～D)，整體作為一塊基板，實(shí)施元件的安裝處理后，切分成區(qū)域A～D，分別使用。在該基板P的角部形成一對用于識別基板位置的基板基準(zhǔn)標(biāo)記M1(稱為BFID標(biāo)記M1)。此外，在各區(qū)域A～D的角部分別形成一對用于識別各區(qū)域位置的局部基準(zhǔn)標(biāo)記(local fiducial mark)M2(稱為LFID標(biāo)記M2)，同時在被安裝部分中對安裝精度有特殊要求的部分的附近，形成點(diǎn)基準(zhǔn)標(biāo)記(point fiducial mark)(PFID標(biāo)記M3)。
另外，上述標(biāo)記M1～M3中，BFID標(biāo)記M1和LFID標(biāo)記M2是頭部單元5A、5B雙方進(jìn)行元件安裝時為求出上述修正數(shù)據(jù)所必需的標(biāo)記，在本實(shí)施例中，BFID標(biāo)記M1相當(dāng)于上述基準(zhǔn)標(biāo)記，LFID標(biāo)記M2相當(dāng)于上述共同標(biāo)記。另一方面，關(guān)于PFID標(biāo)記M3，取決于對使用(利用)該標(biāo)記M3的被安裝部分由頭部單元5A、5B中哪一方進(jìn)行元件安裝，在本實(shí)施例中，由第二頭部單元5B負(fù)責(zé)該部分的元件安裝。因此，該P(yáng)FID標(biāo)記M3相當(dāng)于上述固有標(biāo)記。
接著，用圖6和圖7的流程圖對上述控制器30執(zhí)行的安裝動作控制的一個例子進(jìn)行說明。
根據(jù)圖6，控制器30首先驅(qū)動搬送帶2，將基板P搬入作為安裝作業(yè)位置的作業(yè)用搬送帶2B，搬入后，控制夾持驅(qū)動部28，將基板P通過夾持定位于作業(yè)用搬送帶2B(步驟S1)。此時，作業(yè)用搬送帶2B設(shè)置在與入口側(cè)搬送帶2A以及出口側(cè)搬送帶2C一起沿X軸方向排成一列的規(guī)定的基準(zhǔn)位置。
接著，作業(yè)用搬送帶2B靜止在該基準(zhǔn)位置，通過依次驅(qū)動頭部單元5A、5B，執(zhí)行基板P上帶有的標(biāo)記的識別處理(步驟S3)。該標(biāo)記識別處理按照圖7的子程序(subroutine)進(jìn)行。另外，在以下說明中為方便起見，以被安裝基板是圖5所示的基板P的情況為例，進(jìn)行說明。
參照圖7，首先，控制器30判斷與第一頭部單元5A負(fù)責(zé)的被安裝部分相關(guān)的標(biāo)記識別處理是否已經(jīng)結(jié)束(步驟S10)，當(dāng)判斷為NO時，將第一頭部單元5A移動至基板P上，通過第一基板攝像機(jī)23A依次拍攝基板P的一對BFID標(biāo)記M1(步驟S12)。并且，根據(jù)BFID標(biāo)記M1的理論位置數(shù)據(jù)和實(shí)測位置數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于基板P的位置偏差的修正數(shù)據(jù)、即對應(yīng)于第一頭部單元5A負(fù)責(zé)的被安裝部分中使用該BFID標(biāo)記M1部分的位置偏差的修正數(shù)據(jù)(步驟S14)。而且，存儲BFID標(biāo)記M1的實(shí)測位置數(shù)據(jù)(步驟S16)。
接著，判斷與第一頭部單元5A負(fù)責(zé)的被安裝部分相關(guān)的標(biāo)記中是否還存在其他要識別的標(biāo)記(步驟S18)。當(dāng)判斷為YES時，移動第一頭部單元5A，通過第一基板攝像機(jī)23A依次拍攝該標(biāo)記，根據(jù)該標(biāo)記的理論位置數(shù)據(jù)和實(shí)測位置數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于第一頭部單元5A負(fù)責(zé)的被安裝部分中使用該標(biāo)記的位置偏差的修正數(shù)據(jù)(步驟S20、S22)。存儲該標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)(步驟S24)。具體而言，以圖5所示的基板P為例，通過步驟S20、22的處理，進(jìn)行LFID標(biāo)記M2的標(biāo)記識別實(shí)測處理，根據(jù)由此得到的實(shí)測位置數(shù)據(jù)和LFID標(biāo)記M2的理論位置數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于被安裝部分中使用該LFID標(biāo)記M2部分的位置偏差的修正數(shù)據(jù)。
與此相對，當(dāng)步驟S10中判斷為YES時，將第二頭部單元5B移動至基板P上，通過第二基板攝像機(jī)23B依次拍攝上述一對BFID標(biāo)記M1，根據(jù)該BFID標(biāo)記M1的理論位置數(shù)據(jù)和實(shí)測位置數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于基板P的位置偏差的修正數(shù)據(jù)、即對應(yīng)于第二頭部單元5B負(fù)責(zé)的被安裝部分中使用該BFID標(biāo)記M1部分的位置偏差的修正數(shù)據(jù)，然后存儲BFID標(biāo)記M1的實(shí)測位置數(shù)據(jù)(步驟S28～S32)。
接著，判斷與第一頭部單元5A負(fù)責(zé)的被安裝部分相關(guān)的標(biāo)記中是否存在其他要識別的標(biāo)記(步驟S34)，當(dāng)判斷為YES時，進(jìn)一步判斷該標(biāo)記中是否存在頭部單元5A、5B進(jìn)行元件安裝處理時共用的標(biāo)記(共同標(biāo)記)(步驟S36)。
以圖5所示的基板P為例，如上所述，LFID標(biāo)記M2相當(dāng)于共同標(biāo)記，因此在此判斷為YES。此時，不對LFID標(biāo)記M2進(jìn)行標(biāo)記識別實(shí)測處理，從已有的數(shù)據(jù)中近似求出LFID標(biāo)記M2的位置。
即，讀取通過由基板攝像機(jī)23A、23B進(jìn)行的標(biāo)記識別實(shí)測處理而分別求得的BFID標(biāo)記M1的實(shí)測位置數(shù)據(jù)(步驟S16、S32中存儲的數(shù)據(jù))，根據(jù)這些實(shí)測位置數(shù)據(jù)，生成上述坐標(biāo)變換數(shù)據(jù)(參照數(shù)2)，在該坐標(biāo)變換數(shù)據(jù)中代入根據(jù)第一基板攝像機(jī)23A的標(biāo)記識別實(shí)測處理求得的LFID標(biāo)記M2的實(shí)測位置數(shù)據(jù)(步驟S24中存儲的數(shù)據(jù))，求出該實(shí)測位置數(shù)據(jù)的變換值(步驟S42～S48)。因此，不需要通過第二基板攝像機(jī)23B對LFID標(biāo)記M2進(jìn)行實(shí)際拍攝，而是求出LFID標(biāo)記M2的位置的近似值。
根據(jù)步驟S48求得的位置數(shù)據(jù)即LFID標(biāo)記M2的變換位置數(shù)據(jù)(近似值)和LFID標(biāo)記M2的理論位置數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于第二頭部單元5B負(fù)責(zé)的被安裝部分中使用該LFID標(biāo)記M2部分的位置偏差的修正數(shù)據(jù)(步驟S50)。
接著，判斷與第二頭部單元5B負(fù)責(zé)的被安裝部分相關(guān)的標(biāo)記中是否存在其他要識別的標(biāo)記(步驟S52)，當(dāng)判斷為YES時，轉(zhuǎn)移到步驟S38，當(dāng)判斷為NO時，轉(zhuǎn)移到步驟S26。
另一方面，當(dāng)步驟S36中判斷為NO時，即存在僅第二頭部單元5B負(fù)責(zé)的被安裝部分使用的標(biāo)記(上述固有標(biāo)記)，移動第二頭部單元5B，利用第二基板攝像機(jī)23B依次拍攝該標(biāo)記，根據(jù)該標(biāo)記的理論位置數(shù)據(jù)和實(shí)測位置數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于第二頭部單元5B負(fù)責(zé)的被安裝部分中使用該標(biāo)記部分的位置偏差的修正數(shù)據(jù)(步驟S38，S40)。具體而言，以圖5所示的基板P為例，因PFID標(biāo)記M3相當(dāng)于固有標(biāo)記，進(jìn)行PFID標(biāo)記M3的標(biāo)記識別實(shí)測處理，根據(jù)由此得到的實(shí)測位置數(shù)據(jù)和理論位置數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于被安裝部分中使用該P(yáng)FID標(biāo)記M3部分的位置偏差的修正數(shù)據(jù)。
這樣，當(dāng)最終判斷標(biāo)記識別處理已結(jié)束時(步驟S26為YES)，結(jié)束由上述子程序進(jìn)行的處理，轉(zhuǎn)移到圖6的步驟S4，進(jìn)行元件的安裝處理。
關(guān)于元件的安裝處理，例如，將第一頭部單元5A移動至元件供給部4A的上方，通過各頭部20從帶式送料器或盤式送料器取出元件，然后將第一頭部單元5A移動至元件攝像機(jī)17的上方，拍攝各頭部20的吸附元件，對其吸附狀態(tài)進(jìn)行分析后，依次將第一頭部單元5A移動至基板P的規(guī)定的被安裝部分，同時安裝元件。在上述安裝過程中，僅在X軸方向驅(qū)動第一頭部單元5A，通過在Y軸方向驅(qū)動作業(yè)用搬送帶2B來進(jìn)行頭部20與被安裝部分在Y軸方向的定位。此時，根據(jù)通過標(biāo)記識別處理求得的修正數(shù)據(jù)(圖7的步驟S14，S22中求得的修正數(shù)據(jù))和通過元件攝像機(jī)17的元件識別求得的元件吸附狀態(tài)，驅(qū)動控制第一頭部單元5A以及作業(yè)用搬送帶2B，從而使第一頭部單元5A以良好的精度進(jìn)行元件的安裝。
另外，在第一頭部單元5A進(jìn)行元件的安裝處理期間，第二頭部單元5B配置于元件供給部4的上方。因此，利用第一頭部單元5A進(jìn)行元件安裝處理的時間，第二頭部單元5B從元件供給部4B取出元件，當(dāng)?shù)谝活^部單元5A結(jié)束元件的安裝處理時，如上所述，將第二頭部單元5B依次向基板P的規(guī)定的被安裝部分移動，同時安裝元件。此時，根據(jù)通過標(biāo)記識別處理求得的修正數(shù)據(jù)(圖7的步驟S30，S40，S50中求得的修正數(shù)據(jù))和通過元件攝像機(jī)17的元件識別求得的元件吸附狀態(tài)，驅(qū)動控制第二頭部單元5B以及作業(yè)用搬送帶2B，從而使第二頭部單元5B以良好的精度進(jìn)行元件的安裝。
這之后，通過頭部單元5A、5B交替向基板P進(jìn)行元件安裝處理，當(dāng)該基板P上的全部元件的安裝結(jié)束時，作業(yè)用搬送帶2B返回至上述基準(zhǔn)位置，通過驅(qū)動搬送帶2，將該基板P搬送至下一步工序(步驟S5)。
判斷是否還有要進(jìn)行安裝處理的基板P(步驟S6)，當(dāng)判斷為YES時，返回到步驟S1，將下一塊基板P搬入裝置內(nèi)，當(dāng)判斷為NO時，對基板P進(jìn)行的一系列的元件安裝處理結(jié)束。
根據(jù)上述元件安裝裝置(元件安裝方法)，關(guān)于第一頭部單元5A的元件安裝處理，通過安裝在該頭部單元5A的第一基板攝像機(jī)23A，進(jìn)行基板P的標(biāo)記識別實(shí)測處理，根據(jù)該標(biāo)記識別實(shí)測處理求得的修正數(shù)據(jù)(圖7的步驟S14，S22求得的修正數(shù)據(jù))，驅(qū)動第一頭部單元5A等，從而能以良好的精度進(jìn)行對應(yīng)于基板P的被安裝部分中第一頭部單元5A負(fù)責(zé)的部分的位置偏差的元件安裝位置修正。
另一方面，關(guān)于第二頭部單元5B的元件安裝處理，對第一頭部單元5A的安裝處理之間所共用的標(biāo)記(圖5的例子中為LFID標(biāo)記M2)省略標(biāo)記識別實(shí)測處理，執(zhí)行由第一基板攝像機(jī)23A進(jìn)行的標(biāo)記識別實(shí)測處理，利用獲得的實(shí)測位置數(shù)據(jù)，求出修正數(shù)據(jù)(圖7的步驟S42～步驟S50)，根據(jù)該修正數(shù)據(jù)，驅(qū)動控制第二頭部單元5B等。因此，可以縮短基板P的標(biāo)記識別實(shí)測處理所需要的時間。
關(guān)于省略了標(biāo)記識別實(shí)測處理的標(biāo)記，利用根據(jù)用第一及第二的各基板攝像機(jī)23A、23B拍攝共同標(biāo)記(圖5的例子中為BFID標(biāo)記M1)的標(biāo)記識別實(shí)測處理而求得的坐標(biāo)變換(式)數(shù)據(jù)，通過該坐標(biāo)變換數(shù)據(jù)，變換第一基板攝像機(jī)23A的標(biāo)記識別實(shí)測處理的結(jié)果(實(shí)測位置數(shù)據(jù))，求出其位置的近似值，根據(jù)該近似值，生成修正數(shù)據(jù)，因此，即使是對于根據(jù)省略了標(biāo)記識別實(shí)測處理的標(biāo)記的修正數(shù)據(jù)，也可以生成具有可靠性的數(shù)據(jù)。特別是對于坐標(biāo)變換數(shù)據(jù)，并不將其作為固定值而持續(xù)使用，而是對各塊被安裝基板進(jìn)行求取(更新)，因此，最終求得的修正數(shù)據(jù)的可靠性高，從而還可以良好地確保第二頭部單元5B的元件安裝位置的修正精度。即，當(dāng)持續(xù)實(shí)施元件安裝處理時，考慮到驅(qū)動頭部單元5A、5B的機(jī)構(gòu)部分的經(jīng)時變化、例如因熱膨脹等使兩個頭部單元5A、5B的移動誤差發(fā)生經(jīng)時性變化，在上述情況下，若將坐標(biāo)變換數(shù)據(jù)作為固定值持續(xù)使用，則實(shí)測位置和變換數(shù)據(jù)(近似值)的差將變大，所求得的修正數(shù)據(jù)的可靠性會經(jīng)時降低。但在上述裝置中，如上所述對各塊被安裝基板進(jìn)行坐標(biāo)變換數(shù)據(jù)的更新，因此當(dāng)求算根據(jù)省略了標(biāo)記識別實(shí)測處理的標(biāo)記的修正數(shù)據(jù)時，如上所述，加入了頭部單元5A、5B的移動誤差的變化量，從而可以持續(xù)地確保修正數(shù)據(jù)的可靠性。
因此，根據(jù)該元件安裝裝置，如上所述，利用一對頭部單元5A、5B進(jìn)行元件的安裝處理，同時可以減少每塊基板的標(biāo)記識別實(shí)測處理的總時間而高效地進(jìn)行元件的安裝處理，此外，各頭部單元5A、5B能以良好的精度進(jìn)行元件的安裝處理。
本實(shí)施例中，通過執(zhí)行由第一及第二的各基板攝像機(jī)23A、23B分別拍攝共同的基準(zhǔn)標(biāo)記的基準(zhǔn)標(biāo)記識別實(shí)測處理，即使第一頭部單元5A的移動誤差和第二頭部單元5B的移動誤差之間存在差異，也可以消除該差異產(chǎn)生的影響，實(shí)現(xiàn)正確的安裝位置。此外，也可無需對第一頭部單元5A的移動誤差和第二頭部單元5B的移動誤差分別進(jìn)行單獨(dú)實(shí)測。
上述元件安裝裝置是本發(fā)明涉及的元件安裝裝置(使用本發(fā)明涉及的元件安裝方法的元件安裝裝置)的一個具體實(shí)施例，但只要不脫離本發(fā)明的宗旨，其具體的結(jié)構(gòu)和元件安裝方法等可以適當(dāng)變更。例如，也可以采用下述結(jié)構(gòu)和方法等。
(1)實(shí)施例中以圖5所示的基板P為例，根據(jù)該基板P帶有的標(biāo)記中一對BFID標(biāo)記M1的標(biāo)記識別實(shí)測處理結(jié)果求出坐標(biāo)變換(式)數(shù)據(jù)(圖7的步驟S42，S44)，當(dāng)然，這只是示例，也可以根據(jù)其他的標(biāo)記求出坐標(biāo)變換數(shù)據(jù)。但考慮到機(jī)構(gòu)部分的熱膨脹引起的頭部單元5A、5B的位移變化，優(yōu)選根據(jù)基板P帶有的標(biāo)記中間隔最寬的BFID標(biāo)記來求坐標(biāo)變換數(shù)據(jù)。
(2)實(shí)施例中作為對應(yīng)于第一頭部單元5A和第二頭部單元5B的移動誤差的相關(guān)數(shù)據(jù)，如上所述，求出坐標(biāo)變換(式)數(shù)據(jù)，但是也可以將頭部單元5A，5B間在X軸方向以及Y軸方向的移動誤差作為相關(guān)數(shù)據(jù)求算。此時，可以根據(jù)用兩個基板攝像機(jī)23A、23B進(jìn)行的共同的同一標(biāo)記的標(biāo)記識別實(shí)測處理而求出相關(guān)數(shù)據(jù)，因此，可以用更簡單的方法求出相關(guān)數(shù)據(jù)，還可以縮短為求算相關(guān)數(shù)據(jù)所需的標(biāo)記識別實(shí)測處理的時間。
(3)實(shí)施例中根據(jù)基板P帶有的一對標(biāo)記的識別實(shí)測處理求出坐標(biāo)變換(式)數(shù)據(jù)，但是也可以在基座上固定設(shè)置專用的標(biāo)記(基準(zhǔn)標(biāo)記)，根據(jù)該固定標(biāo)記的標(biāo)記識別實(shí)測處理求出坐標(biāo)變換數(shù)據(jù)。此時，對各塊被處理基板，在該基板P被搬入安裝作業(yè)位置(作業(yè)用搬送帶2B)之前，可以通過兩個基板攝像機(jī)23A、23B事先進(jìn)行固定標(biāo)記的標(biāo)記識別實(shí)測處理。此時，關(guān)于標(biāo)記識別處理(參照圖7)，例如可以省略步驟S28～S32的處理，在步驟S42，S44的處理中，根據(jù)上述固定標(biāo)記的標(biāo)記識別實(shí)測處理結(jié)果生成坐標(biāo)變換數(shù)據(jù)。因此，此時，如沒有固有標(biāo)記，對于第二頭部單元5B來說，可以不對基板P上的標(biāo)記進(jìn)行任何標(biāo)記識別實(shí)測處理即可進(jìn)行元件安裝處理。
(4)實(shí)施例中進(jìn)行標(biāo)記識別處理時(參照圖7)，通過第一基板攝像機(jī)23A進(jìn)行基板P的標(biāo)記識別實(shí)測處理時(圖7中步驟S12～步驟S24的處理)，僅拍攝基板P被安裝部分中第一頭部單元5A負(fù)責(zé)的部分所使用的標(biāo)記，關(guān)于該第一基板攝像機(jī)23A進(jìn)行的標(biāo)記識別實(shí)測處理，也可以同時對第二頭部單元5B負(fù)責(zé)的部分所使用的上述固有標(biāo)記進(jìn)行識別實(shí)測處理，根據(jù)該固有標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)和坐標(biāo)變換數(shù)據(jù)求出該固有標(biāo)記的位置(近似值)。
上述實(shí)施例是安裝有一對頭部單元5A，5B的元件安裝裝置的例子，作為其他例子，本發(fā)明也可以適用于將分別安裝有頭部單元的多臺元件安裝裝置連接的元件安裝系統(tǒng)。即如圖8所示，關(guān)于將相同結(jié)構(gòu)的多臺單位裝置50A～50D串聯(lián)連接的元件安裝系統(tǒng)，將通過最前端的單位裝置50A(稱為最前端裝置50A)實(shí)施的標(biāo)記識別實(shí)測處理的結(jié)果傳送到后續(xù)的單位裝置50B～50D(稱為后續(xù)裝置50B～50D)并加以利用，從而可以省略一部分由后續(xù)裝置50B～50D進(jìn)行的標(biāo)記識別實(shí)測處理。下面，以圖5所示的基板P為被安裝基板時的情況為例，對此時各裝置50A～50D的具體運(yùn)作控制進(jìn)行說明。
(a)最前端裝置50A將基板P搬入規(guī)定的安裝作業(yè)位置并定位后，利用安裝在頭部單元的基板攝像機(jī)，對基板P帶有的標(biāo)記M1～M3中該最前端裝置50A所使用的標(biāo)記(本例中為BFID標(biāo)記M1和LFID標(biāo)記M2)進(jìn)行標(biāo)記識別實(shí)測處理，并且將其結(jié)果傳送到后續(xù)裝置50B～50D。
根據(jù)該實(shí)測位置數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于被安裝部分的位置偏差的修正數(shù)據(jù)，根據(jù)該修正數(shù)據(jù)，驅(qū)動頭部單元，從而對由該最前端裝置50A負(fù)責(zé)的被安裝部分進(jìn)行元件的安裝。
(b)后續(xù)裝置50B(50C，50D)將基板搬入規(guī)定的安裝作業(yè)位置并定位后，利用頭部單元中裝備的基板攝像機(jī)，對基板P帶有的標(biāo)記M1～M3中對應(yīng)于后續(xù)裝置50B的標(biāo)記進(jìn)行標(biāo)記識別實(shí)測處理。此時，除BFID標(biāo)記M1外，對最前端裝置50A之間共用的標(biāo)記(LFID標(biāo)記M2)省略標(biāo)記識別實(shí)測處理。
根據(jù)經(jīng)標(biāo)記識別實(shí)測處理的BFID標(biāo)記M1以及PFID標(biāo)記M3的實(shí)測位置數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于使用該標(biāo)記M1，M3的被安裝部分的位置偏差的修正數(shù)據(jù)。
另外，根據(jù)BFID標(biāo)記M1的實(shí)測位置數(shù)據(jù)和從最前端裝置50A傳來的傳送數(shù)據(jù)中包含的BFID標(biāo)記M1的實(shí)測位置數(shù)據(jù)，生成對應(yīng)于最前端裝置50A的頭部單元和后續(xù)裝置50B的頭部單元的移動誤差的相關(guān)數(shù)據(jù)(例如，與上述實(shí)施例相同的坐標(biāo)變換(式)數(shù)據(jù))，根據(jù)該坐標(biāo)變換數(shù)據(jù)和從最前端位置50A傳來的傳送數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于使用LFID標(biāo)記M2的被安裝部分的位置偏差的修正數(shù)據(jù)。
而且根據(jù)各修正數(shù)據(jù)，驅(qū)動頭部單元，從而對該后續(xù)裝置50B負(fù)責(zé)的被安裝部分進(jìn)行元件的安裝。
即，雖未特別圖示，該元件安裝系統(tǒng)具有將基板標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)從最前端裝置50A向后續(xù)裝置50B～50D傳送的傳送裝置，而且，各后續(xù)裝置50B～50D包括相關(guān)數(shù)據(jù)生成裝置，即生成坐標(biāo)變換數(shù)據(jù)等相關(guān)數(shù)據(jù)；修正數(shù)據(jù)生成裝置，即根據(jù)上述相關(guān)數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于被安裝部分中由后續(xù)裝置50B～50D安裝元件的部分的位置偏差的修正數(shù)據(jù)；驅(qū)動控制裝置，即根據(jù)上述修正數(shù)據(jù)，驅(qū)動頭部單元，從而進(jìn)行元件的安裝。
根據(jù)上述元件安裝系統(tǒng)(元件安裝方法)，關(guān)于基板P帶有的標(biāo)記M1～M3中各裝置50A～50D共用的標(biāo)記(本例中為LFID標(biāo)記M2)，因在后續(xù)裝置50B～50D中省略該標(biāo)記的標(biāo)記識別實(shí)測處理，從而可以縮短元件安裝系統(tǒng)中標(biāo)記識別實(shí)測處理的總時間并高效地進(jìn)行元件的安裝處理。本例中，關(guān)于在后續(xù)裝置50B(～50D)中省略標(biāo)記識別實(shí)測處理的標(biāo)記(LFID標(biāo)記M2)，利用根據(jù)通過各裝置50A～50D的基板攝像機(jī)拍攝基板P上共同的標(biāo)記(BFID標(biāo)記M1)的標(biāo)記識別實(shí)測處理而求得的坐標(biāo)變換數(shù)據(jù)，變換最前端裝置50A的標(biāo)記識別實(shí)測處理的結(jié)果(實(shí)測位置數(shù)據(jù))，從而近似求出其位置，根據(jù)該近似值生成修正數(shù)據(jù)，因此，即使對于根據(jù)省略了標(biāo)記識別實(shí)測處理的修正數(shù)據(jù)，也可以生成具有一定程度可靠性的數(shù)據(jù)，從而可以良好地確保后續(xù)裝置50B～50D的元件安裝位置的修正精度。
權(quán)利要求
1.一種元件安裝方法，用于具有多個分別予以驅(qū)動的元件安裝用頭部單元，通過這些頭部單元分別從元件供給部取出元件并將其安裝在基板上的元件安裝裝置，其特征在于包括，相關(guān)數(shù)據(jù)生成工序，以上述頭部單元中的某一頭部單元為第一頭部單元、其他頭部單元為第二頭部單元，通過執(zhí)行由安裝在這些頭部單元中的攝像裝置分別拍攝共同的基準(zhǔn)標(biāo)記的基準(zhǔn)標(biāo)記識別實(shí)測處理，求出對應(yīng)于第一頭部單元和第二頭部單元的移動誤差的相關(guān)數(shù)據(jù)；基板標(biāo)記實(shí)測位置獲取工序，通過執(zhí)行由上述第一頭部單元的攝像裝置，拍攝停在規(guī)定位置的基板所帶有的基板標(biāo)記中至少包含由兩個頭部單元進(jìn)行元件安裝時共用的標(biāo)記的多個標(biāo)記的基板標(biāo)記識別實(shí)測處理，獲得該標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)；修正數(shù)據(jù)生成工序，根據(jù)上述基板標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于上述基板被安裝部分中由第一頭部單元安裝元件的部分的位置偏差的修正數(shù)據(jù)，并且根據(jù)上述基板標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)和上述相關(guān)數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于由第二頭部單元安裝元件的被安裝部分的位置偏差的修正數(shù)據(jù)；元件安裝工序，根據(jù)上述修正數(shù)據(jù)，驅(qū)動上述第一及第二頭部單元，從而向基板的被安裝部分安裝元件；該元件安裝方法，針對各塊被安裝基板通過上述各工序進(jìn)行元件安裝。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的元件安裝方法，其特征在于當(dāng)設(shè)定上述第一頭部單元的實(shí)際的移動坐標(biāo)系為第一坐標(biāo)系、第二頭部單元的實(shí)際的移動坐標(biāo)系為第二坐標(biāo)系時，在上述相關(guān)數(shù)據(jù)生成工序中，求出坐標(biāo)變換數(shù)據(jù)作為上述相關(guān)數(shù)據(jù)，所述坐標(biāo)變換數(shù)據(jù)將利用第一頭部單元的上述攝像裝置進(jìn)行的基板標(biāo)記識別實(shí)測處理所獲得的第一坐標(biāo)系中的標(biāo)記的實(shí)測位置變換為第二坐標(biāo)系中的位置，在上述修正數(shù)據(jù)生成工序中，根據(jù)上述坐標(biāo)變換數(shù)據(jù)，變換利用第一頭部單元的攝像裝置進(jìn)行的基板標(biāo)記識別實(shí)測處理而求得的基板標(biāo)記的實(shí)測位置，根據(jù)通過上述變換求得的基板標(biāo)記的位置，求出對應(yīng)于第二頭部單元進(jìn)行元件安裝的被安裝部分的位置偏差的修正數(shù)據(jù)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的元件安裝方法，其特征在于將上述基板標(biāo)記實(shí)測位置獲取工序作為第一標(biāo)記實(shí)測位置獲取工序時，還包括第二標(biāo)記實(shí)測位置獲取工序，通過執(zhí)行由第二頭部單元的攝像裝置拍攝在第一標(biāo)記實(shí)測位置獲取工序中由第一頭部單元的攝像裝置拍攝的多個基板標(biāo)記中至少一對基板標(biāo)記的基板標(biāo)記識別實(shí)測處理，獲得該標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)，在上述相關(guān)數(shù)據(jù)生成工序之前，實(shí)施第一、第二標(biāo)記實(shí)測位置獲取工序，在上述相關(guān)數(shù)據(jù)生成工序中，將上述第一、第二標(biāo)記實(shí)測位置獲取工序中獲得的上述至少一對基板標(biāo)記作為上述基準(zhǔn)標(biāo)記，根據(jù)該標(biāo)記的實(shí)測位置，求出上述相關(guān)數(shù)據(jù)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的元件安裝方法，其特征在于通過在上述第二標(biāo)記實(shí)測位置獲取工序中，執(zhí)行拍攝上述基板所帶有的基板標(biāo)記中僅涉及上述第二頭部單元進(jìn)行元件安裝的被安裝部分而使用的固有基板標(biāo)記的基板標(biāo)記識別實(shí)測處理，獲得該固有標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)，在上述修正數(shù)據(jù)生成工序中，對于第二頭部單元進(jìn)行元件安裝的被安裝部分中使用上述固有標(biāo)記的部分，根據(jù)上述固有標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)，求出上述修正數(shù)據(jù)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的元件安裝方法，其特征在于通過在上述第一標(biāo)記實(shí)測位置獲取工序中，執(zhí)行拍攝上述基板所帶有的基板標(biāo)記中僅涉及上述第二頭部單元進(jìn)行元件安裝的被安裝部分而使用的固有基板標(biāo)記的基板標(biāo)記識別實(shí)測處理，獲得該固有標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)，在上述修正數(shù)據(jù)生成工序中，根據(jù)在第一標(biāo)記實(shí)測位置獲取工序中獲得的上述固有標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)和上述相關(guān)數(shù)據(jù)，求出第二頭部單元進(jìn)行元件安裝的被安裝部分中使用上述固有標(biāo)記的部分的修正數(shù)據(jù)。
6.一種元件安裝裝置，具有分別予以驅(qū)動的元件安裝用第一及第二頭部單元，通過這些頭部單元從元件供給部取出元件并將其安裝在基板上，其特征在于包括，攝像裝置，分別安裝于上述頭部單元，與各頭部單元一體移動，用于識別標(biāo)記；相關(guān)數(shù)據(jù)生成裝置，根據(jù)通過上述各頭部單元的攝像裝置分別拍攝共同的基準(zhǔn)標(biāo)記的基準(zhǔn)標(biāo)記識別實(shí)測處理，生成對應(yīng)于第一頭部單元和第二頭部單元的移動誤差的相關(guān)數(shù)據(jù)，并且通過對各塊被安裝基板進(jìn)行上述基準(zhǔn)標(biāo)記識別實(shí)測處理，對各塊基板進(jìn)行上述相關(guān)數(shù)據(jù)的更新；基板標(biāo)記實(shí)測位置獲取裝置，通過執(zhí)行由上述第一頭部單元的攝像裝置拍攝被搬入并停在規(guī)定位置的基板所帶有的多個基板標(biāo)記中至少包含由兩個頭部單元進(jìn)行元件安裝時共用的標(biāo)記的多個標(biāo)記的基板標(biāo)記識別實(shí)測處理，獲得該標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)；修正數(shù)據(jù)生成裝置，根據(jù)上述基板標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于上述基板被安裝部分中由第一頭部單元安裝元件的部分的位置偏差的修正數(shù)據(jù)，并且根據(jù)上述基板標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)以及上述相關(guān)數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于由第二頭部單元安裝元件的被安裝部分的位置偏差的修正數(shù)據(jù)；驅(qū)動控制裝置，根據(jù)上述修正數(shù)據(jù)，分別驅(qū)動第一及第二頭部單元，從而向基板的被安裝部分安裝元件。
7.一種元件安裝方法，用于具備串聯(lián)連接的多臺元件安裝裝置，且各元件安裝裝置分別具有從元件供給部取出元件并將其安裝在基板上的元件安裝用頭部單元的元件安裝系統(tǒng)，其特征在于使上述多臺元件安裝裝置中位于最前端的裝置，通過執(zhí)行由上述攝像裝置拍攝停在規(guī)定位置的基板所帶有的基板標(biāo)記中該最前端裝置使用的標(biāo)記的基板標(biāo)記識別實(shí)測處理，獲得該標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)，將該實(shí)測位置數(shù)據(jù)傳送至最前端裝置以外的后續(xù)裝置，并且根據(jù)該實(shí)測位置數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于上述基板被安裝部分中由該最前端裝置安裝元件的部分的位置偏差的修正數(shù)據(jù)，根據(jù)該修正數(shù)據(jù)，驅(qū)動上述頭部單元，從而通過該最前端裝置進(jìn)行元件的安裝，然后，使上述最前端裝置以外的后續(xù)裝置，執(zhí)行由上述攝像裝置拍攝停在規(guī)定位置的基板的上述基板標(biāo)記中在最前端裝置中獲得實(shí)測位置數(shù)據(jù)的基板標(biāo)記的一部分的基板標(biāo)記識別實(shí)測處理，根據(jù)該基板標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)和與該數(shù)據(jù)對應(yīng)的最前端裝置的上述實(shí)測位置數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于后續(xù)裝置的頭部單元和最前端裝置的頭部單元的移動誤差的相關(guān)數(shù)據(jù)，根據(jù)從最前端裝置傳來的上述實(shí)測位置數(shù)據(jù)中被該后續(xù)裝置所共用的基板標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)和上述相關(guān)數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于上述基板的被安裝部分中由后續(xù)裝置進(jìn)行元件安裝的部分的位置偏差的修正數(shù)據(jù)，根據(jù)該修正數(shù)據(jù)，驅(qū)動上述頭部單元，從而通過該后續(xù)裝置進(jìn)行元件的安裝。
8.一種元件安裝系統(tǒng)，具備串聯(lián)連接的多臺元件安裝裝置，且各元件安裝裝置分別具有從元件供給部取出元件并將其安裝在基板上的元件安裝用頭部單元和與該頭部單元一體移動并拍攝基板所帶有的基板標(biāo)記的攝像裝置，其特征在于上述多臺元件安裝裝置中位于最前端的裝置具有傳送裝置，該傳送裝置將通過執(zhí)行由上述攝像裝置拍攝基板標(biāo)記的標(biāo)記識別實(shí)測處理而獲得的基板標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)傳送至該最前端裝置以外的后續(xù)裝置，各后續(xù)裝置，包括，相關(guān)數(shù)據(jù)生成裝置，通過執(zhí)行由上述攝像裝置拍攝上述基板標(biāo)記中在最前端裝置中獲得實(shí)測位置數(shù)據(jù)的基板標(biāo)記的一部分的基板標(biāo)記識別實(shí)測處理，根據(jù)該基板標(biāo)記的實(shí)測位置數(shù)據(jù)和從最前端裝置傳來的傳送數(shù)據(jù)中對應(yīng)于該實(shí)測位置數(shù)據(jù)的實(shí)測位置數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于后續(xù)裝置的頭部單元和最前端裝置的頭部單元的移動誤差的相關(guān)數(shù)據(jù)；修正數(shù)據(jù)生成裝置，根據(jù)上述相關(guān)數(shù)據(jù)和上述傳送數(shù)據(jù)中包含的實(shí)測位置數(shù)據(jù)，求出對應(yīng)于上述基板被安裝部分中由后續(xù)裝置安裝元件的部分的位置偏差的修正數(shù)據(jù)；驅(qū)動控制裝置，根據(jù)上述修正數(shù)據(jù)，驅(qū)動上述頭部單元，從而通過該后續(xù)裝置進(jìn)行元件的安裝。
全文摘要
本發(fā)明的元件安裝方法，包括，利用安裝在頭部單元(5A、5B)的第一及第二基板攝像機(jī)(23A、23B)，拍攝基板(P)上的共同的標(biāo)記，求出兩個頭部單元(5A、5B)之間的坐標(biāo)變化數(shù)據(jù)的工序；利用第一攝像機(jī)(23A)至少對基板(P)的標(biāo)記中由兩個頭部單元(5A、5B)進(jìn)行元件安裝所共用的標(biāo)記進(jìn)行拍攝、識別的工序；根據(jù)標(biāo)記實(shí)測位置數(shù)據(jù)，求出基板(P)的被安裝部分中第一頭部單元(5A)負(fù)責(zé)的部分的修正數(shù)據(jù)，并且根據(jù)標(biāo)記實(shí)測位置數(shù)據(jù)以及坐標(biāo)變換數(shù)據(jù)，求出第二頭部單元(5B)負(fù)責(zé)的部分的修正數(shù)據(jù)的工序；通過驅(qū)動兩個頭部單元(5A、5B)來安裝元件的工序；各塊被安裝基板通過上述各個工序?qū)崿F(xiàn)元件安裝。采用本發(fā)明，可高效地進(jìn)行元件安裝處理并確保較高的安裝精度。
文檔編號H05K13/08GK101072495SQ20071010084
公開日2007年11月14日 申請日期2007年4月20日 優(yōu)先權(quán)日2006年5月11日
發(fā)明者山積宏二, 松下大輔 申請人:雅馬哈發(fā)動機(jī)株式會社