專利名稱：各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于將各向異性導(dǎo)電膜(ACF)貼附在基板上的規(guī)定位置的貼附裝置，該各向異性導(dǎo)電膜用于在基板上安裝芯片、組件等。
背景技術(shù)：
例如在形成于液晶顯示面板的周緣部的引板(tab)上搭載驅(qū)動(dòng)用IC的情況等，在電路板上安裝芯片狀的電子零件、組件等的情況下，采用這樣的方法，即，在基板的規(guī)定位置貼附各向異性導(dǎo)電膜(ACF Anisotropic Conductive Film)，在該各向異性導(dǎo)電膜上載置電子零件等之后，使基板側(cè)和電子零件等的電極之間對(duì)位，然后進(jìn)行臨時(shí)壓接，之后，利用壓接工具加熱壓接(正式壓接)，將它們之間電連接(例如參照專利文獻(xiàn)1等)。
另外，在本發(fā)明中，將“各向異性導(dǎo)電”、“各向異導(dǎo)電性”、“各向異性導(dǎo)電性”等作為與“各向異性導(dǎo)電(Anisotropic Conductive) ”相同的意思來對(duì)待。另外，本發(fā)明的“各向異性導(dǎo)電帶”是指在基膜或者隔離件(separator)等基材上層疊有上述“各向異性導(dǎo)電膜”(或者“各向異性導(dǎo)電薄膜”、“各向異性導(dǎo)電層”、“各向異性導(dǎo)電樹脂”、“各向異性導(dǎo)電體”等)的狀態(tài)的材料，在層疊膜、層疊片等的形態(tài)中，特別將窄幅的帶狀材料稱作“帶”。但是，它們?cè)跇?gòu)造上沒有差異(參照專利文獻(xiàn)2等)。
以往，作為將該各向異性導(dǎo)電帶(ACF帶)貼附在工件(電路板等)的規(guī)定位置來轉(zhuǎn)貼各向異性導(dǎo)電膜的方法，可采用這些方法，即，貼附由切刀等切斷成規(guī)定長度的各向異性導(dǎo)電帶，輕輕壓接之后僅剝離隔離件而殘留各向異性導(dǎo)電膜的方法，或者使用切刀等切斷(半切割)隔離件上的各向異性導(dǎo)電膜的不需要部分(不參與貼附的部分)，在自隔離件分離去除了不需要部分的狀態(tài)下用貼附工具(貼附輥或者貼附頭)將帶壓接在上述基板上的方法(參照專利文獻(xiàn)3等)。
另外，由于各向異性導(dǎo)電帶昂貴，因此，為了不浪費(fèi)該不需要部分，也提出了一種這樣的裝置，即，單獨(dú)利用壓力或者同時(shí)利用壓力和加熱從各向異性導(dǎo)電帶的隔離件側(cè)按壓貼附頭，在切斷各向異性導(dǎo)電膜的同時(shí)轉(zhuǎn)貼在基板上(參照專利文獻(xiàn)4 5等)。
另一方面，由于各向異性導(dǎo)電帶通常以卷繞在Φ 125mm或者Φ 250mm的卷筒上的形式從帶制造廠商提供，因此，在貼附裝置的上述貼附頭附近(一般情況下是貼附頭的上方)設(shè)有將該卷筒旋轉(zhuǎn)自如地軸支承的各向異性導(dǎo)電帶供給部件(供給裝置)，通過由許多個(gè)導(dǎo)輥構(gòu)成的帶供給路徑將從上述卷筒抽出的各向異性導(dǎo)電帶供給到貼附頭和基板之間。
另外，在使用過程中的卷筒上的各向異性導(dǎo)電帶剩余量較少的情況下，利用傳感器等檢測到設(shè)置在卷筒的卷芯附近的帶(帶的終端附近)上的末端標(biāo)記，各向異性導(dǎo)電帶的供給和貼附裝置的動(dòng)作停止(參照專利文獻(xiàn)6等)。然后，將卷筒更換(改換)為新的卷筒，從該未使用卷筒抽出(“伸出”)各向異性導(dǎo)電帶，將其導(dǎo)通于上述帶供給路徑，廢棄新的各向異性導(dǎo)電帶的開始端部，直到正常的各向異性導(dǎo)電膜來到上述貼附頭的位置為止， 然后，貼附裝置再次開始運(yùn)轉(zhuǎn)(參照專利文獻(xiàn)7等)。
另外，也存在將多個(gè)卷筒預(yù)先設(shè)定在安裝部，調(diào)換它們的配置來更換卷筒的情況。作為更換多個(gè)卷筒的配置的手段，提出了這些方法，即，在上下或左右設(shè)置的支承軸上分別設(shè)定卷筒，切換地使用它們的方法(專利文獻(xiàn)7)，或者將兩個(gè)卷筒背靠背地設(shè)定，使其翻轉(zhuǎn) 180°來進(jìn)行切換的方法(專利文獻(xiàn)8等)，或者將上述卷筒收容在盒中，利用變換器等自動(dòng)更換該盒的方法等(參照專利文獻(xiàn)9 10等)。
另外，也提出了這樣的方法，S卩，利用卡盤部件把持未使用的卷筒的帶開始端，通過使該卡盤部件沿著預(yù)先決定好的圖案移動(dòng)，使各向異性導(dǎo)電帶的開始端自動(dòng)地導(dǎo)通于上述帶供給路徑(專利文獻(xiàn)8)。
但是，因應(yīng)用于電視機(jī)、個(gè)人計(jì)算機(jī)、移動(dòng)電話等的顯示器而液晶顯示面板的生產(chǎn)擴(kuò)大自不必說，為了提高生產(chǎn)效率、實(shí)現(xiàn)輕量化等，在各種電子設(shè)備中，開始使用采用上述各向異性導(dǎo)電(ACF)帶的電子零件的安裝技術(shù)，各向異性導(dǎo)電膜的貼附作業(yè)工序的效率化、多品種(多規(guī)格)應(yīng)對(duì)、提速、成本降低等的要求逐漸增大。
專利文獻(xiàn)1 日本特開平5-323348號(hào)公報(bào) 專利文獻(xiàn)2 日本特開2002-3M432號(hào)公報(bào) 專利文獻(xiàn)3 日本特開平6-6019號(hào)公報(bào) 專利文獻(xiàn)4 日本特開平10-310743號(hào)公報(bào) 專利文獻(xiàn)5 日本特開2001-171897號(hào)公報(bào) 專利文獻(xiàn)6 日本特開2001-284005號(hào)公報(bào) 專利文獻(xiàn)7 日本特開2005-336447號(hào)公報(bào) 專利文獻(xiàn)8 日本特開平7-65648號(hào)公報(bào) 專利文獻(xiàn)9 日本特開平7-65648號(hào)公報(bào) 專利文獻(xiàn)10 日本特開2006-96556號(hào)公報(bào) 但是，在上述以往的單貼附頭的各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置中存在這樣的問題，即， 難以應(yīng)對(duì)日益大型化的液晶面板等，各向異性導(dǎo)電膜的貼附部位越增加，貼附作業(yè)的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間(循環(huán)時(shí)間)越呈線性地增大。
因此，為了解決該問題，首先考慮增加貼附裝置的臺(tái)數(shù)這樣的選擇，但為了增加貼附裝置的臺(tái)數(shù)，必須在用于設(shè)置的工廠內(nèi)確保寬闊的空間，流水線(工序)變長，因此，會(huì)在制品的處理、工序管理、維護(hù)方面產(chǎn)生損失。
另外，在排列貼附裝置而增加了臺(tái)數(shù)的情況下，考慮到人的移動(dòng)路線，能夠由一名作業(yè)人員補(bǔ)給、管理-維護(hù)帶(卷筒)的裝置臺(tái)數(shù)存在限制，因此，也有可能增加作業(yè)人員并導(dǎo)致制品的成本上升。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明即是鑒于這種情況而做成的，其目的在于提供一種這樣的各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置，即，是緊湊的主體尺寸，并能夠靈活地應(yīng)對(duì)各種形狀、大小的基板，通過在該基板的多個(gè)部位同時(shí)貼附各向異性導(dǎo)電膜，能夠降低貼附工序的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置采用這樣的構(gòu)造，即，包括用于使搬入到裝置主體內(nèi)的基板移動(dòng)到規(guī)定位置而定位的基板定位部件、用于將層疊有隔離件和各向異性導(dǎo)電膜的各向異性導(dǎo)電帶以該各向異性導(dǎo)電膜的面與上述基板對(duì)峙的朝向供給到上述定位后的基板的規(guī)定部位的各向異性導(dǎo)電帶供給部件、及用于從隔離件側(cè)按壓上述各向異性導(dǎo)電帶而僅將各向異性導(dǎo)電膜轉(zhuǎn)貼到基板上而進(jìn)行貼附的貼附頭，其中， 上述貼附頭沿著各向異性導(dǎo)電膜的貼附方向配設(shè)有多個(gè)，各貼附頭的間隔能夠調(diào)節(jié)地設(shè)定，并且，上述各向異性導(dǎo)電帶供給部件包括用于安裝保持卷繞有各向異性導(dǎo)電帶的卷筒的卷筒安裝部，該各向異性導(dǎo)電帶供給部件按照每一個(gè)上述貼附頭獨(dú)立地設(shè)置。
本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置通過將多個(gè)貼附頭內(nèi)置在1臺(tái)貼附裝置中，不會(huì)像以往的貼附裝置那樣增加機(jī)器臺(tái)數(shù)、流水線長度，降低了各向異性導(dǎo)電膜貼附工序的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間，并且，考慮到今后的液晶面板的大型化、對(duì)多品種、少量生產(chǎn)的應(yīng)對(duì)，能夠調(diào)節(jié)這些貼附頭之間的間隔(間距)。
S卩，在本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置中，將各向異性導(dǎo)電帶按壓在基板的規(guī)定位置而進(jìn)行轉(zhuǎn)貼的貼附頭沿著各向異性導(dǎo)電膜的貼附方向配設(shè)有多個(gè)，因此，能夠利用1 個(gè)步驟的動(dòng)作在兩個(gè)以上的指定部位同時(shí)轉(zhuǎn)貼各向異性導(dǎo)電膜。因此，本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置不會(huì)增大其設(shè)置空間，能夠減少貼附作業(yè)的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間。
另外，由于這些各貼附頭相互間的間隔能夠調(diào)節(jié)，因此，能夠靈活地應(yīng)對(duì)由電路板的大型化等導(dǎo)致貼附部位的增加和位置變更、或者指定了多種貼附位置的多種規(guī)格的電路板。因而，本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置也能夠縮短與貼附有各向異性導(dǎo)電膜的基板的品種變更相應(yīng)的設(shè)定(設(shè)置)變更所需要的空轉(zhuǎn)時(shí)間。
特別是，上述卷筒安裝部形成為隔著規(guī)定的配置更換部件設(shè)有多個(gè)，能夠依次調(diào)換同時(shí)安裝保持的多個(gè)卷筒的配置，并且，在規(guī)定的配置中，其中任意一個(gè)卷筒安裝部定位在能夠向上述貼附頭供給各向異性導(dǎo)電帶的供給位置，其中任意另一個(gè)卷筒安裝部定位在能夠更換卷筒的待機(jī)位置，在這種情況下，該貼附裝置的管理人員(作業(yè)人員)即使在裝置運(yùn)轉(zhuǎn)(運(yùn)行)過程中，也是不用手觸碰使用過程中的卷筒就能夠拆卸使用完畢的空卷筒，更換為卷繞有各向異性導(dǎo)電帶的新的卷筒。
其中，特別是上述各向異性導(dǎo)電帶供給部件由作為上述配置更換部件的旋轉(zhuǎn)軸和隔著該旋轉(zhuǎn)軸背靠背地配設(shè)的兩個(gè)卷筒安裝部構(gòu)成，通過使上述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)180°，使一個(gè)卷筒安裝部配置在上述供給位置，另一個(gè)卷筒安裝部配置在上述待機(jī)位置，在這種情況下， 供給部件的水平方向的必要設(shè)置面積較小，能夠緊湊地配設(shè)在各貼附頭的上方。因而，本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置即使在設(shè)有與多個(gè)貼附頭相對(duì)應(yīng)的相同數(shù)量的各向異性導(dǎo)電帶供給部件的情況下，也能抑制裝置主體尺寸增大，能夠緊湊地構(gòu)成該貼附裝置自身。
在此，當(dāng)在上述供給位置處于使用狀態(tài)的卷筒的各向異性導(dǎo)電帶的剩余量變少了時(shí)，用帶把持構(gòu)件把持該剩余量少的帶的終端部附近并切斷終端部側(cè)的帶，在將上述剩余量少的帶的終端部固定的狀態(tài)下使上述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)180°，使從在上述待機(jī)位置處于待機(jī)狀態(tài)卷筒抽出的未使用的各向異性導(dǎo)電帶的開始端部接近該剩余量少的帶的終端部，使這些終端部和開始端部重合而接合之后，解除上述帶把持構(gòu)件的把持，再次開始向上述貼附頭供給各向異性導(dǎo)電帶，在這種情況下，不采用復(fù)雜的過程、裝置，就能夠自動(dòng)地向上述帶供給路徑和貼附頭供給來自新的未使用卷筒的各向異性導(dǎo)電帶。因而，與在更換卷筒之后手動(dòng)地將各向異性導(dǎo)電帶沿著帶供給路徑拉回到貼附頭的情況相比，本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置能夠?qū)崿F(xiàn)大幅度地減輕精力和縮短時(shí)間。
另外，在本發(fā)明的貼附裝置的各向異性導(dǎo)電帶的更換-連接方法中，由于過程簡單且不太會(huì)搖動(dòng)精密(delicate)的各向異性導(dǎo)電帶，因此，與上述那樣的利用卡盤部件把持新的卷筒的帶前端，使該卡盤部件沿著預(yù)先決定的圖案移動(dòng)而使各向異性導(dǎo)電帶自動(dòng)地導(dǎo)通于帶供給路徑的方法(專利文獻(xiàn)8等)相比，也能夠可靠且迅速地更換帶，從而能夠縮短直到各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置再次開始運(yùn)轉(zhuǎn)為止的空轉(zhuǎn)時(shí)間。另外，本發(fā)明的貼附裝置的各向異性導(dǎo)電帶的更換-連接方法也具有因“伸出”而抽出，廢棄(浪費(fèi))的帶的量較少這樣的優(yōu)點(diǎn)。
而且，利用通過對(duì)上述剩余量少的各向異性導(dǎo)電帶和上述未使用的各向異性導(dǎo)電帶的重復(fù)部位照射超聲波而進(jìn)行的熔接來將上述剩余量少的各向異性導(dǎo)電帶的終端部和上述未使用的各向異性導(dǎo)電帶的開始端部接合，在這種情況下，無論構(gòu)成該帶的隔離件的樹脂組成怎樣，都能夠迅速地在短時(shí)間內(nèi)將上述各帶之間連接(熔接)。


圖1是本發(fā)明的實(shí)施方式的各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖2是說明基板在各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置內(nèi)的移動(dòng)的圖。
圖3是圖1的主要部分放大圖。
圖4的(a)是從裝置的橫向看帶供給單元的圖，圖4的(b)是從裝置的上方俯視帶供給單元的圖。
圖5的(a) (C)是說明帶終端部和帶開始端部的接合過程的圖，分別是與過程步驟1 3相當(dāng)?shù)膱D。
圖6的(a) (C)是說明帶終端部和帶開始端部的接合過程的圖，分別是與過程步驟4 6相當(dāng)?shù)膱D。
圖7的(a) (C)是說明帶終端部和帶開始端部的接合過程的圖，分別是與過程步驟7 9相當(dāng)?shù)膱D。
具體實(shí)施例方式接著，根據(jù)附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施方式。
圖1是本發(fā)明實(shí)施方式的各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置的主體內(nèi)的概略結(jié)構(gòu)圖，圖2 是說明該各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置的各向異性導(dǎo)電膜的貼附過程的圖。另外，將貼附裝置內(nèi)(及工序內(nèi))的基板的流動(dòng)方向作為X方向、與該X方向正交的裝置內(nèi)的進(jìn)深方向作為 y方向、裝置的上下(天地)方向作為ζ方向來說明。
本實(shí)施方式的各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置被裝入地配置在這樣的工序(流水線)的一部分中，即，在工件W(液晶面板、電路板等)上隔著各向異性導(dǎo)電膜地安裝芯片狀電子零件、組件等的工序，整個(gè)工序按照裝載機(jī)一基板清洗裝置一各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置(ACF 轉(zhuǎn)貼)一芯片壓接裝置(COG或者FPC的臨時(shí)壓接、正式壓接)一檢查裝置(AOI)—卸載機(jī)的順序構(gòu)成。另外，各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置也大多不是一臺(tái)，而是在工序中連續(xù)地設(shè)置多臺(tái)。
首先，說明各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置的動(dòng)作(工作流程)。
在圖2中，各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置使用輸送臂將由位于工序上游側(cè)(圖示左方) 的清洗裝置(省略圖示)清洗后的工件W放入到裝置主體內(nèi)(A —B位置)，將其移載到能夠在xy兩方向上移動(dòng)且能夠繞ζ方向的θ軸旋轉(zhuǎn)的帶有吸盤的移動(dòng)載物臺(tái)上(B位置)，之后使用多個(gè)照相機(jī)等確認(rèn)、儲(chǔ)存各向異性導(dǎo)電膜的貼附位置(C位置)，然后，結(jié)合該位置信息在貼附位置(D位置)將各向異性導(dǎo)電膜貼附(轉(zhuǎn)貼)在上述工件W的規(guī)定位置。
另外，在貼附位置(圖2中的D位置)中，也利用未圖示的照相機(jī)等確認(rèn)貼附位置，并將基板定位。然后，反復(fù)使移動(dòng)載物臺(tái)沿xy方向移動(dòng)或者繞θ軸旋轉(zhuǎn)，將各向異性導(dǎo)電膜分幾次貼附在設(shè)定于工件W的縱橫端緣的多個(gè)指定部位。另外，利用位于工序下游側(cè)(圖示右方)的另一個(gè)各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置或者芯片壓接裝置等的輸送臂(本例子中是輸送臂#2)，將完成了上述各向異性導(dǎo)電膜的貼附(在有多臺(tái)貼附裝置的情況下僅是本機(jī)器的擔(dān)當(dāng)范圍)后的工件W(圖2中的E位置)搬出到下一步驟(圖2中的F位置)。
接著，說明各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置的構(gòu)造。
圖1是從操作(控制)面板側(cè)看本實(shí)施方式的各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置的主體內(nèi)的圖，將該操作面板側(cè)(紙面表側(cè))作為裝置的近側(cè)、將為了后述的卷筒更換而能夠開閉的作業(yè)用面板所在一側(cè)(紙面里側(cè))作為裝置的內(nèi)側(cè)來說明。另外，如上所述的、將工件W從工序上游側(cè)(圖示左方)搬入到裝置主體內(nèi)并搬出到工序下游側(cè)(圖示右方)的輸送臂省略圖示。另外，將貼附所使用的各向異性導(dǎo)電(ACF)帶的厚度夸大地表示。
該各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置包括帶供給部P，其用于安裝保持以卷繞于卷筒 R(圖中的隊(duì) R4的統(tǒng)稱下同)的形式從廠商出貨的各向異性導(dǎo)電帶T(圖中的T1 T4 的統(tǒng)稱下同)；壓接部Q，其用于將各向異性導(dǎo)電帶按壓在工件W上；載物臺(tái)S(基板定位部件)，其為了貼附各向異性導(dǎo)電膜而使工件W移動(dòng)到規(guī)定位置而進(jìn)行定位；輸送部件，其用于搬入、搬出工件W ；以及控制部件，其用于統(tǒng)一控制上述各部和部件；電源部等。
如圖3中主要部分放大圖所示，用于將各向異性導(dǎo)電帶T按壓在工件W上的壓接部Q由各自具有貼附頭1和1’的兩組壓接單元Qu (第1壓接單元Qu1和第2壓接單元Qu2 的統(tǒng)稱下同)構(gòu)成。另外，如圖所示，兩組壓接單元隔著兩者之間的中央部分地處于線對(duì)稱(鏡像)關(guān)系，大致同時(shí)工作。
各壓接單元Qu1和Qu2包括上述貼附頭1、1’和用于使這些貼附頭1、1’上下移動(dòng)的缸體2、2’，通過從隔離件側(cè)隔著后述的硅帶按壓被供給到被定位在規(guī)定位置的上述工件 W和各貼附頭1、1’之間的各向異性導(dǎo)電帶I\、T3，僅將層疊于隔離件的各向異性導(dǎo)電膜轉(zhuǎn)貼在工件W的指定部位。
另外，壓接單元Qu1和Qu2沿著各向異性導(dǎo)電膜的貼附方向(圖示左右χ方向) 配設(shè)，由于其中一個(gè)壓接單元(本例子中是Qu2)形成為能夠在上述貼附方向上滑動(dòng)，因此， 能夠調(diào)整各貼附頭1、1’之間的各向異性導(dǎo)電膜的貼附方向的間隔。
另外，在該各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置的壓接單元Qu1和Qu2中安裝有未圖示的切刀單元，僅將即將供給到貼附頭1、1’之前的各向異性導(dǎo)電帶T的各向異性導(dǎo)電膜部位切斷 (半切割)為規(guī)定長度。因而，在工件W的規(guī)定部位僅轉(zhuǎn)貼有所需長度的各向異性導(dǎo)電膜， 在按壓(轉(zhuǎn)貼)之后，僅將各向異性導(dǎo)電帶T的隔離件部位從壓接單元Qu上部的吸引孔吸弓丨、回收到裝置外部的回收箱等中。
另外，在各貼附頭1、1’中安裝有用于將各頭1、1’保溫的保溫部件(省略圖示)， 并且，在各個(gè)貼附頭1、1’和缸體2、2’的附近配設(shè)有卷繞有硅帶V(Vi、V2的統(tǒng)稱下同)的小卷筒r(硅帶供給卷筒Γι、r3和硅帶回收卷筒r2、r4的統(tǒng)稱下同)，如圖3所示，使用與各向異性導(dǎo)電帶T不同的供給路線將硅帶V供給到各向異性導(dǎo)電帶T和各貼附頭1、1’之間。另外，上述硅帶V用于保護(hù)各向異性導(dǎo)電帶T，并提高這些各向異性導(dǎo)電帶T與頭1、1’ 之間的分離性。
通過以上構(gòu)造，本實(shí)施方式的各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置能夠利用1個(gè)步驟的動(dòng)作在工件W的兩個(gè)以上指定部位同時(shí)轉(zhuǎn)貼各向異性導(dǎo)電膜。因而，本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置能夠降低貼附作業(yè)的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間。
另外，由于這些各貼附頭1、1’之間的間隔能夠調(diào)節(jié)，因此，能夠靈活地應(yīng)對(duì)由工件 W的大型化等導(dǎo)致貼附部位的增加和位置的變更、或者指定了各種貼附位置的多種規(guī)格的電路板。
另外，用于將各向異性導(dǎo)電帶T半切割的切刀單元、用于將各貼附頭1、1’保溫的保溫部件等并沒有特別的限定，與使用的各向異性導(dǎo)電帶T的種類、規(guī)格、或者進(jìn)行貼附的基板的種類、尺寸等相應(yīng)地使用即可。硅帶V的使用、不使用、各向異性導(dǎo)電帶T的回收方法等能夠適當(dāng)?shù)刈兏?br> 另外，在本實(shí)施方式中，表示了僅在工件W的流動(dòng)方向(圖示χ方向)上具有多個(gè)貼附頭1、1’的各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置的例子，但除此之外，也可以在與基板的流動(dòng)方向正交的方向(圖示y方向)上配置1個(gè)或多個(gè)貼附頭。
另外，使用本實(shí)施方式的各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置，以COG方式等在作為工件W的液晶顯示(LCD)面板的周緣部安裝驅(qū)動(dòng)器IC的情況下各向異性導(dǎo)電膜的轉(zhuǎn)貼 (Pre-Bonding)條件為貼附頭1、1，的溫度50 70°C，壓接壓力約IMPa，每一處的壓接時(shí)間0.7 1.5秒。另外，與以往的單頭的貼附裝置相比，在本實(shí)施例的雙(兩)頭的貼附裝置的情況下，生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間提高到約1. 7倍(時(shí)間縮短約40% )。
接著，對(duì)向上述壓接部Q供給各向異性導(dǎo)電帶T的帶供給部P進(jìn)行說明。在帶供給部P中設(shè)有與上述兩組壓接單元Qu1和Qu2各自相對(duì)應(yīng)的兩組帶供給單元Pu (第1帶供給單元Pu1和第2帶供給單元Pu2的統(tǒng)稱下同)，各帶供給單元Pu1和Pu2配置有旋轉(zhuǎn)軸3 和3’、隔著該旋轉(zhuǎn)軸3和3’背靠背地相對(duì)的卷筒安裝部4A、4B和4A’、4B’、及與各卷筒安裝部相對(duì)應(yīng)的卡盤5A、5B和5A’、5B’。
另外，在帶供給單元Pu1、Pu2中，各單元分別設(shè)有用于檢測各向異性導(dǎo)電帶T的末端標(biāo)記的傳感器6、6’、超聲波振蕩器10、10’、帶終端部把持構(gòu)件7、7’、帶終端部用切刀8、 8’、移動(dòng)輥9、9’、帶熔接用承受構(gòu)件11、11’、帶開始端部用切刀12、12’等各1個(gè)。
另外，如圖3所示，兩組帶供給單元PUl、Pu2也與上述壓接單元Qu1和Qu2同樣地隔著兩者之間的中央部分地處于線對(duì)稱(鏡像)關(guān)系。另外，在這些帶供給單元pui、pu2m 中間位置設(shè)有支承底座U,該支承底座U支承上述移動(dòng)輥9、9’、帶熔接用承受構(gòu)件11、11’、 帶開始端部用切刀12、12’等，并且包括用于分別控制這些上述各向異性導(dǎo)電膜沿貼附方向 (圖示左右方向)的移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)器等。
圖4的(a)是從裝置的橫向(單元Pu2側(cè))看帶供給單元Pu1的圖，圖4的(b)是從裝置的上方俯視該帶供給單元Pu1的圖。另外，在這些圖中，省略了各向異性導(dǎo)電帶T的圖示。
如圖4的(a)所示，在帶供給單元Pu1 (Pu2也同樣)中，在其底座20的大致中央配置有利用步進(jìn)電動(dòng)機(jī)等180°往返旋轉(zhuǎn)(轉(zhuǎn)動(dòng))的旋轉(zhuǎn)軸3，在該旋轉(zhuǎn)軸3的上端附近，隔著該旋轉(zhuǎn)軸3背靠背地相對(duì)地安裝有卷筒安裝部4A和4B。
并且，在上述旋轉(zhuǎn)軸3的下端附近，與卷筒安裝部4A相對(duì)應(yīng)的卡盤5A和與卷筒安裝部4B相對(duì)應(yīng)的卡盤5B與卷筒安裝部4A、4B同樣地隔著軸3對(duì)稱地配置，并且，上述卡盤 5A和卡盤5B的基部延伸設(shè)置而固定于上述旋轉(zhuǎn)軸3，如圖4的(b)所示，卡盤5A和5B與卷筒安裝部4A和4B同步地旋轉(zhuǎn)。
另外，在如圖4的(a)所示，后述的各向異性導(dǎo)電帶T的終端部處理所采用的帶終端部把持構(gòu)件7和帶終端部用切刀8在不使用時(shí)被拉入到不妨礙各向異性導(dǎo)電帶T移動(dòng)的位置，僅在各向異性導(dǎo)電帶T彼此接合時(shí)，如雙點(diǎn)劃線所示地向圖示左方移動(dòng)(前進(jìn))。
接著，對(duì)以上構(gòu)造的帶供給單元Pu中的卷筒R的更換方法、及在各向異性導(dǎo)電帶T 的終端部接合另一個(gè)新的各向異性導(dǎo)電帶T的開始端部的方法進(jìn)行說明。另外，由于帶供給單元PUl、Pu2是同樣的構(gòu)造，因此，僅說明第1帶供給單元PUl。
圖5的(a) (c)、圖6的(a) (c)和圖7的(a) (c)是按照階段地依次說明該帶供給單元Pu1中的各向異性導(dǎo)電帶T彼此的接合方法的圖，分別相當(dāng)于以下說明的帶接合過程的步驟1 步驟9。
首先，圖5的(a)表示這樣的狀態(tài)，即，帶供給單元Pu1的一個(gè)卷筒安裝部4A定位在能夠向上述壓接單元QUl(貼附頭1)供給各向異性導(dǎo)電帶T1的供給位置(圖示右側(cè))，安裝保持于該卷筒安裝部4A的“使用中”的卷筒R1的各向異性導(dǎo)電帶T1的剩余量較少。此時(shí)，在配設(shè)于帶供給單元Pu1的傳感器6檢測到形成在剩余量少的各向異性導(dǎo)電帶T1的終端部附近的末端標(biāo)記的時(shí)刻，停止由壓接單元Qu1貼附各向異性導(dǎo)電膜和自帶供給單元Pu1 供給各向異性導(dǎo)電帶T1 (步驟1)。
另外，在另一個(gè)卷筒安裝部4B(圖示左側(cè))中預(yù)先安裝有充分卷繞有新的各向異性導(dǎo)電帶T2的更換用的卷筒&，該帶T2的開始端部從卷筒&被拉出，在去除了開始端部附近的一部分(約10 20cm左右)各向異性導(dǎo)電膜的狀態(tài)下(僅是隔離件的狀態(tài))，上述各向異性導(dǎo)電帶T2的開始端部被把持在卷筒安裝部4B用的卡盤5B上(卷筒更換作業(yè))。
然后，在確認(rèn)上述壓接單元Qu1停止時(shí)，通常，被拉入到不妨礙各向異性導(dǎo)電帶T1 移動(dòng)的里側(cè)位置(參照?qǐng)D4的(a))的帶供給單元Pu1的帶終端部把持構(gòu)件7和帶終端部用切刀8如圖5所示地向裝置近側(cè)(紙面表側(cè)方向)前進(jìn)，定位在各向異性導(dǎo)電帶T1的移動(dòng)位置(步驟2)。
接著，如圖5的(c)所示，在卡盤狀的帶終端部把持構(gòu)件7把持位于該把持部之間的各向異性導(dǎo)電帶T1的終端附近部之后(步驟幻，如圖6的(a)所示，剪刀狀的帶終端部用切刀8動(dòng)作，將比上述帶終端部把持構(gòu)件7的把持部位更靠帶終端側(cè)的各向異性導(dǎo)電帶 T1切斷(步驟4)。
然后，開啟帶終端部用切刀8，并且，如圖6的(b)所示，移動(dòng)輥9移動(dòng)至不會(huì)干擾在下一個(gè)過程中進(jìn)行的卷筒隊(duì)、&的配置更換的位置(圖示右方)(步驟5)。
在移動(dòng)輥9退避結(jié)束時(shí)，通過由來自控制部件的指令等使步進(jìn)電動(dòng)機(jī)等旋轉(zhuǎn)，作為卷筒1^ 的配置更換部件的旋轉(zhuǎn)軸3開始旋轉(zhuǎn)，如圖6的(c)所示地在旋轉(zhuǎn)了 180°的時(shí)刻停止。此時(shí)，調(diào)換連接于旋轉(zhuǎn)軸上端附近的各卷筒安裝部4A和4B的配置，處于供給位置(圖示右側(cè))的卷筒安裝部4A移動(dòng)到能夠更換卷筒R的待機(jī)位置(圖示左側(cè))而定位， 相反，處于待機(jī)位置的卷筒安裝部4B移動(dòng)到能夠向壓接單元Qu1 (貼附頭1)供給各向異性導(dǎo)電帶T2的供給位置而定位(步驟6)。
另外，連接于旋轉(zhuǎn)軸3下端附近的各卡盤5A、5B也與卷筒安裝部4A、4B同步地調(diào)換配置，因此，新的卷筒&的開始端部(伸出部位)也配置在與被上述帶終端部把持構(gòu)件7 把持的狀態(tài)下的各向異性導(dǎo)電帶T1的終端部接近的位置。
在確認(rèn)卷筒安裝部4A、4B的配置更換時(shí)，如圖7的(a)所示，帶熔接用承受構(gòu)件11 將新的各向異性導(dǎo)電帶T2的開始端部(去除了各向異性導(dǎo)電膜的部位)按壓于上述切斷的各向異性導(dǎo)電帶T1的終端部，將它們夾持在與超聲波振蕩器10的振子之間。然后，通過超聲波振蕩器10照射超聲波規(guī)定時(shí)間，熔接、固定帶T2和帶Tl的重合部位(步驟7)。
之后，如圖7的(b)所示，帶開始端部用切刀12移動(dòng)(圖示左方)，切斷新的各向異性導(dǎo)電帶T2的比上述熔接部位更靠開始端側(cè)的(多余的)隔離件，完成各向異性導(dǎo)電帶 T1的的終端部和各向異性導(dǎo)電帶T2的開始端部的接合(步驟8)。
接著，如圖7的(c)所示，把持著各向異性導(dǎo)電帶T1的終端部的帶終端部把持構(gòu)件 7和帶終端部用切刀8向裝置內(nèi)側(cè)(紙面里側(cè)方向)后退，被拉入到不妨礙各向異性導(dǎo)電帶 T2移動(dòng)的位置，并且，上述帶端部相互間的熔接作業(yè)所使用的帶熔接用承受構(gòu)件11和帶開始端部用切刀12返回到原來位置(圖示右方)。最后，退避到不會(huì)干擾卷筒禮、R2的配置更換的位置(圖示右側(cè))的移動(dòng)輥9返回到原來位置(圖示左方)，開始自新的卷筒&供給各向異性導(dǎo)電帶T2 (步驟9)。
如上所述，本實(shí)施方式的各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置能夠自動(dòng)且迅速地完成剩余量少的卷筒R1和新的卷筒&的更換作業(yè)、及各向異性導(dǎo)電帶T1和T2的連接作業(yè)。
另外，本實(shí)施方式的各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置獨(dú)立地設(shè)有與各壓接單元QUl、Qu2 相對(duì)應(yīng)的各向異性導(dǎo)電帶供給部件(帶供給單元Pi^Pu2)，但采用上述卷筒R更換方式，這些帶供給單元PUl、Pu2的水平方向的必要設(shè)置面積較小，能夠緊湊地配設(shè)在各貼附頭1、1’ 的上方。因而，抑制了裝置主體尺寸增大，能夠緊湊地構(gòu)成該貼附裝置自身。
并且，由于通過對(duì)上述剩余量少的各向異性導(dǎo)電帶T1和上述未使用的各向異性導(dǎo)電帶T2重合的部位照射超聲波使其熔接來將上述剩余量少的各向異性導(dǎo)電帶T1的終端部和上述未使用的各向異性導(dǎo)電帶T2的開始端部接合，因此，能夠迅速地且在短時(shí)間內(nèi)將上述各向異性導(dǎo)電帶T之間連接(熔接)。
另外，在使用粘接帶等由作業(yè)人員用手將剩余量少的各向異性導(dǎo)電帶T1的終端部和未使用的各向異性導(dǎo)電帶T2的開始端部接合的情況下，也要依靠對(duì)作業(yè)的習(xí)慣程度，但通常需要1 3分鐘的時(shí)間。相對(duì)于此，像本實(shí)施方式那樣，在利用超聲波熔接自動(dòng)地將接合帶T1的終端部和帶T2的開始端部接合的情況下，在大約10秒鐘左右結(jié)束，因此，能夠在利用末端標(biāo)記檢測到卷筒R停止(貼附停止)后約40秒鐘左右再次開始貼附各向異性導(dǎo)電膜。
另外，由于空的卷筒R1定位在能夠更換(改換)新的卷筒R的待機(jī)位置，因此，該裝置的管理人員(作業(yè)人員)即使在裝置運(yùn)轉(zhuǎn)(運(yùn)行)過程中，也是不用手觸碰使用過程中的卷筒R就能夠在自由的時(shí)機(jī)拆卸使用完畢的空卷筒R，更換為卷繞有各向異性導(dǎo)電帶T 的新的卷筒R。
另外，在上述實(shí)施方式中，作為卷筒R的配置更換手段，例示了兩個(gè)卷筒安裝部 4A、4B隔著旋轉(zhuǎn)軸3進(jìn)行180°翻轉(zhuǎn)動(dòng)作的配置，也可以將與其同樣的卷筒安裝部在圓周方向上均勻地配設(shè)3個(gè)以上，通過軸的旋轉(zhuǎn)依次調(diào)換配置。
另外，卷筒R的配置更換手段并不僅是通過繞軸旋轉(zhuǎn)而更換配置的方法，也可以是在上下或左右設(shè)置的支承軸上分別設(shè)定卷筒，將它們替換使用的方法。當(dāng)然，也可以是作業(yè)人員用手更換的方法。
并且，將剩余量少的各向異性導(dǎo)電帶T1的終端部和未使用的各向異性導(dǎo)電帶T2的開始端部接合的方法也可以替代超聲波熔接，而采用其他的加熱方法的熔接、粘接劑或粘接帶等的粘接等。
工業(yè)實(shí)用件 本發(fā)明適用于將芯片、組件等安裝于液晶顯示面板、電子基板、或者適用于將在各種電子設(shè)備中安裝電子零件等時(shí)所采用的各向異性導(dǎo)電膜(AC F)貼附在規(guī)定位置的貼附裝置。
附圖標(biāo)記說明 1、1’、貼附頭；P、帶供給部；Pu1, Pu2、帶供給單元；Q、壓接部；Qu1, Qu2、壓接單元；
R1、R2, R3、 R4、卷筒；S、載物臺(tái)；T1、T2、T3、T4、各向異性導(dǎo)電帶；W、工件。
權(quán)利要求
1.一種各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置，該各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置包括基板定位部件， 用于使搬入到裝置主體內(nèi)的基板移動(dòng)到規(guī)定位置而進(jìn)行定位；各向異性導(dǎo)電帶供給部件， 用于將層疊有隔離件和各向異性導(dǎo)電膜的各向異性導(dǎo)電帶以該各向異性導(dǎo)電膜的面與上述基板對(duì)峙的朝向供給到上述定位后的基板的規(guī)定部位；以及貼附頭，用于從隔離件側(cè)按壓上述各向異性導(dǎo)電帶而僅將各向異性導(dǎo)電膜轉(zhuǎn)貼到基板上而進(jìn)行貼附，其特征在于，上述貼附頭沿著各向異性導(dǎo)電膜的貼附方向配設(shè)有多個(gè)，各貼附頭的間隔能夠調(diào)節(jié)地設(shè)定，并且，上述各向異性導(dǎo)電帶供給部件包括用于安裝保持卷繞有各向異性導(dǎo)電帶的卷筒的卷筒安裝部，該各向異性導(dǎo)電帶供給部件按照每個(gè)上述貼附頭獨(dú)立地設(shè)置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置，其中，在上述各向異性導(dǎo)電帶供給部件中，上述卷筒安裝部形成為隔著規(guī)定的配置更換部件設(shè)有多個(gè)，能夠依次調(diào)換同時(shí)被安裝保持的多個(gè)卷筒的配置，并且，在規(guī)定的配置中，在其中任意一個(gè)卷筒安裝部定位在能夠向上述貼附頭供給各向異性導(dǎo)電帶的供給位置，其中任意另一個(gè)卷筒安裝部定位在能夠更換卷筒的待機(jī)位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置，其中，上述各向異性導(dǎo)電帶供給部件由作為上述配置更換部件的旋轉(zhuǎn)軸和隔著該旋轉(zhuǎn)軸背靠背地配設(shè)的兩個(gè)卷筒安裝部構(gòu)成，通過使上述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)180°，一個(gè)卷筒安裝部配置在上述供給位置，另一個(gè)卷筒安裝部配置在上述待機(jī)位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置，其中，當(dāng)在上述供給位置處于使用狀態(tài)的卷筒的各向異性導(dǎo)電帶的剩余量變少了時(shí)，利用帶把持構(gòu)件把持該剩余量少的帶的終端部附近并切斷終端部側(cè)的帶，在將上述剩余量少的帶的終端部固定的狀態(tài)下使上述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)180°，使從在上述待機(jī)位置處于待機(jī)狀態(tài)的卷筒抽出的未使用的各向異性導(dǎo)電帶的開始端部接近該剩余量少的帶的終端部，使這些終端部和開始端部重合而接合之后，解除上述帶把持構(gòu)件的把持，再次開始向上述貼附頭供給各向異性導(dǎo)電帶。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置，其中，利用通過對(duì)上述剩余量少的各向異性導(dǎo)電帶和上述未使用的各向異性導(dǎo)電帶的重復(fù)部位照射超聲波而進(jìn)行的熔接，來將上述剩余量少的各向異性導(dǎo)電帶的終端部和上述未使用的各向異性導(dǎo)電帶的開始端部接合。
全文摘要
本發(fā)明提供一種各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置。該各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置是緊湊的主體尺寸，并能夠靈活地應(yīng)對(duì)各種形狀、大小的基板，通過在該基板的多個(gè)部位同時(shí)貼附各向異性導(dǎo)電膜，能夠降低貼附工序的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間。該各向異性導(dǎo)電膜貼附裝置包括用于供給層疊有隔離件和各向異性導(dǎo)電膜的各向異性導(dǎo)電帶(T)的帶供給部(P)、及用于按壓各向異性導(dǎo)電帶(T)的隔離件側(cè)而僅將各向異性導(dǎo)電膜貼附在工件(W)的規(guī)定位置的帶壓接部(Q)，其中，具有貼附頭(1、1’)的壓接單元(Qu1、Qu2)沿著各向異性導(dǎo)電膜的貼附方向配設(shè)有多個(gè)，各貼附頭(1、1’)的間隔能夠調(diào)節(jié)地設(shè)定，并且，包括安裝保持卷繞有各向異性導(dǎo)電帶(T)的卷筒(R)的卷筒安裝部的帶供給單元(Pu1、Pu2)按照每個(gè)上述貼附頭(1、1’)獨(dú)立地設(shè)置。
文檔編號(hào)H05K3/36GK102187748SQ200980141568
公開日2011年9月14日 申請(qǐng)日期2009年11月4日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月5日
發(fā)明者津田仁彥, 天羽拓, 西川真一, 郭衛(wèi)紅 申請(qǐng)人:有限會(huì)社共同設(shè)計(jì)企畫