專利名稱：多晶硅槽式制絨冷卻裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明專利涉及一種電池片生產(chǎn)用裝置，尤其涉及多晶硅槽式制絨冷卻裝置。
背景技術(shù)：
隨著太陽能光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)的不斷提升，對(duì)于太陽能產(chǎn)品的質(zhì)量以及成本提出了新 的要求。多晶硅電池片的生產(chǎn)由于其原材料的低成本，在未來的光伏電池生產(chǎn)中具有非常 大的低成本優(yōu)勢(shì)，其全新的工藝制程的成本消耗也相比單晶硅電池的生產(chǎn)成本要低。由于多晶硅晶粒具有無方向性，所以就決定了其在清洗制絨這一工序不能沿用單 晶硅的生產(chǎn)工藝，而是要用各向同性腐蝕液來對(duì)硅片進(jìn)行腐蝕制絨，目前，通常采用HNO3* HF的混合溶液來進(jìn)行多晶制絨，在腐蝕制絨過程中會(huì)釋放出巨大的熱量，使得反應(yīng)溶液溫 度在短時(shí)間內(nèi)就超出了正常的工藝溫度，這種狀況是腐蝕制絨工藝必須嚴(yán)格控制的，否則 會(huì)直接影響制絨效果，嚴(yán)重時(shí)會(huì)導(dǎo)致制絨生產(chǎn)無法正常繼續(xù)，這一弊端在槽式制絨過程中 尤為明顯。根據(jù)制絨工藝要求，反應(yīng)溶液的溫度差應(yīng)控制在5°C以內(nèi)，現(xiàn)有的槽式制絨工藝 很難達(dá)到上述要求，主要是腐蝕制絨槽的冷卻裝置不能滿足要求，迫切需要冷卻效果能夠 控制的冷卻裝置。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服現(xiàn)有多晶槽式制絨設(shè)備的不足，本發(fā)明提供了一種多晶硅槽式制絨冷卻 裝置。采用這種冷卻裝置，可以根據(jù)不同的產(chǎn)能和制絨工藝要求，對(duì)腐蝕制絨槽中的反應(yīng)溶 液溫度進(jìn)行有效控制，確保腐蝕溶液的溫差控制在5°C以內(nèi)。本發(fā)明采取的技術(shù)方案是本發(fā)明所述多晶硅槽式制絨冷卻裝置，其特征是包括制絨槽、腐蝕液輸入管、循 環(huán)泵、入口溫度傳感器、熱交換器、腐蝕液輸出管、出口溫度傳感器、冷卻液池、變量泵、回收 池和電控部件，所述熱交換器由冷卻槽內(nèi)腔、腐蝕液輸入口、熱液腔、熱液支管、冷液腔、腐 蝕液輸出口、冷卻液入口和冷卻液出口組成，腐蝕液輸入口與熱液腔相通連，冷液腔與腐蝕 液輸出口相通連，所有熱液支管都與熱液腔和冷液腔相通連；冷卻液入口和冷卻液出口均 與冷卻槽內(nèi)腔相通連，冷卻液入口通過變量泵與冷卻液池相連，冷卻液出口與回收池相連； 制絨槽通過磁力循環(huán)泵和高溫腐蝕液輸入管與腐蝕液輸入口相通連，腐蝕液輸出口通過冷 卻腐蝕液輸出管通入制絨槽內(nèi)，在高溫腐蝕液輸入管上設(shè)有入口溫度傳感器，在冷卻腐蝕 液輸出管上設(shè)有出口溫度傳感器；磁力循環(huán)泵、入口溫度傳感器、出口溫度傳感器和變量泵 均與電控部件電連接。由于對(duì)多晶硅制絨槽進(jìn)行了循環(huán)冷卻處理，制絨槽中腐蝕液經(jīng)循環(huán)泵抽吸通過腐 蝕液輸入管、熱液腔進(jìn)入熱液支管中，冷卻槽內(nèi)腔中冷卻液對(duì)熱液支管中的腐蝕液進(jìn)行熱 對(duì)流，使熱液支管中的腐蝕液溫度下降，降溫后的腐蝕液從冷液腔和腐蝕液輸出管流回制 絨槽；由于在腐蝕液輸入管上設(shè)置了入口溫度傳感器，在冷卻腐蝕液輸出管上設(shè)有出口溫 度傳感器，電控部件根據(jù)這些信號(hào)控制變量泵，通過改變冷卻液的流量來調(diào)節(jié)冷卻速度，從而有效控制制絨槽中腐蝕液的溫度變化，使溫差值控制在預(yù)定的工藝要求范圍之內(nèi)。從根 本上克服了現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點(diǎn)，比較理想地滿足了多晶硅制絨工藝對(duì)腐蝕溶液的溫控 要求。


圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1中熱交換器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖中1_制絨槽；2-腐蝕液輸入管；3-循環(huán)泵；4-入口溫度傳感器；5-熱交換器； 6_腐蝕液輸出管；7-出口溫度傳感器；8-冷卻液池；9-變量泵；10-回收池；11-電控部件； 51-冷卻槽內(nèi)腔；52-腐蝕液輸入口 ；53-熱液腔；54-熱液支管；55-冷液腔；56-腐蝕液輸 出口 ；57-冷卻液入口 ；58-冷卻液出口。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)構(gòu)附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的
具體實(shí)施例方式
所述多晶硅槽式制絨冷卻裝置如圖1、圖2所示，它包括制絨槽1、腐蝕液輸入管2、 循環(huán)泵3、入口溫度傳感器4、熱交換器5、腐蝕液輸出管6、出口溫度傳感器7、冷卻液池8、 變量泵9、回收池10和電控部件11，所述熱交換器5由冷卻槽內(nèi)腔51、腐蝕液輸入口 52、熱 液腔53、熱液支管54、冷液腔55、腐蝕液輸出口 56、冷卻液入口 57和冷卻液出口 58，腐蝕液 輸入口 52與熱液腔53相通連，冷液腔55與腐蝕液輸出口 56相通連，所有熱液支管54都 與熱液腔53和冷液腔55相通連；冷卻液入口 57和冷卻液出口 58均與冷卻槽內(nèi)腔51相通 連，冷卻液入口 57通過變量泵9與冷卻液池8相連，冷卻液出口 58與回收池10相連；制絨 槽1通過磁力循環(huán)泵3和高溫腐蝕液輸入管2與腐蝕液輸入口 52相通連，腐蝕液輸出口 56 通過冷卻腐蝕液輸出管6通入制絨槽1內(nèi)，在高溫腐蝕液輸入管2上設(shè)有入口溫度傳感器 4，在冷卻腐蝕液輸出管6上設(shè)有出口溫度傳感器7 ；磁力循環(huán)泵3、入口溫度傳感器4、出口 溫度傳感器7和變量泵9均與電控部件11電連接。
權(quán)利要求
一種多晶硅槽式制絨冷卻裝置，其特征是包括制絨槽(1)、腐蝕液輸入管(2)、循環(huán)泵(3)、入口溫度傳感器(4)、熱交換器(5)、腐蝕液輸出管(6)、出口溫度傳感器(7)、冷卻液池(8)、變量泵(9)、回收池(10)和電控部件(11)，所述熱交換器(5)由冷卻槽內(nèi)腔(51)、腐蝕液輸入口(52)、熱液腔(53)、熱液支管(54)、冷液腔(55)、腐蝕液輸出口(56)、冷卻液入口(57)和冷卻液出口(58)，腐蝕液輸入口(52)與熱液腔(53)相通連，冷液腔(55)與腐蝕液輸出口(56)相通連，所有熱液支管(54)都與熱液腔(53)和冷液腔(55)相通連；冷卻液入口(57)和冷卻液出口(58)均與冷卻槽內(nèi)腔(51)相通連，冷卻液入口(57)通過變量泵(9)與冷卻液池(8)相連，冷卻液出口(58)與回收池(10)相連；制絨槽(1)通過磁力循環(huán)泵(3)和高溫腐蝕液輸入管(2)與腐蝕液輸入口(52)相通連，腐蝕液輸出口(56)通過冷卻腐蝕液輸出管(6)通入制絨槽(1)內(nèi)，在高溫腐蝕液輸入管(2)上設(shè)有入口溫度傳感器(4)，在冷卻腐蝕液輸出管(6)上設(shè)有出口溫度傳感器(7)，磁力循環(huán)泵(3)、入口溫度傳感器(4)、出口溫度傳感器(7)和變量泵(9)均與電控部件(11)電連接。
全文摘要
一種多晶硅槽式制絨冷卻裝置，包括制絨槽、腐蝕液輸入管、循環(huán)泵、入口溫度傳感器、熱交換器、腐蝕液輸出管、出口溫度傳感器、冷卻液池、變量泵、回收池和電控部件，制絨槽中腐蝕液經(jīng)循環(huán)泵抽吸通過腐蝕液輸入管進(jìn)入熱交換器內(nèi)的熱液支管中，降溫后的腐蝕液從腐蝕液輸出管流回制絨槽，入口溫度傳感器和出口溫度傳感器分別設(shè)置在腐蝕液輸入管和腐蝕液輸出管上，電控部件根據(jù)它們的信號(hào)控制變量泵，通過改變冷卻液的流量來調(diào)節(jié)冷卻速度。由于對(duì)多晶硅制絨槽進(jìn)行了循環(huán)冷卻處理，從而有效控制制絨槽中腐蝕液的溫度變化，使溫差值控制在預(yù)定的工藝要求范圍之內(nèi)，克服了現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點(diǎn)，滿足了多晶硅制絨工藝對(duì)腐蝕溶液的溫控要求。
文檔編號(hào)C30B33/10GK101967682SQ20101020947
公開日2011年2月9日 申請(qǐng)日期2010年6月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月18日
發(fā)明者郝子龍 申請(qǐng)人:常州億晶光電科技有限公司