專利名稱：一種單晶爐石墨熱系統(tǒng)拆卸工具組的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及單晶硅加工領(lǐng)域，具體地說是涉及一種單晶爐石墨熱系統(tǒng)拆卸工具組。
背景技術(shù)：
單晶爐在單爐生產(chǎn)完成后，需從單晶爐中取出石墨熱場進行清潔，去除爐體內(nèi)部的揮發(fā)雜質(zhì)，已保證下爐生產(chǎn)不會因為爐內(nèi)存在的揮發(fā)雜質(zhì)產(chǎn)生局部放電事故影響正常生產(chǎn)。由于單晶爐在拉晶過程中溫度保持1400°C以上，拉晶完成后自然冷卻至室溫才能開爐清潔。在日常生產(chǎn)中為了最大限度的提升公司設(shè)備產(chǎn)能，工人們一般在拉晶完成后自然冷卻6小時后打開單晶爐進行清潔，此時爐內(nèi)溫度在600°C以上，單晶爐內(nèi)溫度沒有完全降至室溫就要將爐內(nèi)石墨熱系統(tǒng)取出進行清理。傳統(tǒng)取出加熱系統(tǒng)的方法是工人雙手帶隔熱手套取出，其不足之處是在高溫下進行工作，高溫石墨件可能由于操作失誤對人體產(chǎn)生傷害， 也會由于高溫人體直接拆卸不慎損壞所拆卸的石墨件。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型要解決的技術(shù)問題是針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足之處，提供一種可有人工安全從單晶爐中取出處于高溫的石墨熱系統(tǒng)的專用工具組——一種單晶爐石墨熱系統(tǒng)拆卸工具組。本實用新型一種單晶爐石墨熱系統(tǒng)拆卸工具組通過下述技術(shù)方案予以實現(xiàn)本實用新型一種單晶爐石墨熱系統(tǒng)拆卸工具組包括坩堝托盤掛鉤、橫筋、L型掛鉤、電極扳手、石墨螺母扳手、導(dǎo)流筒保溫蓋掛鉤、圓弧掛鉤、加熱器勾具、L型勾具、托桿扳手、六方頭、排氣口護套掛鉤、L型護套掛鉤，所述的坩堝托盤掛鉤主視形狀為門形，上部三分之一處焊接固定有橫筋，下端部向一側(cè)彎曲呈L型掛鉤；所述的電極扳手呈T形，下端部焊接設(shè)置石墨螺母；所述的導(dǎo)流筒保溫蓋掛鉤主視形狀呈門形，下端向一側(cè)彎曲呈圓弧掛鉤；所述的加熱器勾具主視形狀呈X形，其上端封閉，下端向一側(cè)彎曲呈L型勾具；所述的托桿扳手呈T形， 下端設(shè)置螺桿；所述的排氣口護套掛鉤呈火鉤形，其下端向一側(cè)彎曲呈L型護套掛鉤。本實用新型一種單晶爐石墨熱系統(tǒng)拆卸工具組與現(xiàn)有技術(shù)相比較有如下有益效果本實用新型加工設(shè)置了單晶爐石墨熱系統(tǒng)拆卸工具組后，取出加熱系統(tǒng)采用工具組系統(tǒng)列工具將加熱系統(tǒng)有內(nèi)之外，分件取出，不僅降低了工人勞動強度，減少了工作危險性， 不會燙傷工人，而且可以縮短原有單晶爐的降溫過程，及時、安全、便捷取出石墨熱系統(tǒng)，縮短生產(chǎn)周期，提高了生產(chǎn)效率。

本實用新型一種單晶爐石墨熱系統(tǒng)拆卸工具組有如下附圖圖1為本實用新型一種單晶爐石墨熱系統(tǒng)拆卸工具組坩堝托盤掛鉤主視結(jié)構(gòu)示意3[0008]圖2為本實用新型一種單晶爐石墨熱系統(tǒng)拆卸工具組坩堝托盤掛鉤左視結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實用新型一種單晶爐石墨熱系統(tǒng)拆卸工具組電極扳手主視結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實用新型一種單晶爐石墨熱系統(tǒng)拆卸工具組電極扳手A向結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本實用新型一種單晶爐石墨熱系統(tǒng)拆卸工具組導(dǎo)流筒保溫蓋掛鉤主視結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本實用新型一種單晶爐石墨熱系統(tǒng)拆卸工具組導(dǎo)流筒畫掛鉤左視結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為本實用新型一種單晶爐石墨熱系統(tǒng)拆卸工具組加熱器勾具主視結(jié)構(gòu)示意圖；圖8為本實用新型一種單晶爐石墨熱系統(tǒng)拆卸工具組加熱器勾具左視結(jié)構(gòu)示意圖；圖9為本實用新型一種單晶爐石墨熱系統(tǒng)拆卸工具組托桿扳手主視結(jié)構(gòu)示意圖；圖10為本實用新型一種單晶爐石墨熱系統(tǒng)拆卸工具組托桿扳手A向結(jié)構(gòu)示意圖；圖11為本實用新型一種單晶爐石墨熱系統(tǒng)拆卸工具組排氣口護套掛鉤主視結(jié)構(gòu)示意圖。其中1、坩堝托盤掛鉤；2、橫筋；3、L型掛鉤；4、電極扳手；5、石墨螺母扳手；6、導(dǎo)流筒保溫蓋掛鉤；7、圓弧掛鉤；8、加熱器勾具；9、L型勾具；10、托桿扳手；11、六方頭；12、 排氣口護套掛鉤；13、L型護套掛鉤。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型一種單晶爐石墨熱系統(tǒng)拆卸工具組技術(shù)方案作進一步描述。如圖1一圖11所示，本實用新型一種單晶爐石墨熱系統(tǒng)拆卸工具組包括坩堝托盤掛鉤1、橫筋2、L型掛鉤3、電極扳手4、石墨螺母扳手5、導(dǎo)流筒保溫蓋掛鉤6、圓弧掛鉤7、 加熱器勾具8、L型勾具9、托桿扳手10、六方頭11、排氣口護套掛鉤12、L型護套掛鉤13，所述的坩堝托盤掛鉤1主視形狀為門形，上部三分之一處焊接固定有橫筋2，下端部向一側(cè)彎曲呈L型掛鉤3 ；所述的電極扳手4呈T形，下端部焊接設(shè)置石墨螺母扳手5 ；所述的導(dǎo)流筒保溫蓋掛鉤6主視形狀呈門形，下端向一側(cè)彎曲呈圓弧掛鉤7 ；所述的加熱器勾具8主視形狀呈X形，其上端封閉，下端向一側(cè)彎曲呈L型勾具9 ；所述的托桿扳手10呈T形，下端設(shè)置螺桿11 ；所述的排氣口護套掛鉤12呈火鉤形，其下端向一側(cè)彎曲呈L型護套掛鉤13。實施例1。如圖1-圖2所示，所述的坩堝托盤掛鉤1采用Φ6的不銹鋼彎制而成，在主視形狀為門形的上端為橫把手，其長度為100mm，在距橫把手80 mm處兩立桿之間焊接設(shè)置橫筋 2。在主視開關(guān)為門形的坩堝托盤掛鉤1的左側(cè)將兩立桿距項端200 mm處向一側(cè)彎制一 L型掛鉤3。如圖3-圖4所示，所述的電極扳手4采用Φ 12不銹鋼焊接成T形，在T形的下端部焊接一壁厚為4mm的六方內(nèi)六角石墨螺母扳手5。如圖5-圖6所示，所述的導(dǎo)流筒保溫蓋掛鉤6采用Φ6的不銹鋼彎制而成，在主視形狀為門形的上端為橫把手，在門形左視方向距上端橫把手50 mm處向一側(cè)彎制30°斜度，在門形左視方向下端與上端斜度相反方向彎制呈半圓弧狀的導(dǎo)流筒保溫蓋掛鉤7，弧度部位最不超過100 mm。如圖7-圖8所示，所述的加熱器勾具8采用直徑4-5 mm的鐵絲彎制而成，加熱勾具主視形狀呈上端封閉的X形，X形的兩下端向下垂直，在X形左視方向的一側(cè)彎制L型勾具9，L型底部長60 mm，L型向上鉤起10 mm，便制成加熱器勾具8。如圖9-圖10所示，所述的托桿扳手10采用Φ 12不銹鋼焊接成T形，在T形的下端部加工成相對兩平面之間距離為10 mm，兩相對角之間距離為11 mm，便制成托桿扳手10。如圖11所示，所述的排氣口護套掛鉤12采用Φ6的不銹鋼彎制而成，其上端彎制呈耳形把手，下端彎制成L型護套掛鉤13，L型向上鉤起部分為20 mm，便制成排氣口護套掛鉤子2。本實用新型拆卸工具組使用時每爐單晶硅棒生產(chǎn)完成后，將晶棒從爐體內(nèi)取出， 打開爐體進行清潔工作。1、拆卸人員雙手握住圖5、6中所示的導(dǎo)流筒保溫蓋掛鉤上端的一對橫把手，使一對把手成180度，將導(dǎo)流筒保溫蓋掛鉤7深入導(dǎo)流筒內(nèi)，直至掛鉤7到達(dá)導(dǎo)流筒底部以下， 將掛鉤7勾住導(dǎo)流筒底部，向上提把手，將導(dǎo)流筒從石墨系統(tǒng)上端取出；2、拆卸人員雙手握住圖5、6中所示的導(dǎo)流筒保溫蓋掛鉤上端的一對橫把手，使一對把手成180度，將導(dǎo)流筒保溫蓋掛鉤7深入保溫蓋中部圓孔內(nèi)，直至掛鉤7到達(dá)保溫蓋底部以下，將掛鉤7勾住保溫蓋圓孔底部，向上提把手，將保溫蓋從石墨系統(tǒng)上端取出；3、拆卸人員雙手握住圖1、2中所示的坩堝托盤掛鉤上端的一對橫把手，使一對把手成180度，將坩堝托盤掛鉤2深入導(dǎo)流筒內(nèi)部，直至掛鉤2到達(dá)導(dǎo)流筒底部以下，將掛鉤 2勾住導(dǎo)流筒底部，向上提把手，將導(dǎo)流筒從石墨系統(tǒng)上端取出；4、拆卸人員雙手握住圖9所示的托桿扳手放進托桿內(nèi)部圓孔，向右旋轉(zhuǎn)扳手?jǐn)Q下托桿內(nèi)部石墨螺母并取出石墨托桿。5、拆卸人員雙手握住如圖3、4所述的電極扳手?jǐn)Q下加熱器石墨螺母取出，再用如圖7、8所示的加熱器勾具取出加熱器。6、拆卸人員雙手握住圖11所示排氣口護套掛鉤，放進單晶爐內(nèi)排氣孔口部，取出排氣口內(nèi)部的石墨護套。最后清理爐體內(nèi)部和熱系統(tǒng)石墨件，以備下一爐單晶硅生產(chǎn)繼續(xù)使用。
權(quán)利要求1. 一種單晶爐石墨熱系統(tǒng)拆卸工具組，包括坩堝托盤掛鉤(1)、橫筋(2)、L型掛鉤(3)、 電極扳手(4)、石墨螺母扳手(5)、導(dǎo)流筒保溫蓋掛鉤(6)、圓弧掛鉤(7)、加熱器勾具(8)、L 型勾具(9)、托桿扳手(10)、六方頭(11)、排氣口護套掛鉤(12)、L型護套掛鉤(13)，其特征是所述的坩堝托盤掛鉤(1)主視形狀為門形，上部三分之一處焊接固定有橫筋(2)，下端部向一側(cè)彎曲呈L型掛鉤(3)；所述的電極扳手(4)呈T形，下端部焊接設(shè)置石墨螺母扳手 (5)；所述的導(dǎo)流筒保溫蓋掛鉤(6)主視形狀呈門形，下端向一側(cè)彎曲呈圓弧掛鉤(7)；所述的加熱器勾具(8)主視形狀呈X形，其上端封閉，下端向一側(cè)彎曲呈L型勾具(9);所述的托桿扳手(10)呈T形，下端設(shè)置六方頭(11)；所述的排氣口護套掛鉤(12)呈火鉤形，其下端向一側(cè)彎曲呈L型護套掛鉤(13)。
專利摘要本實用新型涉及單晶硅加工領(lǐng)域，具體地說是涉及一種單晶爐石墨熱系統(tǒng)拆卸工具組。本實用新型一種單晶爐石墨熱系統(tǒng)拆卸工具組所述的坩堝托盤掛鉤主視形狀為門形，上部三分之一處焊接固定有橫筋，下端部向一側(cè)彎曲呈L型掛鉤。本實用新型一種單晶爐石墨熱系統(tǒng)拆卸工具組與現(xiàn)有技術(shù)相比較有如下有益效果本實用新型加工設(shè)置了單晶爐石墨熱系統(tǒng)拆卸工具組后，取出加熱系統(tǒng)采用工具組系統(tǒng)列工具將加熱系統(tǒng)有內(nèi)之外，分件取出，不僅降低了工人勞動強度，減少了工作危險性，不會燙傷工人，而且可以縮短原有單晶爐的降溫過程，及時、安全、便捷取出石墨熱系統(tǒng)，縮短生產(chǎn)周期，提高了生產(chǎn)效率。
文檔編號C30B15/00GK201952522SQ201020690908
公開日2011年8月31日 申請日期2010年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月30日
發(fā)明者馮全來, 張?zhí)焓? 張治民, 李治明, 武超, 蘇荔, 雷光輝 申請人:青海華硅能源有限公司