一種腔外精密可控的腔內(nèi)噴氣靶裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種腔外精密可控的腔內(nèi)噴氣靶裝置，包括密封腔，所述密封腔上設(shè)有操控接口裝置，所述操控接口裝置一端設(shè)置有傳動(dòng)板，傳動(dòng)板背離操控接口裝置端設(shè)置有三維調(diào)控臺(tái)，操控接口裝置包括接入法蘭、連接法蘭和設(shè)置在接入法蘭和連接法蘭之間的連接鋼管，連接鋼管中部位置套接有密封法蘭，密封法蘭下端面與連接法蘭之間設(shè)置有可伸縮彎曲的不銹鋼波紋管，且所述的接入法蘭、連接法蘭、密封法蘭、連接鋼管和不銹鋼波紋管通過焊接構(gòu)成一體，連接鋼管內(nèi)穿設(shè)有進(jìn)氣管，連接鋼管下端口套接有噴嘴。上述技術(shù)方案，腔內(nèi)噴氣靶的三維調(diào)控即可通過腔外的三維調(diào)控臺(tái)的三維調(diào)控來傳動(dòng)實(shí)現(xiàn)，無需開腔。結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，成本低廉。
【專利說明】一種腔外精密可控的腔內(nèi)噴氣靶裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及無菌腔內(nèi)的精密設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種腔外精密可控的腔內(nèi)噴氣靶裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在自然科學(xué)研究中，經(jīng)常需要在真空密封腔內(nèi)完成相關(guān)科學(xué)實(shí)驗(yàn)，例如，極紫外-X射線的產(chǎn)生和相互作用就必須在真空腔內(nèi)完成，因?yàn)樵摬ǘ蔚墓庾雍苋菀妆淮髿馑?；在醫(yī)學(xué)手術(shù)或操作方面，也經(jīng)常需要在無菌密封腔內(nèi)完成相關(guān)醫(yī)學(xué)操作，例如，特殊菌種的培育，為了避免污染，也必須在無菌腔內(nèi)操作。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實(shí)用新型的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，成本低廉的腔外精密可控的腔內(nèi)噴氣靶裝置。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了如下技術(shù)方案:一種腔外精密可控的腔內(nèi)噴氣靶裝置，包括密封腔，所述密封腔上設(shè)有操控接口裝置，所述操控接口裝置一端設(shè)置有傳動(dòng)板，所述傳動(dòng)板背離操控接口裝置端設(shè)置有三維調(diào)控臺(tái)，所述的操控接口裝置包括接入法蘭、連接法蘭和設(shè)置在接入法蘭和連接法蘭之間的連接鋼管，所述連接鋼管中部位置套接有密封法蘭，所述密封法蘭下端面與連接法蘭之間設(shè)置有可伸縮彎曲的不銹鋼波紋管，且所述的接入法蘭、 連接法蘭、密封法蘭、連接鋼管和不銹鋼波紋管通過焊接構(gòu)成一體，所述連接鋼管內(nèi)穿設(shè)有進(jìn)氣管，所述連接鋼管下端口套接有噴嘴，所述接入法蘭上設(shè)置有若干個(gè)用于連接傳動(dòng)板的第一通孔，且接入法蘭上端面設(shè)置有第一密封圈槽，所述密封法蘭上設(shè)置有若干個(gè)用于連接密封腔的第二通孔，且密封法蘭下端面上設(shè)置有第二密封圈槽，所述傳動(dòng)板左端設(shè)置有若干個(gè)用于連接接入法蘭的第三通孔，所述傳動(dòng)板右端設(shè)置有若干個(gè)用于連接三維調(diào)控臺(tái)的第四通孔，所述傳動(dòng)板左端對(duì)準(zhǔn)連接鋼管上端口開設(shè)有進(jìn)氣管入口，在進(jìn)氣管入口上端設(shè)置有進(jìn)氣管密封口。
[0005]通過采用上述技術(shù)方案，三維調(diào)控臺(tái)控制傳動(dòng)板運(yùn)動(dòng)，通過傳動(dòng)板與操控接口裝置相連，操控接口裝置與密封腔相接并加固密封，操控接口裝置中的不銹鋼波紋管可伸縮可彎曲；噴氣靶(進(jìn)氣管和噴嘴)通過操控接口裝置伸入密封腔內(nèi)，并通過密封口裝置進(jìn)行加固和密封；腔內(nèi)噴氣靶的三維調(diào)控即可通過腔外的三維調(diào)控臺(tái)的三維調(diào)控來傳動(dòng)實(shí)現(xiàn)，無需開腔。結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，成本低廉。
[0006]本實(shí)用新型進(jìn)一步設(shè)置為:所述接入法蘭上均勻分布有六個(gè)第一通孔，所述接入法蘭與傳動(dòng)板左端通過螺絲連接固定。通過本設(shè)置，接入法蘭與傳動(dòng)板連接方便，固定可
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[0007]本實(shí)用新型還進(jìn)一步設(shè)置為:所述密封法蘭上均勻分布六個(gè)第二通孔，所述密封法蘭與密封腔通過螺絲連接固定。通過本設(shè)置，密封法蘭與密封腔連接方便，固定可靠。
[0008]本實(shí)用新型還進(jìn)一步設(shè)置為:所述傳動(dòng)板左端繞進(jìn)氣管入口中心均勻設(shè)置有六個(gè)第三通孔，傳動(dòng)板左端設(shè)置有四個(gè)第四通孔，且四個(gè)第四通孔呈矩形狀分布，傳動(dòng)板右端與三維調(diào)控臺(tái)通過螺絲連接固定。通過本設(shè)置，傳動(dòng)板與三維調(diào)控臺(tái)連接方便，固定可靠。
[0009]本實(shí)用新型還進(jìn)一步設(shè)置為:所述的密封腔為不銹鋼真空腔。通過本設(shè)置，密封腔不易生銹，密封性能好，使用壽命長。
[0010]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是:與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)設(shè)置合理，三維調(diào)控臺(tái)控制傳動(dòng)板運(yùn)動(dòng)，通過傳動(dòng)板與操控接口裝置相連，操控接口裝置與密封腔相接并加固密封，操控接口裝置中的不銹鋼波紋管可伸縮可彎曲；噴氣靶(進(jìn)氣管和噴嘴)通過操控接口裝置伸入密封腔內(nèi)，并通過密封口裝置進(jìn)行加固和密封；腔內(nèi)噴氣靶的三維調(diào)控即可通過腔外的三維調(diào)控臺(tái)的三維調(diào)控來傳動(dòng)實(shí)現(xiàn)，無需開腔。結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，成本低廉。
[0011]下面結(jié)合說明書附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例傳動(dòng)板的俯視示意圖；
[0014]圖3為圖2中A-A的剖視示意圖；
[0015]圖4為本實(shí)施例實(shí)際應(yīng)用中的裝配示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0016]參見圖1、圖2和圖3，本實(shí)用新型公開的一種腔外精密可控的腔內(nèi)噴氣靶裝置，包括密封腔I，所述密封腔I上設(shè)有操控接口裝置，所述操控接口裝置一端設(shè)置有傳動(dòng)板2，所述傳動(dòng)板2背離操控接口裝置端設(shè)置有三維調(diào)控臺(tái)3，所述的操控接口裝置包括接入法蘭
4、連接法蘭5和設(shè)置在接入法蘭4和連接法蘭5之間的連接鋼管6，所述連接鋼管6中部位置套接有密封法蘭7，所述密封法蘭7下端面與連接法蘭5之間設(shè)置有可伸縮彎曲的不銹鋼波紋管8，且所述的接入法蘭4、連接法蘭5、密封法蘭7、連接鋼管6和不銹鋼波紋管8通過焊接構(gòu)成一體，所述連接鋼管6內(nèi)穿設(shè)有進(jìn)氣管9，所述連接鋼管6下端口套接有噴嘴10，所述接入法蘭4上設(shè)置有若干個(gè)用于連接傳動(dòng)板2的第一通孔41，且接入法蘭4上端面設(shè)置有第一密封圈槽42，所述密封法蘭7上設(shè)置有若干個(gè)用于連接密封腔I的第二通孔71，且密封法蘭7下端面上設(shè)置有第二密封圈槽72，所述傳動(dòng)板2左端設(shè)置有若干個(gè)用于連接接入法蘭4的第三通孔21，所述傳動(dòng)板2右端設(shè)置有若干個(gè)用于連接三維調(diào)控臺(tái)3的第四通孔22，所述傳動(dòng)板2左端對(duì)準(zhǔn)連接鋼管6上端口開設(shè)有進(jìn)氣管入口 23，在進(jìn)氣管入口 23上端設(shè)置有進(jìn)氣管密封口 24。
[0017]作為優(yōu)選的，本實(shí)施例所述的進(jìn)氣管密封口 24采用橡膠O圈和螺帽進(jìn)行密封加固。第一密封圈槽42和第二密封圈槽72均繞各法蘭中心孔設(shè)置，且與各對(duì)準(zhǔn)的法蘭中心孔的中心線重合，第一密封圈槽42和第二密封圈槽72用于放置橡膠O圈進(jìn)行真空或無菌密封；三維調(diào)控臺(tái)3可采用常見的X-Y-Z三維平移臺(tái)。
[0018]為使本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)更加合理，作為優(yōu)選的，本實(shí)施例所述接入法蘭4上均勻分布有六個(gè)第一通孔41，所述接入法蘭4與傳動(dòng)板2左端通過螺絲連接固定。所述密封法蘭7上均勻分布六個(gè)第二通孔71，所述密封法蘭7與密封腔I通過螺絲連接固定。
[0019]所述傳動(dòng)板2左端繞進(jìn)氣管入口 23中心均勻設(shè)置有六個(gè)第三通孔21，傳動(dòng)板2左端設(shè)置有四個(gè)第四通孔22，且四個(gè)第四通孔22呈矩形狀分布，傳動(dòng)板2右端與三維調(diào)控臺(tái)3通過螺絲連接固定。
[0020]所述的密封腔I為不銹鋼真空腔。
[0021]本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)設(shè)置合理，三維調(diào)控臺(tái)控制傳動(dòng)板運(yùn)動(dòng)，通過傳動(dòng)板與操控接口裝置相連，并用螺絲加固，操控接口裝置與密封腔相接并加固密封，操控接口裝置中的不銹鋼波紋管可伸縮可彎曲；噴氣靶(進(jìn)氣管和噴嘴)通過操控接口裝置伸入密封腔內(nèi)，并通過密封口裝置進(jìn)行加固和密封；腔內(nèi)噴氣靶的三維調(diào)控即可通過腔外的三維調(diào)控臺(tái)的三維調(diào)控來傳動(dòng)實(shí)現(xiàn)，無需開腔。結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，成本低廉。適用于科學(xué)實(shí)驗(yàn)所需的真空腔內(nèi)的相互作用或醫(yī)學(xué)手術(shù)所需的無菌腔內(nèi)的精密操作領(lǐng)域。
[0022]下面是本實(shí)施例的噴氣靶裝置應(yīng)用在科學(xué)實(shí)驗(yàn)研究中，軟X射線的產(chǎn)生和檢測(cè)實(shí)驗(yàn)。
[0023]如圖4所述的實(shí)驗(yàn)裝置，I是不銹鋼真空腔，操控接口裝置，2是傳動(dòng)板，3是上海聯(lián)誼光纖激光器械廠制造的三維平移臺(tái)，9是進(jìn)氣管，10是噴嘴，20是氬原子儲(chǔ)氣罐(提供作用氣體)，30是真空泵(用于保持腔體的真空度)，40是SOOnm飛秒激光器(用于產(chǎn)生飛秒激光)，50是軟X射線光譜儀(用于光譜分辨)，60是軟X射線攝像頭(用于拍攝光譜并顯示在電腦上)，70是匯聚透鏡(用于聚焦飛秒激光束)，80是800nm飛秒激光束，90是噴嘴10噴出的高速氬氣流(與聚焦后的飛秒激光束26進(jìn)行相互作用產(chǎn)生軟X射線)，100是石英玻璃窗口(用于透過飛秒激光束進(jìn)入真空腔，同時(shí)可密封真空腔)，110是500nm厚的鋁膜(可透過軟X射線，同時(shí)阻擋SOOnm飛秒激光的進(jìn)入)。
[0024]在實(shí)驗(yàn)中，經(jīng)常需要操控噴嘴作用靶的位置來優(yōu)化軟X射線的信號(hào)，包括改變噴氣靶與飛秒激光匯聚焦點(diǎn)之間的前后位置和左右位置，以及調(diào)節(jié)噴氣靶噴口與激光束的距離等，都可以通過腔外的三維調(diào)控臺(tái)來精密傳動(dòng)操控腔內(nèi)噴嘴的三維位置，無需開腔，操作簡單。
[0025]上述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的具體描述，只用于對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步說明，不能理解為對(duì)本實(shí)用新型保護(hù)范圍的限定，本領(lǐng)域的技術(shù)工程師根據(jù)上述實(shí)用新型的內(nèi)容對(duì)本實(shí)用新型作出一些非本質(zhì)的改進(jìn)和調(diào)整均落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種腔外精密可控的腔內(nèi)噴氣靶裝置，包括密封腔(1)，其特征在于:所述密封腔(I)上設(shè)有操控接口裝置，所述操控接口裝置一端設(shè)置有傳動(dòng)板(2)，所述傳動(dòng)板(2)背離操控接口裝置端設(shè)置有三維調(diào)控臺(tái)(3)，所述的操控接口裝置包括接入法蘭(4)、連接法蘭(5)和設(shè)置在接入法蘭(4)和連接法蘭(5)之間的連接鋼管(6)，所述連接鋼管(6)中部位置套接有密封法蘭(7 )，所述密封法蘭(7 )下端面與連接法蘭(5 )之間設(shè)置有可伸縮彎曲的不銹鋼波紋管(8)，且所述的接入法蘭(4)、連接法蘭(5)、密封法蘭(7)、連接鋼管(6)和不銹鋼波紋管(8)通過焊接構(gòu)成一體，所述連接鋼管(6)內(nèi)穿設(shè)有進(jìn)氣管(9)，所述連接鋼管(6 )下端口套接有噴嘴(10 )，所述接入法蘭(4 )上設(shè)置有若干個(gè)用于連接傳動(dòng)板(2 )的第一通孔(41)，且接入法蘭(4)上端面設(shè)置有第一密封圈槽(42)，所述密封法蘭(7)上設(shè)置有若干個(gè)用于連接密封腔(I)的第二通孔(71)，且密封法蘭(7)下端面上設(shè)置有第二密封圈槽(72),所述傳動(dòng)板(2)左端設(shè)置有若干個(gè)用于連接接入法蘭(4)的第三通孔(21)，所述傳動(dòng)板(2)右端設(shè)置有若干個(gè)用于連接三維調(diào)控臺(tái)(3)的第四通孔(22)，所述傳動(dòng)板(2)左端對(duì)準(zhǔn)連接鋼管(6 )上端口開設(shè)有進(jìn)氣管入口( 23 )，在進(jìn)氣管入口( 23 )上端設(shè)置有進(jìn)氣管密封口(24)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種腔外精密可控的腔內(nèi)噴氣靶裝置，其特征在于:所述接入法蘭(4)上均勻分布有六個(gè)第一通孔(41)，所述接入法蘭(4)與傳動(dòng)板(2)左端通過螺絲連接固定。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種腔外精密可控的腔內(nèi)噴氣靶裝置，其特征在于:所述密封法蘭(7 )上均勻分布六個(gè)第二通孔(71 )，所述密封法蘭(7 )與密封腔(I)通過螺絲連接固定。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種腔外精密可控的腔內(nèi)噴氣靶裝置，其特征在于:所述傳動(dòng)板(2)左端繞進(jìn)氣管入口(23)中心均勻設(shè)置有六個(gè)第三通孔(21)，傳動(dòng)板(2)左端設(shè)置有四個(gè)第四通孔(22)，且四個(gè)第四通孔(22)呈矩形狀分布，傳動(dòng)板(2)右端與三維調(diào)控臺(tái)(3)通過螺絲連接固定。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3或4所述的一種腔外精密可控的腔內(nèi)噴氣靶裝置，其特征在于:所述的密封腔(I)為不銹鋼真空腔。
【文檔編號(hào)】H05G2/00GK203775509SQ201420178680
【公開日】2014年8月13日 申請(qǐng)日期:2014年4月14日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月14日
【發(fā)明者】田其立, 尉鵬飛, 王楠, 朱海永, 黃曉虹, 黃運(yùn)米, 金清理, 楊光參 申請(qǐng)人:溫州大學(xué)