本發(fā)明涉及透明導(dǎo)電性膜層疊體及使用該透明導(dǎo)電性膜層疊體得到的觸控面板、以及透明導(dǎo)電性膜的制造方法，是特別對于控制卷曲的產(chǎn)生而言有用的技術(shù)。
背景技術(shù)：
以往，在靜電電容型的觸控面板構(gòu)成中作為透明導(dǎo)電性膜的基材膜廣泛地使用聚對苯二甲酸乙二醇酯(pet)。但是，由于pet膜被拉伸制膜，具有高相位差，因此難以在偏振板的基礎(chǔ)上使用。為此，專利文獻(xiàn)1中，作為低相位差用基材膜提出過使用了環(huán)烯烴系樹脂的透明導(dǎo)電性膜。
在基材膜中使用了環(huán)烯烴系樹脂的情況下，基材非常脆而容易受傷。因而，在利用卷對卷制法搬送時(shí)，需要對基材膜的兩面進(jìn)行硬質(zhì)涂層處理。由于當(dāng)在基材膜的兩面設(shè)置硬質(zhì)涂層時(shí)就會(huì)產(chǎn)生粘連(卷繞膜時(shí)的膜之間的粘貼)，因此需要至少對一面賦予抗粘連性。此外，在利用濺射等將透明導(dǎo)電層成膜、進(jìn)行透明導(dǎo)電層的圖案布線處理時(shí)，需要包含藥液/加熱工序，以單張?bào)w進(jìn)行處置處理，需要在與透明導(dǎo)電層相反一側(cè)的基材膜背面層疊表面保護(hù)膜。
專利文獻(xiàn)2中，公開過透明導(dǎo)電性膜的基材膜、表面保護(hù)膜兩者均為pet膜的層疊體。該情況下，以可以良好地搬送的方式調(diào)整加熱工序所致的各膜的熱收縮率而實(shí)現(xiàn)了卷曲的減少。
現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)1：日本特開2013－114344號公報(bào)
專利文獻(xiàn)2：日本特開2008－251529號公報(bào)
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
發(fā)明所要解決的問題
但是，在作為透明導(dǎo)電性膜的基材膜使用了環(huán)烯烴系樹脂膜、作為表面保護(hù)膜使用了pet基材的情況下，由于兩者的熱收縮率、線膨脹系數(shù)等的差別，在加熱工序后使透明導(dǎo)電膜為上表面時(shí)，透明導(dǎo)電膜面會(huì)產(chǎn)生凹方向的卷曲，在對透明導(dǎo)電性膜層疊體進(jìn)行加工搬送時(shí)，會(huì)產(chǎn)生無法用空氣吸附、或無法通過工序間的門等不佳狀況，難以穩(wěn)定并且連續(xù)地進(jìn)行生產(chǎn)。另外，切割透明導(dǎo)電性膜的卷筒，在其后的加工工序中也會(huì)因無法利用空氣吸附紙張狀的透明導(dǎo)電性膜等而存在困難。
因而，本發(fā)明的目的在于，提供一種透明導(dǎo)電性膜層疊體，在透明導(dǎo)電性膜的基材中使用了環(huán)烯烴系樹脂的情況下，在加熱工序后也能夠控制透明導(dǎo)電性膜層疊體的卷曲，確保其后的工序成品率，并提供使用該透明導(dǎo)電性膜層疊體得到的觸控面板、以及透明導(dǎo)電性膜的制造方法。
用于解決問題的方法
本發(fā)明人等為了解決所述問題進(jìn)行了深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，通過采用下述構(gòu)成，可以實(shí)現(xiàn)上述目的，從而完成了本發(fā)明。
即，本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜層疊體的特征在于，是包含在保護(hù)膜的至少一面?zhèn)染哂姓澈蟿拥某休d膜、和夾隔著所述粘合劑層能夠剝離地層疊的透明導(dǎo)電性膜的透明導(dǎo)電性膜層疊體，所述透明導(dǎo)電性膜具有透明樹脂膜和透明導(dǎo)電膜，所述透明樹脂膜包含非晶性環(huán)烯烴系樹脂，所述透明樹脂膜的厚度為20～150μm，所述承載膜層疊于所述透明導(dǎo)電性膜的不同于透明導(dǎo)電膜的另一面?zhèn)?，所述保護(hù)膜由與形成所述透明樹脂膜的非晶性環(huán)烯烴系樹脂不同的非晶性樹脂形成，所述保護(hù)膜的非晶性樹脂的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為130℃以上，所述保護(hù)膜的厚度為20～150μm，將所述透明導(dǎo)電性膜層疊體切割為20cm×20cm，使透明導(dǎo)電膜為上表面并在130℃加熱90分鐘后的中央部的卷曲值a與4個(gè)角部的平均卷曲值b的差即a－b為0～50mm。而且，本發(fā)明中的各種物性值是利用實(shí)施例等中采用的方法測定的值。
卷曲產(chǎn)生的原因可以認(rèn)為是因?yàn)榄h(huán)烯烴系樹脂與pet的熱收縮率、線膨脹系數(shù)不同。例如，在透明樹脂膜為環(huán)烯烴系樹脂、保護(hù)膜為pet這樣的情況下，在使透明導(dǎo)電膜為上表面時(shí)產(chǎn)生凹方向的卷曲，無法用吸盤吸附，加工變得困難。本發(fā)明中，如上所述，通過在透明樹脂膜中使用非晶性環(huán)烯烴系樹脂、在保護(hù)膜中使用與形成透明樹脂膜的非晶性環(huán)烯烴系樹脂不同的非晶性樹脂，而可以使熱收縮率、線膨脹系數(shù)接近，因此在加熱后的降溫工序中使透明導(dǎo)電膜為上表面時(shí)能夠沿凸方向產(chǎn)生卷曲。由此，在搬送過程中，可以用空氣抽吸透明導(dǎo)電性膜層疊體的保護(hù)膜側(cè)的面，可以穩(wěn)定并且連續(xù)地搬送，而且在加熱工序后也能夠進(jìn)行金屬布線的加工等。
本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜層疊體優(yōu)選所述透明樹脂膜的非晶性環(huán)烯烴系樹脂的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為130℃以上，且具有設(shè)于所述透明樹脂膜的一方的第一主面?zhèn)鹊牡谝还袒瘶渲瑢?、和設(shè)于所述透明樹脂膜的與所述第一主面相反一側(cè)的第二主面?zhèn)鹊牡诙袒瘶渲瑢印Ｍㄟ^將透明樹脂膜的非晶性環(huán)烯烴系樹脂的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度設(shè)為130℃以上，可以使之接近保護(hù)膜中使用的非晶性樹脂的線膨脹系數(shù)及熱收縮率，可以進(jìn)一步控制干燥等加熱工序中的卷曲產(chǎn)生，可以確保其后的工序的成品率。另外，由于在透明樹脂膜的兩面形成有固化樹脂層，因此在透明導(dǎo)電膜的形成、圖案化或向電子設(shè)備的搭載等各工序中難以受傷。
本發(fā)明的所述透明樹脂膜的非晶性環(huán)烯烴系樹脂的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度a與所述保護(hù)膜的非晶性樹脂的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度b的差即a－b的絕對值優(yōu)選為5℃以上。由此，在使透明導(dǎo)電性膜層疊體的透明導(dǎo)電膜側(cè)朝上時(shí)，可以使透明導(dǎo)電性膜層疊體在合適的范圍中沿凸方向卷曲，透明導(dǎo)電性膜層疊體的搬送變得容易，可以確保其后的工序的成品率。
本發(fā)明的所述透明樹脂膜的非晶性環(huán)烯烴系樹脂與所述保護(hù)膜的非晶性樹脂優(yōu)選為構(gòu)成單元彼此不同的樹脂。由此，在使透明導(dǎo)電性膜層疊體的透明導(dǎo)電膜側(cè)朝上時(shí)，可以使透明導(dǎo)電性膜層疊體在合適的范圍中沿凸方向卷曲，透明導(dǎo)電性膜層疊體的搬送變得容易，可以確保其后的工序的成品率。
本發(fā)明的所述保護(hù)膜優(yōu)選包含聚碳酸酯系樹脂，重均分子量為2×104以上，在130℃加熱90分鐘后的熱收縮率在md及td方向上為0.3％以下。由于保護(hù)膜包含聚碳酸酯系樹脂，因此可以得到機(jī)械特性、加工性良好的透明導(dǎo)電性膜層疊體。另外，由于可以抑制透明導(dǎo)電性膜的加熱工序時(shí)的過多的熱收縮，因此可以以更高的水平控制卷曲的產(chǎn)生，能夠穩(wěn)定并且連續(xù)地進(jìn)行透明導(dǎo)電性膜層疊體的加工搬送。
本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜層疊體優(yōu)選在所述第一固化樹脂層與所述透明導(dǎo)電膜之間還具備1層以上的光學(xué)調(diào)整層。由于可以利用光學(xué)調(diào)整層來控制折射率，因此可以減小將透明導(dǎo)電膜圖案化時(shí)的圖案形成部與圖案開口部的反射率差，難以觀看到透明導(dǎo)電膜圖案，在觸控面板等顯示裝置中觀察性變得良好。
本發(fā)明的觸控面板優(yōu)選使用所述透明導(dǎo)電性膜層疊體得到。如果使用所述透明導(dǎo)電性膜層疊體，則可以進(jìn)一步控制干燥等加熱工序中的卷曲產(chǎn)生，透明導(dǎo)電性膜層疊體的加工搬送變得容易，操作效率提高。
本發(fā)明中，還包括一種經(jīng)過加工的透明導(dǎo)電性膜的制造方法，該制造方法包括：對所述透明導(dǎo)電性膜層疊體的透明導(dǎo)電性膜進(jìn)行加熱加工的工序、剝離透明導(dǎo)電性膜與承載膜的工序。根據(jù)本發(fā)明的制造方法，由于可以控制干燥等加熱工序后的卷曲的產(chǎn)生量、朝向，因此加工搬送變得容易，制造效率良好。
本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜的制造方法中，所述進(jìn)行加熱加工的工序優(yōu)選為使所述透明導(dǎo)電膜結(jié)晶化的工序。由此，就可以控制干燥等加熱工序后的卷曲的產(chǎn)生量、朝向，因此加工搬送變得容易，制造效率良好。
本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜的制造方法中，所述進(jìn)行加熱加工的工序優(yōu)選為將利用感光性金屬漿料層形成的金屬布線干燥的工序。由此，就可以控制干燥等加熱工序后的卷曲的產(chǎn)生量、朝向，因此加工搬送變得容易，制造效率良好。
附圖說明
圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的透明導(dǎo)電性膜層疊體的示意性剖視圖。
具體實(shí)施方式
在參照附圖的同時(shí)，對本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜層疊體的實(shí)施方式說明如下。其中，在圖的一部分或全部，省略說明中不需要的部分，另外為了使說明容易而有加以放大或縮小等而圖示的部分。表示上下等位置關(guān)系的術(shù)語是單純地為了使說明容易而使用的，沒有任何限定本發(fā)明的構(gòu)成的意圖。
＜層疊體的結(jié)構(gòu)＞
圖1是示意性地表示本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜層疊體的一個(gè)實(shí)施方式的剖視圖。透明導(dǎo)電性膜層疊體包括：在保護(hù)膜1的至少一面?zhèn)染哂姓澈蟿?的承載膜10、和夾隔著粘合劑層2能夠剝離地層疊的透明導(dǎo)電性膜20。透明導(dǎo)電性膜20優(yōu)選具有透明樹脂膜4、和透明導(dǎo)電膜6，此外還具有設(shè)于透明樹脂膜4的一方的第一主面s1側(cè)的第一固化樹脂層5、和設(shè)于透明樹脂膜4的與第一主面s1相反一側(cè)的第二主面s2側(cè)的第二固化樹脂層3。第一固化樹脂層5和第二固化樹脂層3包含作為抗粘連層或硬質(zhì)涂層發(fā)揮作用的層。而且，承載膜10層疊于透明導(dǎo)電性膜20的第二主面s2側(cè)。
(透明樹脂膜)
透明樹脂膜由非晶性環(huán)烯烴系樹脂形成，具有高透明性及低吸水性的特性。通過采用非晶性環(huán)烯烴系樹脂，就能夠控制透明導(dǎo)電性膜層疊體中所用的透明導(dǎo)電性膜的光學(xué)特性。
作為形成非晶性環(huán)烯烴系樹脂的環(huán)烯烴系樹脂，只要是具有包含環(huán)狀烯烴(環(huán)烯烴)的單體的單元的樹脂，就沒有特別限定。作為透明樹脂膜中所用的環(huán)烯烴系樹脂，可以是環(huán)烯烴聚合物(cop)或環(huán)烯烴共聚物(coc)的任意一種。所謂環(huán)烯烴共聚物，是指作為環(huán)狀烯烴與乙烯等烯烴的共聚物的非結(jié)晶性的環(huán)狀烯烴系樹脂。
作為上述環(huán)狀烯烴，存在有多環(huán)式的環(huán)狀烯烴和單環(huán)式的環(huán)狀烯烴。作為該多環(huán)式的環(huán)狀烯烴，可以舉出降冰片烯、甲基降冰片烯、二甲基降冰片烯、乙基降冰片烯、亞乙基降冰片烯、丁基降冰片烯、雙環(huán)戊二烯、二氫雙環(huán)戊二烯、甲基雙環(huán)戊二烯、二甲基雙環(huán)戊二烯、四環(huán)十二烯、甲基四環(huán)十二烯、二甲基四環(huán)十二烯、三環(huán)戊二烯、四環(huán)戊二烯等。另外，作為單環(huán)式的環(huán)狀烯烴，可以舉出環(huán)丁烯、環(huán)戊烯、環(huán)辛烯、環(huán)辛二烯、環(huán)辛三烯、環(huán)十二碳三烯等。
環(huán)烯烴系樹脂也可以作為市售品獲得，例如可以舉出日本zeon公司制“zeonor”、jsr公司制“arton”、polyplastic公司制“topas”、三井化學(xué)公司制“apel”等。
對于透明樹脂膜，可以對表面預(yù)先實(shí)施濺射、電暈放電、火焰、紫外線照射、電子束照射、化成、氧化等蝕刻處理或底涂處理，提高與形成于透明樹脂膜上的固化樹脂層、透明導(dǎo)電膜等的密合性。另外，也可以在形成固化樹脂層、透明導(dǎo)電膜前，根據(jù)需要利用溶劑清洗、超聲波清洗等，對透明樹脂膜表面進(jìn)行除塵、潔凈化。
透明樹脂膜的厚度優(yōu)選為20～150μm的范圍內(nèi)，更優(yōu)選為30～100μm的范圍內(nèi)，進(jìn)一步優(yōu)選為40～80μm的范圍內(nèi)。如果透明樹脂膜的厚度小于上述范圍的下限，則機(jī)械強(qiáng)度不足，會(huì)有將膜基材制成卷筒狀而連續(xù)地形成透明導(dǎo)電膜的操作變得困難的情況。另一方面，如果厚度大于上述范圍的上限，則會(huì)有無法實(shí)現(xiàn)透明導(dǎo)電膜的耐擦傷性、作為觸控面板用的打點(diǎn)特性的提高的情況。
上述透明樹脂膜的非晶性環(huán)烯烴系樹脂的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(tg)沒有特別限定，優(yōu)選為130℃以上，更優(yōu)選為160℃以上，進(jìn)一步優(yōu)選為180℃以上。由此，就可以控制干燥等加熱工序后的卷曲的產(chǎn)生量、朝向，因此透明導(dǎo)電性膜層疊體的加工搬送變得容易。
形成透明樹脂膜的樹脂膜原材料(層疊固化樹脂層前的、實(shí)施加熱處理等前的膜)的在130℃加熱90分鐘時(shí)的md方向及td方向的熱收縮率優(yōu)選為0.3％以下，更優(yōu)選為0.2％以下，進(jìn)一步優(yōu)選為0.1％以下。由此，就會(huì)成為加工性、透明性等優(yōu)異的透明導(dǎo)電性膜，可以控制干燥等加熱工序后的卷曲的產(chǎn)生量、朝向，因此透明導(dǎo)電性膜層疊體的加工搬送變得容易。
上述透明樹脂膜容易制成面內(nèi)方向的相位差(r0)為0nm～10nmm的低相位差的膜或面內(nèi)方向的相位差為80nm～150nm左右的λ/4膜，在與偏振板一起使用的情況下，能夠使觀察性良好。而且，面內(nèi)相位差(r0)是指在23℃以波長589nm的光測定出的相位差膜(層)面內(nèi)的相位差值。
(固化樹脂層)
固化樹脂層包含設(shè)于透明樹脂膜的一方的第一主面?zhèn)鹊牡谝还袒瘶渲瑢?、和設(shè)于相反一側(cè)的第二主面?zhèn)鹊牡诙袒瘶渲瑢?。由環(huán)烯烴系樹脂形成的透明樹脂膜在透明導(dǎo)電膜的形成、透明導(dǎo)電膜的圖案化或向電子設(shè)備上的搭載等各工序中容易受傷，因此優(yōu)選如上所述地在透明樹脂膜的兩面形成第一固化樹脂層和第二固化樹脂層。
固化樹脂層是通過使固化型樹脂固化而得到的層。作為所用的樹脂，可以沒有特別限制地使用作為固化樹脂層形成后的被膜具有足夠的強(qiáng)度、且具有透明性的樹脂，可以舉出熱固化型樹脂、紫外線固化型樹脂、電子束固化型樹脂、雙組份混合型樹脂等。它們當(dāng)中，適合為在借助紫外線照射的固化處理中可以利用簡單的加工操作高效地形成固化樹脂層的紫外線固化型樹脂。
作為紫外線固化型樹脂，可以舉出聚酯系、丙烯酸系、氨基甲酸酯系、酰胺系、硅酮系、環(huán)氧系等各種樹脂，包含紫外線固化型的單體、低聚物、聚合物等。優(yōu)選使用的紫外線固化型樹脂是丙烯酸系樹脂或環(huán)氧系樹脂，更優(yōu)選為丙烯酸系樹脂。
固化樹脂層也可以包含粒子。通過向固化樹脂層中配合粒子，可以在固化樹脂層的表面形成隆起，可以對透明導(dǎo)電性膜合適地賦予耐粘連性。
作為上述粒子，可以沒有特別限制地使用各種金屬氧化物、玻璃、塑料等具有透明性的粒子。例如可以舉出二氧化硅、氧化鋁、二氧化鈦、氧化鋯、氧化鈣等無機(jī)系粒子、包含聚甲基丙烯酸甲酯、聚苯乙烯、聚氨酯、丙烯酸系樹脂、丙烯酸－苯乙烯共聚物、苯胍胺、三聚氰胺、聚碳酸酯等各種聚合物的交聯(lián)或未交聯(lián)的有機(jī)系粒子或硅酮系粒子等。所述粒子可以適當(dāng)?shù)剡x擇使用1種或2種以上，然而優(yōu)選有機(jī)系粒子。作為有機(jī)系粒子，從折射率的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選丙烯酸系樹脂。
粒子的最頻粒徑可以考慮固化樹脂層的隆起的突出度或與隆起以外的平坦區(qū)域的厚度的關(guān)系等適當(dāng)?shù)卦O(shè)定，沒有特別限定。而且，從對透明導(dǎo)電性膜充分地賦予耐粘連性、并且充分地抑制霧度的升高的觀點(diǎn)考慮，粒子的最頻粒徑優(yōu)選為0.1～3μm，更優(yōu)選為0.5～2.5μm。而且，本說明書中，所謂“最頻粒徑”，是指顯示出粒子分布的極大值的粒徑，可以通過使用流動(dòng)式粒子像分析裝置(sysmex公司制、產(chǎn)品名“fpta－3000s”)，在給定條件下(鞘液：乙酸乙酯、測定模式：hpf測定、測定方式：全計(jì)數(shù))進(jìn)行測定而求出。測定試樣使用了將粒子用乙酸乙酯稀釋為1.0重量％、并用超聲波清洗劑使之均勻地分散的物質(zhì)。
粒子的含量是相對于樹脂組合物的固體成分100重量份優(yōu)選為0.05～1.0重量份，更優(yōu)選為0.1～0.5重量份，進(jìn)一步優(yōu)選為0.1～0.2重量份。如果固化樹脂層中的粒子的含量小，則會(huì)有難以形成足以對固化樹脂層的表面賦予耐粘連性、易滑性的隆起的趨勢。另一方面，如果粒子的含量過大，則由于粒子所致的光散射的原因而使透明導(dǎo)電性膜的霧度變高，會(huì)有觀察性降低的趨勢。另外，如果粒子的含量過大，則在固化樹脂層的形成時(shí)(溶液的涂布時(shí))會(huì)產(chǎn)生條紋，會(huì)有觀察性受損、透明導(dǎo)電膜的電特性變得不均勻的情況。
固化樹脂層可以通過如下操作得到，即，將包含各固化型樹脂和根據(jù)需要加入的粒子、交聯(lián)劑、引發(fā)劑、敏化劑等的樹脂組合物涂布于透明樹脂膜上，在樹脂組合物含有溶劑的情況下，進(jìn)行溶劑的干燥，利用熱、活性能量射線或其雙方的任意一種的應(yīng)用，使之固化而得。熱可以使用空氣循環(huán)式烘箱或ir加熱器等公知的機(jī)構(gòu)，然而并不限定于這些方法。作為活性能量射線的例子有紫外線、電子束、伽馬射線等，沒有特別限定。
固化樹脂層可以使用上述的材料利用濕式涂布法(涂布法)等制膜。例如，在作為透明導(dǎo)電膜形成含有氧化錫的氧化銦(ito)的情況下，如果作為基底層的固化樹脂層的表面平滑，則也可以縮短透明導(dǎo)電膜的結(jié)晶化時(shí)間。從該觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選利用濕式涂布法將固化樹脂層制膜。
固化樹脂層的厚度優(yōu)選為0.5μm～5μm，更優(yōu)選為0.7μm～3μm，最優(yōu)選為0.8μm～2μm。如果固化樹脂層的厚度處于所述范圍中，則可以防止受傷或抑制固化樹脂層的固化收縮中的膜褶皺，可以防止觸控面板等的觀察性惡化。
(透明導(dǎo)電膜)
透明導(dǎo)電膜可以設(shè)于透明樹脂膜上，然而優(yōu)選設(shè)于設(shè)置在透明樹脂膜的一方的第一主面?zhèn)鹊牡谝还袒瘶渲瑢由?。透明?dǎo)電膜的構(gòu)成材料只要包含無機(jī)物，就沒有特別限定，可以合適地使用選自銦、錫、鋅、鎵、銻、鈦、硅、鋯、鎂、鋁、金、銀、銅、鈀、鎢中的至少1種的金屬的金屬氧化物。在該金屬氧化物中，根據(jù)需要，也可以還包含上述組中所示的金屬原子。例如優(yōu)選使用含有氧化錫的氧化銦(ito)、含有銻的氧化錫(ato)等。
透明導(dǎo)電膜的厚度沒有特別限制，然而為了制成使其表面電阻為1×103ω/□以下的具有良好的導(dǎo)電性的連續(xù)被膜，優(yōu)選將厚度設(shè)為10nm以上。如果膜厚過大，則會(huì)帶來透明性的降低等，因此優(yōu)選為15～35nm，更優(yōu)選為20～30nm的范圍內(nèi)。如果透明導(dǎo)電膜的厚度小于10nm，則膜表面的電阻變高，并且難以變?yōu)檫B續(xù)被膜。另外，如果透明導(dǎo)電膜的厚度大于35nm，則會(huì)有帶來透明性的降低等情況。
透明導(dǎo)電膜的形成方法沒有特別限定，可以采用以往公知的方法。具體而言，例如可以例示出真空蒸鍍法、濺射法、離子鍍法等干式法。另外，也可以根據(jù)所必需的膜厚采用適當(dāng)?shù)姆椒?。而且，在第一固化樹脂層上形成透明?dǎo)電膜的情況下，如果利用濺射法等干式法形成透明導(dǎo)電膜，則可以將透明導(dǎo)電膜的表面大致上維持作為其基底層的第一固化樹脂層表面形狀。由此，在第一固化樹脂層中存在隆起的情況下，可以對透明導(dǎo)電膜表面也恰當(dāng)?shù)刭x予耐粘連性及易滑性。
可以根據(jù)需要實(shí)施加熱退火處理(例如在大氣氣氛下、在80～150℃實(shí)施30～90分鐘左右)而使透明導(dǎo)電膜結(jié)晶化。通過使透明導(dǎo)電膜結(jié)晶化，透明導(dǎo)電膜的電阻得到降低，而且透明性及耐久性也提高。使非晶質(zhì)的透明導(dǎo)電膜轉(zhuǎn)變?yōu)榻Y(jié)晶質(zhì)的方法沒有特別限定，可以使用空氣循環(huán)式烘箱、ir加熱器等。
對于“結(jié)晶質(zhì)”的定義，是將在透明樹脂膜上形成有透明導(dǎo)電膜的透明導(dǎo)電性膜在20℃、濃度5重量％的鹽酸中浸漬15分鐘后，進(jìn)行水洗·干燥，利用測試儀對15mm間的端子間電阻進(jìn)行測定，在端子間電阻不超過10kω的情況下，視為ito膜向結(jié)晶質(zhì)的轉(zhuǎn)變結(jié)束。
另外，透明導(dǎo)電膜也可以利用蝕刻等進(jìn)行圖案化。關(guān)于透明導(dǎo)電膜的圖案化，可以使用以往公知的光刻的技術(shù)來進(jìn)行。作為蝕刻液，適合使用酸。作為酸，例如可以舉出氫氯酸、氫溴酸、硫酸、硝酸、磷酸等無機(jī)酸、乙酸等有機(jī)酸、以及它們的混合物、以及它們的水溶液。例如，在靜電電容方式的觸控面板或矩陣式的電阻膜方式的觸控面板中所用的透明導(dǎo)電性膜中，透明導(dǎo)電膜優(yōu)選被圖案化為條紋狀。而且，在利用蝕刻將透明導(dǎo)電膜圖案化的情況下，如果先進(jìn)行透明導(dǎo)電膜的結(jié)晶化，則會(huì)有借助蝕刻的圖案化變得困難的情況。為此，透明導(dǎo)電膜的退火處理優(yōu)選在將透明導(dǎo)電膜圖案化后進(jìn)行。
透明導(dǎo)電膜在層疊后述的承載膜時(shí)可以是非晶質(zhì)也可以是結(jié)晶質(zhì)，如果使用本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜層疊體，則在透明導(dǎo)電膜為非晶質(zhì)的狀態(tài)的透明導(dǎo)電性膜上夾隔著粘合劑層貼合保護(hù)膜后，即使進(jìn)行退火處理轉(zhuǎn)變?yōu)榻Y(jié)晶質(zhì)，也可以控制透明導(dǎo)電性膜層疊體的卷曲產(chǎn)生。
(金屬納米線)
所述透明導(dǎo)電膜可以包含金屬納米線。所謂金屬納米線，是指材質(zhì)為金屬、形狀為針狀或絲狀、直徑為納米尺寸的導(dǎo)電性物質(zhì)。金屬納米線可以是直線狀，也可以是曲線狀。如果使用包含金屬納米線的透明導(dǎo)電層，則通過使金屬納米線成為網(wǎng)絡(luò)狀，由此即使是少量的金屬納米線，也可以形成良好的導(dǎo)電路徑，可以得到電阻小的透明導(dǎo)電性膜。此外，因金屬納米線變?yōu)榫W(wǎng)絡(luò)狀，而可以在網(wǎng)絡(luò)的間隙中形成開口部，得到透光率高的透明導(dǎo)電性膜。
作為構(gòu)成所述金屬納米線的金屬，只要是導(dǎo)電性高的金屬，則可以使用任意的合適的金屬。作為構(gòu)成所述金屬納米線的金屬，例如可以舉出銀、金、銅、鎳等。另外，也可以使用對這些金屬進(jìn)行了鍍覆處理(例如鍍金處理)的材料。其中從導(dǎo)電性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為銀、銅或金，更優(yōu)選為銀。
＜透明導(dǎo)電性膜＞
透明導(dǎo)電性膜具有透明樹脂膜和透明導(dǎo)電膜。在透明導(dǎo)電性膜中，在130℃加熱90分鐘時(shí)的md方向及td方向的熱收縮率優(yōu)選為0.3％以下，更優(yōu)選為0.2％以下，進(jìn)一步優(yōu)選為0.1％以下。由此，就會(huì)成為加工性、透明性等優(yōu)異的透明導(dǎo)電性膜，可以控制干燥等加熱工序后的卷曲的產(chǎn)生量、朝向，因此透明導(dǎo)電性膜層疊體的加工搬送變得容易。
(光學(xué)調(diào)整層)
在第一固化樹脂層與透明導(dǎo)電膜之間，可以還包含1層以上的光學(xué)調(diào)整層。光學(xué)調(diào)整層是在透明導(dǎo)電性膜的透射率升高、或透明導(dǎo)電膜被圖案化的情況下，可以在殘留圖案的圖案部與沒有殘留圖案的開口部之間降低透射率差或反射率差，為了獲得觀察性優(yōu)異的透明導(dǎo)電性膜而使用。
光學(xué)調(diào)整層由無機(jī)物、有機(jī)物、或者無機(jī)物與有機(jī)物的混合物形成。作為形成光學(xué)調(diào)整層的材料，可以舉出naf、na3alf6、lif、mgf2、caf2、sio2、laf3、cef3、al2o3、tio2、ta2o5、zro2、zno、zns、siox(x為1.5以上且小于2)等無機(jī)物、或丙烯酸類樹脂、環(huán)氧樹脂、氨基甲酸酯樹脂、三聚氰胺樹脂、醇酸樹脂、硅氧烷系聚合物等有機(jī)物。特別是，作為有機(jī)物，優(yōu)選使用包含三聚氰胺樹脂和醇酸樹脂和有機(jī)硅烷縮合物的混合物的熱固化型樹脂。光學(xué)調(diào)整層可以使用上述的材料，利用濕式法、凹版涂布法或棒涂法等涂布法、真空蒸鍍法、濺射法、離子鍍法等來形成。
光學(xué)調(diào)整層也可以具有平均粒徑為1nm～500nm的納米微粒。光學(xué)調(diào)整層中的納米微粒的含量優(yōu)選為0.1重量％～90重量％。光學(xué)調(diào)整層中所用的納米微粒的平均粒徑如上所述優(yōu)選為1nm～500nm的范圍，更優(yōu)選為5nm～300nm。另外，光學(xué)調(diào)整層中的納米微粒的含量更優(yōu)選為10重量％～80重量％，進(jìn)一步優(yōu)選為20重量％～70重量％。通過在光學(xué)調(diào)整層中含有納米微粒，可以容易地進(jìn)行光學(xué)調(diào)整層自身的折射率的調(diào)整。
作為形成納米微粒的無機(jī)氧化物，例如可以舉出氧化硅(二氧化硅)、中空納米二氧化硅、氧化鈦、氧化鋁、氧化鋅、氧化錫、氧化鋯、氧化鈮等的微粒。它們當(dāng)中，優(yōu)選氧化硅(二氧化硅)、氧化鈦、氧化鋁、氧化鋅、氧化錫、氧化鋯、氧化鈮的微粒。它們可以單獨(dú)使用1種，也可以并用2種以上。
光學(xué)調(diào)整層的厚度優(yōu)選為10nm～200nm，更優(yōu)選為20nm～150nm，進(jìn)一步優(yōu)選為30nm～130nm。如果光學(xué)調(diào)整層的厚度過小，則難以成為連續(xù)被膜。另外，如果光學(xué)調(diào)整層的厚度過大，則會(huì)有透明導(dǎo)電性膜的透明性降低、容易產(chǎn)生裂紋的趨勢。
(金屬布線)
金屬布線也可以在透明導(dǎo)電膜上形成金屬層后，利用蝕刻來形成，然而優(yōu)選如下所示地使用感光性金屬膏劑來形成。即，金屬布線可以如下得到，在透明導(dǎo)電膜被圖案化后，將后述的感光性導(dǎo)電膏劑涂布于所述透明樹脂膜上或所述透明導(dǎo)電膜上，形成感光性金屬膏劑層，使光掩模層疊或靠近，夾隔著光掩模對感光性金屬膏劑層進(jìn)行曝光，然后進(jìn)行顯影，形成圖案后，經(jīng)過干燥工序而得到。即，利用公知的光刻法等，能夠?qū)崿F(xiàn)金屬布線的圖案形成。
所述感光性導(dǎo)電膏劑優(yōu)選包含金屬粉末等導(dǎo)電性粒子和感光性有機(jī)成分。作為金屬粉末的導(dǎo)電性粒子的材料，優(yōu)選包含選自ag、au、pd、ni、cu、al及pt中的至少1種，更優(yōu)選為ag。金屬粉末的導(dǎo)電性粒子的體積平均粒徑優(yōu)選為0.1μm～2.5μm。
作為金屬粉末以外的導(dǎo)電性粒子，也可以是將樹脂粒子表面用金屬被覆了的金屬被覆樹脂粒子。作為樹脂粒子的材料，包含如前所述的粒子，然而優(yōu)選丙烯酸系樹脂。金屬被覆樹脂粒子是通過使硅烷偶聯(lián)劑與樹脂粒子的表面反應(yīng)、繼而在其表面用金屬被覆而得到。通過使用硅烷偶聯(lián)劑，使樹脂成分的分散穩(wěn)定化，可以形成均勻的金屬被覆樹脂粒子。
感光性導(dǎo)電膏劑也可以還包含玻璃粉。玻璃粉的體積平均粒徑優(yōu)選為0.1μm～1.4μm，且優(yōu)選90％粒徑為1～2μm及最大粒徑為4.5μm以下。作為玻璃粉的組成，沒有特別限定，然而優(yōu)選相對于整體以30重量％～70重量％的范圍配合bi2o3。作為在bi2o3以外可以包含的氧化物，可以包含sio2、b2o3、zro2、al2o3。優(yōu)選為實(shí)質(zhì)上不包含na2o、k2o、li2o的無堿的玻璃粉。
感光性有機(jī)成分優(yōu)選包含感光性聚合物和/或感光性單體。作為感光性聚合物，可以合適地使用選自(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙酸乙酯等具有碳－碳雙鍵的化合物中的成分的聚合物或在包含它們的共聚物的丙烯酸類樹脂的側(cè)鏈或分子末端加成了光反應(yīng)性基團(tuán)的聚合物等。作為優(yōu)選的光反應(yīng)性基團(tuán)可以舉出乙烯基、烯丙基、丙烯?；?、甲基丙烯酰基等烯鍵式不飽和基團(tuán)。感光性聚合物的含量優(yōu)選為1～30重量％、2～30重量％。
作為感光性單體，可以舉出丙烯酸甲酯(メタクリルアクリレート)、丙烯酸乙酯等(甲基)丙烯酸酯系單體、γ－甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、1－乙烯基－2－吡咯烷酮等，可以使用1種或2種以上。
在感光性導(dǎo)電膏劑中，從光的靈敏度的方面考慮，優(yōu)選相對于金屬粉末100重量份，包含5～40重量％的感光性有機(jī)成分，更優(yōu)選為10重量份～30重量份。另外，本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膏劑根據(jù)需要優(yōu)選使用光聚合引發(fā)劑、敏化劑、阻聚劑、有機(jī)溶劑。
金屬層的厚度沒有特別限制。例如，在利用蝕刻等除去金屬層的面內(nèi)的一部分而形成圖案布線的情況下，以使形成后的圖案布線具有所期望的電阻值的方式恰當(dāng)?shù)卦O(shè)定金屬層的厚度。由此，金屬層的厚度優(yōu)選為0.01～200μm，更優(yōu)選為0.05～100μm。如果金屬層的厚度為上述范圍，則圖案布線的電阻不會(huì)過高，設(shè)備的耗電不會(huì)變大。另外，金屬層的成膜的生產(chǎn)效率提高，成膜時(shí)的累積熱量變小，難以在膜中產(chǎn)生熱褶皺。
在透明導(dǎo)電性膜為與顯示器組合使用的觸控面板用的透明導(dǎo)電性膜的情況下，對應(yīng)于顯示部分的部分由被圖案化了的透明導(dǎo)電膜形成，由感光性導(dǎo)電膏劑制作的金屬布線被用于非顯示部(例如周緣部)的布線部分。透明導(dǎo)電膜在非顯示部中也可以使用，該情況下也可以在透明導(dǎo)電膜上形成金屬布線。
＜承載膜＞
承載膜在保護(hù)膜的至少一面?zhèn)染哂姓澈蟿?。承載膜夾隔著粘合劑層與能夠剝離的透明導(dǎo)電性膜貼合，貼合透明導(dǎo)電性膜的第二主面?zhèn)龋纬赏该鲗?dǎo)電性膜層疊體。在將承載膜從透明導(dǎo)電性膜層疊體剝離時(shí)，粘合劑層可以被與保護(hù)膜一起剝離，也可以僅保護(hù)膜被剝離。
(保護(hù)膜)
作為形成保護(hù)膜的材料，優(yōu)選透明性、機(jī)械強(qiáng)度、熱穩(wěn)定性、阻水性、各向同性等優(yōu)異的材料。從控制卷曲的產(chǎn)生量和朝向的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選由與形成所述透明樹脂膜的非晶性環(huán)烯烴系樹脂不同的非晶性樹脂形成。此外，優(yōu)選透明樹脂膜的非晶性環(huán)烯烴系樹脂與所述保護(hù)膜的非晶性樹脂是構(gòu)成單元彼此不同的樹脂。此處，“不同”的定義是指構(gòu)成單元彼此不同的樹脂，然而即使是構(gòu)成單元彼此相同的樹脂，只要重均分子量等不同，就是不同的樹脂。
作為非晶性樹脂，可以舉出前述的環(huán)烯烴系樹脂、聚碳酸酯系樹脂等。從具有優(yōu)異的透光性、耐損傷性、耐水性、良好的機(jī)械性質(zhì)的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選聚碳酸酯系樹脂。作為聚碳酸酯系樹脂，例如可以舉出脂肪族聚碳酸酯、芳香族聚碳酸酯、脂肪族－芳香族聚碳酸酯等。具體而言，例如可以舉出雙酚a聚碳酸酯、支鏈雙酚a聚碳酸酯、發(fā)泡聚碳酸酯、共聚碳酸酯、嵌段共聚碳酸酯、聚酯碳酸酯、聚膦酸酯碳酸酯等。在聚碳酸酯系樹脂中，可以還包含與雙酚a聚碳酸酯共混物、聚酯共混物、abs共混物、聚烯烴共混物、苯乙烯―馬來酸酐共聚物共混物之類的其他成分共混的樹脂。作為聚碳酸酯樹脂的市售品，可以舉出惠和公司制“opcon”、帝人公司制“panlite”等。
對于所述聚碳酸酯系樹脂的重均分子量，從控制玻璃化轉(zhuǎn)變溫度的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為1.5×104～3.5×104，更優(yōu)選為2×104～3×104。
保護(hù)膜可以與透明樹脂膜相同，對表面預(yù)先實(shí)施濺射、電暈放電、火焰、紫外線照射、電子束照射、化成、氧化等蝕刻處理或底涂處理，提高與保護(hù)膜上的粘合劑層等的密合性。另外，也可以在形成粘合劑層前，根據(jù)需要利用溶劑清洗、超聲波清洗等，對保護(hù)膜表面進(jìn)行除塵、潔凈化。
對于保護(hù)膜的厚度，從控制卷曲產(chǎn)生量、朝向而提高操作性等觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選為20～150μm，更優(yōu)選為30～100μm，進(jìn)一步優(yōu)選為40～80μm。
保護(hù)膜的非晶性樹脂的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(tg)優(yōu)選為130℃以上，更優(yōu)選為135℃以上，進(jìn)一步優(yōu)選為140℃以上。由此，就可以控制干燥等加熱工序后的卷曲的產(chǎn)生量、朝向，因此，透明導(dǎo)電性膜層疊體的搬送變得容易。
前述的透明樹脂膜的非晶性環(huán)烯烴系樹脂的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度a與所述保護(hù)膜的非晶性樹脂的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度b的差即a－b的絕對值優(yōu)選為為5℃以上，更優(yōu)選為7℃以上，進(jìn)一步優(yōu)選為10℃以上。由此，就可以控制卷曲產(chǎn)生量、朝向而提高操作性等。另外，在相同的構(gòu)成單元的情況下，優(yōu)選透明樹脂膜的非晶性環(huán)烯烴系樹脂的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度a的一方高于所述保護(hù)膜的非晶性樹脂的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度b。由此，就可以控制卷曲產(chǎn)生量、朝向而進(jìn)一步提高操作性等。
在保護(hù)膜中，在130℃加熱90分鐘時(shí)的md方向及td方向的熱收縮率優(yōu)選為0.3％以下，更優(yōu)選為0.2％以下，進(jìn)一步優(yōu)選為0.1％以下。由此，就會(huì)成為加工性、透明性等優(yōu)異的保護(hù)膜，可以控制干燥等加熱工序后的卷曲的產(chǎn)生量、朝向，因此，透明導(dǎo)電性膜層疊體的搬送變得容易。
(粘合劑層)
作為粘合劑層，只要是具有透明性，就可以沒有特別限制地使用。具體而言，例如可以適當(dāng)?shù)剡x擇使用以丙烯酸系聚合物、硅酮系聚合物、聚酯、聚氨酯、聚酰胺、聚乙烯基醚、乙酸乙烯酯/氯乙烯共聚物、改性聚烯烴、環(huán)氧系、氟系、天然橡膠、合成橡膠等橡膠系等聚合物作為基礎(chǔ)聚合物的材料。特別是從光學(xué)的透明性優(yōu)異、顯示出適度的浸潤性、凝聚性及膠粘性等粘合特性、耐候性和耐熱性等也優(yōu)異的方面考慮，優(yōu)選使用丙烯酸系粘合劑。
粘合劑層的形成方法沒有特別限制，可以舉出向剝離襯墊上涂布粘合劑組合物、在干燥后向基材膜轉(zhuǎn)印的方法(轉(zhuǎn)印法)；向保護(hù)膜上直接涂布粘合劑組合物并干燥的方法(直接涂布法)；或借助共擠出的方法等。而且，在粘合劑中，根據(jù)需要也可以適當(dāng)?shù)厥褂迷稣硠⒃鏊軇?、填充劑、抗氧化劑、紫外線吸收劑、硅烷偶聯(lián)劑等。粘合劑層的優(yōu)選的厚度為5μm～100μm，更優(yōu)選為10μm～50μm，進(jìn)一步優(yōu)選為15μm到35μm。
＜透明導(dǎo)電性膜層疊體＞
透明導(dǎo)電性膜層疊體包含在保護(hù)膜的至少一面?zhèn)染哂姓澈蟿拥某休d膜、和夾隔著所述粘合劑層能夠剝離地層疊的透明導(dǎo)電性膜。而且，承載膜層疊于透明導(dǎo)電性膜的與透明導(dǎo)電膜相反一方的面?zhèn)取?/p>
對于透明導(dǎo)電性膜層疊體，將透明導(dǎo)電性膜層疊體切割為20cm×20cm、使透明導(dǎo)電膜為上表面并在130℃加熱90分鐘后的中央部的卷曲值a與4個(gè)角部的平均卷曲值b的差即a－b優(yōu)選為0～50mm，更優(yōu)選為5～45mm，進(jìn)一步優(yōu)選為10～40mm。由此，就可以控制干燥等加熱工序后的卷曲的產(chǎn)生量、朝向，因此，透明導(dǎo)電性膜層疊體的搬送變得容易。
＜觸控面板＞
從透明導(dǎo)電性膜層疊體剝離下承載膜或保護(hù)膜的透明導(dǎo)電性膜例如可以作為靜電電容方式、電阻膜方式等的觸控面板等電子設(shè)備的透明電極合適地使用。
在觸控面板的形成時(shí)，可以在前述的透明導(dǎo)電性膜的一個(gè)或兩個(gè)主面夾隔著透明的粘合劑層貼合玻璃、高分子膜等其他基材等。例如，也可以形成在透明導(dǎo)電性膜的沒有形成透明導(dǎo)電膜的一側(cè)的面夾隔著透明的粘合劑層貼合透明基體的層疊體。透明基體可以包含1片基體膜，也可以是2片以上的基體膜的層疊體(例如夾隔著透明的粘合劑層層疊的層疊體)。另外，也可以在貼合于透明導(dǎo)電性膜的透明基體的外表面設(shè)置硬質(zhì)涂層。作為透明導(dǎo)電性膜與基材的貼合中所用的粘合劑層，如前所述，只要是具有透明性的物質(zhì)，就可以沒有特別限制地使用。
在將上述的透明導(dǎo)電性膜用于觸控面板的形成的情況下，可以控制干燥等加熱工序后的卷曲的產(chǎn)生量、朝向，透明導(dǎo)電性膜層疊體的搬送變得容易，觸控面板形成時(shí)的處置性優(yōu)異。由此，就能夠以高生產(chǎn)率制造透明性及觀察性優(yōu)異的觸控面板。如果是觸控面板用途以外，則可以用于屏蔽從電子設(shè)備發(fā)出的電磁波或噪音的屏蔽用途。
＜經(jīng)過加工的透明導(dǎo)電性膜的制造方法＞
本發(fā)明的透明導(dǎo)電性膜層疊體的制造方法包括：準(zhǔn)備在透明樹脂膜上形成有透明導(dǎo)電膜的透明導(dǎo)電性膜的工序、和在透明導(dǎo)電性膜的與透明導(dǎo)電膜相反一方的面?zhèn)葕A隔著粘合劑層層疊保護(hù)膜的工序。本發(fā)明的經(jīng)過加工的透明導(dǎo)電性膜的制造方法包括：對所述透明導(dǎo)電性膜層疊體的透明導(dǎo)電性膜進(jìn)行加熱加工的工序、和剝離透明導(dǎo)電性膜與承載膜的工序。作為進(jìn)行加熱加工的工序，優(yōu)選包括使所述透明導(dǎo)電膜結(jié)晶化的工序。作為進(jìn)行加熱加工的工序，優(yōu)選包括將利用感光性金屬漿料層形成的金屬布線干燥的工序。
準(zhǔn)備透明導(dǎo)電性膜的工序中所用的透明導(dǎo)電性膜可以在透明樹脂膜上形成固化樹脂層，然后形成透明導(dǎo)電膜，也可以獲取在透明樹脂膜上形成有固化樹脂層的透明樹脂層疊體，然后在固化樹脂層上形成透明導(dǎo)電膜，還可以獲取在透明樹脂膜上形成有固化樹脂層及透明導(dǎo)電膜的透明導(dǎo)電性膜。對于上述的光學(xué)調(diào)整層，也可以獲取預(yù)先形成的透明樹脂層疊體后使用。
層疊保護(hù)膜的工序是在脫?；纳闲纬烧澈蟿樱瑢⒄澈蟿酉虮Ｗo(hù)膜轉(zhuǎn)印，由此形成承載膜，在透明導(dǎo)電性膜的沒有形成第二固化樹脂層的透明樹脂膜的一側(cè)夾隔著粘合劑層層疊保護(hù)膜。另外，也可以在保護(hù)膜上直接形成粘合劑層。
在所述層疊的工序后，為了使透明導(dǎo)電膜的構(gòu)成成分結(jié)晶化，投入進(jìn)行加熱的工序。對于該加熱溫度，例如優(yōu)選在130℃以下的溫度進(jìn)行，更優(yōu)選為120℃以下，處理時(shí)間例如為15分鐘到180分鐘。其后，蝕刻透明導(dǎo)電膜，利用蝕刻形成圖案部。
本發(fā)明優(yōu)選在透明導(dǎo)電膜被圖案化后，還包括如下的工序，即，將前述的感光性導(dǎo)電膏劑涂布于所述透明樹脂膜上或所述透明導(dǎo)電膜上而形成感光性金屬漿料層，使光掩模層疊或靠近，夾隔著該光掩模對感光性金屬漿料層進(jìn)行曝光，或者利用絲網(wǎng)印刷等得到金屬布線。
對于將利用感光性金屬漿料層形成的金屬布線干燥的工序中的干燥溫度，優(yōu)選在130℃以下的溫度進(jìn)行，更優(yōu)選為120℃以下。
雖然直到用于使透明導(dǎo)電膜結(jié)晶化的加熱工序是利用卷對卷制法處理，然而其后的蝕刻工序、金屬布線工序由于有光掩?；蛲该鲗?dǎo)電膜與金屬布線的圖案處理的對準(zhǔn)等，因此以單張工序進(jìn)行。此時(shí)，為了使透明導(dǎo)電性膜及透明導(dǎo)電性膜層疊體等對準(zhǔn)，需要有固定于吸附板的工序，而由于在上述溫度范圍內(nèi)干燥也可以控制卷曲的量、朝向，因此能夠搬送到固定于吸附板的工序。
[實(shí)施例]
以下，使用實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明，然而只要不超出其主旨，則本發(fā)明并不受以下的實(shí)施例限定。
[實(shí)施例1]
(固化樹脂層形成用的樹脂組合物的制備)
準(zhǔn)備了包含紫外線固化性樹脂組合物(dic公司制商品名“unidic(注冊商標(biāo))rs29－120”)100重量份、和最頻粒徑為1.9μm的丙烯酸系球狀粒子(綜研化學(xué)公司制商品名“mx－180ta”)0.2重量份的、加入了球狀粒子的固化性樹脂組合物。
(固化樹脂層的形成)
將所準(zhǔn)備的加入了球狀粒子的固化性樹脂組合物涂布于厚度為50μm且玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為165℃的聚環(huán)烯烴膜(日本zeon制商品名“zeonor(注冊商標(biāo))”)的一面，形成涂布層。然后，從形成有涂布層的一側(cè)向涂布層照射紫外線，以使厚度為1.0μm的方式形成第二固化樹脂層。在聚環(huán)烯烴膜的另一面，除了未添加球狀粒子以外利用與上述相同的方法，以使厚度為1.0μm的方式形成第一固化樹脂層。
(透明導(dǎo)電膜的形成)
然后，將在兩面形成有固化樹脂層的聚環(huán)烯烴膜投入卷繞式濺射裝置，在第一固化樹脂層的表面，形成厚度為27nm的非晶質(zhì)的銦·錫氧化物層(組成：sno210wt％)。
(承載膜的形成)
利用通常的溶液聚合，以丙烯酸丁酯/丙烯酸＝100/6(重量比)得到重均分子量60萬的丙烯酸系聚合物。相對于該丙烯酸系聚合物100重量份，加入環(huán)氧系交聯(lián)劑(三菱瓦斯化學(xué)制商品名“tetrad-c(注冊商標(biāo))”)6重量份而準(zhǔn)備了丙烯酸系粘合劑。在經(jīng)過脫模處理的pet膜的脫模處理面上涂布如前所述地得到的丙烯酸系粘合劑，在120℃加熱60秒，形成厚20μm的粘合劑層。然后，在厚度為75μm、玻璃化轉(zhuǎn)變溫度145℃的聚碳酸酯樹脂膜(惠和制商品名“opconpc”)的一面夾隔著粘合劑層貼合pet膜。其后，剝下經(jīng)過脫模處理的pet膜，制作出在保護(hù)膜的一面具有粘合劑層的承載膜。
(透明導(dǎo)電性膜層疊體的形成)
在透明導(dǎo)電性膜的沒有形成透明導(dǎo)電膜的面?zhèn)龋瑢盈B承載膜的粘合劑層，形成透明導(dǎo)電性膜層疊體。
[實(shí)施例2]
除了在實(shí)施例1中作為透明樹脂膜使用了玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為136℃的聚環(huán)烯烴膜(日本zeon制商品名“zeonor(注冊商標(biāo))”)以外，利用與實(shí)施例1相同的方法制作出透明導(dǎo)電性膜層疊體。
[實(shí)施例3]
除了在實(shí)施例1中作為保護(hù)膜使用了厚度為50μm且玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為136℃的聚環(huán)烯烴膜(日本zeon制商品名“zeonor(注冊商標(biāo))”)以外，利用與實(shí)施例1相同的方法制作出透明導(dǎo)電性膜層疊體。
[比較例1]
除了在實(shí)施例1中作為保護(hù)膜使用了厚度為50μm且玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為70℃的pet膜(三菱樹脂制商品名“diafoil”)以外，利用與實(shí)施例1相同的方法制作出透明導(dǎo)電性膜層疊體。
[比較例2]
除了在實(shí)施例1中作為保護(hù)膜使用了厚度為188μm且玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為70℃的pet膜(三菱樹脂制商品名“diafoil”)以外，利用與實(shí)施例1相同的方法制作出透明導(dǎo)電性膜層疊體。
＜評價(jià)＞
(1)厚度的測定
對于具有1μm以上的厚度的材料，使用千分尺式厚度計(jì)(三豐公司制)進(jìn)行了厚度的測定。另外，對于小于1μm的厚度或光學(xué)調(diào)整層的厚度(100nm)，使用瞬間多通道測光系統(tǒng)(大塚電子公司制mcpd2000)測定。像ito膜等的厚度那樣納米尺寸的厚度是利用fb－2000a(株式會(huì)社日立high-technologies制)制作出剖面觀察用樣品，剖面tem觀察是使用hf－2000(株式會(huì)社日立high-technologies制)測定出膜厚。將評價(jià)的結(jié)果表示于表1中。
(2)卷曲值的測定
將實(shí)施例及比較例中得到的透明導(dǎo)電性膜層疊體切割為20cm×20cm尺寸。在使ito面朝上的狀態(tài)下進(jìn)行130℃、90分鐘的加熱后，在室溫(23℃)自然冷卻1小時(shí)。其后，在使ito層朝上的狀態(tài)下將樣品放置于水平的面上，測定出中央部的距離水平面的高度(卷曲值a)。另外，分別測定4個(gè)角部的距離水平面的高度，算出其平均值(卷曲值b)。將從卷曲值a中減去卷曲值b的值即a－b作為卷曲量算出。將評價(jià)的結(jié)果表示于表1中。
(3)md方向和td方向的熱收縮率
如下所示地測定出透明導(dǎo)電性膜及保護(hù)膜的各膜的長度方向(md方向)及寬度方向(td方向)的熱收縮率。具體而言，將透明導(dǎo)電性膜及保護(hù)膜切成寬100mm、長100mm(試驗(yàn)片)，在4個(gè)角部以十字形成傷痕，利用cnc三維測定機(jī)(株式會(huì)社三豐公司制legex774)測定出十字傷痕的中央部4點(diǎn)的md方向和td方向的加熱前的長度(mm)。其后，投入烘箱，進(jìn)行了加熱處理(130℃、90分鐘)。在室溫下自然冷卻1小時(shí)后再次利用cnc三維測定機(jī)測定4個(gè)角部4點(diǎn)的md方向和td方向的加熱后的長度(mm)，通過將該測定值代入下式，而求出md方向和td方向的各自的熱收縮率。將評價(jià)的結(jié)果表示于表1中。熱收縮率(％)＝[[加熱前的長度(mm)－加熱后的長度(mm)]/加熱前的長度(mm)]×100，將評價(jià)的結(jié)果表示于表1中。
(4)表面電阻值的測定
依照jisk7194，利用4端子法測定。
(5)玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(tg)的測定
玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(tg)是依照jisk7121的規(guī)定求出。
(6)重均分子量的測定
重均分子量是利用凝膠滲透色譜(gpc)進(jìn)行了測定。gpc的測定條件如下所示。
測定機(jī)器：tosoh制的商品名hlc－8120
gpc柱：tosoh制的商品名g4000hxl+商品名g2000hxl+商品名g1000hxl(各7.8mmφ×30cm、共計(jì)90cm)
柱溫：40℃
洗脫液：四氫呋喃
流速：0.8ml/分鐘
入口壓力：6.6mpa
標(biāo)準(zhǔn)試樣：聚苯乙烯
[表1]
(結(jié)果及考察)
實(shí)施例1～3的透明導(dǎo)電性膜層疊體中，對于卷曲產(chǎn)生的朝向，在使透明導(dǎo)電膜朝上的情況下是凸方向，可以將卷曲產(chǎn)生量控制為20～35mm。另一方面，比較例1的透明導(dǎo)電性膜層疊體中，在使透明導(dǎo)電膜為朝上的情況下，膜沿凹方向大幅度卷曲，無法測定4個(gè)角部的卷曲值。比較例2的透明導(dǎo)電性膜層疊體中，對于卷曲產(chǎn)生的朝向，在使透明導(dǎo)電膜朝上的情況下是凹方向，大幅度地產(chǎn)生卷曲，端部翹起。當(dāng)像比較例1～2那樣在使透明導(dǎo)電膜朝上的情況下形成凹方向的卷曲時(shí)，就無法用吸盤吸附，難以進(jìn)行加工。
符號的說明
1保護(hù)膜，
2粘合劑層，
3第二固化樹脂層，
4透明樹脂膜，
5第一固化樹脂層，
6透明導(dǎo)電膜，
10承載膜，
20透明導(dǎo)電性膜，
s1第一主面，
s2第二主面