專利名稱:具有聯(lián)合增稠劑的帶水光刻膠的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及光刻膠,諸如那些用于形成印刷線路版的光刻膠,而更具體地涉及帶水的、可用液體的、并可接觸成象的光刻膠。作為抗蝕劑的可照相成象的組合物用于形成印刷線路、印刷板,焊料蒙版等,至今已用了一段時(shí)間。最早的光刻膠是帶溶劑的并可用溶劑顯影的。帶水可顯影的抗蝕劑的開發(fā),在減少溶劑在工作場(chǎng)所和周圍環(huán)境的直接散發(fā)顯示了一種進(jìn)步。繼續(xù)著重于減少工作場(chǎng)所和周圍環(huán)境兩者中的有機(jī)溶劑,促進(jìn)了對(duì)帶水光刻膠在配方和作為水液體應(yīng)用的研究。
美國(guó)專利U.S.5,045,435說(shuō)明一種可在堿性水質(zhì)溶液內(nèi)顯影的帶水光刻膠組合物,在此作為參考。該組合物包括多功能單體,光致引發(fā)劑和水不溶的羧化的丙烯酸共聚物乳膠。為了穩(wěn)定該組合物和調(diào)節(jié)其粘度,該專利教導(dǎo)用諸如氨、其他的胺或氫氧化鈉的一種堿以中和至少25%的乳膠聚合物。
在美國(guó)專利U.S.5,045,435的組合物要求高度中和,它具有若干缺點(diǎn)。當(dāng)中和劑,如胺和帶有酸官能的聚合物反應(yīng)時(shí),產(chǎn)生水溶性鹽。因?yàn)樗械闹泻蛣┰诟稍锲陂g是不除去的,該留下的鹽成為潛在的破壞性的化學(xué)腐蝕的部位。因此,要求減少中和劑的數(shù)量以提高化學(xué)穩(wěn)定性。且當(dāng)胺類或氨作中和劑時(shí),具有伴隨著的氣味,胺類具有一種特別的魚腥味。中和劑伯胺和氨是高反應(yīng)性的,導(dǎo)致在涂刷前清漆粘度的變動(dòng),該粘度變動(dòng)如此之大為每周3000cps。
美國(guó)專利U.S 5,045,435說(shuō)明在它的組合物中需要實(shí)質(zhì)地中和,同時(shí)也知道添加增稠劑不能得到臨界的流變性。
本發(fā)明的目的在于提供一種帶水的光學(xué)成象組合物,在實(shí)質(zhì)上可降低用以中和乳膠聚合物的數(shù)量。
按照本發(fā)明,一種帶水可照相成象的組合物包括一種含水組合物,它含有(A)約30—80%重量的具有酸官能度的乳膠粘合劑聚合物,例如,羧酸官能度或磺酸官能度,其酸值約在50—250之間,(B)約20—50%重量之間的α-、β-乙烯鏈的不飽和單體,(C)約0.1%—25%,較佳至少約在1%—25%重量的光致引發(fā)劑或能產(chǎn)生游離基的光致引發(fā)劑化學(xué)體系;以及(D)約在1~40%重量之間的聚醚和聚氨酯聯(lián)合的增稠劑,其重量百分?jǐn)?shù)為以組分A—D總重為基準(zhǔn)。該乳膠粘合劑聚合物的酸含量可不用堿中和或用堿中和它的羧酸官能度高至約20%。
用于本發(fā)明的乳膠粘合劑聚合物典型地通過(guò)α-、β-不飽和單體諸如乙烯基、丙烯酸酯或苯乙烯單體的乳液聚合制備。為了提供在約50—250,較佳地在至少約100的酸值采用足夠的酸官能的單體。典型的乳液聚合過(guò)程和合適的乳液的例子在美國(guó)專利U.S.3,929,743可獲得,結(jié)合在此作為參考。合適的乳液也可從商業(yè)上得到,如NeocrylRCL—340C 40%固體)可從ICI Resins U.S.公司購(gòu)買到,AcrysolRI—2074(46%固體)可以Rhom和Haas公司購(gòu)買到。
用于形成酸官能的粘合劑聚合物的合適的酸官能的單體具有如下結(jié)構(gòu)式 式中R1代表氫原子或甲基,R2代表(CH2)n,其中m為1—6的整數(shù),R3代表具有1—6個(gè)碳原子的鏈烯基或亞苯基,以及R4和R5是R1或OH,條件是R4和R5兩者,不能同時(shí)為OH。
合適的酸官能的單體的一些具體例子為丙烯酸、甲基丙烯酸、馬來(lái)酸、富馬酸、檸康酸、2-丙烯酰胺基-2-甲基丙烷磺酸、2-羥乙基丙烯酰磷酸酯,2-羥丙基丙烯酰磷酸酯、2-羥基-α-丙烯酸磷酸酯等。這類酸官能的單體的一種或多種可用于形成該粘合劑聚合物。酸官能的單體可與非酸官能的單體共聚,諸如,丙烯酸酯類如丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸羥乙酯、甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸辛酯、甲基丙烯酸-2-乙氧基乙酯、丙烯酸-叔丁酯、二丙烯酸-1,5-戊二醇酯、丙烯酸-N,N-乙氨基乙酯、二丙烯酸乙二醇酯、二丙烯酸1,3-丙二醇酯、二丙烯酸癸二醇酯、二甲基丙烯酸癸二醇酯、二丙烯酸1,4-環(huán)己二醇酯、二丙烯酸2,2-二羧甲丙烷酯、二丙烯酸甘油、二丙烯酸三丙二醇酯、三丙烯酸丙三醇酯,二甲基丙烯酸2,2-二(對(duì)-羥苯基)-丙烷酯、二丙烯酸三乙二醇酯、二甲基丙烯酸的聚氧乙基-2,2-二(對(duì)-羥苯基)-丙烷酯、二甲基丙烯酸三乙二醇酯,三丙烯酸聚氧丙基三羥甲基丙烷酯、二甲基丙烯酸乙二醇酯、二甲基丙烯酸丁二醇酯、二甲基丙烯酸1,3-丙烷二醇酯、三甲基丙烯酸1,2,4-丁三醇酯、二甲基丙烯酸2,2,4-三甲基-1,3-戊烷二醇酯、三甲基丙烯酸季戊四醇酯、二甲基丙烯酸1-苯基1,2-乙烯酯,四甲基丙烯酸季戊四醇酯,三甲基丙烯酸三羥甲基丙烷酯、二甲基丙烯酸1,5-戊二醇酯以及二甲基丙烯酸1,4-苯二醇酯;苯乙烯以及取代的苯乙烯,諸如,2-甲基苯乙烯和乙烯基甲基和乙烯基酯,諸如,丙烯酸乙烯酯和甲基丙烯酸乙烯酯以提供所需的酸值。
所以該可照相成象的組合物為可接觸成象的,即,在干燥到不粘狀態(tài)的,該乳膠粘合劑聚合物的玻璃轉(zhuǎn)化溫度(Tg)較佳地,至少約為60℃(用差示掃描熱量計(jì)(DSC)以20℃/分測(cè)定)。該聚合物的平均分子量在約500—200,000之間(用聚苯乙烯作標(biāo)準(zhǔn)通過(guò)凝膠滲透色譜法(GPS)測(cè)定)。
為了產(chǎn)生影象,負(fù)性作用的可照相成象組合物含有可用光聚合的單體,具體有α-,β-乙烯鏈的不飽和的單體,包括一種多功能單體的基本部分。有用的單體包括列于上述的那些用于形成粘合劑聚合物。特別合適的單體包括多功能的丙烯酸單體,諸如,二丙烯酸四乙二醇酯(TEGDA),三丙烯酸三羥甲基丙烷酯(TMPTA),丁二醇二甲基丙烯酸酯(BDDMA)和季戊四醇三丙烯酸酯(PETA)。該單體部分可以包括水溶性和水不溶性單體兩者;然而該單體部分應(yīng)包括足夠高的水不溶性部份的比例(于20℃在水中的溶解度低于約0.3g/100ml)的單體,即,約高于20摩爾%,以使單體作為整體在水中是不溶的。
將該單體曝光于光化學(xué)的幅照中以引發(fā)聚合,該可照相成象的組合物含有一種合適的光致引發(fā)劑或光致引發(fā)化學(xué)體系。合適的光致引發(fā)劑,包括苯偶姻醚類、苯偶??s酮類,乙酰苯類、二苯酮類以及與胺類相關(guān)的化合物。較佳的引發(fā)劑為噻噸酮類,如,2-異丙基噻噸酮類,(尤其是與一種胺在一起使用)。
根據(jù)本發(fā)明,采用一種聚醚聚氨酯聯(lián)合的增稠劑以達(dá)到含水可照相成象組合物的粘度調(diào)節(jié)和穩(wěn)定性。聚醚聚氨酯增稠劑是具有至少二個(gè)憎水鏈段的聚合物,它們是憎水異氰酸酯的殘基,通常異氰酸酯具有2個(gè)或更多的異氰酸酯官能度,及至少一個(gè)親水的聚醚鏈段通過(guò)氨基甲酸乙酯鏈連結(jié)該憎水鏈段。作為聯(lián)合增稠劑和嵌段聚合物可以取各種形式包括ABA,(B)n,精制聚合物(Star Polymers)以及諸如此類。聚醚鏈段由聚(氧化鏈烯)鏈段形成,由諸如,氧化丙烯和氧化乙烯單體形成。為了使親水性是充分的,一般需要聚氧化鏈烯鏈段中約3摩爾%為(氧化乙烯)的殘基物。典型地異氰酸酯殘基的憎水性部分為烷基、環(huán)烷基或芳香部分。聚醚聚氨酯聯(lián)合的增稠劑和它們的功能,作為例子說(shuō)明在A.J.M.Knoef和H.Slingerland的“含水涂料系統(tǒng)的氨基甲酸酯基的聚合增稠劑”,JOCCA,1992,9,P335—338中;J.H.Bieleman等的“(PolymersPaint color Journal)”1986,V,176(4169)P450—460中,以及A.J.Whitton和R.E.Van Doren和“Polymers Paint colorJournal”1991,V,181(4286)P,374—377中。特別合適的聚醚聚氨酯聯(lián)合的增稠劑和它們的合成說(shuō)明在Emmons等的美國(guó)專利U.S.4,079,028中,結(jié)合在此作為參考。合適的聚醚聚氨酯聯(lián)合的增稠劑也說(shuō)明在HOY等的美國(guó)專利US4,426,485和Rnffner等的美國(guó)專利U.S.4,743,698中,同時(shí)結(jié)合在此作為參考。合適的商業(yè)上可購(gòu)買到的聯(lián)合的增稠劑為DSX 1514(Henkel)和QR 708(Rohm和Haas)。
除了增稠該組合物外,該聯(lián)合的增稠劑作為一種表面活性劑,乳化該單體組分。同時(shí)該聯(lián)合的增稠劑幫助穩(wěn)定該粘合劑聚合物的乳膠乳濁液。
通過(guò)采用聚醚聚氨酯聯(lián)合的增稠劑,減少所需的的粘合劑聚合物乳膠的中和。在某些情況不需要中和。在另一些情況下,需中和該粘合劑聚合物的當(dāng)量酸官能度高至約20%。典型地,被加入的中和的堿至少約為粘合劑聚合的酸官能度的2%。中和可用氨、伯、仲或叔胺或氫氧化物完成。較佳的堿是帶有羥官能的叔胺。加入的聯(lián)合增稠劑至少可代替某些中和劑以使得更光滑及均勻涂層。該改進(jìn)的涂層質(zhì)量將使在涂層中的微弱的斑點(diǎn)或針眼引起的線路板潛在的缺點(diǎn)減少到最小程度。另外,在采用滾筒涂覆時(shí),該可照相成象的組合物由于聯(lián)合的增稠劑,在較低的滾筒壓力下產(chǎn)生一種較光滑的涂層。較低的滾筒壓力導(dǎo)致橡皮滾筒壽命的延長(zhǎng)。
減少中和劑提高了使用和干燥的可照相成象的組合物層的化學(xué)穩(wěn)定性。當(dāng)所用的氨或胺減少時(shí),氣味也減少了。聯(lián)合增稠劑降低含水可照相成象的組合物的粘度變動(dòng)。即使在高剪切下,粘度趨于保持穩(wěn)定。
除了列于上面的組分A—D外,可以采用較少數(shù)量的(一般少于A—D總量的約10%重量)的傳統(tǒng)的添加劑,包括消沫劑,抗氧劑,染(顏)料,粘結(jié)促進(jìn)劑、滑動(dòng)劑、表面張力改進(jìn)劑以及附加的表面活性劑。如果采用表面活性劑,陰離子型的或非離子型的為較佳的??梢约尤爰s高至5%重量的高沸點(diǎn)溶劑,諸如可以加入丙二醇單甲醚作為一種凝聚劑。
一種特別需要的兼有優(yōu)異潤(rùn)滑性能而無(wú)泡沫的表面活性劑為具有以下通式的非離子的氟代鏈烷氧乙烯加成物CF3-(CF2)n-Y—Xm—Z式中n=0-20,Y=SO2-N(C1-C10烷基),x=CH2-CH2O或CH(CH3)-CH2-Om=0-20以及z=CH2-CH2-OH或CH(CH3)-CH2-OH這類表面活性劑的一個(gè)例子為購(gòu)自3M公司的商標(biāo)為FluoradFC170—C。典型地采用的表面活性劑在可照相成象的組合物含固體的量約0.5—3.0%重量的水平。
在制備本發(fā)明的帶水可照相成象的組合物的較佳方法中的那些組分,諸如,引發(fā)劑、抗氧劑和染(顏)料與憎水相極相容的單體組分混合以產(chǎn)生一單體基本組分,而那些與含水相極相容的乳膠聚合物,諸如消沫劑、中和劑和聯(lián)合的增稠劑混合以形成一種聚合物混合料。將憎水相與聚合物混合物混和以形成一種水包憎水相的乳濁液。接著,將高沸點(diǎn)溶劑,表面活性劑,包括滑動(dòng)劑、表面張力改進(jìn)劑以及粘結(jié)促進(jìn)劑加入。
一般地,最終帶水組合物約為含20—40%重量的固體。在帶水組合物中,粘合劑約為10—30%重量,單體約為3—20%重量,引發(fā)劑約為0.3—10%重量,以及增稠劑約為1.5—20%重量。
該組合物可以通過(guò)本領(lǐng)域中已知的涂覆帶溶劑的可照相成象的組合物的任何涂覆系統(tǒng)涂覆,例如滾筒涂覆、浸涂、噴涂或幕涂(curtain coating)。
本發(fā)明的組合物可以以傳統(tǒng)方式施用,既可作為液體組合物直接施用于金屬覆蓋的空白層壓片,或聚合物的支持片以形成干膜。涂覆后,將組合物干燥以除去水份和揮發(fā)物,例如,氨或胺,水等,借此可使溶解的聚合物在酸性或中性含水介質(zhì)中不溶解。當(dāng)可照相成象的組合物干燥時(shí),該系統(tǒng)凝聚成一張連續(xù)的膜。干燥較佳地在多少有些提升溫度下進(jìn)行,以趕走水和氨或揮發(fā)胺兩者,較佳地,干燥在約90℃溫度下進(jìn)行。
在形成的一種干膜中,將帶水組合物施用于柔性支撐片上,如,聚對(duì)苯二甲酸二乙酯,然后干燥以除去水和揮發(fā)物。接著將保護(hù)層,如,聚乙烯施用于可照相成象的組合物層上,將干燥膜軋制成卷。在干燥的可照相成象的組合物層中,已發(fā)現(xiàn)在某些情況下,需要剩留約為1—2%重量的殘余水含量(相對(duì)于可照相成象的組合物層的固體而言)。當(dāng)在其層疊時(shí),該殘余水的作用是使該可照相成象的組合物層適應(yīng)諸如鍍銅箔板基材表面的缺陷。
工藝是按照傳統(tǒng)的方法加工的。在一種典型的工藝中,可照相成象的組合物層,既可從液體組合物形成也可作為一層從干膜轉(zhuǎn)移的層,該組合物層關(guān)系施用于鍍銅模板的銅表面。通過(guò)合適的圖形,將可照相成象的組合物層曝光于光幅照之下。在曝露于光幅照的曝光區(qū)域中的單體聚合,產(chǎn)生一種阻止顯影的交聯(lián)結(jié)構(gòu)。接著,將組合物在稀堿含水溶液例如,1%NaHCO3溶液中顯影。堿溶液與粘合劑聚合物的羧酸基團(tuán)反應(yīng)而引起鹽的生成,使它們可溶和可除去。在顯影后,可用一種蝕刻劑從被除去抗蝕劑的這些區(qū)域除去銅。由此形成一種印刷線路。然后采用一種合適的剝離劑將留下的抗蝕劑除去。
根據(jù)本發(fā)明不僅可以提供帶水的基本的成象光刻膠,而且可以同時(shí)提供形成結(jié)合屏膜的組合物。所述的結(jié)合屏膜是一種硬的耐久的層,它至少符合對(duì)質(zhì)量/適應(yīng)性的總的標(biāo)準(zhǔn)一覽表(Institute forInterconnecting Circuits)IPC—SM—840B,表12規(guī)定耐磨性最低要求。為了變硬和耐久通常要求將可照相成象的組合物可在曝光后固化,顯影以及模板的加工,例如通過(guò)熱和/或紫外固化的方法。提供一種后固化的方法,使在骨架中具有游離-OH基團(tuán)的粘合劑聚合物被固化,作為例子,通過(guò)與諸如,馬來(lái)胺/甲醛樹脂和脲/甲醛樹脂類的氨基塑料樹脂交聯(lián)。另外,該可照相成象的組合物可以含有一種可相容的環(huán)氧樹脂和一種用作環(huán)氧樹脂的固化劑。按照本發(fā)明帶水的可照相成象的組合物發(fā)現(xiàn)施用于銅基材后顯示優(yōu)異的適用期并可以保持在鍍銅箔材上數(shù)天。
本發(fā)明將通過(guò)以下具體實(shí)施例作出更詳細(xì)的說(shuō)明。實(shí)施例1—9帶水的可照相成象的組合物按下表1進(jìn)行配方制造。數(shù)量是以克表示,2.3克中和劑表示約15%中和;4.5克中和劑表示約30%中和。因此,實(shí)施例3—6為根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例;實(shí)施例1—2和7—9為對(duì)比實(shí)施例。性能數(shù)據(jù)示于下表2。當(dāng)不良性能時(shí)記錄為“n.a.”不再作進(jìn)一步的加工條件。在表1中的“單體基本組分”參見表3;將所有的物料混合在一起,過(guò)濾以及接著加入含水溶液部分。
表1實(shí)施例配方名稱 成份類型 #1 #2#3#4 #5Neocryl CL—340(40%固體) 聚合物100.0 100.0 100.0 100.0 100.0DMAMP—80 叔胺中和劑 4.50.0 0.0 0.02.3AMP—95(Angus)伯胺中和劑 0.04.5 0.0 0.00.0DSX—1514*Henkel) 聯(lián)合的增稠劑0.00.0 4.5 9.02.3去離子水 主要溶劑 100.0 100.0 100.0 100.0 100.0BYK-033(BYK/Chemie) 消沫劑 1.01.0 1.0 1.01.0單體基本組分 見表3 20.5 20.5 20.5 20.5 20.5Q4-3667(Dow Corning) 滑動(dòng)劑 0.45 0.45 0.45 0.45 0.45Fluorad FC170-C(3M) 表面張力改進(jìn)劑 1.01.0 1.0 1.01.0Texanol(Eastman) 凝聚溶劑4.54.5 4.5 4.54.5
表1(續(xù))配方名稱 成份類型 #6 #7 #8 #9Neocryl CL—340(40%固體) 聚合物100.0 100.0 100.0 100.0DMAMP—80 叔胺中和劑 0.00.02.30.0AMP—95(Angus)伯胺中和劑 2.30.00.02.3DSX—1514*Henkel) 聯(lián)合的增稠劑2.30.00.00.0去離子水 主要溶劑 100.0 100.0 100.0 100.0BYK—033(BYK/Chemie) 消沫劑 1.01.01.01.0單體基本組分 見表3 20.5 20.5 20.5 20.5Q4—3667(Dow Corning) 滑動(dòng)劑 0.45 0.45 0.45 0.45Fluorad FC170-C(3M) 表面張力改進(jìn)劑 1.01.01.01.0Texanol(Eastman) 凝聚溶劑4.54.54.54.5Neocryl CL—340是一種具有酸值約160的苯乙烯/丙烯酸聚合物。Q4—3667(Dow)是一利以聚醚改性的二甲基硅氧烷和環(huán)二甲基硅氧烷80∶20的混合物。
表2配方名稱實(shí)施例NAME #1 #2#3 #4DMAMP—80 4.50.0 0.0 0.0AMP—95(Angus) 0.04.5 0.0 0.0DSX—1514(Henkel) 0.00.0 4.5 9.0使用的結(jié)果粘度(初始) 2300cps2800cps 3500cps 5000cps粘度(保持一周) 1900cps 800cps 3500cps 5000cps氣味強(qiáng)魚腥氣中等氨味 無(wú) 無(wú)乳濁液穩(wěn)定性 中等 中等至良 良 很好基材的沾污 中等沾污中等沾污 不沾污 不沾污抗堿性 差 差好 好涂層缺點(diǎn) 10空穴/呎25空穴/呎20空穴/呎20空穴/呎2涂層均勻性 嚴(yán)重皺 中等皺稍微皺 無(wú)皺顯影時(shí)間 25秒27秒 29秒29秒曝光速度 銅6 銅7銅8 銅8線路圖形疵點(diǎn)5疵點(diǎn)/呎25疵點(diǎn)/呎21疵點(diǎn)/呎20疵點(diǎn)/呎2
表2(續(xù))配方名稱 實(shí)施例NAME#5 #6 #7 #8#9DMAMP—80 2.3 0.0 0.0 2.3 0.0AMP—95(Angus) 0.0 2.3 0.0 0.0 2.3DSX—1514(Henkel) 2.3 2.3 0.0 0.0 0.0使用的結(jié)果粘度(初始) 2900cps 3200cps 0cps0cps 0cps粘度(保持一周) 2700cps 2700cps 0cps0cps 0cps氣味 稍有魚腥味 稍有氨味 無(wú) 稍有魚腥氣無(wú)乳濁液穩(wěn)定性中等不良良 差 差 差至中等基材的沾污 稍微沾污 稍微沾污 n.a.n.a. n.a.耐堿性 中等-良 中等-良 n.a.n.a. n.a.涂層缺點(diǎn)2空穴/呎22空穴/呎2n.a.n.a. n.a.涂層均勻性 中等皺 稍微皺 n.a.n.a. n.a.顯影時(shí)間 27秒 28秒n.a.n.a. n.a.曝光速度 銅7 銅8n.a.n.a. n.a.線路圖形疵點(diǎn)3疵點(diǎn)/呎24疵點(diǎn)/呎2n.a.n.a. n.a.
表3單體基本組分 組分類型 克/配方乙氧基化的TMPTA 多功能丙烯酸酯17.6(3摩爾乙氧基化)Modaflow流動(dòng)添加劑 0.05抗氧劑2246 抗氧化劑 0.03Quantacure ITX光敏劑0.59(噻噸酮)Quantacure 光致引發(fā)劑 1.49(3°胺)Baso蘭688背底染料 0.09三苯膦抗氧劑0.5苯并三唑粘合促進(jìn)劑 0.25工藝條件涂覆—Burkle(單面)滾筒涂覆機(jī),22螺紋/吋基材—鍍銅曝光—HMW ORC,301B型,重氮型原圖顯影—1%Na2CO3·H2O,85F,2x轉(zhuǎn)效點(diǎn)蝕刻劑—3N CuCl2,140F,1.3x最小浸蝕剝離—3%NaOH,130F使用性能說(shuō)明粘度—在Brookfield粘度計(jì)測(cè)定初始和于70°F一周后的粘度氣味—考察涂覆后和干燥前的氣味乳濁液穩(wěn)定性—基于清漆混合物全部的均勻性來(lái)額定穩(wěn)定性抗 堿 性—于pH9.2堿性侵蝕后測(cè)定抗蝕性涂 層 缺 點(diǎn)—在滾筒涂覆后計(jì)數(shù)涂層中的斑點(diǎn)(細(xì)小斑點(diǎn))的數(shù)目涂 層 均勻性—涂覆后立即觀察均勻性顯 影 時(shí) 間—二次所需的時(shí)間數(shù)(以除去未曝光的光刻膠)感 光 速 度—采用Stouffer 21步驟,以測(cè)定最后保持階段(每一步驟用V2改善)(注較高的階段將說(shuō)明聚合的較高程度)線路圖形缺點(diǎn)—測(cè)定短路和開路的總數(shù)(注原案包含4mil線和4mil的空間)
權(quán)利要求
1.一種可經(jīng)得起在水中照相成象的組合物,其特征所述的組合物包括(A)約30-80%(重量)的具有酸值約在50-250之間的羧酸官能度的乳膠粘合劑聚合物;(B)含有約20-50%(重量)的α-、β-乙烯鏈的不飽和單體的一種組分;(C)約O.1-25%(重量)的能產(chǎn)生游離基的光效引發(fā)劑或光致劑化學(xué)體系以及;(D)約1-40%(重量)的聚醚聚氨酯聯(lián)合的增稠劑,所述的重量百分?jǐn)?shù)系基于組分A-D的總重,所述的乳膠粘合劑聚合物的羧酸含量系不用堿中和或者用堿中和它的羧酸官能高至約20%。
2.如權(quán)利要求1所述的可照相成象組合物,其特征在于分散在一種含水介質(zhì)中。
3.一種待沖膠片(干片),其特征在于包括以聚合物支持的薄片以及在其上有一層權(quán)利要求1的可照相成象的組合物。
4.如權(quán)利要求1所述的可照相成象的組合物,其特征在于至少含有基于組分A-D的總重的約2%(重量)的所述的聯(lián)合的增稠劑。
5.如權(quán)利要求1所述的可照相成象的組合物,其特征在于至少具有約1%(重量)的所述的光致引發(fā)劑化學(xué)體系。
6.如權(quán)利要求1所述的可照相成象的組合物,其特征在于含有約基于組份A-D總重的2%(重量)的光致引發(fā)劑或光致引發(fā)劑化學(xué)體系。
全文摘要
一種帶水的可照相成像的組合物或光刻膠包括一種具有足夠羧酸官能度的乳膠粘合劑聚合物以提供在堿性含水溶液中可以顯影;一種可光聚合的單體組分、光致引發(fā)劑和支承該單體組分,在含水介質(zhì)中乳液的聚醚聚氨酯聯(lián)合的增稠劑,被中和的乳膠粘合劑聚合物的羧酸官能度約0-20%。
文檔編號(hào)H05K3/28GK1118886SQ94116129
公開日1996年3月20日 申請(qǐng)日期1994年9月16日 優(yōu)先權(quán)日1994年1月25日
發(fā)明者羅伯特·K·巴爾 申請(qǐng)人:莫頓國(guó)際股份有限公司