0. 45 μ m的過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾，得到非感光性的樹(shù)脂組合 物（H19)。
[0156] (制造例20)樹(shù)脂組合物（H20)的制造 使用聚苯并噁唑前體（P3)來(lái)替代聚酰亞胺前體（P2)，除此之外進(jìn)行與制造例18同樣 的操作，得到非感光性的樹(shù)脂組合物（H20)。
[0157] (制造例21)樹(shù)脂組合物（H21)的制造 使用聚酰胺酰亞胺前體（P4)來(lái)替代聚酰亞胺前體（P2)，除此之外進(jìn)行與制造例18同 樣的操作，得到非感光性的樹(shù)脂組合物（H21)。
[0158] (制造例22)樹(shù)脂組合物（H22)的制造 使用聚酯樹(shù)脂（P7)來(lái)替代聚酰亞胺前體（P2)，除此之外進(jìn)行與制造例18同樣的操作， 得到非感光性的樹(shù)脂組合物（H22)。
[0159] (制造例23)樹(shù)脂組合物（H23)的制造 使用聚醚砜"只S力工夕七少3600卩"（住友化學(xué)（株）制）來(lái)替代聚酰亞胺前體（P2)， 除此之外進(jìn)行與制造例19同樣的操作，得到非感光性的樹(shù)脂組合物（H23)。
[0160] (制造例24)樹(shù)脂組合物（H24)的制造 使用酚醛樹(shù)脂" U尹卜7 7° PSF-2808"（群榮化學(xué)工業(yè)（株）制）替代聚酰亞胺前體 (P2)，除此之外進(jìn)行與制造例19同樣的操作，得到非感光性的樹(shù)脂組合物（H24)。
[0161] (制造例25)樹(shù)脂組合物（H25)的制造 將〇· 5g的聚苯乙烯（和光純藥制；Mn=125000~200000)溶解于9. 300g的甲苯，加入 BYK-333的lwt%甲苯溶液0. 200g，進(jìn)行攪拌。接著用0. 45 μπι的過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾，得到樹(shù) 脂組合物（Η25)。
[0162] (制造例26)樹(shù)脂組合物（Η26)的制造 將〇.5g的9, 9-雙[4-(2-縮水甘油基氧基乙氧基）苯基]芴（大阪力'只^彡力;1/制； EG-200)溶解于9. 300g的PGMEA，分別加入0· 02g的SI-200 (三新化學(xué)（株）制；熱產(chǎn)酸 劑）、BYK-333的lwt%PGMEA溶液0. 200g，進(jìn)行攪拌。接著用0. 45 ym的過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾， 得到樹(shù)脂組合物（H26)。
[0163] (制造例27)樹(shù)脂組合物（H27)的制造 黃色燈下加入8. 200g的氧化鋯分散體[1]、0. 2296g的 < 少力' ? I 7 0XE-02和 0. 0048g的HQME，溶解于7. OOg的THFA和I. 062g的PGMEA，進(jìn)行攪拌。向其中分別加入 DPHA 的 50wt%PGMEA 溶液 0· 4100g、CR-TR5 2. 870g、BYK-333 的 PGMEA lwt% 溶液 0· 2000g， 并進(jìn)行攪拌。接著用0.45 μm的過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾，得到負(fù)型感光性的樹(shù)脂組合物（H27)。
[0164] (制造例28)樹(shù)脂組合物（H28)的制造 黃色燈下加入2. 162g的TR-513、5. 70g的EL和11.59g的GBL，進(jìn)行攪拌。向其中分別 加入 TP5-280M 0. 099g、聚酰亞胺前體（P2)0. 249g、BYK-333 的 PGMEA lwt% 溶液 0. 2000g， 攪拌直至溶解。接著用0.45 μ m的過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾，得到正型感光性的樹(shù)脂組合物（H28)。
[0165] (制造例29)樹(shù)脂組合物（Ml)的制造 黃色燈下加入0. 〇382g的< 力' ? I 7 0XE-02和0. 0048g的HQME，溶解于9. 50g的 GBL和8. IOg的PGMEA，進(jìn)行攪拌。向其中分別加入DPHA的50wt%PGMEA溶液0. 955g、丙 烯酸系樹(shù)脂溶液（P5) I. 194g、BYK-333的PGMEA lwt%溶液0. 2000g，并進(jìn)行攪拌。接著用 0. 45 μ m的過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾，得到負(fù)型感光性的樹(shù)脂組合物（Ml)。
[0166] 制造例1~29中得到的樹(shù)脂組合物的組成匯總示于表1。

[0167] 需要說(shuō)明的是，表1中，0內(nèi)的數(shù)值表示添加量（重量份）。但是，利用溶劑等稀 釋的情況下，為固體成分的值[重量份]。
[0168] 另外，表1中的"固體成分濃度"是以重量濃度（wt%)表示"各制造例中添加的全 部原料中的固體成分（也就是說(shuō)不含有溶劑）的總重量"相對(duì)于"各制造例中得到的樹(shù)脂 組合物（含有溶劑）的重量"的比率。
[0169] 各實(shí)施例和比較例中的評(píng)價(jià)方法如以下所示。另外，實(shí)施例1~41和比較例1~ 5的結(jié)構(gòu)和結(jié)果如表2所示。
[0170] [表 2-1] π

[0172](實(shí)施例1) (I)ITO圖案的制作 在厚度I. Imm的化學(xué)鋼化玻璃基板濺射膜厚50nm的ITO之后，使用旋涂機(jī)（1H-360S ; S力寸（株）制）旋涂正型光致抗蝕劑（0FPR-800 ;東京應(yīng)化工業(yè)（株）制）之后，使用加 熱板（SCW-636 ;大日本只夕y -y制造（株）制）在100°C下預(yù)烘2分鐘。對(duì)于所得到的 預(yù)烘膜，使用PLA(Parallel Light Aligner)將超高壓汞燈作為光源，隔著掩模以IOOym 的間隙進(jìn)行l(wèi)〇〇〇J/m2曝光。然后，使用自動(dòng)顯影裝置（AD-2000;滝澤產(chǎn)業(yè)（株）制），用 2. 38wt%四甲基氫氧化按（以下稱(chēng)為"TMAH"）水溶液噴淋顯影90秒，接著用水沖洗30秒， 實(shí)施圖案加工。然后，用HCl-HNO3*的蝕刻液蝕刻IT0,用剝離液去除光致抗蝕劑，制作具 有第一電極和與其正交的第二電極的一部分被實(shí)施了圖案加工的ITO(圖1~圖3的附圖 標(biāo)記2)的玻璃基板（相當(dāng)于圖1的a)。
[0173] (2)透明絕緣膜的制作 在（1)中得到的玻璃基板上旋涂負(fù)型感光性樹(shù)脂組合物NS-E2000( (株）制）之 后，使用加熱板在90°C下預(yù)烘2分鐘。對(duì)于所得到的預(yù)烘膜，隔著掩模以100 μm的間隙進(jìn) 行2000J/m2曝光。然后，用0. 4wt%TMAH水溶液噴淋顯影90秒，接著用水沖洗30秒。接著 在空氣中在230°C下固化1小時(shí)，制作膜厚1. 5 μπι的透明絕緣膜（圖1~圖3的附圖標(biāo)記 3)(相當(dāng)于圖1的b)。
[0174] (3)鉬/鋁/鉬（以下稱(chēng)為"MAM"）布線的制作 在⑵中得到的玻璃基板上，使用鉬和鋁作為靶，作為蝕刻液，使用Η3Ρ04/ΗΝ03/ CH3C00H/H20=65/3/5/27(重量比）混合溶液，除此之外通過(guò)與上述（1)相同的順序制作MAM 布線（圖1和圖2的附圖標(biāo)記4)(相當(dāng)于圖1的c)。另外，MAM的膜厚調(diào)整為250nm。
[0175] (4)有機(jī)系薄膜（II)的形成 在（3)中得到的玻璃基板上旋涂制造例1中得到的樹(shù)脂組合物（Hl)之后，使用加熱 板在90°C下預(yù)烘2分鐘。對(duì)于所得到的預(yù)烘膜，隔著掩模以100 μm的間隙進(jìn)行2000J/m2曝光。然后，用0. 4wt%TMAH水溶液噴淋顯影90秒，接著用水沖洗30秒。接著在空氣中在 230°C下固化1小時(shí)，制作相當(dāng)于有機(jī)系薄膜（II)的膜厚0. 10 μm的固化膜（圖2和圖3 的附圖標(biāo)記5)。
[0176] (5)氧化硅薄膜（III)的形成 使用高速等離子體CVD成膜裝置（PD-270STL ;寸A 3 (株）制），將四乙氧基硅烷作為 原料形成氧化硅薄膜（III)(圖2和圖3的附圖標(biāo)記6)。此時(shí)，以氧化硅薄膜（III)與有機(jī) 系薄膜（II)的圖案重疊的方式實(shí)施掩模成膜。氧化硅薄膜（III)的膜厚為0.5 μπι。
[0177] (6)帶透明粘合薄膜（IV)的膜的貼合 在（5)中得到的玻璃基板上的一部分，使用高壓釜（70°0、0.610^、30分鐘），以不進(jìn) 入空氣的方式貼合透明粘合薄膜（IV)和在其相反面具備硬涂層的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯 (以下稱(chēng)為叩已1'"）的膜"撤-116"〇)>亍7夕（株）制、粘合劑折射率=1.47、透明粘合 薄膜（IV)膜厚=50 y m、層結(jié)構(gòu)：透明粘合薄膜/PET膜/硬涂層）。
[0178] (7) ITO圖案視認(rèn)性的評(píng)價(jià) 對(duì)于由（6)中得到的玻璃基板的背面?zhèn)扔^察時(shí)的ITO的圖案視認(rèn)性，以下述10個(gè)等級(jí) 進(jìn)行評(píng)價(jià)。將6以上作為合格。
[0179] 另外，ITO的圖案視認(rèn)性的評(píng)價(jià)，分別對(duì)于層疊有透明粘合薄膜（IV)的區(qū)域、和沒(méi) 有層疊透明粘合薄膜（IV)的區(qū)域進(jìn)行。 10 :在白色熒光燈5cm下凝視時(shí)完全看不到圖案。 9 :在白色熒光燈5cm下凝視時(shí)稍微看到圖案。 8 :在白色光燈5cm下凝視時(shí)看到少許圖案。 7 :在白色熒光燈5cm下凝視時(shí)清楚地看到圖案。 6 :在白色熒光燈5cm下通常肉眼觀察時(shí)稍微看到圖案。 5 :在白色熒光燈5cm下通常肉眼觀察時(shí)看到少許圖案。 4 :在白色熒光燈5cm下通常肉眼觀察時(shí)清楚地看到圖案。 3 :在室內(nèi)燈下通常肉眼觀察時(shí)稍微看到圖案。 2 :在室內(nèi)燈下通常肉眼觀察時(shí)看到少許圖案。 1 :在室內(nèi)燈下通常肉眼觀察時(shí)清楚地看到圖案。
[0180] (8)利用PCT (高壓鍋試驗(yàn)（Pressure Cooker Test))的底層金屬腐蝕性評(píng)價(jià) 在整面具備MAM作為底層金屬的玻璃上，通過(guò)上述（4)和（5)記載的方法制作兩層固 化膜之后，進(jìn)行在溫度121°C、濕度100%、氣壓=2atm的烘箱（HAST CHAMBERE EHS-221MD ; 工只夂7夕株式會(huì)社制）內(nèi)放置20小時(shí)的試驗(yàn)之后，對(duì)于固化膜下的MAM由于腐蝕而變色 的缺點(diǎn)的占有面積比率，通過(guò)肉眼觀察按照下述11個(gè)等級(jí)進(jìn)行評(píng)價(jià)。將7以上作為合格。 10 :固化膜下的MM的變色面積比率為0%。沒(méi)有固化膜自身的外觀變化。 9 :固化膜下的MM的變色面積比率為1~3%。沒(méi)有固化膜自身的外觀變化。 8 :固化膜下的MM的變色面積比率為4~6%。沒(méi)有固化膜自身的外觀變化。 7 :固化膜下的MM的變色面積比率為7~9%。沒(méi)有固化膜自身的外觀變化。 6 :固化膜下的MM的變色面積比率為10~15%。沒(méi)有固化膜自身的外觀變化。 5 :固化膜下的MM的變色面積比率為16~20%。沒(méi)有固化膜自身的外觀變化。 4 :固化膜下的MM的變色面積比率為21~30%。沒(méi)有固化膜自身的外觀變化。 3 :固化膜下的MM的變色面積比率為31~50%。沒(méi)有固化膜自身的外觀變化。 2 :固化膜下的MM的變色面積比率為51~70%。沒(méi)有固化膜自身的外觀變化。 1 :固化膜下的MAM的變色面積比率為71~100%。沒(méi)有固化膜自身的外觀變化。 〇 :固化膜下的MAM的變色面積比率為100%。并且固化膜自身產(chǎn)生變色、裂紋等。
[0181] (實(shí)施例2~18和實(shí)施例27~44) 以表2所示的結(jié)構(gòu)，通過(guò)與實(shí)施例1相同的手法制作基板，進(jìn)行評(píng)價(jià)。但是，在形成有 機(jī)系薄膜（II)的步驟中，實(shí)施例9、10和實(shí)施例12~16中，作為顯影液，使用2. 38wt%TMAH 水溶液。
[0182] (實(shí)施例19~26) 采用表2所示的結(jié)構(gòu)以及有機(jī)系薄膜（II)的形成按照以下的順序?qū)嵤?，除此之外通過(guò) 與實(shí)施例1相同的手法制作基板，進(jìn)行評(píng)價(jià)。
[0183] 在（3)中得到的玻璃基板端部的有機(jī)系薄膜（II)未形成部分預(yù)先粘貼透明膠帶， 然后旋涂制造例19~26中得到的樹(shù)脂組合物（H19)~（H26)之后，使用加熱板在90°C下 預(yù)烘2分鐘。然后，剝離透明膠帶。接著在空氣中在230°C下固化1小時(shí)，制作相當(dāng)于有機(jī) 系薄膜（II)的膜厚〇. 10 μm的固化膜（圖2的附圖標(biāo)記5)。
[0184] (實(shí)施例27和28) (I)ITO圖案的制作 在厚度0. 2mm的PET基板上，通過(guò)與實(shí)施例1相同的手法制作ITO圖案。但是，光致抗 蝕劑的涂布使用棒涂機(jī)（bar coator)，預(yù)烘使用烘箱，蝕刻劑使用5wt%的草酸水溶液。
[0185] (2)有機(jī)系薄膜（II)的形成 在（1)中得到的PET基板上，為了形成表2所示的結(jié)構(gòu)，使用棒涂機(jī)涂布制造例2或 7中得到的樹(shù)脂組合物（H2)或（H7)，使用烘箱在90°C下預(yù)烘10分鐘。對(duì)于所得到的預(yù)烘 膜，隔著掩模以100 μπι的間隙進(jìn)行2000J/m2曝光。然后，用0. 4wt%TMAH水溶液噴淋顯影 90秒，接著用水沖洗30秒。接著在空氣中在130°C下固化1小時(shí)，制作相當(dāng)于（II)層的膜 厚0. 10 μm的固化膜。
[0186] (3)氧化硅薄膜（III)的形成 使用高速等離子體CVD成膜裝置，將四乙氧基硅烷作為原料形成氧化硅薄膜（III)。氧 化硅薄膜（III)的膜厚為0.5 μm。
[0187] (4)帶透明粘合膜（IV)的薄膜的貼合 在⑶中得到的PET基板上的一部分，使用高壓釜（70°C、0.6MPa、30分鐘），以不進(jìn)入 空氣的方式貼合透明粘合薄膜（IV)和在其相反面具備硬涂層的PET膜（HA-116 ; 7 夕（株）制）。
[0188] (5) ITO圖案視認(rèn)性的評(píng)價(jià) 對(duì)于由（4)中得到的PET基板的背面?zhèn)鹊膱D案視認(rèn)性，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行評(píng)價(jià)。
[0189] (實(shí)施例4δ和祕(mì)） 在（6)帶透明粘合薄膜（IV)的膜的貼合的步驟中，使用y 7夕（株） 制、粘合劑折射率=1.50、透明粘合薄膜（IV)膜厚=30 μm)來(lái)替代"HA-116"，除此之外與實(shí) 施例2同樣地制作基板，進(jìn)行評(píng)價(jià)。
[0190] (比較例1) 在形成有機(jī)系薄膜（II)的步驟中，使用樹(shù)脂組合物（H2)，不進(jìn)行形成氧化硅薄膜 (III)的步驟，除此之外與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行評(píng)價(jià)。
[0191] (比較例2) 不進(jìn)行形成有機(jī)系薄膜（II)的步驟，除此之外與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行評(píng)價(jià)。
[0192] (比較例3~5) 以表2所示的結(jié)構(gòu)，通過(guò)與實(shí)施例1相同的手法制作基板，進(jìn)行評(píng)價(jià)。
[0193] 附圖標(biāo)記說(shuō)明 1 :透明底基板 2 :ITO 薄膜（I) 3 :絕緣膜 4 :MAM布線 5 :有機(jī)系薄膜（II) 6 :氧化硅薄膜（III) 7 :透明粘合薄膜（IV) 8 :層疊有ITO薄膜（I)、有機(jī)系薄膜（II)、氧化硅薄膜（III)的充分寬的區(qū)域。
[0194] 產(chǎn)業(yè)h的可利用件 本發(fā)明的基板可以用于電阻膜式觸摸面板、靜電容量式觸摸面板或TFT基板等。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 基板，其具有由透明底基板的上表面起以ITO薄膜（I)，膜厚為0.Ol~0. 4ym、折射 率為1. 58~1. 85的有機(jī)系薄膜（II)，膜厚為0. 01~10ym的氧化硅薄膜（III)的順序?qū)?疊有薄膜的部位。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板，其具有在所述氧化硅薄膜（III)的上表面層疊有折射 率為1. 46~1. 52的透明粘合薄膜（IV)的部位。3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板，其中，所述有機(jī)系薄膜（II)含有金屬氧化物粒子。4. 根據(jù)權(quán)利要求1~3中任一項(xiàng)所述的基板，其中，所述有機(jī)系薄膜（II)含有選自聚 酰亞胺、cardo樹(shù)脂、丙烯酸系樹(shù)脂、聚硅氧烷、聚苯并噁唑、酚醛樹(shù)脂、聚酰胺酰亞胺、聚醚 砜、聚氨酯和聚酯中的樹(shù)脂。5. 根據(jù)權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的基板，其中，所述有機(jī)系薄膜（II)具有羧基和 /或酚性羥基。6. 根據(jù)權(quán)利要求1~5中任一項(xiàng)所述的基板，其中，所述有機(jī)系薄膜（II)使用樹(shù)脂組 合物形成，所述樹(shù)脂組合物含有選自聚酰亞胺前體、聚酰胺酰亞胺前體和聚苯并噁唑前體 中的前體。7. 根據(jù)權(quán)利要求1~6中任一項(xiàng)所述的基板，其中，所述透明底基板為鋼化玻璃基板。8. 觸摸面板構(gòu)件，其使用權(quán)利要求1~7中任一項(xiàng)所述的基板。
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明的目的在于，通過(guò)使用了涂布或印刷等簡(jiǎn)易技術(shù)的成本上、工藝上的負(fù)荷小的手法，提供具備ITO圖案視認(rèn)性低的ITO的基板，提供使用了該基板的觸摸面板構(gòu)件。本發(fā)明提供一種基板，其具有由透明底基板的上表面起以(I)ITO(Indium Tin Oxide)薄膜、(II)膜厚為0.01μm～0.4μm的有機(jī)系薄膜、膜厚為0.01μm～10μm的氧化硅薄膜(III)的順序?qū)盈B有薄膜的部位。
【IPC分類(lèi)】H01B5/14, B32B7/02, G06F3/041, B32B9/00
【公開(kāi)號(hào)】CN104903092
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201480004900
【發(fā)明人】荒木齊, 諏訪充史
【申請(qǐng)人】東麗株式會(huì)社
【公開(kāi)日】2015年9月9日
【申請(qǐng)日】2014年1月16日
【公告號(hào)】EP2952342A1, WO2014119372A1