多個(gè)晶圓整體轉(zhuǎn)盒的控制電路及其裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種多個(gè)晶圓整體轉(zhuǎn)盒的控制電路及其裝置，包括驅(qū)動(dòng)單元、檢測(cè)單元和主控單元，所述驅(qū)動(dòng)單元控制所述多個(gè)取放臂在豎直方向上移動(dòng)以致將運(yùn)輸盒的多個(gè)晶圓同時(shí)進(jìn)行取片，并且在測(cè)試盒移動(dòng)到所述運(yùn)輸盒的原來位置時(shí)將多個(gè)所述晶圓同時(shí)進(jìn)行放片至所述測(cè)試盒，同時(shí)通過檢測(cè)單元檢測(cè)多個(gè)所述晶圓的位置是否發(fā)生偏移，一旦有所述晶圓的位置發(fā)生偏移，主控單元立即控制所述驅(qū)動(dòng)單元停止工作，整個(gè)過程可通過人機(jī)操作界面實(shí)時(shí)操作并對(duì)多個(gè)晶圓的移動(dòng)狀態(tài)進(jìn)行監(jiān)控，避免了將晶圓插斜或者插錯(cuò)的情況發(fā)生，從而提高了晶圓轉(zhuǎn)盒的效率以及解決了人為操作對(duì)晶圓片造成污染和損毀的問題。
【專利說明】
多個(gè)晶圓整體轉(zhuǎn)盒的控制電路及其裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及整體轉(zhuǎn)盒的技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種多個(gè)晶圓整體轉(zhuǎn)盒的控制電路及其裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)今，設(shè)計(jì)并制造一塊12寸晶圓片需要花費(fèi)約3個(gè)月的時(shí)間，其中涉及300多道不同的工序，每道工序又需要專門的設(shè)備，足以說明一塊12寸的晶圓片的成本價(jià)值之高，因此在12寸晶圓片的運(yùn)輸過程中都需要使用能夠保障晶圓片安全的運(yùn)輸盒進(jìn)行運(yùn)輸發(fā)貨。經(jīng)過市場(chǎng)調(diào)查，目前市面上各個(gè)廠家使用的運(yùn)輸盒各有不同，使一些取片設(shè)備不能與之一一匹配，因此一般的取片設(shè)備都備有能夠與之配套的盒子從而方便取片。這樣就涉及到了一個(gè)問題，如何將12寸晶圓片從客戶發(fā)貨的運(yùn)輸盒里轉(zhuǎn)換到用于測(cè)試或者其他加工設(shè)備指定的盒子里(以下簡(jiǎn)稱測(cè)試盒)。
[0003]然而，許多廠家都是直接通過員工手動(dòng)將運(yùn)輸盒里的晶圓片一一取出來，再放到測(cè)試盒里面去。在這樣的一個(gè)操作過程中會(huì)出現(xiàn)兩個(gè)潛在問題，一:一個(gè)盒子能夠放置25片晶圓片，每片晶圓片都有固定的插槽，很容易將晶圓片插斜或者插錯(cuò)，這樣的情況下在合上蓋子的瞬間就會(huì)將錯(cuò)槽晶圓片損毀;二:就算是在不錯(cuò)插的情況下，員工帶著橡膠手指套進(jìn)行操作，很容易就將晶圓片與手指套接觸的部分污染，最后達(dá)不到出貨要求。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型目的在于提供一種多個(gè)晶圓整體轉(zhuǎn)盒的控制電路及其裝置，旨在解決現(xiàn)有晶圓片轉(zhuǎn)盒效率低以及人為操作對(duì)晶圓片造成污染和損毀的問題。
[0005]本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種多個(gè)晶圓整體轉(zhuǎn)盒的控制電路，包括:
[0006]外接多個(gè)取放臂，控制所述多個(gè)取放臂在豎直方向上移動(dòng)以致將運(yùn)輸盒的多個(gè)晶圓同時(shí)進(jìn)行取片，并且在測(cè)試盒移動(dòng)到所述運(yùn)輸盒的原來位置時(shí)將多個(gè)所述晶圓同時(shí)進(jìn)行放片至所述測(cè)試盒的驅(qū)動(dòng)單元；
[0007]與所述驅(qū)動(dòng)單元相連接，檢測(cè)多個(gè)所述晶圓的位置是否發(fā)生偏移的檢測(cè)單元；
[0008]同時(shí)與所述驅(qū)動(dòng)單元和檢測(cè)單元相連接，當(dāng)有所述晶圓的位置發(fā)生偏移時(shí)控制所述驅(qū)動(dòng)單元停止工作的主控單元；
[0009]與所述主控單元相連接，可以通過觸摸屏進(jìn)行實(shí)時(shí)操作并對(duì)所述多個(gè)所述晶圓的移動(dòng)狀態(tài)進(jìn)行顯示的人機(jī)操作界面。
[0010]上述結(jié)構(gòu)中，所述晶圓的位置發(fā)生偏移是指晶圓在取放臂上的位置發(fā)生偏移或者晶圓在測(cè)試盒進(jìn)行放片后未落入指定位置。
[0011]上述結(jié)構(gòu)中，所述控制電路還包括:
[0012]與所述主控單元相連接，當(dāng)有所述晶圓的位置發(fā)生偏移時(shí)發(fā)出警報(bào)信號(hào)的報(bào)警單
J L ο
[0013]上述結(jié)構(gòu)中，所述主控單元包括一主控芯片Ul，所述主控芯片Ul包括:[OOM] 驅(qū)動(dòng)端on、關(guān)閉端off、第一數(shù)據(jù)傳輸端coml、第二數(shù)據(jù)傳輸端com2、發(fā)送端GP1、接收端Rec和報(bào)警端bin;
[0015]所述驅(qū)動(dòng)端on和關(guān)閉端off同時(shí)接所述驅(qū)動(dòng)單元，所述第一數(shù)據(jù)傳輸端coml和第二數(shù)據(jù)傳輸端com2接所述人機(jī)操作界面，所述發(fā)送端GP10、接收端Rec接所述檢測(cè)單元，所述報(bào)警端bin接所述報(bào)警單元。
[0016]上述結(jié)構(gòu)中，所述人機(jī)操作界面包括一觸摸屏芯片U2，所述觸摸屏芯片U2包括:
[0017]異步數(shù)據(jù)端COMl和同步數(shù)據(jù)端COM2 ；
[0018]所述異步數(shù)據(jù)端COMl接所述主控芯片Ul的第一數(shù)據(jù)傳輸端coml，所述同步數(shù)據(jù)端COM2接所述所述主控芯片Ul的第二數(shù)據(jù)傳輸端com2。
[0019]上述結(jié)構(gòu)中，所述驅(qū)動(dòng)單元包括一驅(qū)動(dòng)芯片U3，所述驅(qū)動(dòng)芯片U3包括:
[0020]控制端Ctrl、啟動(dòng)端ON和停止端OFF ；
[0021]所述控制端Ctrl接所述多個(gè)取放臂，所述啟動(dòng)端ON接所述主控芯片Ul的驅(qū)動(dòng)端on，所述停止端OFF接所述主控芯片Ul的關(guān)閉端off。
[0022]上述結(jié)構(gòu)中，所述檢測(cè)單元包括一檢測(cè)芯片U4，所述檢測(cè)芯片U4包括:
[0023]檢測(cè)端gp1和發(fā)射端Send;
[0024]所述檢測(cè)端gp1接所述主控芯片Ul的發(fā)送端GP1，所述發(fā)射端Send接所述主控芯片Ul的接收端Rec。
[0025]上述結(jié)構(gòu)中，所述報(bào)警單元包括:
[0026]蜂鳴器Tl ；
[0027]所述蜂鳴器Tl接所述主控芯片Ul的報(bào)警端bin。
[0028]本實(shí)用新型實(shí)施例還提供了一種多個(gè)晶圓整體轉(zhuǎn)盒的裝置，所述裝置包括如上述結(jié)構(gòu)所述的多個(gè)晶圓整體轉(zhuǎn)盒的控制電路。
[0029]本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種多個(gè)晶圓整體轉(zhuǎn)盒的控制電路及其裝置，包括驅(qū)動(dòng)單元、檢測(cè)單元和主控單元，所述驅(qū)動(dòng)單元控制所述多個(gè)取放臂在豎直方向上移動(dòng)以致將運(yùn)輸盒的多個(gè)晶圓同時(shí)進(jìn)行取片，并且在測(cè)試盒移動(dòng)到所述運(yùn)輸盒的原來位置時(shí)將多個(gè)所述晶圓同時(shí)進(jìn)行放片至所述測(cè)試盒，同時(shí)通過檢測(cè)單元檢測(cè)多個(gè)所述晶圓的位置是否發(fā)生偏移，一旦有所述晶圓的位置發(fā)生偏移，主控單元立即控制所述驅(qū)動(dòng)單元停止工作，整個(gè)過程可通過人機(jī)操作界面實(shí)時(shí)操作并對(duì)多個(gè)晶圓的移動(dòng)狀態(tài)進(jìn)行監(jiān)控，避免了將晶圓插斜或者插錯(cuò)的情況發(fā)生，從而提高了晶圓轉(zhuǎn)盒的效率以及解決了人為操作對(duì)晶圓片造成污染和損毀的問題。
【附圖說明】
[0030]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例一種多個(gè)晶圓整體轉(zhuǎn)盒的控制電路的單元結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例一種多個(gè)晶圓整體轉(zhuǎn)盒的控制電路的電路連接結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0032]為了使本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題、技術(shù)方案及有益效果更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。
[0033]本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種控制電路，主要應(yīng)用于多個(gè)12寸晶圓整體轉(zhuǎn)盒的裝置上，其作用在于完成多個(gè)12寸晶圓片從運(yùn)輸盒到測(cè)試盒的整體互轉(zhuǎn)，并且能夠利用人機(jī)操作界面進(jìn)行操作與監(jiān)控。
[0034]圖1示出了本實(shí)用新型實(shí)施例一種晶圓片整體轉(zhuǎn)盒的控制電路的單元結(jié)構(gòu)，為了便于說明，僅示出了與本實(shí)用新型實(shí)施例相關(guān)的部分。
[0035]—種可設(shè)置于多個(gè)晶圓整體轉(zhuǎn)盒的裝置內(nèi)的控制電路，包括:
[0036]外接多個(gè)取放臂，控制所述多個(gè)取放臂在豎直方向上移動(dòng)以致將運(yùn)輸盒的多個(gè)晶圓同時(shí)進(jìn)行取片，并且在測(cè)試盒移動(dòng)到所述運(yùn)輸盒的原來位置時(shí)將多個(gè)所述晶圓同時(shí)進(jìn)行放片至所述測(cè)試盒的驅(qū)動(dòng)單元103;
[0037]與所述驅(qū)動(dòng)單元103相連接，檢測(cè)多個(gè)所述晶圓的位置是否發(fā)生偏移的檢測(cè)單元104；
[0038]同時(shí)與所述驅(qū)動(dòng)單元103和檢測(cè)單元104相連接，當(dāng)有所述晶圓的位置發(fā)生偏移時(shí)控制所述驅(qū)動(dòng)單元停止工作的主控單元101 ；
[0039]與所述主控單元101相連接，可以通過觸摸屏進(jìn)行實(shí)時(shí)操作并對(duì)所述多個(gè)所述晶圓的移動(dòng)狀態(tài)進(jìn)行顯示的人機(jī)操作界面102。
[0040]作為本實(shí)用新型一實(shí)施例，所述控制電路還包括:
[0041]與所述主控單元101相連接，當(dāng)有所述晶圓的位置發(fā)生偏移時(shí)發(fā)出警報(bào)信號(hào)的報(bào)警單元105。
[0042]圖2示出了本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種多個(gè)晶圓整體轉(zhuǎn)盒的電路連接結(jié)構(gòu)，為了便于說明，僅示出了與本實(shí)用新型實(shí)施例相關(guān)的部分。
[0043]作為本實(shí)用新型一實(shí)施例，所述主控單元101包括一主控芯片Ul，所述主控芯片Ul包括:
[0044]驅(qū)動(dòng)端on、關(guān)閉端off、第一數(shù)據(jù)傳輸端coml、第二數(shù)據(jù)傳輸端com2、發(fā)送端GP10、接收端Rec和報(bào)警端bin;
[0045]所述驅(qū)動(dòng)端on和關(guān)閉端off同時(shí)接所述驅(qū)動(dòng)單元103，所述第一數(shù)據(jù)傳輸端coml和第二數(shù)據(jù)傳輸端com2接所述人機(jī)操作界面102，所述發(fā)送端GP10、接收端Rec接所述檢測(cè)單元104，所述報(bào)警端bin接所述報(bào)警單元105。在本實(shí)施例中，主控芯片Ul采用了型號(hào)FX3U-64MT的主控芯片，當(dāng)然，主控芯片的型號(hào)不做限定，只要能達(dá)到與本實(shí)施例主控芯片Ul所述的功能作用亦可。
[0046]作為本實(shí)用新型一實(shí)施例，所述人機(jī)操作界面102包括一觸摸屏芯片U2，所述觸摸屏芯片U2包括:
[0047]異步數(shù)據(jù)端COMl和同步數(shù)據(jù)端COM2 ；
[0048]所述異步數(shù)據(jù)端COMl接所述主控芯片Ul的第一數(shù)據(jù)傳輸端coml，所述同步數(shù)據(jù)端COM2接所述所述主控芯片Ul的第二數(shù)據(jù)傳輸端com2。在本實(shí)施例中，觸摸屏芯片U2采用了型號(hào)GC4401-W的觸摸屏芯片，當(dāng)然，觸摸屏芯片的型號(hào)不做限定，只要能達(dá)到與本實(shí)施例觸摸屏芯片U2所述的功能作用亦可。
[0049]所述人機(jī)操作界面是采用7英寸TFT真彩LCD屏幕，分辨率達(dá)800X480像素，可創(chuàng)建出美觀逼真的操作畫面，通過GP-pro 3.0EX軟件對(duì)所述觸摸屏芯片U2進(jìn)行編程，使其與主控芯片Ul進(jìn)行實(shí)時(shí)通訊，實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)操作與顯示的效果。
[0050] 作為本實(shí)用新型一實(shí)施例，所述驅(qū)動(dòng)單元103包括一驅(qū)動(dòng)芯片U3，所述驅(qū)動(dòng)芯片U3包括:
[0051 ] 控制端Ctrl、啟動(dòng)端ON和停止端OFF ；
[0052]所述控制端Ctrl接所述多個(gè)取放臂，所述啟動(dòng)端ON接所述主控芯片Ul的驅(qū)動(dòng)端on，所述停止端OFF接所述主控芯片Ul的關(guān)閉端off。在本實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)芯片U3采用了型號(hào)MADKT1507CA1的驅(qū)動(dòng)芯片，當(dāng)然，驅(qū)動(dòng)芯片的型號(hào)不做限定，只要能達(dá)到與本實(shí)施例驅(qū)動(dòng)芯片U3所述的功能作用亦可。
[0053]所述取放臂的Y軸與Z軸均采用松下A5系列的伺服電機(jī)，松下A5伺服電機(jī)速度響應(yīng)高達(dá)2kHZ、適合各種高速定位的工業(yè)場(chǎng)合、齒槽轉(zhuǎn)矩在0.5 %以下、分解率高、絕對(duì)式編碼器為17bit、增量式編碼器為20bit，以及有四種控制模式可選:轉(zhuǎn)矩、速度、位置、全閉環(huán)控制；其實(shí)時(shí)自動(dòng)增益調(diào)整達(dá)32級(jí)，陷波濾波器達(dá)4個(gè)，極大降低了機(jī)械共振;輸入/輸出脈沖頻率可達(dá)到4Mpps等。
[0054]作為本實(shí)用新型一實(shí)施例，所述檢測(cè)單元104包括一檢測(cè)芯片U4，所述檢測(cè)芯片U4包括:
[0055]檢測(cè)端gp1和發(fā)射端Send;
[0056]所述檢測(cè)端gp1接所述主控芯片Ul的發(fā)送端GP1，所述發(fā)射端Send接所述主控芯片Ul的接收端Rec。在本實(shí)施例中，檢測(cè)芯片U4采用了型號(hào)EE-SX671的檢測(cè)芯片，當(dāng)然，檢測(cè)芯片的型號(hào)不做限定，只要能達(dá)到與本實(shí)施例檢測(cè)芯片U4所述的功能作用亦可。
[0057]所述裝置在運(yùn)行過程中采用了多個(gè)傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，形成實(shí)時(shí)報(bào)警系統(tǒng)。在轉(zhuǎn)盒的放置平臺(tái)上有八個(gè)用于檢測(cè)盒子平穩(wěn)度的接近開關(guān)，兩個(gè)接近開關(guān)用來區(qū)別盒子種類的接近開關(guān)，型號(hào)都為LXW-5-1-2;還有兩個(gè)接近開關(guān)用于檢測(cè)盒子鎖磁性開關(guān)，型號(hào)為RN04-N。在取放臂的Z軸處裝有三個(gè)對(duì)射傳感器，用于檢測(cè)晶圓在取放臂上的位置是否發(fā)生偏移，發(fā)射端為EX-13EB，接收端為EX-13EBD。在設(shè)備的Y軸方向與Z軸方向都有用于限位的光電傳感器 EE-SX671。
[0058]作為本實(shí)用新型一實(shí)施例，所述報(bào)警單元105包括:
[0059]蜂鳴器Tl;
[0060]所述蜂鳴器Tl接所述主控芯片Ul的報(bào)警端bin。
[0061]所述裝置在運(yùn)行過程中，如果檢測(cè)到任何一種異常情況都會(huì)發(fā)出報(bào)警信號(hào)，裝置立即停止運(yùn)行、三色燈亮紅燈、蜂鳴器鳴叫、人機(jī)操作界面進(jìn)行提示操作，并將報(bào)警形成歷史記錄，以便后期調(diào)用。
[0062]本實(shí)用新型另一實(shí)施例提供的一種多個(gè)晶圓整體轉(zhuǎn)盒的控制電路以及裝置的工作原理為:
[0063]通過主控單元控制Y軸(前后軸)與Z軸(上下軸)來完成多個(gè)12寸晶圓從運(yùn)輸盒到測(cè)試盒的整體互轉(zhuǎn)，利用人機(jī)操作界面進(jìn)行操作與監(jiān)控。將裝有晶圓的盒子(即運(yùn)輸盒)放在轉(zhuǎn)盒平臺(tái)上，通過檢測(cè)后，Z軸運(yùn)行將帶有25對(duì)取放臂抬至設(shè)定高度，Y軸運(yùn)行將裝有晶圓的盒子整體前移，使25對(duì)取放臂恰好插入晶圓片的縫隙之間，然后Z軸抬起一定的高度，將多個(gè)晶圓暫時(shí)擱置在取放臂上，Y軸退回并將空盒子退出，接著將要轉(zhuǎn)片的空盒子(即測(cè)試盒)放在轉(zhuǎn)盒平臺(tái)上，Y軸前移至一定位置，Z軸下降，將多個(gè)晶圓放入盒子里，Y軸后移將裝有晶圓片的盒子退出即轉(zhuǎn)盒完成。在整個(gè)運(yùn)行過程中都有傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)控，如果晶圓的位置發(fā)生偏移或者放置在臺(tái)上盒子的位置發(fā)生變化都會(huì)暫停并顯示報(bào)警和提示解決方案。
[0064]綜上所述，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種多個(gè)晶圓整體轉(zhuǎn)盒的控制電路及其裝置，包括驅(qū)動(dòng)單元、檢測(cè)單元和主控單元，所述驅(qū)動(dòng)單元控制所述多個(gè)取放臂在豎直方向上移動(dòng)以致將運(yùn)輸盒的多個(gè)晶圓同時(shí)進(jìn)行取片，并且在測(cè)試盒移動(dòng)到所述運(yùn)輸盒的原來位置時(shí)將多個(gè)所述晶圓同時(shí)進(jìn)行放片至所述測(cè)試盒，同時(shí)通過檢測(cè)單元檢測(cè)多個(gè)所述晶圓的位置是否發(fā)生偏移，一旦有所述晶圓的位置發(fā)生偏移，主控單元立即控制所述驅(qū)動(dòng)單元停止工作，整個(gè)過程可通過人機(jī)操作界面實(shí)時(shí)操作并對(duì)多個(gè)晶圓的移動(dòng)狀態(tài)進(jìn)行監(jiān)控，避免了將晶圓插斜或者插錯(cuò)的情況發(fā)生，從而提高了晶圓轉(zhuǎn)盒的效率以及解決了人為操作對(duì)晶圓片造成污染和損毀的問題。本實(shí)用新型實(shí)施例實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單，不需要增加額外的硬件，可有效降低成本，具有較強(qiáng)的易用性和實(shí)用性。
[0065]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種多個(gè)晶圓整體轉(zhuǎn)盒的控制電路，其特征在于，所述控制電路包括: 外接多個(gè)取放臂，控制所述多個(gè)取放臂在豎直方向上移動(dòng)以致將運(yùn)輸盒的多個(gè)晶圓同時(shí)進(jìn)行取片，并且在測(cè)試盒移動(dòng)到所述運(yùn)輸盒的原來位置時(shí)將多個(gè)所述晶圓同時(shí)進(jìn)行放片至所述測(cè)試盒的驅(qū)動(dòng)單元； 與所述驅(qū)動(dòng)單元相連接，檢測(cè)多個(gè)所述晶圓的位置是否發(fā)生偏移的檢測(cè)單元； 同時(shí)與所述驅(qū)動(dòng)單元和檢測(cè)單元相連接，當(dāng)有所述晶圓的位置發(fā)生偏移時(shí)控制所述驅(qū)動(dòng)單元停止工作的主控單元； 與所述主控單元相連接，可以通過觸摸屏進(jìn)行實(shí)時(shí)操作并對(duì)所述多個(gè)所述晶圓的移動(dòng)狀態(tài)進(jìn)行顯示的人機(jī)操作界面。2.如權(quán)利要求1所述的多個(gè)晶圓整體轉(zhuǎn)盒的控制電路，其特征在于，所述晶圓的位置發(fā)生偏移是指晶圓在取放臂上的位置發(fā)生偏移或者晶圓在測(cè)試盒進(jìn)行放片后未落入指定位置。3.如權(quán)利要求2所述的多個(gè)晶圓整體轉(zhuǎn)盒的控制電路，其特征在于，所述控制電路還包括: 與所述主控單元相連接，當(dāng)有所述晶圓的位置發(fā)生偏移時(shí)發(fā)出警報(bào)信號(hào)的報(bào)警單元。4.如權(quán)利要求3所述的多個(gè)晶圓整體轉(zhuǎn)盒的控制電路，其特征在于，所述主控單元包括一主控芯片(Ul)，所述主控芯片(Ul)包括: 驅(qū)動(dòng)端(on)、關(guān)閉端(off)、第一數(shù)據(jù)傳輸端(coml)、第二數(shù)據(jù)傳輸端(com2)、發(fā)送端(GP1)、接收端(Rec)和報(bào)警端(bin)； 所述驅(qū)動(dòng)端(on)和關(guān)閉端(off)同時(shí)接所述驅(qū)動(dòng)單元，所述第一數(shù)據(jù)傳輸端(coml)和第二數(shù)據(jù)傳輸端(com2)接所述人機(jī)操作界面，所述發(fā)送端(GP10)、接收端(Rec)接所述檢測(cè)單元，所述報(bào)警端(bin)接所述報(bào)警單元。5.如權(quán)利要求4所述的多個(gè)晶圓整體轉(zhuǎn)盒的控制電路，其特征在于，所述人機(jī)操作界面包括一觸摸屏芯片(U2)，所述觸摸屏芯片(U2)包括: 異步數(shù)據(jù)端(COMl)和同步數(shù)據(jù)端(COM2); 所述異步數(shù)據(jù)端(COMl)接所述主控芯片(Ul)的第一數(shù)據(jù)傳輸端(coml)，所述同步數(shù)據(jù)端(COM2)接所述所述主控芯片(Ul)的第二數(shù)據(jù)傳輸端(com2)。6.如權(quán)利要求5所述的多個(gè)晶圓整體轉(zhuǎn)盒的控制電路，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)單元包括一驅(qū)動(dòng)芯片(U3)，所述驅(qū)動(dòng)芯片(U3)包括: 控制端(Ctr I)、啟動(dòng)端(ON)和停止端(OFF); 所述控制端(Ctrl)接所述多個(gè)取放臂，所述啟動(dòng)端(ON)接所述主控芯片(Ul)的驅(qū)動(dòng)端(on)，所述停止端(OFF)接所述主控芯片(Ul)的關(guān)閉端(off)。7.如權(quán)利要求6所述的多個(gè)晶圓整體轉(zhuǎn)盒的控制電路，其特征在于，所述檢測(cè)單元包括一檢測(cè)芯片(U4)，所述檢測(cè)芯片(U4)包括: 檢測(cè)端(gp1)和發(fā)射端(Send)； 所述檢測(cè)端(gp1)接所述主控芯片(Ul)的發(fā)送端(GP1)，所述發(fā)射端(Send)接所述主控芯片(Ul)的接收端(Rec)。8.如權(quán)利要求7所述的多個(gè)晶圓整體轉(zhuǎn)盒的控制電路，其特征在于，所述報(bào)警單元包括: 蜂鳴器(Tl); 所述蜂鳴器(Tl)接所述主控芯片(Ul)的報(bào)警端(bin)。9.一種多個(gè)晶圓整體轉(zhuǎn)盒的裝置，其特征在于，所述裝置包括如權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的多個(gè)晶圓整體轉(zhuǎn)盒的控制電路。
【文檔編號(hào)】H01L21/68GK205488082SQ201620225806
【公開日】2016年8月17日
【申請(qǐng)日】2016年3月23日
【發(fā)明人】李曉白, 肖茹茹, 舒雄, 韋敏榮
【申請(qǐng)人】深圳安博電子有限公司