專利名稱：半導(dǎo)體清洗設(shè)備中的機(jī)械手夾持機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種半導(dǎo)體清洗設(shè)備中的機(jī)械手夾持機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
目前，半導(dǎo)體清洗設(shè)備中的機(jī)械手不能識別兩種不同規(guī)格的晶圓花籃，只能夾取單一批次的一種規(guī)格晶圓花籃，將這一批次的相同規(guī)格的產(chǎn)品做完，才能做另外一種規(guī)格；而且機(jī)械手也不能判斷是否夾取了晶圓花籃，常常有夾空現(xiàn)象發(fā)生，需要人為的干預(yù)來解決問題，降低了生產(chǎn)效率。

發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種結(jié)構(gòu)簡單，能夠自動識別并抓取不同規(guī)格的晶圓花籃以及能夠辨別是否夾空的半導(dǎo)體清洗設(shè)備中的機(jī)械手夾持機(jī)構(gòu)。實現(xiàn)本實用新型目的的技術(shù)方案是一種半導(dǎo)體清洗設(shè)備中的機(jī)械手夾持機(jī)構(gòu)，包括由動力裝置分別驅(qū)動的兩根旋轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)軸上各固定有機(jī)械臂，機(jī)械臂上具有拾取器，還包括檢測旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)角度的位置傳感器、與晶圓花籃接觸的檢測開關(guān)以及控制動力裝置的控制單元，所述的動力裝置為可正反轉(zhuǎn)的電機(jī)，所述的檢測開關(guān)固定連接在機(jī)械臂上，位置傳感器和檢測開關(guān)分別通過信號線與控制單元相連接。進(jìn)一步，所述的機(jī)械臂的拾取器上套有PFA管。采用了上述技術(shù)方案后，位置傳感器可以設(shè)置為三個，分別為第一位置傳感器、第二位置傳感器和空位位置傳感器，將晶圓花籃放到指定位置后，機(jī)械手當(dāng)要抓取晶圓花籃時，啟動電機(jī)使機(jī)械臂向內(nèi)旋轉(zhuǎn)，當(dāng)?shù)谝晃恢脗鞲衅鳈z測到達(dá)指定角度后，如果晶圓花籃是兩種規(guī)格中較大規(guī)格的，此時檢測開關(guān)與晶圓花籃接觸，檢測開關(guān)檢測到晶圓花籃已經(jīng)處在被夾持狀態(tài)，第一位置傳感器給控制單元反饋信息，停止電機(jī)轉(zhuǎn)動，即控制單元根據(jù)第一位置傳感器發(fā)出的信號來確認(rèn)所抓取的晶圓花籃是第一種規(guī)格；如果機(jī)械手做夾持動作時運(yùn)行到第一位置傳感器時，檢測開關(guān)并沒有檢測到晶圓花籃，則會反饋信號給控制單元，繼續(xù)做夾持動作，當(dāng)?shù)竭_(dá)第二位置傳感器時且檢測開關(guān)檢測到晶圓花籃，此時控制單元收到信號，說明機(jī)械手已夾住晶圓花籃并且根據(jù)第二位置傳感器來確認(rèn)了所抓取的晶圓花籃是另一種規(guī)格的；當(dāng)要放下晶圓花籃時，電機(jī)反轉(zhuǎn)，機(jī)械臂向外旋轉(zhuǎn)，空位位置傳感器檢測到達(dá)指定角度后，反饋信號給控制單元，停止電機(jī)轉(zhuǎn)動，而此時檢測開關(guān)與晶圓花籃很遠(yuǎn)，沒有接觸，檢測開關(guān)會把信號反饋給控制單元，完成放開花籃動作。本實用新型可以滿足在設(shè)備特定范圍內(nèi)抓取不同規(guī)格的晶圓花籃，自動識別晶圓花籃大小，無需人工更換夾具，可以自動切換清洗不同型號的晶圓花籃，且還具有防呆夾空功能，最大的減少了人工干預(yù)，自動化程度極高，提高了生產(chǎn)效率；PFA管，具有很強(qiáng)的抗腐蝕和耐高溫性能，使用它，可防止拾取器被清洗液腐蝕，提高了機(jī)械手夾持機(jī)構(gòu)的壽命。

[0007]圖I為本實用新型的半導(dǎo)體清洗設(shè)備中的機(jī)械手夾持機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)立體圖；圖2為本實用新型的松開狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實用新型的抓緊狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
為了使本實用新型的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實施例并結(jié)合附圖，對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明如圖f 3所示，一種半導(dǎo)體清洗設(shè)備中的機(jī)械手夾持機(jī)構(gòu)，包括由動力裝置6分別驅(qū)動的兩根旋轉(zhuǎn)軸1，旋轉(zhuǎn)軸I上各固定有機(jī)械臂2，機(jī)械臂2上具有拾取器2-1，還包括檢測旋轉(zhuǎn)軸I旋轉(zhuǎn)角度的位置傳感器3、與晶圓花籃4接觸的檢測開關(guān)5以及控制動力裝置6的控制單元，動力裝置6為可正反轉(zhuǎn)的電機(jī)，所述的檢測開關(guān)5固定連接在機(jī)械臂2上，位·置傳感器3和檢測開關(guān)5通過信號線與控制單元相連接。機(jī)械臂2的拾取器2-1上套有PFA管。PFA指的是可溶性聚四氟乙烯。本實用新型的工作原理如下位置傳感器3可以設(shè)置為三個，分別為第一位置傳感器、第二位置傳感器和空位位置傳感器，將晶圓花籃4放到指定位置后，機(jī)械手當(dāng)要抓取晶圓花籃4時，啟動電機(jī)使機(jī)械臂向2內(nèi)旋轉(zhuǎn)，當(dāng)?shù)谝晃恢脗鞲衅?檢測到達(dá)指定角度后，如果晶圓花籃4是兩種規(guī)格中較大規(guī)格的，此時檢測開關(guān)5與晶圓花籃4接觸，檢測開關(guān)5檢測到晶圓花籃4已經(jīng)處在被夾持狀態(tài)，第一位置傳感器給控制單元反饋信息，停止電機(jī)轉(zhuǎn)動，即控制單元根據(jù)第一位置傳感器發(fā)出的信號來確認(rèn)所抓取的晶圓花籃4是第一種規(guī)格；如果機(jī)械手做夾持動作時運(yùn)行到第一位置傳感器3時，檢測開關(guān)5并沒有檢測到晶圓花籃4，則會反饋信號給控制單元，繼續(xù)做夾持動作，當(dāng)?shù)竭_(dá)第二位置傳感器3時且檢測開關(guān)5檢測到晶圓花籃4，此時控制單元收到信號，說明機(jī)械手已夾住晶圓花籃4并且根據(jù)第二位置傳感器3來確認(rèn)了所抓取的晶圓花籃4是另一種規(guī)格的；當(dāng)要放下晶圓花籃4時，電機(jī)反轉(zhuǎn)，機(jī)械臂向外旋轉(zhuǎn)，空位位置傳感器3檢測到達(dá)指定角度后，反饋信號給控制單元，停止電機(jī)轉(zhuǎn)動，而此時檢測開關(guān)5與晶圓花籃4很遠(yuǎn)，沒有接觸，檢測開關(guān)5會把信號反饋給控制單元，完成放開晶圓花籃4的動作。本實用新型可以滿足在設(shè)備特定范圍內(nèi)抓取不同規(guī)格的晶圓花籃，自動識別晶圓花籃大小，無需人工更換夾具，可以自動切換清洗另一種晶圓花籃，且還具有防呆夾空功能，最大的減少了人工干預(yù)，自動化程度極高，提高了生產(chǎn)效率；PFA管，具有很強(qiáng)的抗腐蝕和耐高溫性能，使用它，可防止拾取器被清洗液腐蝕，提高了機(jī)械手夾持機(jī)構(gòu)的壽命。以上所述的具體實施例，對本實用新型的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實用新型的具體實施例而已，并不用于限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種半導(dǎo)體清洗設(shè)備中的機(jī)械手夾持機(jī)構(gòu)，包括由動力裝置(6)分別驅(qū)動的兩根旋轉(zhuǎn)軸(I )，旋轉(zhuǎn)軸(I)上各固定有機(jī)械臂(2)，機(jī)械臂(2)上具有拾取器(2-1 )，其特征在于還包括檢測旋轉(zhuǎn)軸(I)旋轉(zhuǎn)角度的位置傳感器(3)、與晶圓花籃(4)接觸的檢測開關(guān)(5)以及控制動力裝置(6)的控制單元，所述的動力裝置(6)為可正反轉(zhuǎn)的電機(jī)，所述的檢測開關(guān)(5 )固定連接在機(jī)械臂(2 )上，位置傳感器(3 )和檢測開關(guān)(5 )分別通過信號線與控制單元相連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的半導(dǎo)體清洗設(shè)備中的機(jī)械手夾持機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的機(jī)械臂(2 )的拾取器(2-1)上套裝有PFA管。
專利摘要本實用新型公開了一種半導(dǎo)體清洗設(shè)備中的機(jī)械手夾持機(jī)構(gòu)，包括由動力裝置分別驅(qū)動的兩根旋轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)軸上各固定有機(jī)械臂，機(jī)械臂上具有拾取器，還包括檢測旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)角度的位置傳感器、與晶圓花籃接觸的檢測開關(guān)以及控制動力裝置的控制單元，所述的動力裝置為可正反轉(zhuǎn)的電機(jī)，所述的檢測開關(guān)固定連接在機(jī)械臂上，位置傳感器和檢測開關(guān)通過信號線與控制單元相連接。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，能夠夾取不同規(guī)格的晶圓花籃并且能夠辨別是否夾空。
文檔編號B08B13/00GK202638832SQ20122021970
公開日2013年1月2日 申請日期2012年5月16日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月16日
發(fā)明者卡爾·羅伯特·休斯特, 祝宇云 申請人:硅密(常州)電子設(shè)備有限公司