溶劑筒清洗系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種溶劑筒清洗系統(tǒng)，通過(guò)使溶劑筒的內(nèi)底面傾斜設(shè)置，并插入可以從溶劑筒內(nèi)底面的最低處抽取洗液和廢氣的抽取管，因此溶劑筒內(nèi)的洗液可以有效地排出；同時(shí)設(shè)計(jì)了進(jìn)液、出液管路以及進(jìn)氣和排氣管路，使抽取溶劑筒內(nèi)洗液后殘留的洗液也可以通過(guò)揮發(fā)被帶出溶劑筒，從而提高了清洗凈度。在此基礎(chǔ)上，該本發(fā)明還改進(jìn)了清洗管路結(jié)構(gòu)，設(shè)計(jì)了可采用置換、回流方式清洗溶劑筒的管路結(jié)構(gòu)，進(jìn)一步提高了清洗凈度，同時(shí)節(jié)約了溶劑和避免了污染。
【專利說(shuō)明】溶劑筒清洗系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及化工領(lǐng)域，具體涉及一種溶劑筒清洗系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002] 電子化學(xué)品的儲(chǔ)運(yùn)過(guò)程需要用到溶劑筒。為了避免溶劑泄露，溶劑筒的進(jìn)、出口一 般設(shè)在溶劑筒的頂部。需要抽取溶劑時(shí)，將鶴管從溶劑筒的進(jìn)口插入溶劑筒內(nèi)，將壓縮氣 源與溶劑桶的進(jìn)口連接，通過(guò)壓縮氣體將溶劑筒內(nèi)的有機(jī)溶劑就會(huì)沿著鶴管從溶劑桶內(nèi)抽 出，送至貯槽或儲(chǔ)罐。即使是采用抽取的方式，溶劑筒內(nèi)也難免會(huì)有顆粒落入或微量的金屬 雜質(zhì)混入，沉積在溶劑筒壁；而電子化學(xué)品對(duì)溶劑筒內(nèi)壁的清潔度要求相當(dāng)高；因此，卸完 溶劑后的溶劑筒需要有嚴(yán)格清洗后才能再次罐裝。
[0003] 目前，溶劑筒的一般是通過(guò)人工清洗，清洗的凈度難以達(dá)到要求，且清洗成本大、 易污染環(huán)境。除了人工清洗之后，現(xiàn)有技術(shù)中也公開了若干清洗筒體的裝置，如專利CN 103721989A公開的一種清洗噸桶的系統(tǒng)、CN103350089A公開的一種漆筒清洗系統(tǒng)等。這些 系統(tǒng)或是適合清洗底部設(shè)有排水口的筒體，或是需要將筒體倒立清洗，否則清洗筒體后的 廢水難以排盡。而對(duì)于大型溶劑筒，由于具有大體積、重量的特點(diǎn)，難以倒立清洗，其進(jìn)、出 口小且均設(shè)于頂部，因此這些清洗系統(tǒng)難以適用。
[0004] 故對(duì)于進(jìn)、出口設(shè)在頂部的大型溶劑筒，有必要開發(fā)一種無(wú)需倒立溶劑筒也能達(dá) 到高清潔凈度的溶劑筒清洗系統(tǒng)。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，提供一種無(wú)需倒立溶劑筒也能達(dá) 到高清潔凈度的溶劑筒清洗系統(tǒng)。
[0006] 為此，本發(fā)明是一種溶劑筒清洗系統(tǒng)，包括用于使溶劑筒內(nèi)底面傾斜設(shè)置的支架 或底座、用于密封溶劑筒頂部的進(jìn)、出口的進(jìn)、出口蓋、用于從溶劑筒內(nèi)最低處抽取流體的 抽取管、以及用于向溶劑筒內(nèi)噴射清潔流體的噴頭；噴頭的供料管穿過(guò)進(jìn)口蓋，同時(shí)與進(jìn)液 管路和進(jìn)氣管路相連通，進(jìn)液管路和進(jìn)氣管路分別連通溶劑存儲(chǔ)裝置和氣體存儲(chǔ)裝置，進(jìn) 液管路和進(jìn)氣管路上分別設(shè)有進(jìn)液閥和進(jìn)氣閥；抽取管穿過(guò)出口蓋，同時(shí)與出液管路和排 氣管路相連通；排氣管路上設(shè)有排氣閥并連通至廢氣排放口或廢氣收集或處理裝置，出液 管路上沿出液方向依次設(shè)有出液閥和抽液泵并連通至廢液排放口或廢液收集或處理裝置。
[0007] 使用時(shí)，打開進(jìn)液閥和出液閥，關(guān)閉進(jìn)氣閥和排氣閥，溶劑存儲(chǔ)裝置內(nèi)的溶劑經(jīng)進(jìn) 液管路和噴頭沖洗溶劑筒內(nèi)壁，沖洗后的洗液通過(guò)抽液泵的抽取從抽取管經(jīng)出液管路排 出；由于溶劑筒的內(nèi)底面傾斜設(shè)置，且抽取管能延伸到溶劑筒內(nèi)底面的最低處，因此溶劑筒 內(nèi)的液體可以有效地排出；在溶劑筒內(nèi)的液體排出之后，關(guān)閉進(jìn)液閥和出液閥，打開進(jìn)氣閥 和排氣閥，進(jìn)氣管路的氣體從噴頭進(jìn)入溶劑筒、從抽取管離開溶劑筒，將溶劑筒內(nèi)殘留廢氣 排出，同時(shí)將殘留的洗液通過(guò)揮發(fā)帶出，進(jìn)一步提高溶劑筒的清洗凈度。
[0008] 為了減少排氣時(shí)間、提高溶劑筒的清洗凈度，優(yōu)選的技術(shù)方案是，所述進(jìn)氣管路還 設(shè)有用于加熱管道內(nèi)氣體的加熱裝置。通過(guò)加熱裝置，如加熱夾套，可以加熱進(jìn)氣管路上的 氣體，由于熱氣密度低于冷氣的密度，從而從噴頭進(jìn)入溶劑筒內(nèi)的熱氣可以由上至下逐漸 地占據(jù)溶劑筒，從而使溶劑筒內(nèi)的廢氣可以有效地從延伸至溶劑筒底部的抽取管排出。另 外熱氣還起到烘干溶劑筒、有效排除溶劑筒內(nèi)殘留洗液的作用。
[0009] 為了使抽取管能夠從溶劑筒內(nèi)的最低處抽取流體，優(yōu)選地，所述抽取管包括上部 的直管段和與直管段連接的下部的波紋管段，波紋管段的下部連接有耐腐塑料為外層的配 重塊。在配重塊的作用下，波紋管段發(fā)生拉伸和彎曲，從而自然地達(dá)到內(nèi)底面傾斜放置的溶 劑筒的最低處，從而提高溶劑筒內(nèi)洗液和廢氣的抽取效率。當(dāng)然可以設(shè)置為直管的抽取管， 只要實(shí)現(xiàn)抽取管能從溶劑筒的最低處抽取液體即可。經(jīng)過(guò)試驗(yàn)證明，采用由直管段、波紋管 段和配重塊組成的抽取管其抽取洗液和廢氣效率更高、裝配更為自由，不受溶劑筒尺寸的 限制。
[0010] 為了提高抽液效率，避免廢氣從出口蓋和抽取管的連接處溢出，優(yōu)選的技術(shù)方案 是，所述出口蓋與所述直管道的外壁密封配合，如螺紋密封配合。
[0011] 抽取管的材質(zhì)可以是，所述耐腐塑料管為全氟烷氧基樹脂管，配重塊外層為聚四 氟乙烯，這種兩材質(zhì)具有優(yōu)良的耐酸、耐腐性能。
[0012] 最好所述配重塊為錐頭朝下的錐形，固定于所述波紋管段的下方，且配重塊的軸 線上設(shè)有與所述抽取管的空腔相通的通孔。這樣的配重塊可以進(jìn)一步提高溶劑筒內(nèi)底面傾 斜后最低處尖角內(nèi)的溶劑抽取效率，從而進(jìn)一步提高清洗的凈度。
[0013] 也可以所述配重塊套設(shè)于所述波紋管段下端的外側(cè)壁。這種情況下，最好所述耐 腐塑料管還包括固定于所述波紋管段下方的錐管段。
[0014] 為了提高溶劑筒的清潔凈度，優(yōu)選的技術(shù)方案是，所述噴頭為升降式360度旋轉(zhuǎn) 嗔頭。
[0015] 為了提高抽液效率，避免廢氣從進(jìn)口蓋和噴頭的供料管的連接處溢出，所述進(jìn)口 蓋與所述供料管為密封配合，如螺紋密封配合。
[0016] 為了使噴頭噴射溶劑筒內(nèi)壁后的洗液及時(shí)排出，提高清潔凈度，優(yōu)選的技術(shù)方案 可以是，所述出液管道在靠近所述抽液管處設(shè)有用于偵測(cè)溶劑筒內(nèi)液位的電容式液位偵測(cè) 開關(guān)，電容式液位偵測(cè)開關(guān)電連接控制器，控制器電連接所述進(jìn)液閥和所述出液閥。
[0017] 洗滌可以采用去離子水洗滌；為此，所述溶劑存儲(chǔ)裝置為貯存去離子水的存儲(chǔ)裝 置，且所述溶劑存儲(chǔ)裝置為高位槽。將溶劑存儲(chǔ)裝置設(shè)計(jì)為高位槽可以節(jié)省動(dòng)力消耗。
[0018] 采用去離子水洗滌，則排去洗滌后溶劑筒內(nèi)殘留的水汽以及殘留水分需要較長(zhǎng)的 排氣時(shí)間。因此優(yōu)選的技術(shù)方案是采用置換清洗方式，即：用貯存溶劑筒所罐裝的有機(jī)溶 劑來(lái)清洗溶劑筒。為此，優(yōu)選所述溶劑存儲(chǔ)裝置為貯存溶劑筒所罐裝有機(jī)溶劑的存儲(chǔ)裝置。 通過(guò)置換清洗，只要溶劑存儲(chǔ)裝置內(nèi)有機(jī)溶劑中的雜質(zhì)控制在一定含量以內(nèi)，即使溶劑筒 內(nèi)殘留微量洗液，只需要排去溶劑筒內(nèi)的廢氣即可，節(jié)省了通氣以發(fā)揮或烘干殘留水分的 時(shí)間，從而大大提高了清洗效率。
[0019] 由于溶劑筒所罐裝的有機(jī)溶劑為有機(jī)化學(xué)品，用高位槽儲(chǔ)存有機(jī)化學(xué)品存在一定 危險(xiǎn)性；因此優(yōu)選的技術(shù)方案是，所述溶劑存儲(chǔ)裝置為低位槽；為解決低位槽往進(jìn)液管路 供應(yīng)溶劑的動(dòng)力問(wèn)題，優(yōu)選的技術(shù)方案是，所述進(jìn)液管路在所述進(jìn)液閥和所述溶劑存儲(chǔ)裝 置之間還設(shè)有輸液泵。
[0020] 在采用置換清洗方式時(shí)，清洗后的溶劑如果直接排放，易造成污染，同時(shí)還造成浪 費(fèi)。為此，優(yōu)選地，所述廢液處理裝置為過(guò)濾器，過(guò)濾器的出口通過(guò)回液管道連通至所述溶 劑存儲(chǔ)裝置。通過(guò)過(guò)濾器截留洗液中的雜質(zhì)，使得洗液經(jīng)過(guò)過(guò)濾后可以重復(fù)使用，避免了污 染和浪費(fèi)。
[0021] 在洗液過(guò)濾后經(jīng)回液管路回到溶劑存儲(chǔ)裝置內(nèi)的情況下時(shí)，優(yōu)選的技術(shù)方案是， 所述溶劑存儲(chǔ)裝置與回液管道以及與所述進(jìn)液管道分別為可拆卸式連接。這樣當(dāng)溶劑存儲(chǔ) 裝置內(nèi)的有機(jī)溶劑中雜質(zhì)含量特別是金屬離子含量不達(dá)標(biāo)時(shí)，可以方便地更換溶劑存儲(chǔ)裝 置。
[0022] 為了能有效截留洗液中的雜質(zhì)，優(yōu)選的技術(shù)方案是，所述過(guò)濾器包括三道用于 截流廢液中顆粒的過(guò)濾膜；沿出液方向，過(guò)濾膜濾孔的孔徑依次為0.5μm、0.2μm和 0. 05^0. 1 μ m〇
[0023] 為了便于檢測(cè)清洗效果，同時(shí)檢測(cè)所述溶劑存儲(chǔ)裝置內(nèi)溶劑的雜質(zhì)情況，優(yōu)選的 技術(shù)方案是，所述進(jìn)液管道還連通用于取樣檢驗(yàn)的分支管道，分支管道的出口為取樣口，分 支管道上設(shè)有取液閥。
[0024] 本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和有益效果在于：本發(fā)明通過(guò)使溶劑筒的內(nèi)底面傾斜設(shè)置，并插入 可以從溶劑筒內(nèi)底面的最低處抽取洗液和廢氣的抽取管，因此溶劑筒內(nèi)的洗液可以有效地 排出；同時(shí)設(shè)計(jì)了進(jìn)液、出液管路以及進(jìn)氣和排氣管路，使抽取溶劑筒內(nèi)洗液后殘留的廢氣 排出、殘留洗液也可以通過(guò)揮發(fā)或烘干帶出溶劑筒，從而提高了清洗凈度。該本發(fā)明還改進(jìn) 了清洗管路結(jié)構(gòu)，設(shè)計(jì)了可采用置換、回流方式清洗溶劑筒的管路結(jié)構(gòu)，進(jìn)一步提高了清洗 凈度、提高了清洗效率，同時(shí)節(jié)約了溶劑和避免了污染。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0025] 圖1是本發(fā)明溶劑筒清洗系統(tǒng)的一種結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是圖1中抽取管的一種結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3是圖2中A處的局部放大圖； 圖4是圖1中抽取管的另一種結(jié)構(gòu)示意圖； 圖5是圖4中B處的局部放大圖； 圖6是本發(fā)明溶劑筒清洗系統(tǒng)的另一種結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026] 圖中：1、溶劑筒；2、底座；11、出口蓋；12、抽取管；13、出液閥；14、排氣閥；17、抽 液泵；18、控制器；19、液位偵測(cè)開關(guān)；21、進(jìn)口蓋；22、噴頭；23、進(jìn)液閥；24、進(jìn)氣閥；25、溶 劑存儲(chǔ)裝置；26、氣體存儲(chǔ)裝置；27、輸液泵；28、加熱夾套；29、過(guò)濾器；31、取液閥；121、直 管段；122、波紋管段；123、配重塊；124、錐管段；220、供料管；1230、通孔。

【具體實(shí)施方式】
[0027] 下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步描述。以下實(shí)施例僅 用于更加清楚地說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案，而不能以此來(lái)限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0028] 實(shí)施例1 本發(fā)明是一種溶劑筒清洗系統(tǒng)，如圖1所示，包括用于使溶劑筒1內(nèi)底面傾斜設(shè)置的底 座2、用于密封溶劑筒1頂部進(jìn)口的進(jìn)口蓋21、用于密封溶劑筒1頂部出口的出口蓋11、用 于從溶劑筒1內(nèi)最低處抽取流體的抽取管12、以及用于向溶劑筒1內(nèi)噴射清潔流體的噴頭 22 ;噴頭22的供料管220穿過(guò)進(jìn)口蓋21，同時(shí)與進(jìn)液管路和進(jìn)氣管路相連通，進(jìn)液管路和 進(jìn)氣管路分別連通溶劑存儲(chǔ)裝置25和氣體存儲(chǔ)裝置26,進(jìn)液管路和進(jìn)氣管路上分別設(shè)有 進(jìn)液閥23和進(jìn)氣閥24 ;抽取管12穿過(guò)出口蓋11，同時(shí)與出液管路和排氣管路相連通；排氣 管路上設(shè)有排氣閥14并連通至廢氣排放口；出液管路上沿出液方向依次設(shè)有出液閥13和 抽液泵17并連通至廢液排放口。
[0029] 溶劑存儲(chǔ)裝置25為貯存去離子水的存儲(chǔ)裝置，即溶劑筒采用去離子水洗滌。為節(jié) 省動(dòng)力消耗，溶劑存儲(chǔ)裝置25設(shè)計(jì)為高位槽。
[0030] 使用時(shí)，打開進(jìn)液閥23和出液閥13,關(guān)閉進(jìn)氣閥24和排氣閥14,溶劑存儲(chǔ)裝置25 內(nèi)的溶劑經(jīng)進(jìn)液管路和噴頭22沖洗溶劑筒1內(nèi)壁，沖洗后的洗液通過(guò)抽液泵17的抽取從 抽取管12經(jīng)出液管路排出；由于溶劑筒1的內(nèi)底面傾斜設(shè)置，且抽取管12能延伸到溶劑 筒1內(nèi)底面的最低處，因此溶劑筒1內(nèi)的液體可以有效地排出；在溶劑筒1內(nèi)的液體排出之 后，關(guān)閉進(jìn)液閥23和出液閥13,打開進(jìn)氣閥14和排氣閥14,進(jìn)氣管路的氣體從噴頭22進(jìn) 入溶劑筒1、從抽取管12離開溶劑筒1，將溶劑筒1內(nèi)殘留廢氣排出，同時(shí)將殘留的洗液通 過(guò)揮發(fā)帶出，進(jìn)一步提高溶劑筒1的清洗凈度。
[0031] 為了提高溶劑筒1的清潔凈度，噴頭22為升降式360度旋轉(zhuǎn)噴頭。
[0032] 為了使噴頭22噴射溶劑筒內(nèi)壁后的洗液及時(shí)排出，提高清潔凈度，可以在出液管 道在靠近抽液管12處設(shè)置用于偵測(cè)溶劑筒1內(nèi)液位的電容式液位偵測(cè)開關(guān)19,電容式液位 偵測(cè)開關(guān)19電連接控制器18,控制器18電連接進(jìn)液閥23和出液閥13。
[0033] 用去離子水洗滌溶劑筒后，溶劑筒內(nèi)易殘留水汽以及殘留水，故可以在進(jìn)氣管路 上設(shè)置用于加熱管道內(nèi)氣體的加熱裝置。如圖1所示，加熱裝置為加熱夾套28。最好加熱 夾套28設(shè)計(jì)在進(jìn)氣管路的靠近進(jìn)氣閥24處，以節(jié)省熱能消耗。加熱進(jìn)氣管路上的氣體的 好處還在于，從噴頭22進(jìn)入溶劑筒1內(nèi)的熱氣可以由上至下逐漸地占據(jù)溶劑筒1，從而使溶 劑筒1內(nèi)的廢氣可以有效地從抽取管12排出。
[0034] 抽取管12的結(jié)構(gòu)只要滿足能從溶劑筒1的最低處抽取液體即可。優(yōu)選的抽液管 12的結(jié)構(gòu)為，如圖2和圖3所示，抽取管12包括上部的直管段121和與直管段121連接的 下部的波紋管段122,波紋管段122的下部還連接有耐腐塑料為外層的配重塊123。在抽 取管12的材質(zhì)選用上，可以選用耐腐塑料管為全氟烷氧基樹脂管，配重塊外層為聚四氟乙 烯，這種兩材質(zhì)具有優(yōu)良的耐酸、耐腐性能。在配重塊123的作用下，波紋管段122發(fā)生拉 伸和彎曲，從而可以自然地達(dá)到內(nèi)底面傾斜放置的溶劑筒1的最低處，從而提高溶劑筒內(nèi) 洗液和廢氣的抽取效率。經(jīng)過(guò)試驗(yàn)證明，采用由直管段121、波紋管段122和配重塊123組 成的抽取管12抽取洗液和廢氣效率更高、裝配更為自由，不受溶劑筒1尺寸太大的限制。
[0035] 作為抽取管，如圖2和圖3所示，配重塊123可以為錐頭朝下的錐形，固定于波紋 管段122的下方，配重塊123的軸線上設(shè)有與抽取管12的空腔相通的通孔1230。這樣的配 重塊可以進(jìn)一步提高溶劑筒1內(nèi)底面傾斜后最低處尖角內(nèi)的溶劑抽取效率，從而進(jìn)一步提 高清洗的凈度。
[0036] 作為抽取管，如圖4和圖5所示，配重塊123還可以套設(shè)于波紋管段122下端的外 側(cè)壁，與此同時(shí)，在波紋管段122下方還可以連接有錐管段124。
[0037] 為了提高抽液效率，避免廢氣從出口蓋11和抽取管12的連接處或從進(jìn)口蓋21和 噴頭22的供料管220的連接處溢出，最好出口蓋11與抽液管12的外壁密封配合，進(jìn)口蓋 21與供料管220為密封配合。抽液管12設(shè)有直管段121、波紋管段122時(shí)，出口蓋11與抽 液管12的直管段121的外壁密封配合。密封配合可以采用如螺紋密封配合。
[0038] 這里，還可以將底座2改為能使溶劑筒1內(nèi)底面傾斜設(shè)置的支架。
[0039] 除了廢氣排放口，排氣管路還可以連通至廢氣收集或處理裝置。
[0040] 除了廢液排放口，出液管路還可以連通至廢液收集或處理裝置。
[0041] 實(shí)施例2 實(shí)施例1的不足在于：采用去離子水洗滌，則排去洗滌后溶劑筒1內(nèi)殘留的水汽以及殘 留水分需要較長(zhǎng)的排氣時(shí)間。
[0042] 本實(shí)施例采用置換清洗方式，如圖6所示，S卩：用貯存溶劑筒所罐裝的有機(jī)溶劑來(lái) 清洗溶劑筒。本實(shí)施例中，溶劑存儲(chǔ)裝置25為貯存溶劑筒所罐裝有機(jī)溶劑的存儲(chǔ)裝置。通 過(guò)置換清洗，只要溶劑存儲(chǔ)裝置25內(nèi)有機(jī)溶劑中的雜質(zhì)控制在一定含量以內(nèi)，即使溶劑筒 1內(nèi)殘留微量洗液，只需要排去溶劑筒1內(nèi)的廢氣即可，節(jié)省了通氣以發(fā)揮或烘干殘留水分 的時(shí)間。
[0043] 由于溶劑筒1所罐裝的有機(jī)溶劑為有機(jī)化學(xué)品，用高位槽儲(chǔ)存有機(jī)化學(xué)品存在一 定危險(xiǎn)性；本實(shí)施例中，溶劑存儲(chǔ)裝置25為低位槽；為解決低位槽往進(jìn)液管路供應(yīng)溶劑的 動(dòng)力問(wèn)題，進(jìn)液管路在進(jìn)液閥23和溶劑存儲(chǔ)裝置25之間還設(shè)有輸液泵27。
[0044] 在采用置換清洗方式時(shí)，清洗后的溶劑如果直接排放，易造成污染，同時(shí)還造成浪 費(fèi)。為此，本實(shí)施例中，出液管路連通至廢液處理裝置，且廢液處理裝置為過(guò)濾器29,過(guò)濾器 29的出口通過(guò)回液管道連通至溶劑存儲(chǔ)裝置25。通過(guò)過(guò)濾器29截留洗液中的雜質(zhì)，使得 洗液經(jīng)過(guò)過(guò)濾后可以重復(fù)使用，避免了污染和浪費(fèi)。最好溶劑存儲(chǔ)裝置25與回液管道為可 拆卸式連接，溶劑存儲(chǔ)裝置25與進(jìn)液管道為可拆卸式連接。這樣當(dāng)溶劑存儲(chǔ)裝置25內(nèi)的 有機(jī)溶劑中雜質(zhì)含量特別是金屬離子含量不達(dá)標(biāo)時(shí)，可以方便地更換溶劑存儲(chǔ)裝置25。為 了能有效截留洗液中的雜質(zhì)，過(guò)濾器29包括三道用于截流廢液中顆粒的過(guò)濾膜；沿出液方 向，過(guò)濾膜濾孔的孔徑依次為〇· 5 μ m、0. 2 μ m和0· 05~0· 1 μ m。
[0045] 在采用置換清洗、且洗液經(jīng)過(guò)濾后回到溶劑存儲(chǔ)裝置25時(shí)，為了便于檢測(cè)清洗效 果，同時(shí)檢測(cè)溶劑存儲(chǔ)裝置25內(nèi)溶劑的雜質(zhì)情況，進(jìn)液管道還可連通用于取樣檢驗(yàn)的分支 管道，分支管道的出口為取樣口，分支管道上設(shè)有取液閥31。
[0046] 以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人 員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾 也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1. 一種溶劑筒清洗系統(tǒng)，包括用于使溶劑筒內(nèi)底面傾斜設(shè)置的支架或底座、用于密封 溶劑筒頂部的進(jìn)、出口的進(jìn)、出口蓋、用于從溶劑筒內(nèi)最低處抽取流體的抽取管、以及用于 向溶劑筒內(nèi)噴射清潔流體的噴頭；噴頭的供料管穿過(guò)進(jìn)口蓋，同時(shí)與進(jìn)液管路和進(jìn)氣管路 相連通，進(jìn)液管路和進(jìn)氣管路分別連通溶劑存儲(chǔ)裝置和氣體存儲(chǔ)裝置，進(jìn)液管路和進(jìn)氣管 路上分別設(shè)有進(jìn)液閥和進(jìn)氣閥；抽取管穿過(guò)出口蓋，同時(shí)與出液管路和排氣管路相連通； 排氣管路上設(shè)有排氣閥并連通至廢氣排放口或廢氣收集或處理裝置，出液管路上沿出液方 向依次設(shè)有出液閥和抽液泵并連通至廢液排放口或廢液收集或處理裝置。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的溶劑筒清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述進(jìn)氣管路還設(shè)有用于加 熱管道內(nèi)氣體的加熱裝置。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的溶劑筒清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述抽取管包括上部的直管 段和與直管段連接的下部的波紋管段，波紋管段的下部連接有耐腐塑料為外層的配重塊； 且進(jìn)口蓋與直管道的外壁密封配合。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的溶劑筒清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述噴頭為升降式360度旋轉(zhuǎn) 噴頭；所述進(jìn)口蓋與所述供料管為密封配合。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的溶劑筒清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述出液管道在靠近所述抽 液管處設(shè)有用于偵測(cè)溶劑筒內(nèi)液位的電容式液位偵測(cè)開關(guān)，電容式液位偵測(cè)開關(guān)電連接控 制器，控制器電連接所述進(jìn)液閥和所述出液閥。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的溶劑筒清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述溶劑存儲(chǔ)裝置為貯存去 離子水的存儲(chǔ)裝置，且所述溶劑存儲(chǔ)裝置為高位槽。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的溶劑筒清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述溶劑存儲(chǔ)裝置為貯存溶 劑筒所罐裝有機(jī)溶劑的存儲(chǔ)裝置；且所述溶劑存儲(chǔ)裝置為低位槽；所述進(jìn)液管路在所述進(jìn) 液閥和所述溶劑存儲(chǔ)裝置之間還設(shè)有輸液泵。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的溶劑筒清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述廢液處理裝置為過(guò)濾 器，過(guò)濾器的出口通過(guò)回液管道連通至所述溶劑存儲(chǔ)裝置；且所述溶劑存儲(chǔ)裝置與回液管 道以及與所述進(jìn)液管道分別為可拆卸式連接。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的溶劑筒清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述過(guò)濾器包括三道用 于截流廢液中顆粒的過(guò)濾膜；沿出液方向，過(guò)濾膜濾孔的孔徑依次為0.5μm、0.2μm和 0. 05^0. 1 μ m〇
10. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的溶劑筒清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述進(jìn)液管道還連通用于 取樣檢驗(yàn)的分支管道，分支管道的出口為取樣口，分支管道上設(shè)有取液閥。
【文檔編號(hào)】B08B9/28GK104056832SQ201410291559
【公開日】2014年9月24日 申請(qǐng)日期:2014年6月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月26日
【發(fā)明者】殷福華, 朱永剛, 朱龍, 趙文虎 申請(qǐng)人:江陰江化微電子材料股份有限公司