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      鹵代烴溶劑及其用途的制作方法

      文檔序號:1518693閱讀:2540來源:國知局
      專利名稱:鹵代烴溶劑及其用途的制作方法
      技術領域
      本發(fā)明涉及新穎鹵代烴溶劑及其用途。
      1,1,2-三氯-1,3,2-三氯乙烷(以下簡稱為R113)是不易燃的、非爆炸性的和穩(wěn)定的,而且是低毒性的,因而被廣泛地用作電子元件或精密機械元件的裝配工藝中所使用的溶劑或切削油的清潔劑,或者用作毛皮外衣或套裝之類服裝的清潔劑。此外,R113還被廣泛地應用于在用水洗滌液晶顯示器元件、電子元件或精密機械元件的洗滌處理后的元件上去除沉積水。另一方面,諸如三氯乙烯的漂洗劑被用于去除晶片上沉積的保護層去除劑,1,1,1-三氯乙烷被用作清潔劑以去除在拋光處理后沉積在精密金屬元件或裝飾件上的拋光劑,還有,1,1,1-三氯乙烷被用于顯影在印刷線路板或半導體線路的制備中的保護層,二氯甲烷或全氯乙烯被用于去除蝕刻處理后的保護層。
      盡管它有各種益處,但已發(fā)現(xiàn)R113破壞了同溫層中的臭氧,這轉而其本身就導致了皮膚癌。另一方面,二氯甲烷、三氯乙烯、全氯乙烯及1,1,1-三氯乙烷可能會帶來地下水的污染,這就要求最大限度地減少其用量。
      在這些情況之下,本發(fā)明的目的是解決這些問題,并提供一種新穎的鹵代烴溶劑作為這些常用溶劑的替代物。
      本發(fā)明提供一種鹵代烴溶劑,它主要是含有氫的氯氟丙烷并具有二氟亞甲基基團,可用下式表示
      式中a+b+c=3,x+y+z=3,a+x≥1,b+y≥1,且0≤a,b,c,x,y,z≤3。
      現(xiàn)結合較好的實施例詳細地描述本發(fā)明。
      式Ⅰ和化合物的特別例子如下CCl F2CF2CHCl2(R224ca)CCl2FCF2CHCl F(R224cb)CF3CF2CHCl2(R225ca)CCl F2CF2CHCl F(R225cb)CCl F2CF2CH2Cl(R234cc)CHF2CF2CHCl F(R235ca)CH3CF2CCl2F(R243cc)CHF2CF2CH2Cl(R244ca)CH2Cl CF2CH2Cl(R252ca)CHCl2CF2CH3(R252cb)CH3CF2CH2Cl(R262ca)CHF2CF2CCl2F(R225cc)CHCl FCF2CHCl F(R234ca)CHF2CF2CHCl2(R234cb)CH2FCF2CCl2F(R234cd)CF3CF2CH2Cl(R235cb)CCl F2CF2CH2F(R235cc)CH2Cl CF2CHCl F(R243ca)
      CH2FCF2CHCl2(R243cb)CH2FCF2CHCl F(R244cb)CCl F2CF2CH3(R244cc)CH2FCF2CH2Cl(R253ca)CH3CF2CHCl F(R253cb)CF3CF2CHCl F(R226ca)CCl F2CF2CHF2(R226cb)CCl3CF2CHCl2(R222c)CCl2FCF2CHCl2(R223ca)CCl3CF2CHCl F(R223cb)CCl3CF2CHF2(R224cc)CHCl2CF2CHCl2(R232ca)CCl3CF2CH2Cl(R232cb)CCl2FCF2CH2CL(R233cb)CHCl2CF2CHCl F(233ca)CCl3CF2CH2F(R233cc)CCl3CF2CH3(R242cb)CHCl2CF2CH2Cl(R242ca)
      由式Ⅰ表示的本發(fā)明化合物可單獨使用或者由二個或二個以上的混合物聯(lián)合使用。它們可用作各種清潔劑,包括干洗清潔劑,脫脂劑,去除拋光劑的清潔劑,溶劑的清除劑和漂洗劑;或者是用作保護層顯影劑或保護層去除劑,或者是用作去除沉積水的溶劑。它們還可有用地用于下列各種用途作為抽提含在煙草中的尼古丁的溶劑或者從動物或植物抽提藥物的溶劑,作為各種化學試劑的稀釋劑,該化學試劑包括涂料、脫模劑、水及油的拒斥劑、防潮涂料、防水劑、上光劑和抗靜電劑,以分散或溶解這些化學試劑來促進其達到要求的目的的應用,作為氣溶膠的溶劑,以溶解含于氣溶膠中的化學試劑或有活性的試劑,例如涂料、殺蟲劑、藥物、止汗劑、除臭劑、護發(fā)素或化妝品以及作為絕緣及冷卻例如充油的變壓器或氣體絕緣的變壓器的絕緣介質。
      當本發(fā)明化合物是用于上述各種用途時,較好地是按各種特殊的要求將其與各種其他化合物結合使用。
      例如,可以與諸如烴、醇、酮、氯代烴、酯或芳香族化合物的有機溶劑,或者和表面活性劑結合使用以改善在被用作為清潔溶劑時的清潔效果或改善在其他用途中的效果。結合在組合物中的有機溶劑的用量通常為0-80%(重量),較好地為0-50%(重量),更好地為10-40%(重量)。表面活性劑的用量通常為0-10%(重量),較好地為0.1-5%(重量),更好地為0.2-1%(重量)。
      烴較好地是具有1-15碳原子的線性或環(huán)狀的飽和的或不飽和的烴,且通常是選自正-戊烷,異戊烷,正-己烷,異己烷,2-甲基戊烷,2,2-二甲基丁烷,2,3-二甲基丁烷,正-庚烷,異庚烷,3-甲基己烷,2,4-二甲基戊烷,正-辛烷,2-甲基庚烷,3-甲基庚烷,4-甲基庚烷,2,2-二甲基己烷,2,5-二甲基己烷,3,3-二甲基己烷,2-甲基-2-乙基戊烷,3-甲基-3-乙基戊烷,2,3,3-三甲基戊烷,2,3,4-三甲基戊烷,2,2,3-三甲基戊烷,異辛烷,壬烷,2,2,5-三甲基己烷,癸烷,十二烷,1-戊烯,2-戊烯,1-己烯,1-辛烯,1-壬烯,1-癸烯,環(huán)戊烷,甲基環(huán)戊烷,環(huán)己烷,甲基環(huán)己烷,乙基環(huán)己烷,雙環(huán)己烷,環(huán)己烯,2-蒎烯,雙戊烯,萘烷,1,2,3,4-四氫化萘,戊烯和戊基萘。更好的是正-戊烷,正-己烷,環(huán)己烷和正-庚烷。
      醇較好地是具有1-17碳原子的脂肪族或環(huán)狀的飽和的或不飽和的醇,通常是選自甲醇,乙醇,正-丙醇,異丙醇,正-丁醇,仲-丁醇,異丁醇,叔-丁醇,戊醇,仲-戊醇,1-乙基-1-丙醇,2-甲基-1-丁醇,異戊醇,叔-戊醇,3-甲基-2-丁醇,新戊醇,1-己醇,2-甲基-1-戊醇,4-甲基-2-戊醇,2-乙基-1-丁醇,1-庚醇,2-庚醇,3-庚醇,1-辛醇,2-辛醇,2-乙基-1-己醇,1-壬醇,3,5,5-三甲基-1-己醇,1-癸醇,1-十一醇,1-十二醇,烯丙醇,炔丙基醇,芐基醇,環(huán)己醇,1-甲基環(huán)己醇,2-甲基環(huán)己醇,3-甲基環(huán)己醇,4-甲基環(huán)己醇,松油醇,松香醇,2,6-二甲基-4-庚醇,三甲基壬醇,十四醇和十七醇,更好的是甲醇,乙醇和異丙醇。
      酮較好地是由下述一般式中的一個所表示的
      式中各R,R′和R″是具有1-9個碳原子的飽和的或不飽和的烴基,通常是選自丙酮,甲基乙基酮,2-戊酮,3-戊酮,2-己酮,甲基-正-丁基酮,甲基丁基酮,2-庚酮,4-庚酮,二異丁基酮,乙腈,丙酮,異亞丙基丙酮,佛爾酮,甲基-正-戊酮,乙基丁基酮,甲基己基酮,環(huán)己酮,甲基環(huán)己酮,異佛爾酮,2,4-戊二酮,為丙酮醇,苯乙酮和葑酮。更好地是丙酮和甲基乙基酮。
      氯代烴較好地是具有1或2個碳原子的飽和的或不飽和的氯代烴,通常是選自二氯甲烷,四氯化碳,1,1-二氯乙烷,1,2-二氯乙烷,1,1,1-三氯乙烷,1,1,2-三氯乙烷,1,1,1,2-四氯乙烷,1,1,2,2-四氯乙烷,五氯乙烷,1,1-二氯乙烯,1,2-二氯乙烯,三氯乙烯及四氯乙烯。更好地是二氯甲烷,1,1,1-三氯乙烷,三氯乙烯及四氯乙烯。
      用于去除沉積水的溶劑的表面活性劑較好地是選自聚氧乙烯烷基醚,聚氧乙烯聚氧丙烯烷基醚,聚氧乙烯烷基酯,聚氧乙烯聚氧丙烯烷基酯,聚氧乙烯烷基苯酚,聚氧乙烯聚丙烯烷基苯酚,聚氧乙烯脫水山梨糖醇酯,聚氧乙烯聚氧丙烯脫水山梨糖醇酯,辛酸辛酰胺及聚氧乙烯烷基酰胺。更好的是辛酸辛基胺及聚氧乙烯烷基酰胺。作為用于干洗清潔劑的表面活性劑,可以用各種表面活性劑,包括非離子型,陽離子型,陰離子型和兩性型表面活性劑。較好地是選自線型烷基苯磺酸鹽,長鏈醇硫酸鹽,聚氧乙烯醚硫酸鹽,聚氧乙烯烷基醚磷酸鹽,聚氧乙烯烷基醚硫酸鹽,聚氧乙烯烷基苯醚磷酸鹽,2-烯烴磺酸鹽,硫代琥珀酸烷基酯,聚氧乙烯烷基醚,聚氧乙烯烷基酯,聚氧乙烯烷基烯丙基醚,脂肪酸二乙醇酰胺,聚氧乙烯烷基酰胺,脫水山梨糖醇脂肪酸酯,聚氧乙烯脂肪酸酯,季銨鹽,羥基硫代甜菜堿,聚氧乙烯月桂基醚,聚氧乙烯月桂基醚硫酸鈉鹽,十二烷基苯磺酸鈉及高級醇硫酸鈉。更好的是聚氧乙烯月桂基醚,聚氧乙烯月桂基醚硫酸鈉,十二烷基苯磺酸鈉及高級醇硫酸鈉。
      芳香族化合物較好地是苯衍生物或萘衍生物,通常是選自苯,甲苯,二甲苯,乙基苯,異丙基苯,二乙基苯,仲-丁基苯,三乙基苯,二異丙基苯,苯乙烯,烷基苯磺酸,苯酚,1,3,5-三甲基苯,萘,1,2,3,4,-四氧化萘,丁基苯,對甲基異丙基苯,環(huán)己基苯,戊基苯,二戊基苯,十二烷基苯,聯(lián)苯,鄰-甲酚,間-甲酚和二甲酚。更好地是烷基苯磺酸和苯酚。
      酯較好地是由下述一般式中的一個所表示的
      式中R1,R2,R3,R4,R5和R6為H,OH或具有1-19碳原子飽和的或不飽和的烴基,特別地,它是選自甲酸甲酯,甲酸乙酯,甲酸丙酯,甲酸丁酯,甲酸異丁酯,甲酸戊酯,乙酸甲酯,乙酸乙酯,乙酸丙酯,乙酸異丙酯,乙酸丁酯,乙酸異丁酯,乙酸仲丁酯,乙酸戊酯,乙酸異戊酯,乙酸3-甲氧基丁酯,乙酸仲己酯,乙酸(2-乙基)丁酯,乙酸(2-乙基)己酯,乙酸環(huán)己酯,乙酸芐酯,丙酸甲酯,丙酸乙酯,丙酸丁酯,丙酸異戊酯,丁酸甲酯,丁酸乙酯,丁酸丁酯,丁酸異戊酯,異丁酸異丁酯,2-羥基-2-甲基丙酸乙酯,硬脂酸丁酯,苯甲酸甲酯,苯甲酸乙酯,苯甲酸丙酯,苯甲酸丁酯,苯甲酸異戊酯,苯甲酸芐酯,松香酸乙酯,松香酸芐酯,己二酸雙-2-乙基己酯,α-丁內酯,草酸二乙酯,草酸二丁酯,草酸二戊酯,丙二酸二乙酯,馬來酸二甲酯,馬來酸二乙酯,馬來酸二丁酯,酒石酸二丁酯,檸檬酸三丁酯,癸二酸二丁酯,癸二酸(雙-2-乙基)己酯,鄰苯二甲酸二甲酯,鄰苯二甲酸二乙酯,鄰苯二甲酸二丁酯,鄰苯二甲酸(雙-2-乙基)己酯及鄰苯二甲酸二辛酯。更好地是乙酸甲酯和乙酸乙酯。
      可以將除了一般式Ⅰ以外的氯氟鹵代烴和本發(fā)明的化合物合用。當通過將本發(fā)明化合物與其他化合物聯(lián)用時存在共沸或假共沸現(xiàn)象時,較好的是在共沸或假共沸條件下使用它們,以使得當其被循環(huán)使用時在組合物中的組份沒有改變,或者不要求與通常的技術有實質上的變動。
      本發(fā)明的用于干洗的清潔劑可包含各種諸如抗靜電劑、柔軟劑、除污劑、阻燃劑,水和油的拒斥劑或穩(wěn)定劑等的添加劑。作為穩(wěn)定劑,可以用各種一般用于干洗的清潔劑的,包括硝基烷烴、環(huán)氧化物、胺類或苯酚類。
      各種清潔助劑或穩(wěn)定劑也可結合進脫脂劑,用于去除拋光劑的清潔劑,或溶劑清潔劑。在用于去除拋光劑的清潔劑的情況下,還可結合進水。作為清潔的方法,可以用人工揩擦、浸漬、噴濺、搖震、超聲清洗、蒸汽清洗或其他任何通常的方法。
      當需要穩(wěn)定漂洗劑時,較好地是和硝基烷烴合用,比如,硝基甲烷、硝基乙烷或硝基丙烷,或者環(huán)狀醚,比如,環(huán)氧丙烷、1,2-環(huán)氧丁烷、2,3環(huán)氧丁烷、3-氯-1,2-環(huán)氧丙烷、氧化苯乙烯、丁基縮水甘油醚、苯基縮水甘油醚、縮水甘油、1,4-二噁烷、1,3,5-三噁烷、1,3-二氧戊環(huán)、二甲氧基甲烷或1,2-二甲氧乙烷,用量為0.001至5.0%(重量)。
      至于通過本發(fā)明來顯影或去除保護層是沒有特別限制的。保護層對于曝露可以是正保護層或負保護層,是對遠紫外線曝露的保護層或者對X-射線或電子束曝露的保護層。對于光曝露的保護層包括一種二疊氮苯醌類,它具有以苯酚和甲酚的線型酚醛清漆樹脂作為基本材料,作為基本組分的順-1,4-聚異戊二烯的環(huán)橡膠類以及聚肉桂酸酯類。相似地對于曝露于遠紫外線的保護層包括聚甲基丙烯酸甲酯和聚甲基異丙烯基酮。對于曝露于電子束或X-射線的保護層包括聚甲基丙烯酸甲酯,甲基丙烯縮水甘油酯-丙烯酸乙酯共聚物,及甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸共聚物。
      對于通過利用按照本發(fā)明的用于去除沉積水的溶劑來去除沉積水,可以使用噴霧或噴淋方法或在冷浴中、熱浴中、蒸汽浴中或超聲浴中用浸漬方法,或者這些浴槽聯(lián)合使用的浸漬方法。
      本發(fā)明的絕緣介質可以與礦物油類絕緣介質,全鹵代烴類絕緣介質或硅油絕緣介質聯(lián)合使用,該介質在本領域中是一般使用的。此外,為了穩(wěn)定化的目的,可以加入諸如亞磷酸鹽化合物,硫化磷化合物或縮水甘油基醚化合物一起使用,或者聯(lián)合使用苯酚類或胺類抗氧化劑。
      現(xiàn)結合實施例進一步詳細描述本發(fā)明。然而,應該明白本發(fā)明并不限制于這些具體的實施例。
      實施例1-1至1-16通過用如表1中所確定的干洗劑進行洗潔力的清潔試驗。將一塊用YukagakuKyokai法著色的有碳素污漬的羊毛布(5×5厘米)放入Scrub-O-meter洗潔機中,在25℃下洗25分鐘,用ELREPHO光電反射儀測定洗潔效果。結果列于表1中。
      實施例2-1至2-16通過用如表2中所確定的脫脂劑進行切削油的清潔試驗。
      將一個SUS-304試驗樣品(25mm×30mm×2mm)浸入錠子油中,然后再在脫脂劑中浸5分鐘,接著取出試樣,肉眼觀察評價留在試樣表面上的錠子油的情況。結果列于表2中。
      實施例3-1至3-16通過用如表3中所確定的去除拋光劑的清潔劑進行去除拋光劑試驗。
      用拋光劑(GS-1,由SokenK.K.供應)拋光手表框,然后浸入清潔劑中以去除拋光劑,施加超聲波3分鐘。接著,將其取出并檢查拋光劑的除去情況。結果列于表3之中。
      實施例4-1至4-15通過用表4中所確定的溶劑清潔劑進行溶劑清潔劑試驗。
      將溶劑(TamuraF-A1-4,KabushikiKaishaTamuraSeisakushs生產)涂復在印刷線路板(敷銅箔疊壓板)的全部表面并在200℃的電爐中烘2小時。然后,將板在溶劑清潔劑浸1分鐘。溶劑去除的程度列于表4。
      實施例5-1至5-7將陽性保護層(OFPR-800,由TokyoOkasha生產)或陰性保護層(OMR-83,由TokyoOkasha生產)涂在硅晶片,接著蝕刻處理,然后將硅晶片于120℃浸在鄰-二氯苯型去除保護層溶液(去除保護層溶液-502,由TokyoOkasha生產)10分鐘,再于25℃浸在如表5中所確定的漂洗劑中3分鐘。進一步,在IPA/MEK混合液并再在超純的水中浸漬和洗凈,然后干燥。用顯微鏡檢查表面狀況。
      實施例6-1至6-16通過用如表6中所列的保護層顯影劑進行保護顯影試驗。
      將具有光保護膜層壓(Laminer,Dynachem公司生產的)的印刷線路板(敷銅箔疊壓板)曝光以得到預先確定的線路模式,然后用保護層顯影劑顯影,用顯微鏡檢查其表面以觀察線路是否徹底形成。結果列于表6中。
      實施例7-1至7-17通過用如表7中所列的保護層去除劑進行保護層去除試驗。
      將具有光保護膜層壓(Laminet,Dynachem公司生產的)的印刷線路板(敷銅箔疊壓板)進行曝光、顯影和蝕刻以形成印刷線路,然后于室溫將其浸入保護層去除劑中15分鐘。取出線路板并用顯微鏡檢查以觀察處理后膜的去除情況。結果列于表7中。
      實施例8-1至8-16通過用如表8中所列的去除沉積水的溶劑進行去除沉積水試驗。
      將30mm×18mm×5mm的玻璃片浸入純水中,接著再浸入去除沉積水溶劑中20秒鐘。然后,取出玻璃片并浸入干的甲醇,于是根據(jù)在這里含水量的增加來測定沉積水的去除狀況。結果列于表8中。
      實施例9-1至9-11通過用如表9中所列的本發(fā)明萃取溶劑組合物進行萃取包含在煙草中的尼古丁。
      將預定量的煙草試樣(Hilite,商業(yè)產品)放進索氏(Soxhlet)萃取器中,用本發(fā)明的萃取溶劑組合物進行加熱回流8小時?;亓骱?,將溶劑蒸發(fā)至干,測定萃取量。結果列于表9中。用甲醇作對比溶劑,進行同樣試驗,以這個試驗中的萃取量為100,將其他試驗的結果與此相對值評價來表示。
      其他對比試驗,是用丙酮和己烷進行同樣試驗。
      將各試驗的蒸發(fā)殘余物進行氣相色譜分析,發(fā)現(xiàn)在各殘余物中含有尼古丁。
      實施例10-1至10-51通過用表10中的稀釋劑,稀釋由含有聚氟代烷基的聚合物組成的防潮涂料。將由此而得的稀釋的組合物涂復在印刷線路板的表面上,并在空氣中干燥以在印刷線路板表面上形成防潮涂膜。用肉眼檢查該防潮涂膜的干燥狀況。結果列于表10之中。
      實施例11-1至11-51將通過混合3份表11中所列的溶劑組合物、9.4份純水、0.4份表面活性劑、1.6份十四烷酸異丙酯、0.4份滑石粉、0.2份香料及85份推進劑(1,1-二氯-2,2,2-三氟乙烷)而得的組合物充入氣溶膠容器中并振蕩幾次,肉眼觀察氣溶膠組合物的分散性能。結果列于表11。
      實施例12-1至12-11絕緣介質性能中最重要的絕緣性能是體積電阻率。一般是這樣認為的,即如果具有至少為1013歐姆·厘米的體積電阻,那就可用作為絕緣介質。
      本發(fā)明的絕緣介質組合物的體積電阻值列于表12中,在各種情況中,體積電阻均可符合上述標準。
      本發(fā)明的新穎鹵代烴溶劑是優(yōu)異的,其破壞臭氧的能力與一般用作為溶劑的R113相比是非常小的,其毒性低于諸如三氯乙烯或全氯乙烯等的通常的氯代烴溶劑,因而,就基本上沒有地下水污染問題。
      此外,當用于各種用途時,與通常的R113或氯代烴相比它們可以明顯提供相同或甚至更好效能。
      括號()中的值表示百分比例(重量比例)評價標準◎滿意地去除了污漬○基本滿意地去除了污漬△留有輕微的污漬Ⅹ基本保留著污漬
      括號()中的值表示百分比例(重量比例)評價標準◎滿意地脫脂○基本滿意地脫脂△留有輕微的油污Ⅹ基本保留著油污
      括號()中的值表示百分比例(重量比例)評價標準◎滿意地去除了拋光劑○基本滿意地去除了拋光劑△留有輕微的拋光劑Ⅹ基本保留著拋光劑
      括號()中的值表示百分比例(重量比例)評價標準◎滿意地去除了溶劑○基本滿意地去除了溶劑△留有輕微的溶劑Ⅹ基本保留著溶劑
      括號()中的值表示百分比例(重量比例)評價標準◎滿意地顯影○基本滿意地顯影△較差Ⅹ差
      括號()中的值表示百分比例(重量比例)評價標準◎滿意地去除了保護層○基本滿意地去除了保護層△留有輕微的保護層Ⅹ基本留著保護層
      括號()中的值表示百分比例(重量比例)評價標準◎滿意地去除積水○基本滿意地去除積水△留有輕微的沉積水Ⅹ基本留著沉積水
      括號()中的值表示百分比例(重量比例)評價標準◎優(yōu)異○好△觀察到輕微的不均勻Ⅹ觀察到基本上不均勻
      括號()中的值表示百分比例(重量比例)評價標準◎均勻分散○基本均勻分散△有輕微的不均勻Ⅹ基本上不均勻
      ◎體積電阻至少為1×1013歐姆
      權利要求
      1.一種溶劑,其特征在于基本上是由下述一般式(I)化合物構成,式中a+b+c=3、x+y+z=3、a+x≥1、b+y≥1及0≤a,b,c,x,y,z,≤3。
      2.按權利要求1所述的溶劑,其特征在于它基本上由10-100%(重量)所述的一般式(Ⅰ)化合物,0-80%(重量)的選自烴、醇、酮、氯代烴、酯、芳香族化合物的有機溶劑,以及0-10%(重量)的表面活性劑構成。
      3.按權利要求1所述的溶劑,其特征在于一般式(Ⅰ)的化合物為CF3CF2CHCl2。
      4.按權利要求1所述的溶劑,其特征在于一般式Ⅰ的化合物為CClF2CF2CHCl F或者CHF2CF2CH2Cl。
      5.具有下述一般式(Ⅰ)的化合物作為溶劑的用途式中a+b+c=3、x+y+z=3、a+x≥1,b+y≥1及0≤a,b,c,x,y,z,≤3。
      6.按權利要求5所述的用途,其特征在于該溶劑是一種清潔用的溶劑。
      7.按權利要求5所述的用途,其特征在于該溶劑是用作干洗清潔劑,脫油脂劑,去除拋光劑的清潔劑,溶劑清潔劑或者漂洗劑。
      8.按權利要求5所述的用途,其特征在于該溶劑是保護層顯影劑或保護層去除劑。
      9.按權利要求5所述的用途,其特征在于該溶劑是去除沉積水的溶劑,萃取劑,稀釋劑,氣溶膠溶劑或絕緣介質。
      10.按權利要求5所述的用途,其特征在于一般式Ⅰ的化合物是CF3CF2CHCl2,CClF2CF2CHCl F或CHF2CF2CH2Cl。
      全文摘要
      一種基本上由一般式I化合物構成的溶劑
      文檔編號C11D3/43GK1038635SQ89104329
      公開日1990年1月10日 申請日期1989年6月22日 優(yōu)先權日1988年6月22日
      發(fā)明者淺野昭雄, 渡邊直洋, 地主一樹, 鮫島俊一 申請人:旭硝子株式會社
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