一種數(shù)控線切割的制造方法
【專利摘要】一種數(shù)控線切割機，包括油冷機、空氣密封管，還包括殼體、主軸、控制單元、支架，所述的主軸設置于殼體中，控制單元連接所述的主軸，主軸安裝于殼體內的支架上，所述的主軸采用伸出軸結構，主軸為三個，主軸呈三角形分布安裝于支架上，主軸安裝位置較為穩(wěn)定，不易產生移位。本發(fā)明切割精度高，節(jié)省原材料、提高工作效率，減少了下道研磨工序的工作量。
【專利說明】一種數(shù)控線切割機
[0001]【技術領域】
本發(fā)明涉及一種切割機，尤其涉及一種數(shù)控線切割機。
【背景技術】
[0002]多線切割是一種通過金屬絲的高速往復運動，把磨料帶入半導體加工區(qū)域進行研磨，將半導體等硬脆材料一次同時切割為數(shù)百片薄片的一種新型切割加工方法。數(shù)控線切割機已逐漸取代了傳統(tǒng)的內圓切割，成為硅片切割加工的主要方式。
[0003]現(xiàn)有技術中，線切割機的主軸安裝位置不合理，常因鋼線張力、高負荷運行而引起的軸移位，生產良率不高。

【發(fā)明內容】

[0004]本發(fā)明提出一種數(shù)控線切割機，解決了現(xiàn)有技術中主軸安裝位置不合理，常因鋼線張力、高負荷運行而引起的軸移位，生產良率不高的問題。
[0005]本發(fā)明的技術方案是這樣實現(xiàn)的:
本發(fā)明公開了一種數(shù)控線切割機，包括油冷機、空氣密封管，還包括殼體、主軸、控制單元、支架，所述的主軸設置于殼體中，控制單元連接所述的主軸，主軸安裝于殼體內的支架上，所述的主軸為三個，主軸呈三角形分布安裝于支架上。
[0006]所述的控制單元包括帶抱閘伺服電機、帶觸摸屏。
[0007]實施本發(fā)明的一種數(shù)控線切割機，具有以下有益的技術效果:
三個主軸安裝于支架上，呈三角形分布，主軸安裝位置較為穩(wěn)定，不易產生移位。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0009]圖1是本發(fā)明一種數(shù)控線切割機構造示意圖。
【具體實施方式】
[0010]下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0011 ] 請參閱圖1，本發(fā)明的實施例，一種數(shù)控線切割機，包括油冷機、空氣密封管，還包括殼體10、主軸20、控制單元30、支架40，主軸20設置于殼體10中，控制單元30連接主軸20，主軸20采用伸出軸結構，主軸20為三個，主軸20呈三角形分布安裝于支架40上。[0012]所述的油冷機為所述的主軸提供冷卻油。
[0013]空氣密封管，用于給所述的主軸提供氣流。
[0014]控制單元包括帶抱閘伺服電機、帶觸摸屏。
[0015]本機器具有高產量，高穩(wěn)定性的高科技“硅晶體加工設備”。是借助連續(xù)快速移動的鋼絲線，在上面噴灑大量特定配制的研磨漿液，對工件進行高效的多線切割加工。加工對象為硬的、脆性的材料。如壓電水晶、石英玻璃、單晶硅、多晶硅、磁性材料、陶瓷、寶石等特硬、特脆的材料切割分解成片狀，切割精度高，節(jié)省原材料、提高工作效率，減少了下道研磨
工序的工作量。
[0016]本機器的主要功能部件包括切割系統(tǒng)、線管理系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)、供漿系統(tǒng)、工作臺升降系統(tǒng)、張力控制系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、操作系統(tǒng)及機器防護系統(tǒng)。
[0017]1:切割系統(tǒng):由伺服電機傳動軸、收線輪軸、放線輪軸、羅拉、轉角輪、組合輪、鋼絲線、砂漿泵、砂漿噴頭、料板、垂直進給滑臺、氣密封系統(tǒng)、油水冷卻泵、斷線報警器裝置構成。
[0018]2:線管理系統(tǒng):由收放線機構、排線機構、張力控制機構組成。
[0019]3:溫控系統(tǒng):本機裝有冷卻水機和冷卻油機，水循環(huán)泵、油循環(huán)泵、水和油冷卻機分體組裝，水油系統(tǒng)由溫度傳感器、電磁閥、壓力表、減壓閥、測量計、流量調節(jié)閥及管路構成。
[0020]4:供漿系統(tǒng):由砂漿箱、熱交換器、流量計、砂漿泵、砂漿噴管及噴頭、回漿過濾網組成。本機器在切割過程中可對砂漿溫度和流量進行精確的自動控制，溫度控制精度可達±0.5。C.5:工作臺升降系統(tǒng):由步進電機及驅動器、滾珠絲杠、直線導軌、減速器、垂直升降滑臺組成。
[0021]6:電控系統(tǒng):本機器控制系統(tǒng)采用西門子工控機和基于PC的控制器，通過開放式的Profibus總線通訊控制西門子的伺服運動控制系統(tǒng)，對鋼絲線的運動和張力控制，對砂漿的流量、溫度進行控制，根據砂漿的溫度，進行冷卻水控制，并具有溫度上下限制的報警，及超過設定值自動停機功能。機器在運行時，油冷卻機自動控制的，是循環(huán)降主軸溫度，主軸超過溫度設定值自動停機功能，對切割料的壓力進行控制，采用西門子的觸摸屏、對機器的啟動、數(shù)據設置、實現(xiàn)簡易操作，對機器的各種運動數(shù)據進行適時監(jiān)控、記錄和數(shù)據儲存，對各種故障進行顯示和記錄，本機器設有門電連鎖裝置和急停保護裝置，保護操作人員和機器安全，全程實現(xiàn)自動化、人性化。
[0022]本機器控制系統(tǒng)靈活，各項工藝參數(shù)可以由用戶根據需要靈活設置及調整，方便用戶調整工藝，以最佳效率和最低成本進行生產。
[0023]本機器電器元件采用歐姆龍、施耐德等世界知名品牌產品，長期穩(wěn)定可靠性高。
[0024]7:操作系統(tǒng)
機器的啟動條件包括:急停按鈕處于復位狀態(tài)、收放線張力設定、溫控油和水溫度在設定值范圍內、溫控油和水達到循環(huán)、羅拉直徑的設定數(shù)據、切割厚度的設置、收放線數(shù)據設置、安全開關處于復位狀態(tài)，防護門關閉，放線輪儲線量大于本次切割量，清除報警，當操作人員對所有條件一一確認后，才可以啟動機器，才能完全避免操作失誤。
[0025]機器在運行過程中，觸摸屏畫面可以監(jiān)控機器運行的各項主要參數(shù)，包括切割位置、切割量、乘于量、切割時間、乘于切割時間、進給量、進給速度、收放線速度、收放線時間、張力顯示值、主電機轉速和砂漿溫度、主軸油溫度。
[0026]8:張力控制系統(tǒng):
張力控制系統(tǒng)由張力臂、線輪、張力傳感器、張力放大器、旋轉編碼器、兩組組合輪組成。
[0027]鋼絲線在切割過程中，張力臂一直控制在設定張力、以保證鋼絲線張力恒定，由于負載變化和正反向切割，鋼絲線張力會發(fā)生變化，張力臂會上下拉伸，同時與張力臂同軸連接的旋轉編碼器檢測張力臂擺動的角度，將角度信號傳送到伺服電機控制器內，伺服電機控制器通過調整收放線輪轉速，使張力臂保持原定位置。
[0028]設定放線輪放線和收線輪放線鋼絲線張力大小、收放線速度、羅拉直徑、張力畫面顯示收放線張力傳感器的張力數(shù)據，
實施本發(fā)明的一種數(shù)控線切割機，具有以下有益的技術效果:
防止因鋼線張力、高負荷切斷而引起的軸變形，應對切薄、細線化時鋼線導輪的負荷增力口，發(fā)揮高效的生產能力。
[0029]以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發(fā)明的保護范圍之內。
【權利要求】
1.一種數(shù)控線切割機，包括油冷機、空氣密封管，還包括殼體、主軸、控制單元、支架，所述的主軸設置于殼體中，控制單元連接所述的主軸，主軸安裝于殼體內的支架上，其特征在于，所述的主軸采用伸出軸結構，主軸為三個，主軸呈三角形分布安裝于支架上。
【文檔編號】B28D5/04GK103660052SQ201210363108
【公開日】2014年3月26日 申請日期:2012年9月26日 優(yōu)先權日:2012年9月26日
【發(fā)明者】沈抗, 周學巧 申請人:東?？h抗歆電子廠