專利名稱：鋸線引導(dǎo)輥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于線鋸/金屬絲鋸的鋸線/金屬絲引導(dǎo)輥和一種用于制造鋸線引導(dǎo)輥的方法。本發(fā)明還涉及一種用于鋸割硅塊的線鋸和一種用于鋸割硅塊的方法。
背景技術(shù)：
在生產(chǎn)晶圓的制造工藝中存在一工藝步驟，在該步驟中必須由硅柱切割出晶圓。 為此例如使用線鋸。這種線鋸例如由EP O 733 429 Al已知。一直存在對改進(jìn)這種線鋸的需求。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，改進(jìn)用于線鋸的鋸線引導(dǎo)輥。這個(gè)目的通過權(quán)利要求1的特征實(shí)現(xiàn)。
本發(fā)明的核心在于，這樣設(shè)計(jì)一鋸線引導(dǎo)輥，使輥殼/輥套具有有目的/專設(shè)的同心轉(zhuǎn)動(dòng)偏差(Rundlauffehler),即，使棍殼有目的地偏離完美的同心轉(zhuǎn)動(dòng)(Rundlauf )。由此可以有目的地激勵(lì)放置在鋸線引導(dǎo)輥上且由鋸線引導(dǎo)輥導(dǎo)引的鋸線使其振動(dòng)。按照本發(fā)明可知，由此可以更好地將也稱為泥漿的磨料供應(yīng)給切割縫隙。
在此同心轉(zhuǎn)動(dòng)偏差指的是，棍殼在一垂直于棍軸的平面中具有一外圓周，其中，至少兩個(gè)在該輥殼外圓周上的點(diǎn)具有不同的到輥軸的距離。
與同心轉(zhuǎn)動(dòng)的偏差位于O.1mm至5mm、尤其O.1mm至3mm、尤其O. 5mm至3mm、尤其 O. 5mm至2mm的范圍內(nèi)。同心轉(zhuǎn)動(dòng)偏差優(yōu)選位于O. 5mm至3mm的范圍內(nèi)。這在使由同心轉(zhuǎn)動(dòng)偏差引起的離心力和/或振動(dòng)保持可控的同時(shí)，導(dǎo)致了振幅足夠大的振動(dòng)。
—般可以通過旋轉(zhuǎn)不對稱的、S卩非旋轉(zhuǎn)對稱的輥殼設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)所述輥?zhàn)愚D(zhuǎn)動(dòng)從完美同心轉(zhuǎn)動(dòng)的偏尚。
所述輥殼尤其可以具有一非圓環(huán)形的橫截面。這可以由此實(shí)現(xiàn)，即，使所述輥殼具有一外部的和/或內(nèi)部的、偏離圓形形狀的圓周。非圓環(huán)形的橫截面也可以通過外部的棍殼圓周和內(nèi)部的棍殼圓周的非同心的布置來實(shí)現(xiàn)。換言之，在這種情況下棍殼的內(nèi)部圓周中心點(diǎn)與外部圓周中心點(diǎn)間隔開一定距離。
以特別簡單的方式可以通過使所述輥殼具有一在徑向上變化的厚度來實(shí)現(xiàn)輥?zhàn)愚D(zhuǎn)動(dòng)從同心轉(zhuǎn)動(dòng)的偏離。
按照本發(fā)明的另一方面，也可以通過所述輥軸相對于輥基體的偏心的布置來實(shí)現(xiàn)同心轉(zhuǎn)動(dòng)偏差。
此外所述輥基體可以具有偏離圓形的橫截面。所述輥基體的橫截面尤其可以是橢圓的。該橫截面尤其具有大于O、尤其為至少O. 05的數(shù)值的偏心率。
也可以由下述方式實(shí)現(xiàn)有目的的同心轉(zhuǎn)動(dòng)偏差、尤其相應(yīng)的輥殼橫截面，S卩，使所述輥殼具有導(dǎo)向溝，導(dǎo)向溝的在徑向上的深度在輥殼的圓周上是變化的。
本發(fā)明的另一目的 在于，給出一種用于制造鋸線引導(dǎo)輥的方法。這個(gè)目的通過權(quán)利要求7的特征實(shí)現(xiàn)。
本發(fā)明的核心在于，在給輥殼加工溝槽時(shí)偏心地支承所述輥。由此以特別簡單的方法產(chǎn)生有目的的同心轉(zhuǎn)動(dòng)偏差。這樣制造的鋸線引導(dǎo)輥可以與常見的線鋸一起使用。無需改變線鋸的結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明的另一目的在于，改善一種用于鋸割硅塊的線鋸。這個(gè)目的通過權(quán)利要求 8的特征實(shí)現(xiàn)。
本發(fā)明的核心在于，這樣構(gòu)造鋸線引導(dǎo)輥中的至少一個(gè)，使得所述鋸線區(qū)為了鋸割硅塊在線鋸運(yùn)行時(shí)至少局部地進(jìn)行振動(dòng)。所述鋸線引導(dǎo)輥的這種構(gòu)造可以通過鋸線引導(dǎo)輥的適合的形狀結(jié)構(gòu)和/或適合的布置方式來實(shí)現(xiàn)。
所述振動(dòng)優(yōu)選具有O. 5mm至3mm的振幅。所述振動(dòng)的振幅位于O.1mm至5mm、尤其 O.1mm至3_、尤其O. 5mm至3_、尤其O. 5mm至2mm的范圍內(nèi)。
所述用于產(chǎn)生振動(dòng)的鋸線引導(dǎo)輥尤其相對于鋸線區(qū)的用于鋸割的部段設(shè)置在鋸線進(jìn)入側(cè)。
所述鋸線區(qū)的振動(dòng)尤其在橫向于、尤其垂直于鋸線進(jìn)給方向且垂直于由鋸線區(qū)撐開的平面的方向上具有一振幅。
按照本發(fā)明的另一方面，輥軸中的至少一個(gè)為了產(chǎn)生振動(dòng)能以可振動(dòng)的方式被支承。所述輥軸尤其能以可在垂直于切割平面、即基本垂直于鋸線區(qū)的方向上振動(dòng)的方式被支承。對所述輥軸的可振動(dòng)的支承能夠?qū)崿F(xiàn)對鋸線區(qū)的振動(dòng)的特別精確的監(jiān)控。
在一特別有利的實(shí)施例中，所述輥軸也能沿著一弧形的軌跡可振動(dòng)地被導(dǎo)引。由此尤其可以減小、特別是避免鋸線應(yīng)力的變化。
可通過前面所述的按照本發(fā)明的鋸線引導(dǎo)輥以簡單的方式實(shí)現(xiàn)鋸線區(qū)的振動(dòng)。
按照本發(fā)明的另一方面，所述線鋸的鋸線可具有與按照現(xiàn)有技術(shù)的用于線鋸的鋸線相比減小的直徑。所述鋸線尤其具有最大100 μ m的直徑。較細(xì)的鋸線尤其導(dǎo)致較窄的鋸割縫隙并由此導(dǎo)致較少的損失，即，導(dǎo)致較好的硅塊產(chǎn)出。
本發(fā)明的另一目的在于，改善一種用于鋸割硅塊的方法。這個(gè)目的通過權(quán)利要求 14的特征實(shí)現(xiàn)。
優(yōu)點(diǎn)對應(yīng)于上面的描述。
所述振動(dòng)在垂直于進(jìn)給方向的方向上的振幅尤其位于O. 5mm至3_的范圍內(nèi)。


本發(fā)明的其它優(yōu)點(diǎn)和細(xì)節(jié)由借助附圖對多個(gè)實(shí)施例的描述給出。附圖示出
圖1線鋸的示意結(jié)構(gòu)，
圖2按照第一實(shí)施例的線鋸的示意性局部截面圖，
圖3按照本發(fā)明的一實(shí)施例的鋸線引導(dǎo)輥的示意性縱剖視圖，
圖4鋸線引導(dǎo)輥另一實(shí)施例的按照圖3的視圖，
圖5線鋸的另一實(shí)施例的按照圖2的視圖。
具體實(shí)施方式
`于鋸割硅塊13的線鋸I的一般結(jié)構(gòu)。用于鋸割也稱為錠料或硅柱的硅塊13的線鋸I具有框架，在其中支承有多個(gè)引導(dǎo)輥3。至少部分引導(dǎo)輥3是可旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的。
引導(dǎo)輥3具有多個(gè)導(dǎo)向溝5。
線鋸I包括設(shè)計(jì)成鋸線的切割元件。鋸線2可以具有小于ΙΙΟμπκ尤其最大 100 μ m的直徑。
所述鋸線2可利用僅示意性示出的驅(qū)動(dòng)裝置4驅(qū)動(dòng)。鋸線尤其利用鋸線引導(dǎo)輥3 從第一鋸線儲輥31向著第二鋸線儲輥32在鋸線區(qū)6里被導(dǎo)引。第一鋸線儲輥31形成用于鋸線區(qū)6的饋入鋸線儲輥。第二鋸線儲輥32形成用于用過的鋸線2在通過鋸線區(qū)6之后的接收輥。鋸線儲輥31、32可分別利用驅(qū)動(dòng)裝置33、34驅(qū)動(dòng)。
線鋸I還包括控制裝置10，其用于控制驅(qū)動(dòng)裝置4和鋸線儲輥31、32的驅(qū)動(dòng)裝置 33,34ο
對于線鋸I尤其其組成部分的基本結(jié)構(gòu)的其它細(xì)節(jié)請參閱ΕΡ0733429Α1。
下面參照圖2描述線鋸I和鋸線引導(dǎo)輥3的一種實(shí)施例的其它細(xì)節(jié)。鋸線引導(dǎo)輥 3各自具有一以可在轉(zhuǎn)動(dòng)方向19上圍繞輥軸14轉(zhuǎn)動(dòng)的方式被支承的輥基體15 (也稱為輥芯)和一設(shè)置在輥基體15上的輥殼/輥套16。通過鋸線引導(dǎo)輥3圍繞輥軸14的轉(zhuǎn)動(dòng)，使鋸線2沿著進(jìn)給方向20運(yùn)動(dòng)。鋸線引導(dǎo)輥3具有在20cm至40cm范圍內(nèi)的直徑P。
鋸線引導(dǎo)輥3中的至少一個(gè)鋸線引導(dǎo)輥的輥殼16這樣設(shè)計(jì)，使得鋸線引導(dǎo)輥3具有有目的的同心轉(zhuǎn)動(dòng)偏差17。對此指的是，輥殼16的外圓周在鋸線引導(dǎo)輥3圍繞輥軸14 轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)不保持精確的位置固定。換言之，同心轉(zhuǎn)動(dòng)偏差17意味著,棍殼16在一垂直于棍軸 14的平面內(nèi)具有一外圓周，其中，輥殼16的該外圓周上的至少兩個(gè)點(diǎn)具有不同的到輥軸14 的距離。輥殼16上的具有不同的到輥軸14的距離的點(diǎn)尤其也可以位于導(dǎo)向溝5的部位。 導(dǎo)向溝5因此具有在圓周上變化的、在鋸線引導(dǎo)輥3的徑向方向上的深度。
這尤其意味著，輥殼16具有用于鋸線2的、在鋸線引導(dǎo)輥3轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)實(shí)現(xiàn)振動(dòng)、尤其在豎直方向上即在鋸線引導(dǎo)輥3的徑向上的振動(dòng)的上支承點(diǎn)18。為了清晰起見，在圖2中用實(shí)線繪出鋸線引導(dǎo)輥3的上位置，用虛線繪出鋸線引導(dǎo)輥3的下位置。
具有同心轉(zhuǎn)動(dòng)偏差 17的鋸線引導(dǎo)輥3用于產(chǎn)生鋸線區(qū)6在線鋸I運(yùn)行時(shí)的振動(dòng)。 所述振動(dòng)具有正好等于同心轉(zhuǎn)動(dòng)偏差17的振幅。所述振幅尤其位于O. 5mm至3mm的范圍內(nèi)。所述振動(dòng)的振幅位于O.1mm至5mm的范圍內(nèi)、尤其O.1mm至3mm的范圍內(nèi)、尤其O. 5mm 至3mm的范圍內(nèi)、尤其O. 5mm至2mm的范圍內(nèi)。根據(jù)本發(fā)明已經(jīng)證實(shí)，具有這種振幅的振動(dòng)對于改善泥漿的進(jìn)入是足夠的，而與此同時(shí)，由同心轉(zhuǎn)動(dòng)偏差引起的離心力和/或振動(dòng)保持可控。
所述振動(dòng)尤其具有在線鋸I運(yùn)行時(shí)在與要鋸割的工件13的進(jìn)給方向27平行的方向上的振幅。換言之，振動(dòng)具有橫向于、尤其垂直于鋸線2的進(jìn)給方向20的振幅，即橫向于、 尤其垂直于鋸線區(qū)6的取向的振幅。
按照在圖2中所示的實(shí)施例，同心轉(zhuǎn)動(dòng)偏差17通過鋸線進(jìn)入側(cè)的鋸線引導(dǎo)輥3的偏心支承來實(shí)現(xiàn)。換言之，輥軸14相對于輥基體15偏離中心地布置。這一點(diǎn)在圖3中再一次詳細(xì)示出。在這個(gè)實(shí)施例中輥基體15設(shè)計(jì)成非對稱的。輥殼16可以具有在圓周上恒定的厚度D。
此外線鋸I對于鋸線2的每個(gè)嵌入到要鋸割的硅塊13里面的鋸線段設(shè)有泥漿噴嘴26。泥漿噴嘴用于利用也稱為泥漿的磨料混合物浸潤鋸線區(qū)6。通過按照本發(fā)明的、設(shè)置在鋸線進(jìn)入側(cè)的鋸線引導(dǎo)輥3具有同心轉(zhuǎn)動(dòng)偏差17的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)，泥漿進(jìn)入到硅塊13中的鋸割縫隙21里面的這一特征有助于改善鋸割過程。各個(gè)泥漿噴嘴26設(shè)置在鋸線區(qū)6的用于鋸割的部段的與具有同心轉(zhuǎn)動(dòng)偏差17的鋸線引導(dǎo)輥3相同的一側(cè)上。
由于改善了以泥漿對鋸線2的浸潤，所以可以使用較細(xì)的鋸線2以鋸割硅塊13。 按照本發(fā)明的鋸線2可以具有小于120 μ m、尤其小于110 μ m、尤其最大100 μ m的直徑。
在如圖4所示的實(shí)施例中，輥基體15相對于輥軸14是旋轉(zhuǎn)對稱的。在這個(gè)實(shí)施例中，棍殼16在垂直于棍軸14的方向上具有非對稱的、尤其非旋轉(zhuǎn)對稱的橫截面。棍殼16 的橫截面尤其是非圓環(huán)形的。輥殼16具有在徑向22上變化的厚度D。
按照另一實(shí)施例，輥基體15構(gòu)造成橢圓的。它尤其具有>0、尤其至少為O. 05的數(shù)值偏心率。由此也可以產(chǎn)生有目的的同心轉(zhuǎn)動(dòng)偏差17。
按照一種特別簡單的用于制造具有有目的的同心轉(zhuǎn)動(dòng)偏差17的鋸線引導(dǎo)輥3的方法，為了給輥殼16開溝槽，即在加工用于導(dǎo)引鋸線2的鋸線導(dǎo)向溝時(shí)，偏心地支承所述輥。由此使所述導(dǎo)向溝得到在輥3的圓周上距輥軸14變化的距離。
原理上也可以規(guī)定，鋸線引導(dǎo)輥3的輥軸14中的至少一個(gè)、尤其是設(shè)置在鋸線進(jìn)入側(cè)的鋸線引導(dǎo)輥3的輥軸14以可振動(dòng)的方式被支承。這也導(dǎo)致了鋸線引導(dǎo)輥3的在線鋸I運(yùn)行時(shí)導(dǎo)致鋸線區(qū)6局部振動(dòng)的構(gòu)型。輥軸14尤其可以在垂直于切割平面、即基本垂直于鋸線區(qū)6的方向上可振動(dòng)地被支承。
在一特別有利的實(shí)施例中，輥軸14也可以沿著弧形的軌跡可振動(dòng)地被導(dǎo)引。由此尤其可以減小、尤其避免鋸線應(yīng)力的變化。
為了鋸割硅塊13，使鋸線2沿著進(jìn)給方向20穿過鋸線區(qū)6。在此鋸線具有在5m/ s至20m/s范圍內(nèi)的進(jìn)給速度。鋸線具有在5N至30N范圍內(nèi)的鋸線應(yīng)力。由于通過同心轉(zhuǎn)動(dòng)偏差17產(chǎn)生的鋸線區(qū)6的振動(dòng)，所以可能會(huì)導(dǎo)致鋸線2的鋸線應(yīng)力的變化。按照在圖 5中簡示的實(shí)施例，為了補(bǔ)償鋸線應(yīng)力的這種變化，設(shè)有補(bǔ)償裝置，尤其是以彈性支承的頂壓輥23的形式。頂壓輥23尤其利用彈簧24頂壓在鋸線區(qū)6的不用于鋸割硅塊13的部段上。利用頂壓輥23可以至少部分地、尤其很大程度地補(bǔ)償鋸線2的鋸線應(yīng)力的變化。
在線鋸I運(yùn)行時(shí)鋸線2通過引導(dǎo)輥3圍繞輥軸14的轉(zhuǎn)動(dòng)而在進(jìn)給方向20上運(yùn)動(dòng)穿過鋸線區(qū)6。在此鋸線2、尤其鋸線區(qū)6以給定振幅局部振動(dòng)。該振動(dòng)的振幅恰好等于進(jìn)入側(cè)的鋸線引導(dǎo)輥3的同心轉(zhuǎn)動(dòng)偏差17。振幅在平行于工件13進(jìn)給方向27的方向上位于 O. 5mm至3_的范圍內(nèi)。
在鋸割硅塊13時(shí)，硅塊13相對于鋸線區(qū)6在橫向于鋸線區(qū)6進(jìn)給方向20的進(jìn)給方向27上運(yùn)動(dòng)。由于改善了的以泥漿對鋸線2的浸潤，可以加大進(jìn)給方向27上的這個(gè)相對運(yùn)動(dòng)的速度、即鋸割速度。利用按照本發(fā)明的線鋸，可以使鋸割速度大于O. 4mm/min、尤其為至少O. 45mm/min。與沒有鋸線豎直振動(dòng)的線鋸相比，尤其能夠使工件13的進(jìn)給速度27 提高5至30%。
不同實(shí)施例的細(xì)節(jié)也可以相互組合。鋸線引導(dǎo)輥3尤其可以偏心地被支承和/或具有非對稱的輥基體15和/或具有橫截面非旋轉(zhuǎn)對稱的輥殼。重要的是，鋸線引導(dǎo)輥3中的至少一個(gè)這樣構(gòu)造，使鋸線區(qū)6在線鋸I運(yùn)行時(shí)至少局部振動(dòng)——尤其在平行于工件13 的進(jìn)給方向 27的方向上。
權(quán)利要求
1.一種用于線鋸(I)的鋸線引導(dǎo)輥(3)，該鋸線引導(dǎo)輥具有 a.一以能圍繞輥軸(14)轉(zhuǎn)動(dòng)的方式被支承的輥基體(15)和 b.一設(shè)置在棍基體(15)上的棍殼(16), c.其中，所述輥殼(16)這樣設(shè)計(jì)，使得所述鋸線引導(dǎo)輥(3)具有有目的的同心轉(zhuǎn)動(dòng)偏差(17)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鋸線引導(dǎo)輥(3)，其特征在于，所述輥殼(16)在垂直于輥軸(14)的方向上具有相對于棍軸(14)非旋轉(zhuǎn)對稱的橫截面。
3.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的鋸線引導(dǎo)輥(3)，其特征在于，所述輥殼(16)具有非圓環(huán)形的橫截面。
4.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的鋸線引導(dǎo)輥(3)，其特征在于，所述輥殼(16)具有在徑向(22)上變化的厚度(D)。
5.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的鋸線引導(dǎo)輥(3)，其特征在于，所述輥軸(14)相對于棍基體(15)偏心地布置。
6.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的鋸線引導(dǎo)輥(3)，其特征在于，所述輥基體(15)構(gòu)造成橢圓的。
7.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的鋸線引導(dǎo)輥(3)，其特征在于，所述輥殼(16)具有至少一個(gè)具有在輥殼(16 )圓周上變化的深度的導(dǎo)向溝(5 )。
8.一種用于制造鋸線引導(dǎo)輥(3)的方法，包括下面的步驟 -制備一棍，該棍具有一以能圍繞棍軸(14)轉(zhuǎn)動(dòng)的方式被支承的棍基體(15)和一棍殼(16)， -給輥殼(16)加工溝槽， -其中，在加工溝槽時(shí)偏心地支承所述輥。
9.一種用于鋸割硅塊(13)的線鋸(1)，具有 a.多個(gè)以能圍繞輥軸(14)轉(zhuǎn)動(dòng)的方式被支承的鋸線引導(dǎo)輥(3)和 b.一通過鋸線引導(dǎo)輥(3)在鋸線區(qū)(6)中被導(dǎo)引的鋸線(2)， c.其中，這樣構(gòu)造鋸線引導(dǎo)輥(3)中的至少一個(gè)，使得所述鋸線區(qū)(6)在線鋸(I)運(yùn)行時(shí)至少局部地進(jìn)行振動(dòng)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的線鋸(1)，其特征在于，至少一用于產(chǎn)生振動(dòng)的鋸線引導(dǎo)輥(3)相對于鋸線區(qū)(6)的用于鋸割的部段設(shè)置在鋸線進(jìn)入側(cè)。
11.根據(jù)權(quán)利要求9至10中任一項(xiàng)所述的線鋸(I)，其特征在于，所述振動(dòng)在垂直于鋸線(2)進(jìn)給方向(20)的方向上具有振幅。
12.根據(jù)權(quán)利要求9至11中任一項(xiàng)所述的線鋸(I)，其特征在于，輥軸(14)中的至少一個(gè)為了產(chǎn)生振動(dòng)以能振動(dòng)的方式被支承。
13.根據(jù)權(quán)利要求9至12中任一項(xiàng)所述的線鋸(I)，其特征在于，該線鋸具有至少一個(gè)根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的鋸線引導(dǎo)輥(3)，用以產(chǎn)生振動(dòng)。
14.根據(jù)權(quán)利要求9至13中任一項(xiàng)所述的線鋸(1)，其特征在于，所述鋸線(2)具有最大100 μ m的直徑。
15.一種用于鋸割硅塊(13)的方法，包括下面的步驟 -準(zhǔn)備一線鋸(I )，該線鋸具有-多個(gè)以能圍繞輥軸(14)轉(zhuǎn)動(dòng)的方式被支承的鋸線引導(dǎo)輥(3)和 -一通過鋸線引導(dǎo)輥(3)在鋸線區(qū)(6)中被導(dǎo)引的、能沿著進(jìn)給方向(20)移動(dòng)的鋸線(2)， -準(zhǔn)備一要鋸割的硅塊(13)， -使鋸線區(qū)(6)與要鋸割的硅塊(13)接觸， -使鋸線(2)在進(jìn)給方向(20)上移動(dòng)， -其中，所述鋸線(2)進(jìn)行完全或局部的、具有給定范圍的振幅的振動(dòng)。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其特征在于，所述振動(dòng)的振幅在垂直于鋸線(2)進(jìn)給方向(20)的方向上位于O. 5mm至3mm的范圍內(nèi)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于線鋸(1)的鋸線引導(dǎo)輥(3)，該鋸線引導(dǎo)輥具有一圍繞輥軸(14)可轉(zhuǎn)動(dòng)地被支承的輥基體(15)和一設(shè)置在輥基體(15)上的輥殼(16)，其中，所述輥殼(16)這樣設(shè)計(jì)，使所述鋸線引導(dǎo)輥(3)具有有目的同心轉(zhuǎn)動(dòng)偏差(17)。
文檔編號B28D5/04GK103042613SQ201210387159
公開日2013年4月17日 申請日期2012年10月12日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月13日
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