專利名稱：一種多線切割機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種多線切割機。
背景技術(shù)：
多線切割是一種通過金屬絲的高速往復(fù)運動，把磨料帶入半導(dǎo)體加工區(qū)域進行研磨，將半導(dǎo)體等硬脆材料一次同時切割為數(shù)百片薄片的一種新型切割加工方法。數(shù)控多線切割機已逐漸取代了傳統(tǒng)的內(nèi)圓切割，成為硅片切割加工的主要方式?！0003]現(xiàn)有技術(shù)中，鋼線導(dǎo)輪常因鋼線張力、高負荷切斷而引起的軸變形，生產(chǎn)率不高。

實用新型內(nèi)容本實用新型提出一種多線切割機，解決了現(xiàn)有技術(shù)中鋼線張力、高負荷切斷而引起的軸變形，生產(chǎn)率不高的問題。本實用新型的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的本實用新型公開了一種多線切割機，包括加工室、支架、多個鋼線導(dǎo)輪、導(dǎo)輪砂漿桶，所述的鋼線導(dǎo)輪安裝于支架上，所述的支架位于所述的加工室中，所述的多個鋼線導(dǎo)輪為單獨驅(qū)動的剛性鋼線導(dǎo)輪。進一步地，所述的鋼線導(dǎo)輪軸間距440mm。進一步地,所述的鋼線導(dǎo)輪長度為500mm。進一步地，所述的多線切割機的頂部、底部的鋼線線網(wǎng)各自布網(wǎng)。進一步地，所述的導(dǎo)輪砂漿桶位于所述的加工室正下方，容量為240L。進一步地，所述的導(dǎo)輪砂漿桶具有多層過濾構(gòu)造。實施本實用新型的一種多線切割機，具有以下有益的技術(shù)效果防止因鋼線張力、高負荷切斷而引起的軸變形，應(yīng)對切薄、細線化時鋼線導(dǎo)輪的負荷增加，發(fā)揮高效的生產(chǎn)能力。

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖I是本實用新型一種多線切割機構(gòu)造示意圖。
具體實施方式
下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├绢I(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。請參閱圖1，本實用新型的實施例，一種多線切割機，包括加工室10、支架20、多個鋼線導(dǎo)輪30、導(dǎo)輪砂漿桶40，鋼線導(dǎo)輪30安裝于支架20上，支架20位于加工室10中，多個鋼線導(dǎo)輪30為單獨驅(qū)動的剛性鋼線導(dǎo)輪。采用多個鋼線導(dǎo)輪30為單獨驅(qū)動的剛性鋼線導(dǎo)輪可防止因鋼線張力、高負荷切斷而引起的軸變形，應(yīng)對切薄、細線化時鋼線導(dǎo)輪的負荷增加，發(fā)揮高效的生產(chǎn)能力(同時加工娃棒長度1000mm)。進一步地，鋼線導(dǎo)輪30間軸間距440mm，采用該距離可抑制加工中鋼線的振動、跳
線、彎曲。 進一步地，鋼線導(dǎo)輪30長度為500mm，采用該長度可實現(xiàn)高精度、高出片率，使高送線加工成為可能。進一步地，多線切割機的頂部、底部的鋼線線網(wǎng)各自布網(wǎng)，因此，可在頂部、底部也可以用不同的槽距進行加工。進一步地，導(dǎo)輪砂漿桶40位于加工室10正下方，容量為240L。由于砂漿路徑的最短化，減少了路徑內(nèi)的淤渣殘留。因大容量化，可減輕切薄時硅含有量上升而產(chǎn)生的切割能力下降。砂漿自動給排，構(gòu)造簡易。砂漿桶的裝取、清掃的操作性良好。進一步地，導(dǎo)輪砂漿桶40具有多層過濾構(gòu)造。實踐證實，多層過濾構(gòu)造可徹底除去破片，淤渣，防止由于鋼線跳線造成的出片率惡化，宜采用加工室2層、砂漿桶2層的4層過濾構(gòu)造。實施本實用新型的一種多線切割機，具有以下有益的技術(shù)效果防止因鋼線張力、高負荷切斷而引起的軸變形，應(yīng)對切薄、細線化時鋼線導(dǎo)輪的負荷增加，發(fā)揮高效的生產(chǎn)能力。以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種多線切割機，包括加工室、支架、多個鋼線導(dǎo)輪、導(dǎo)輪砂漿桶，所述的鋼線導(dǎo)輪安裝于支架上，所述的支架位于所述的加工室中，其特征在于，所述的多個鋼線導(dǎo)輪為單獨驅(qū)動的剛性鋼線導(dǎo)輪。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的多線切割機，其特征在于，所述的鋼線導(dǎo)輪軸間距440mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的多線切割機，其特征在于，所述的鋼線導(dǎo)輪長度為500mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的多線切割機，其特征在于，所述的多線切割機的頂部、底部的鋼線線網(wǎng)各自布網(wǎng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的多線切割機，其特征在于，所述的導(dǎo)輪砂漿桶位于所述的加工室正下方，容量為240L。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的多線切割機，其特征在于，所述的導(dǎo)輪砂漿桶具有多層過濾構(gòu)造。
專利摘要本實用新型提出了一種多線切割機，包括加工室、支架、多個鋼線導(dǎo)輪、導(dǎo)輪砂漿桶，所述的鋼線導(dǎo)輪安裝于支架上，所述的支架位于所述的加工室中，所述的多個鋼線導(dǎo)輪為單獨驅(qū)動的剛性鋼線導(dǎo)輪。本實用新型一種多線切割機防止因鋼線張力、高負荷切斷而引起的軸變形，應(yīng)對切薄、細線化時鋼線導(dǎo)輪的負荷增加，發(fā)揮高效的生產(chǎn)能力。
文檔編號B28D5/04GK202781472SQ20122044391
公開日2013年3月13日 申請日期2012年9月3日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月3日
發(fā)明者沈抗, 周學(xué)巧 申請人:東海縣抗歆電子廠