用于多線切割機晶托的拆卸裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種在拆卸晶托時能夠有效避免晶托滑落的用于多線切割機晶托的拆卸裝置。該拆卸裝置,包括可移動式支架、支撐桿,所述支撐桿一端固定在可移動式支架上,另一端懸空,在晶托上設(shè)置有與支撐桿相匹配的通孔,所述通孔的開孔方向與晶托上粘接的硅棒同向,所述支撐桿能夠伸入通孔內(nèi)。在拆卸晶托時,只需將支撐桿伸入設(shè)置在晶托上的通孔內(nèi),然后將晶托拉出,整個晶托的重量靠支撐桿來承受,由于支撐桿能夠承載較重的物體而不發(fā)生變形折斷,因此,能夠有效避免晶托滑落的情況發(fā)生,避免對晶托以及切割好的硅片造成損傷,造成不必要的損失。適合在多線切割機配件領(lǐng)域推廣應(yīng)用。
【專利說明】用于多線切割機晶托的拆卸裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及多線切割機配件領(lǐng)域,尤其是一種用于多線切割機晶托的拆卸裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]多線切割是一種通過金屬絲的高速往復(fù)運動,把磨料帶入半導(dǎo)體加工區(qū)域進行研磨,將半導(dǎo)體一次同時切割為數(shù)百片薄片的一種新型切割加工方法。數(shù)控多線切割機已逐漸取代了傳統(tǒng)的內(nèi)圓切割,成為硅片切割加工的主要方式。
[0003]硅片是半導(dǎo)體和光伏領(lǐng)域的主要生產(chǎn)材料。硅片多線切割技術(shù)是目前世界上比較先進的硅片加工技術(shù),它不同于傳統(tǒng)的刀鋸片、砂輪片等切割方式,也不同于先進的激光切割和內(nèi)圓切割,它的原理是通過一根高速運動的鋼線帶動附著在鋼絲上的切割磨料對硅棒進行摩擦,從而達到切割效果。在整個過程中,鋼線通過十幾個導(dǎo)線輪的引導(dǎo),在主線輥上形成一張線網(wǎng),而待加工工件通過工作臺的下降實現(xiàn)工件的進給。硅片多線切割技術(shù)與其他技術(shù)相比有:效率聞,廣能聞,精度聞等優(yōu)點,是目如米用最廣泛的娃片切割技術(shù)。
[0004]多線切割機在切割完成后,卸載晶托時一般采用兩種方式,一種采用手動的方式、即手動從切割機中將晶托拉出,但是由于晶托較重,這樣很容易發(fā)生晶托滑落的問題,為了防止晶托滑輪,通常操作人員都是在拉出晶托時用手拖住硅片的下面,但是,由于硅片是一片一片的,用手托硅片時很容易使硅片掉落,,第二種方式是采用一個U形槽,U形槽固定在一個支架上,在卸載晶托時,將U形槽伸入使晶棒位于U形槽內(nèi),并在U形槽的側(cè)壁頂端設(shè)置一個內(nèi)凹的彎邊,在晶托的下表面設(shè)有與內(nèi)凹的彎邊相匹配的凸起,U形槽伸入后,彎邊與凸起相匹配,這種方式避免了人工接觸硅片,但是整個晶托的重量全部靠U形槽側(cè)壁頂端的彎邊承受,彎邊容易變形,一旦彎邊變形就很容易導(dǎo)致晶托滑落,而且,現(xiàn)有的U形槽寬度為160mm,而晶棒的寬度一般為156mm,這樣晶棒與U形槽內(nèi)壁的間距較小,在將U形槽伸入時,很容易刮到硅片,對硅片造成損傷,造成不必要的損失。
實用新型內(nèi)容
[0005]本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種在拆卸晶托時能夠有效避免晶托滑落的用于多線切割機晶托的拆卸裝置。
[0006]本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:該用于多線切割機晶托的拆卸裝置,包括可移動式支架、支撐桿,所述支撐桿一端固定在可移動式支架上,另一端懸空,在晶托上設(shè)置有與支撐桿相匹配的通孔,所述通孔的開孔方向與晶托上粘接的硅棒同向,所述支撐桿能夠伸入通孔內(nèi)。
[0007]進一步的是,所述通孔、支撐桿的截面形狀均為圓形。
[0008]進一步的是,所述可移動式支架上設(shè)置有U形槽,所述U形槽一端固定在可移動式支架上,另一端懸空,所述晶托上粘接的硅棒能夠放入U形槽內(nèi)。
[0009]進一步的是,所述U形槽的寬度為180mm?220mm。[0010]進一步的是,所述可移動式支架上設(shè)置有牽引電機,所述牽引電機上連接有牽引繩。
[0011]進一步的是,所述牽引繩的端頭設(shè)置有掛鉤。
[0012]進一步的是,所述可移動式支架上設(shè)置有把手。
[0013]進一步的是,所述把手上設(shè)置有防滑紋。
[0014]本實用新型的有益效果是:該用于多線切割機晶托的拆卸裝置通過設(shè)置懸空的支撐桿,并在晶托上設(shè)置有與支撐桿相匹配的通孔,在拆卸晶托時,只需將支撐桿伸入設(shè)置在晶托上的通孔內(nèi),然后將晶托拉出,整個晶托的重量靠支撐桿來承受,由于支撐桿能夠承載較重的物體而不發(fā)生變形折斷,因此,能夠有效避免晶托滑落的情況發(fā)生,避免對晶托以及切割好的硅片造成損傷,避免造成不必要的損失。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0015]圖1是本實用新型用于多線切割機晶托的拆卸裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0016]圖中標(biāo)記為:可移動式支架1、支撐桿2、晶托3、通孔4、U形槽5、硅棒6、牽引電機
7、牽引繩8、掛鉤9、把手10。
【具體實施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖對本實用新型進一步說明。
[0018]如圖1所示,該用于多線切割機晶托的拆卸裝置,包括可移動式支架1、支撐桿2,所述支撐桿2 —端固定在可移動式支架I上,另一端懸空,在晶托3上設(shè)置有與支撐桿2相匹配的通孔4,所述通孔4的開孔方向與晶托3上粘接的硅棒6同向,所述支撐桿2能夠伸入通孔4內(nèi)。該用于多線切割機晶托3的拆卸裝置通過設(shè)置懸空的支撐桿2,并在晶托3上設(shè)置有與支撐桿2相匹配的通孔4,在拆卸晶托3時,只需將支撐桿2伸入設(shè)置在晶托3上的通孔4內(nèi),然后將晶托3拉出,整個晶托3的重量靠支撐桿2來承受,由于支撐桿2能夠承載較重的物體而不發(fā)生變形折斷,因此,能夠有效避免晶托3滑落的情況發(fā)生,避免對晶托3以及切割好的硅片造成損傷,避免造成不必要的損失。
[0019]由于圓形截面的支撐桿2承重能力更好,可以承載更重的物體,因此,所述通孔4、支撐桿2的截面形狀均設(shè)置為圓形,同時圓形截面的支撐桿2也便于伸入通孔4內(nèi),另外也便于使晶托3沿支撐桿2滑動。
[0020]為了防止在拆卸晶托3時硅片落入多線切割機內(nèi)造成不必要的麻煩,所述可移動式支架I上設(shè)置有U形槽5,,所述U形槽5 —端固定在可移動式支架I上,另一端懸空,所述晶托3上粘接的硅棒6能夠放入U形槽5內(nèi),通過設(shè)置U形槽5,即使發(fā)生硅片掉落的現(xiàn)象,硅片也只會落入U形槽5內(nèi),不會落入多線切割機內(nèi)。
[0021]為了避免U形槽5在伸入的過程中刮到硅片,所述U形槽5的寬度為180mm?220mm,增加了硅片與U形槽5之間的間距,避免了上述情況的發(fā)生。
[0022]為了方便將晶托3從多線切割機內(nèi)拉出,所述可移動式支架I上設(shè)置有牽引電機7,所述牽引電機7上連接有牽引繩8,在拉出晶托3時,只需將牽引繩8的端頭固定在晶托3上,啟動牽引電機7即可自動將晶托3拉出來,省時又省力。為了方便將牽引繩8的端頭與晶托3固定在一起,所述牽引繩8的端頭設(shè)置有掛鉤9,在固定時,直接將掛鉤9勾在晶托3的把手10上即可。
[0023]為了便于移動可移動式支架1,所述可移動式支架I上設(shè)置有把手10。為了防止工人在移動可移動式支架I式手打滑,所述把手10上設(shè)置有防滑紋。
【權(quán)利要求】
1.用于多線切割機晶托的拆卸裝置,其特征在于:包括可移動式支架(1)、支撐桿(2),所述支撐桿(2) —端固定在可移動式支架(1)上,另一端懸空,在晶托(3)上設(shè)置有與支撐桿⑵相匹配的通孔(4),所述通孔(4)的開孔方向與晶托(3)上粘接的硅棒(6)同向,所述支撐桿(2)能夠伸入通孔(4)內(nèi),所述通孔(4)、支撐桿(2)的截面形狀均為圓形,所述可移動式支架(1)上設(shè)置有U形槽(5),所述U形槽(5) —端固定在可移動式支架(1)上,另一端懸空,所述晶托(3)上粘接的硅棒(6)能夠放入U形槽(5)內(nèi)。
2.如權(quán)利要求1所述的用于多線切割機晶托的拆卸裝置,其特征在于:所述U形槽(5)的寬度為180mm~220mm。
3.如權(quán)利要求2所述的用于多線切割機晶托的拆卸裝置,其特征在于:所述可移動式支架(1)上設(shè)置有牽引電機(7),所述牽引電機(7)上連接有牽引繩(8)。
4.如權(quán)利要求3所述的用于多線切割機晶托的拆卸裝置,其特征在于:所述牽引繩(8)的端頭設(shè)置有掛鉤(9)。
5.如權(quán)利要求4所述的用于多線切割機晶托的拆卸裝置,其特征在于:所述可移動式支架(1)上設(shè)置有把手(10)。
6.如權(quán)利要求5所述的用于多線切割機晶托的拆卸裝置,其特征在于:所述把手(10)上設(shè)置有防滑 紋。
【文檔編號】B28D5/04GK203765819SQ201320666556
【公開日】2014年8月13日 申請日期:2013年10月28日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月28日
【發(fā)明者】陳五奎, 李軍, 陳輝, 馮加保, 耿榮軍, 徐文州 申請人:樂山新天源太陽能科技有限公司