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      一種新型金剛線切割硅片用繞線輪的制作方法

      文檔序號(hào):11478648閱讀:287來源:國(guó)知局

      本實(shí)用新型屬于金剛線切割硅棒技術(shù)領(lǐng)域,尤其是涉及一種新型金剛線切割硅片用繞線輪。



      背景技術(shù):

      目前金剛線切割硅片設(shè)備,采用將一定張力的鋼線纏繞在有間距的聚氨酯繞線輪上形成線網(wǎng)。通過線網(wǎng)往返運(yùn)行,硅錠下壓進(jìn)入線網(wǎng),形成鋼線切割硅錠,最終完成硅錠到硅片的加工過程。切割過程中,線網(wǎng)進(jìn)入硅棒形成線弓。此過程中,進(jìn)入硅棒的線網(wǎng)受張力影響,導(dǎo)致線弓高度不一,尤其是繞線輪中部線弓最大,鋼線間切割受力不均,在最終硅片厚度等參數(shù)上離散度增大,出現(xiàn)參數(shù)超標(biāo)異常。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      有鑒于此,本實(shí)用新型旨在提出一種新型金剛線切割硅片用繞線輪,以解決現(xiàn)有金剛線切割硅片時(shí)由于線弓造成的切割不良的問題。

      為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的:

      一種新型金剛線切割硅片用繞線輪,包括繞線輪主體,所述繞線輪主體外圓周表面關(guān)于該繞線輪主體中間位置橫截面對(duì)稱的開設(shè)有多個(gè)線槽,所述線槽為V型槽,每相鄰兩個(gè)線槽距離相等,由繞線輪主體端部至繞線輪主體中間位置的線槽槽底直徑逐漸增大。

      進(jìn)一步的,所述包括繞線輪主體為腰鼓型結(jié)構(gòu),所述線槽槽深相同。

      進(jìn)一步的,所述線槽槽底直徑增大比例為:外側(cè)線槽槽底直徑:內(nèi)側(cè)線槽槽底直徑=1:1.01。

      進(jìn)一步的,所述繞線輪主體為聚氨酯體,該繞線輪主體的安裝孔內(nèi)設(shè)有剛性套筒。

      相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù),本實(shí)用新型所述的一種新型金剛線切割硅片用繞線輪具有以下優(yōu)勢(shì):

      本實(shí)用新型所述的一種新型金剛線切割硅片用繞線輪中,通過改變線槽槽底直徑的方式對(duì)線弓作出補(bǔ)償,來保證線弓高度相同,進(jìn)而保證了鋼線間切割受力均勻,減小硅片厚度等參數(shù)上離散度,保證切割質(zhì)量。

      附圖說明

      構(gòu)成本實(shí)用新型的一部分的附圖用來提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解,本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本實(shí)用新型,并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:

      圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例所述的一種新型金剛線切割硅片用繞線輪示意圖;

      附圖標(biāo)記說明:

      1-繞線輪主體;11-線槽;2-剛性套筒。

      具體實(shí)施方式

      需要說明的是,在不沖突的情況下,本實(shí)用新型中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。

      在本實(shí)用新型的描述中,需要理解的是,術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系,僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述,而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作,因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。此外,術(shù)語“第一”、“第二”等僅用于描述目的,而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此,限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隱含地包括一個(gè)或者更多個(gè)該特征。在本實(shí)用新型的描述中,除非另有說明,“多個(gè)”的含義是兩個(gè)或兩個(gè)以上。

      在本實(shí)用新型的描述中,需要說明的是,除非另有明確的規(guī)定和限定,術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解,例如,可以是固定連接,也可以是可拆卸連接,或一體地連接;可以是機(jī)械連接,也可以是電連接;可以是直接相連,也可以通過中間媒介間接相連,可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可以通過具體情況理解上述術(shù)語在本實(shí)用新型中的具體含義。

      下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來詳細(xì)說明本實(shí)用新型。

      一種新型金剛線切割硅片用繞線輪,包括圓柱形的繞線輪主體1,所述繞線輪主體1為聚氨酯體,該繞線輪主體1設(shè)有安裝孔,該繞線輪主體1的安裝孔內(nèi)設(shè)有剛性套筒2,本實(shí)施例中,剛性套筒2和繞線輪主體1的安裝孔間過盈配合連接,所述繞線輪主體1外圓周表面關(guān)于該繞線輪主體1中間位置橫截面對(duì)稱的開設(shè)有多個(gè)線槽11,所述線槽11為V型槽,每相鄰兩個(gè)線槽11距離相等,由繞線輪主體1端部至繞線輪主體1中間位置的線槽11槽底直徑逐漸增大,線輪主體1中間位置每一側(cè)的線槽11槽底直徑增大比例為:外側(cè)線槽槽底直徑:內(nèi)側(cè)線槽槽底直徑=1:1.01。

      本實(shí)施例中,所述包括繞線輪主體1為腰鼓型結(jié)構(gòu),所述線槽11槽深相同。

      以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已,并不用以限制本實(shí)用新型,凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。

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