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      一種砂漿線切割單/多晶硅片用砂漿添加劑的制作方法

      文檔序號:11107992閱讀:808來源:國知局

      本發(fā)明涉及一種添加劑,尤其涉及一種砂漿線切割單/多晶硅片用砂漿添加劑。



      背景技術:

      目前單(多)晶硅片砂漿線切割工藝過程主要是采用懸浮液分散碳化硅刃料顆粒,噴淋至鋼線線網上,進行線切割。為了降低硅片的生產成本,將成本中占主要份額的砂漿體系進行分離回收,由于懸浮液吸水性極強,回收后的砂漿由于循環(huán)次數增加,造成回收后的懸浮液水分含量增大,導致切割過程中砂漿發(fā)黏和切割后的硅片發(fā)生黏片臟片現(xiàn)象。致使這些現(xiàn)象的原因是由于切割產生的硅粉表面是帶有一定電荷的,在水分存在的環(huán)境里,使砂漿中切割產生的硅粉顆粒發(fā)生靜電吸附作用,產生締合現(xiàn)象,也會包裹部分碳化硅顆粒,砂漿的流變性能發(fā)生改變,即表觀現(xiàn)象就是砂漿發(fā)黏。同時切割過程中,硅粉濃度越來越高,砂漿中水分的作用,也會是硅粉在硅片上發(fā)生靜電吸附,造成在硅片上的粘度,從而切出來的硅片發(fā)生黏片現(xiàn)象。



      技術實現(xiàn)要素:

      本發(fā)明實施例所要解決的技術問題在于,現(xiàn)有的切割過程中砂漿發(fā)黏和切割后的硅片發(fā)生黏片臟片現(xiàn)象的問題,提出了一種砂漿線切割單/多晶硅片用砂漿添加劑。

      本發(fā)明實施例提供了一種砂漿線切割單/多晶硅片用砂漿添加劑,該一種砂漿線切割單/多晶硅片用砂漿添加劑包括:滲透劑0.1~0.5重量份,分散劑10~25重量份,潤滑劑1~10重量份,粘度調節(jié)劑0.1~0.5重量份,懸浮劑65~85重量份。

      其中,滲透劑為氟碳類低表面張力表面活性劑和有機硅類低表面張力表面活性劑中一種或幾種的組合。氟碳類低表面張力表面活性劑為Tivida FL 2200、Tivida FL 2300、Tivida FL 2500、FS-3100、Capstone FS-10、Zonyl 8867L;有機硅類低表面張力表面活性劑為BYK-347、TEGO WET 270、TEGO 5840、Silok Wet 8008、Silok Wet 8035、Silok Dispers 7455。

      其中,分散劑為聚乙烯吡咯烷酮、馬來酸酐-丙烯酸鈉鹽共聚物、水解聚馬來酸鈉鹽、丙烯酸-2-甲基-2-丙烯酰胺基丙磺酸鈉鹽共聚物、丙烯酸-丙烯酸羥丙酯鈉鹽共聚物中一種或幾種的混合,優(yōu)選分散劑的重量份為10~15。

      其中,潤滑劑為氫化蓖麻油聚氧乙烯醚、脂肪醇聚氧乙烯醚、聚乙二醇200月桂酸雙酯、聚乙二醇200月桂酸單酯、聚乙二醇200油酸單酯、聚乙二醇200油酸雙酯中一種或幾種的混合,優(yōu)選潤滑劑的重量份為3~7。

      其中,粘度調節(jié)劑為羥乙基纖維素、聚乙烯醇1799、聚乙烯醇1788、聚丙烯酰胺中一種過幾種的混合,優(yōu)選粘度調節(jié)劑的重量份為0.1~0.3。

      其中,懸浮劑為聚乙二醇200、聚乙二醇400、聚乙二醇600、聚乙二醇800、聚丙二醇200、聚乙二醇400、二甘醇、三甘醇、甘油、丙二醇、一縮二丙二醇中一種或幾種的混合。

      實施本發(fā)明實施例,具有如下有益效果:本發(fā)明在砂漿添加劑中加入了分散劑、潤滑劑、粘度調節(jié)劑以及懸浮劑,可提高碳化硅顆粒的切割能力及循環(huán)使用次數,并能增強碳化硅顆粒的懸浮分散性能,也可以避免碳化硅和硅粉顆粒在硅片表面上的吸附,可直接有效地解決砂漿發(fā)黏、硅棒黏片、脹片等問題,從而更容易的進行后續(xù)脫膠和清洗工序。

      具體實施方式

      下面將對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發(fā)明保護的范圍。

      本發(fā)明的砂漿線切割單/多晶硅片用砂漿添加劑包括:滲透劑0.1~0.5重量份,分散劑10~25重量份,潤滑劑1~10重量份,粘度調節(jié)劑0.1~0.5重量份,懸浮劑65~85重量份。

      其中,滲透劑為氟碳類低表面張力表面活性劑和有機硅類低表面張力表面活性劑中的一種或幾種的組合。氟碳類低表面張力表面活性劑為Tivida FL 2200、Tivida FL 2300、Tivida FL 2500、FS-3100、Capstone FS-10、Zonyl 8867L;有機硅類低表面張力表面活性劑為BYK-347、TEGO WET 270、TEGO 5840、Silok Wet 8008、Silok Wet 8035、Silok Dispers 7455。

      其中,分散劑為聚乙烯吡咯烷酮、馬來酸酐-丙烯酸鈉鹽共聚物、水解聚馬來酸鈉鹽、丙烯酸-2-甲基-2-丙烯酰胺基丙磺酸鈉鹽共聚物、丙烯酸-丙烯酸羥丙酯鈉鹽共聚物中一種或幾種的混合,優(yōu)選分散劑的重量份為10~15。

      其中,潤滑劑為氫化蓖麻油聚氧乙烯醚、脂肪醇聚氧乙烯醚、聚乙二醇200月桂酸雙酯、聚乙二醇200月桂酸單酯、聚乙二醇200油酸單酯、聚乙二醇200油酸雙酯中一種或幾種的混合,優(yōu)選潤滑劑的重量份為3~7。

      其中,粘度調節(jié)劑為羥乙基纖維素、聚乙烯醇1799、聚乙烯醇1788、聚丙烯酰胺中一種過幾種的混合,優(yōu)選粘度調節(jié)劑的重量份為0.1~0.3。

      其中,懸浮劑為聚乙二醇200、聚乙二醇400、聚乙二醇600、聚乙二醇800、聚丙二醇200、聚乙二醇400、二甘醇、三甘醇、甘油、丙二醇、一縮二丙二醇中一種或幾種的混合。

      實施例1

      配方的重量份如下(總重量份為100):

      Tivida FL 2200 0.2

      丙烯酸-2-甲基-2-丙烯酰胺基丙磺酸類共聚物鈉鹽 12。

      氫化蓖麻油聚氧乙烯醚 3。

      聚乙烯醇1788 0.2。

      聚乙二醇200 余量

      實施例2

      配方的重量份如下(總重量份為100):

      TEGO WET 270 0.3

      馬來酸酐-丙烯酸共聚物鈉鹽 11。

      聚乙二醇200月桂酸雙酯 5。

      羥乙基纖維素 0.1。

      甘油 余量

      實施例3

      配方的重量份如下(總重量份為100):

      Tivida FL 2500 0.15。

      丙烯酸-2-甲基-2-丙烯酰胺基丙磺酸類共聚物鈉鹽 14

      脂肪醇聚氧乙烯醚 4

      聚丙烯酰胺 0.1

      聚乙二醇600 余量

      實施例4

      配方的重量份如下(總重量份為100):

      Silok Wet 8008 0.25

      水解聚馬來酸鈉鹽 15

      聚乙二醇200油酸單酯 3

      聚乙烯醇1799 0.2

      聚乙二醇400 余量

      實施例5

      配方的重量份如下(總重量份為100):

      BYK-347 0.15

      Silok Wet 8035 0.1

      聚乙烯吡咯烷酮 10

      聚乙二醇200月桂酸單酯 5

      聚乙烯醇1799 0.2

      二甘醇 余量

      實施例6

      配方的重量份如下(總重量份為100):

      TEGO 5840 0.15

      馬來酸酐-丙烯酸共聚物鈉鹽 6

      丙烯酸-丙烯酸羥丙酯共聚物鈉鹽 5

      聚乙二醇200油酸單酯 6

      羥乙基纖維素 0.3

      聚丙二醇200 余量

      實施例7

      配方的重量份如下(總重量份為100):

      Silok Dispers 7455 0.2

      丙烯酸-2-甲基-2-丙烯酰胺基丙磺酸類共聚物鈉鹽 12

      氫化蓖麻油聚氧乙烯醚 4

      聚乙烯醇1799 0.15

      三甘醇 余量

      實施例8

      配方的重量份如下(總重量份為100):

      Silok Wet 8035 0.3

      馬來酸酐-丙烯酸共聚物鈉鹽 14

      聚乙二醇200油酸單酯 4

      羥乙基纖維素 0.15

      一縮二丙二醇 余量

      實施本發(fā)明實施例,具有如下有益效果:本發(fā)明在砂漿添加劑中加入了分散劑、潤滑劑、粘度調節(jié)劑以及懸浮劑,可提高碳化硅顆粒的切割能力及循環(huán)使用次數,并能增強碳化硅顆粒的懸浮分散性能,也可以避免碳化硅和硅粉顆粒在硅片表面上的吸附,可直接有效地解決砂漿發(fā)黏、硅棒黏片、脹片等問題,從而更容易的進行后續(xù)脫膠和清洗工序。

      以上僅為本發(fā)明的較佳實施例而已,并不用以限制本發(fā)明,凡在本發(fā)明的精神和原則之內,所作的任何修改、等同替換、改進等,均應包含在本發(fā)明的保護范圍之內。

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