本實(shí)用新型涉及一種過(guò)濾裝置，具體涉及一種無(wú)塵室循環(huán)過(guò)濾裝置、無(wú)塵室及手套箱。

背景技術(shù)：

在電子行業(yè)、顯示行業(yè)以及醫(yī)學(xué)行業(yè)的科學(xué)研究與生產(chǎn)過(guò)程中,為了提高產(chǎn)品性能，通常都需要在無(wú)塵室或無(wú)塵設(shè)備中加工制造或進(jìn)行相關(guān)科學(xué)實(shí)驗(yàn)。無(wú)塵設(shè)備的好壞直接關(guān)系到產(chǎn)品的好壞，這已經(jīng)成為影響和制約我國(guó)電子行業(yè)、顯示行業(yè)的瓶頸，能夠達(dá)到ISO1級(jí)的高潔凈無(wú)塵室更是幾乎沒(méi)有。

目前所使用的一些過(guò)濾設(shè)備，雖然可以滿(mǎn)足一些無(wú)塵室的過(guò)濾要求，但是對(duì)于一些小型的設(shè)備，例如手套箱等，其內(nèi)部空間較小，傳統(tǒng)的過(guò)濾設(shè)備在體積上與其存在矛盾，并且傳統(tǒng)的過(guò)濾設(shè)備普遍結(jié)構(gòu)都較為復(fù)雜，在使用成本和維護(hù)成本上也無(wú)法適應(yīng)手套箱等的要求。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低且可以適應(yīng)手套箱等設(shè)備使用要求的無(wú)塵室循環(huán)過(guò)濾裝置、無(wú)塵室及手套箱。

為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下：

無(wú)塵室循環(huán)過(guò)濾裝置，其包括：

過(guò)濾單元，其設(shè)置于無(wú)塵室內(nèi)，該過(guò)濾單元與無(wú)塵室的頂部之間形成第一腔室；

板體，其上開(kāi)設(shè)有多個(gè)通孔，該板體設(shè)置于無(wú)塵室內(nèi)并位于過(guò)濾單元的下方，該板體與過(guò)濾單元之間形成第二腔室，該板體與無(wú)塵室的底部之間形成第三腔室；

回風(fēng)通道，其兩端分別連通第一腔室和第三腔室。

本實(shí)用新型的無(wú)塵室循環(huán)過(guò)濾裝置主要在無(wú)塵室內(nèi)設(shè)置了過(guò)濾單元、板體和回風(fēng)通道，把無(wú)塵室分別隔成了第一腔室、第二腔室和第三腔室，過(guò)濾單元通過(guò)驅(qū)動(dòng)單元的運(yùn)轉(zhuǎn)將氣體通過(guò)其過(guò)濾后垂直向下吹出，帶走設(shè)備內(nèi)的顆粒物，氣體再依次經(jīng)過(guò)第二腔體、板體、第三腔體和回風(fēng)通道后重新回到第一腔體并被過(guò)濾單元吸入，如此循環(huán)過(guò)濾形成高潔凈的無(wú)塵環(huán)境。

因此，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，在簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)和降低成本的前提下，同樣形成了高潔凈度的無(wú)塵環(huán)境，使得潔凈度同樣可以達(dá)到ISO1級(jí)。

在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型還可以作如下改進(jìn)：

作為優(yōu)選的方案，上述的第一腔室和第三腔室還分別連接氣體凈化單元。

采用上述優(yōu)選的方案，氣體凈化單元可以抽取部分氣體除水除氧后，重新回到過(guò)濾單元的上部，經(jīng)過(guò)濾單元過(guò)濾后成為無(wú)水無(wú)氧的氣氛環(huán)境，從而進(jìn)一步地提高無(wú)塵室的潔凈度。

作為優(yōu)選的方案，上述的第一腔室和氣體凈化單元之間連接的管道上設(shè)置有過(guò)濾器。

采用上述優(yōu)選的方案，可以對(duì)重新回到過(guò)濾單元的氣體進(jìn)行過(guò)濾，從而進(jìn)一步地提高無(wú)塵室的潔凈度。

作為優(yōu)選的方案，上述的過(guò)濾單元為FFU過(guò)濾器。

采用上述優(yōu)選的方案，可以實(shí)現(xiàn)較佳的過(guò)濾效果。

作為優(yōu)選的方案，上述的過(guò)濾單元通過(guò)支架安裝于無(wú)塵室內(nèi)，過(guò)濾單元與支架之間設(shè)置有密封圈。

采用上述優(yōu)選的方案，可以保證過(guò)濾單元安裝的穩(wěn)固性和密封性。

作為優(yōu)選的方案，上述的密封圈內(nèi)設(shè)有周向的至少一腔室，腔室連通進(jìn)出氣單元，進(jìn)出氣單元上設(shè)置有至少一檢測(cè)單元，檢測(cè)單元電連接處理器，用于檢測(cè)進(jìn)出氣單元內(nèi)的氣體壓力值和/或氣體濃度值， 然后將氣體壓力值和/或氣體濃度值發(fā)送至處理器。

采用上述優(yōu)選的方案，在設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中可以在兩密封圈之間防止過(guò)濾單元與支架之間發(fā)生側(cè)漏現(xiàn)象，即生產(chǎn)過(guò)程中或使用過(guò)程中檢測(cè)過(guò)濾單元與支架之間有無(wú)側(cè)漏，防止有氣體沒(méi)經(jīng)過(guò)過(guò)濾單元而從側(cè)方跑了。

作為優(yōu)選的方案，上述的進(jìn)出氣單元上設(shè)置進(jìn)氣控制部和/或出氣控制部，其分別電連接處理器，處理器在收到氣體壓力值和/或氣體濃度值后，與處理器內(nèi)預(yù)設(shè)的值進(jìn)行對(duì)比，然后處理器根據(jù)對(duì)比結(jié)果控制進(jìn)氣控制部和出氣控制部通過(guò)進(jìn)出氣單元對(duì)腔室進(jìn)行加氣和/或減氣。

采用上述優(yōu)選的方案，在設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中可以在兩密封圈之間保持負(fù)壓環(huán)境。

作為優(yōu)選的方案，上述的進(jìn)出氣單元為管路。

采用上述優(yōu)選的方案，可以便于氣體的通過(guò)。

無(wú)塵室，包括殼體，該殼體內(nèi)設(shè)置有上述無(wú)塵室循環(huán)過(guò)濾裝置。

本實(shí)用新型的無(wú)塵室采用了上述的無(wú)塵室循環(huán)過(guò)濾裝置，因此具有與其相同的技術(shù)效果。

手套箱，包括殼體，該殼體內(nèi)具有作為無(wú)塵室的腔體，該腔體內(nèi)設(shè)置有上述無(wú)塵室循環(huán)過(guò)濾裝置。

本實(shí)用新型的手套箱采用了上述的無(wú)塵室循環(huán)過(guò)濾裝置，因此具有與其相同的技術(shù)效果。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的無(wú)塵室循環(huán)過(guò)濾裝置及無(wú)塵室(手套箱)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實(shí)用新型的無(wú)塵室循環(huán)過(guò)濾裝置中的密封檢測(cè)部分的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本實(shí)用新型的無(wú)塵室循環(huán)過(guò)濾裝置中的密封檢測(cè)部分的系統(tǒng)架構(gòu)圖。

其中，1.無(wú)塵室 11.殼體 12.腔體 2.過(guò)濾單元 21.第一腔室 22.支架 23.密封圈 24.腔室 25.進(jìn)出氣單元 251.進(jìn)氣控制部 252.出氣控制部 26.檢測(cè)單元 27.處理器 28.報(bào)警單元 3.板體 31.通孔 32.第二腔室 33.第三腔室 4.回風(fēng)通道 5.氣體凈化單元 51.管道 52.過(guò)濾器。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式。

為了達(dá)到本實(shí)用新型的目的，如圖1所示，在本實(shí)用新型的無(wú)塵室循環(huán)過(guò)濾裝置的其中一些實(shí)施方式中，其包括：過(guò)濾單元2，其設(shè)置于無(wú)塵室1內(nèi)，也就是殼體11內(nèi)，該過(guò)濾單元2與無(wú)塵室1的頂部之間形成第一腔室21；板體3，其上開(kāi)設(shè)有多個(gè)通孔31，該板體3設(shè)置于無(wú)塵室1內(nèi)并位于過(guò)濾單元2的下方，該板體3與過(guò)濾單元2之間形成第二腔室32，該板體3與無(wú)塵室1的底部之間形成第三腔室33；回風(fēng)通道4，其兩端分別連通第一腔室21和第三腔室33。其中，過(guò)濾單元2具體可以為FFU過(guò)濾器，其自帶作為驅(qū)動(dòng)單元的風(fēng)機(jī)，可以實(shí)現(xiàn)較佳的過(guò)濾效果。

本實(shí)施例的無(wú)塵室循環(huán)過(guò)濾裝置主要在無(wú)塵室內(nèi)設(shè)置了過(guò)濾單元、板體和回風(fēng)通道，把無(wú)塵室分別隔成了第一腔室、第二腔室和第三腔室，過(guò)濾單元通過(guò)驅(qū)動(dòng)單元的運(yùn)轉(zhuǎn)將氣體通過(guò)其過(guò)濾后垂直向下吹出，帶走設(shè)備內(nèi)的顆粒物，氣體再依次經(jīng)過(guò)第二腔體、板體、第三腔體和回風(fēng)通道后重新回到第一腔體并被過(guò)濾單元吸入，如此循環(huán)過(guò)濾形成高潔凈的無(wú)塵環(huán)境。因此，本實(shí)施例與現(xiàn)有技術(shù)相比，在簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)和降低成本的前提下，同樣形成了高潔凈度的無(wú)塵環(huán)境，使得潔凈度同樣可以達(dá)到ISO1級(jí)。

為了進(jìn)一步地優(yōu)化本實(shí)用新型的實(shí)施效果，如圖1所示，在本實(shí)用新型的無(wú)塵室循環(huán)過(guò)濾裝置的另一些實(shí)施方式中，在上述內(nèi)容的基礎(chǔ)上，上述的第一腔室21和第三腔室33還分別連接氣體凈化單元5，該氣體凈化單元5用于除水除氧，具體可采用常用的純化裝置，除此之外，也可以采用其他已知的氣體凈化裝置。采用該實(shí)施方式的方案， 氣體凈化單元可以抽取部分氣體除水除氧后，重新回到過(guò)濾單元的上部，經(jīng)過(guò)濾單元過(guò)濾后成為無(wú)水無(wú)氧的氣氛環(huán)境，從而進(jìn)一步地提高無(wú)塵室的潔凈度。

為了進(jìn)一步地優(yōu)化本實(shí)用新型的實(shí)施效果，如圖1所示，在本實(shí)用新型的無(wú)塵室循環(huán)過(guò)濾裝置的另一些實(shí)施方式中，在上述內(nèi)容的基礎(chǔ)上，上述的第一腔室21和氣體凈化單元5之間連接的管道51上設(shè)置有過(guò)濾器52。采用該實(shí)施方式的方案，可以對(duì)重新回到過(guò)濾單元的氣體進(jìn)行過(guò)濾，從而進(jìn)一步地提高無(wú)塵室的潔凈度。

為了進(jìn)一步地優(yōu)化本實(shí)用新型的實(shí)施效果，如圖1所示，在本實(shí)用新型的無(wú)塵室循環(huán)過(guò)濾裝置的另一些實(shí)施方式中，在上述內(nèi)容的基礎(chǔ)上，上述的過(guò)濾單元2通過(guò)支架22安裝于無(wú)塵室1內(nèi)，過(guò)濾單元2與支架22之間設(shè)置有密封圈23。采用該實(shí)施方式的方案，可以保證過(guò)濾單元安裝的穩(wěn)固性和密封性。

為了進(jìn)一步地優(yōu)化本實(shí)用新型的實(shí)施效果，如圖1-3所示，在本實(shí)用新型的無(wú)塵室循環(huán)過(guò)濾裝置的另一些實(shí)施方式中，在上述內(nèi)容的基礎(chǔ)上，上述的密封圈23內(nèi)設(shè)有周向的一腔室24，也可以設(shè)置為多個(gè)，腔室24連通進(jìn)出氣單元25，該進(jìn)出氣單元25具體可以為管路，進(jìn)出氣單元25上設(shè)置有一檢測(cè)單元26，也可以設(shè)置為多個(gè)，檢測(cè)單元26電連接處理器27，用于檢測(cè)進(jìn)出氣單元25內(nèi)的氣體壓力值或氣體濃度值，然后將氣體壓力值或氣體濃度值發(fā)送至處理器27。在另一些實(shí)施方式中，檢測(cè)單元26還可以同時(shí)檢測(cè)進(jìn)出氣單元25內(nèi)的氣體壓力值和氣體濃度值。其中，檢測(cè)單元26具體可以為壓力傳感器以及濃度傳感器。采用該實(shí)施方式的方案，在設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中可以在兩密封圈之間防止過(guò)濾單元與支架之間發(fā)生側(cè)漏現(xiàn)象，即生產(chǎn)過(guò)程中或使用過(guò)程中檢測(cè)過(guò)濾單元與支架之間有無(wú)側(cè)漏，防止有氣體沒(méi)經(jīng)過(guò)過(guò)濾單元而從側(cè)方跑了。而為了形成對(duì)周?chē)奶嵝?，還可以加裝報(bào)警單元28。

為了進(jìn)一步地優(yōu)化本實(shí)用新型的實(shí)施效果，如圖1-3所示，在本實(shí)用新型的無(wú)塵室循環(huán)過(guò)濾裝置的另一些實(shí)施方式中，在上述內(nèi)容的 基礎(chǔ)上，上述的進(jìn)出氣單元25上設(shè)置進(jìn)氣控制部251和出氣控制部252，其分別電連接處理器27，處理器27在收到氣體壓力值和/或氣體濃度值后，與處理器27內(nèi)預(yù)設(shè)的值進(jìn)行對(duì)比，然后處理器27根據(jù)對(duì)比結(jié)果控制進(jìn)氣控制部251和出氣控制部252通過(guò)進(jìn)出氣單元25對(duì)腔室24進(jìn)行加氣和減氣。其中，在另一些實(shí)施方式中，上述的進(jìn)出氣單元上也可以設(shè)置進(jìn)氣控制部31或者出氣控制部32，其分別電連接處理器5，該處理器5在收到氣體壓力值和/或氣體濃度值后，與處理器5內(nèi)預(yù)設(shè)的值進(jìn)行對(duì)比，然后處理器5根據(jù)對(duì)比結(jié)果控制進(jìn)氣控制部31或者出氣控制部32通過(guò)進(jìn)出氣單元3對(duì)腔室21進(jìn)行加氣或者減氣。采用該實(shí)施方式的方案，在設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中可以在兩密封圈之間保持負(fù)壓環(huán)境。

為了達(dá)到本實(shí)用新型的目的，如圖1所示，在本實(shí)用新型的無(wú)塵室的其中一些實(shí)施方式中，包括殼體11，該殼體11內(nèi)設(shè)置有上述無(wú)塵室循環(huán)過(guò)濾裝置。本實(shí)施例的無(wú)塵室采用了上述的無(wú)塵室循環(huán)過(guò)濾裝置，因此具有與其相同的技術(shù)效果。

為了達(dá)到本實(shí)用新型的目的，如圖1所示，在本實(shí)用新型的手套箱的其中一些實(shí)施方式中，包括殼體11，該殼體11內(nèi)具有作為無(wú)塵室的腔體12，該腔體12內(nèi)設(shè)置有上述無(wú)塵室循環(huán)過(guò)濾裝置。本實(shí)施例的手套箱采用了上述的無(wú)塵室循環(huán)過(guò)濾裝置，因此具有與其相同的技術(shù)效果。

以上所述的僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。