技術總結
本實用新型公開了一種無塵室循環(huán)過濾裝置，其包括：過濾單元，其設置于無塵室內(nèi)，該過濾單元與無塵室的頂部之間形成第一腔室；板體，其上開設有多個通孔，該板體設置于無塵室內(nèi)并位于過濾單元的下方，該板體與過濾單元之間形成第二腔室，該板體與無塵室的底部之間形成第三腔室；回風通道，其兩端分別連通第一腔室和第三腔室。本實用新型同時還公開了一種無塵室和手套箱。本實用新型與現(xiàn)有技術相比，在簡化結構和降低成本的前提下，同樣形成了高潔凈度的無塵環(huán)境，使得潔凈度同樣可以達到ISO1級。

技術研發(fā)人員：張德龍
受保護的技術使用者：威格氣體純化科技（蘇州）股份有限公司
文檔號碼：201620249503
技術研發(fā)日：2016.03.29
技術公布日：2016.12.28