專利名稱:Pcb板半自動(dòng)對(duì)位及曝光裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種PCB板半自動(dòng)對(duì)位及曝光裝置,包括對(duì)位室和曝光室,對(duì)位室和曝光室內(nèi)分別設(shè)有平行的上滑道和下滑道,上滑道內(nèi)設(shè)有上對(duì)位平臺(tái),上對(duì)位平臺(tái)包括可沿上滑道滑動(dòng)的第一工作臺(tái),與第一工作臺(tái)鉸接的第一上蓋和對(duì)位機(jī)構(gòu),第一工作臺(tái)的上方設(shè)有可沿對(duì)位室內(nèi)滑動(dòng)的信號(hào)采集裝置;曝光室包括曝光裝置,曝光裝置可沿曝光室內(nèi)做上下垂直運(yùn)動(dòng),下對(duì)位平臺(tái)包括可沿下滑道滑動(dòng)的第二工作臺(tái),與第二工作臺(tái)鉸接的第二上蓋和對(duì)位機(jī)構(gòu);第一工作臺(tái)與第二工作臺(tái)通過驅(qū)動(dòng)裝置做相對(duì)運(yùn)動(dòng),還包括控制系統(tǒng),控制系統(tǒng)控制隔板的開和閉,控制第一工作臺(tái)與第二工作臺(tái)相對(duì)運(yùn)動(dòng),控制對(duì)位機(jī)構(gòu)自動(dòng)對(duì)位。它具有定位精確,定位效率高的優(yōu)點(diǎn)。
【專利說明】PCB板半自動(dòng)對(duì)位及曝光裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種曝光機(jī),尤其是一種PCB板半自動(dòng)對(duì)位及曝光裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]PCB板在進(jìn)行曝光之前需要對(duì)位,現(xiàn)有的對(duì)位裝置是通過人工對(duì)位,這種對(duì)位存在一些不同之處,如,在對(duì)位時(shí)通過人眼觀察PCB板與菲林之間對(duì)位情況,這樣使得對(duì)位誤差較大,對(duì)位精度不高,對(duì)位效率比較低,同時(shí)由于對(duì)位不精確,PCB板曝光后,導(dǎo)致PCB板的合格率比較低。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的是解決現(xiàn)有技術(shù)不足,提供一種PCB板半自動(dòng)對(duì)位及曝光裝置。
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)方案為:
[0005]一種PCB板半自動(dòng)對(duì)位及曝光裝置,包括機(jī)架,機(jī)架包括對(duì)位室和曝光室,對(duì)位室和曝光室通過活動(dòng)的隔板隔開,對(duì)位室和曝光室內(nèi)分別設(shè)有平行的上滑道和下滑道,上滑道內(nèi)設(shè)有上對(duì)位平臺(tái),上對(duì)位平臺(tái)包括可沿上滑道滑動(dòng)的第一工作臺(tái),與第一工作臺(tái)鉸接的第一上蓋和設(shè)于第一工作臺(tái)下表面的對(duì)位機(jī)構(gòu),第一工作臺(tái)兩側(cè)邊的中部分別設(shè)有氣缸控制的第一伸縮桿,第一上蓋的兩側(cè)邊分別鉸接有第一活動(dòng)桿,第一活動(dòng)桿與對(duì)應(yīng)的第一伸縮桿鉸接,第一工作臺(tái)與第一上蓋之間設(shè)有第一托板,第一托板上表面從下到上依次放置有PCB板和包含基準(zhǔn)圓的菲林,第一工作臺(tái)的正上方設(shè)有可沿對(duì)位室內(nèi)滑動(dòng)的信號(hào)采集裝置;曝光室包括設(shè)于下滑道內(nèi)的下對(duì)位平臺(tái)和設(shè)于下對(duì)位平臺(tái)正上方的曝光裝置,曝光裝置可沿曝光室內(nèi)做上下垂直運(yùn)動(dòng),下對(duì)位平臺(tái)包括可沿下滑道滑動(dòng)的第二工作臺(tái),與第二工作臺(tái)鉸接的第二上蓋和設(shè)于第二工作臺(tái)下表面的對(duì)位機(jī)構(gòu),第二工作臺(tái)兩側(cè)邊的中部分別設(shè)有氣缸控制的第二伸縮桿,第二上蓋的兩側(cè)邊分別鉸接有第二活動(dòng)桿,第二活動(dòng)桿與對(duì)應(yīng)的第二伸縮桿鉸接,第二工作臺(tái)與第二上蓋之間設(shè)有第二托板;上對(duì)位平臺(tái)與下對(duì)位平臺(tái)通過機(jī)架內(nèi)設(shè)有的驅(qū)動(dòng)裝置做相對(duì)運(yùn)動(dòng),還包括控制系統(tǒng),控制系統(tǒng)分別與隔板、驅(qū)動(dòng)裝置和對(duì)位機(jī)構(gòu)連接,控制系統(tǒng)控制隔板的開和閉,控制驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)第一工作臺(tái)與第二工作臺(tái)相對(duì)運(yùn)動(dòng),控制對(duì)位機(jī)構(gòu)對(duì)上對(duì)位平臺(tái)或下對(duì)位平臺(tái)內(nèi)的PCB板和菲林自動(dòng)對(duì)位。
[0006]一種優(yōu)選方案是第一工作臺(tái)與第一上蓋的邊緣之間設(shè)有密封件。
[0007]一種優(yōu)選方案是還包括將第一上蓋和第一工作臺(tái)抽成真空的抽真空裝置。
[0008]一種優(yōu)選方案是對(duì)位機(jī)構(gòu)包括固定于第一工作臺(tái)下表面的X軸驅(qū)動(dòng)裝置,Y軸驅(qū)動(dòng)裝置和Z軸驅(qū)動(dòng)裝置。
[0009]一種優(yōu)選方案是信號(hào)采集裝置包括照明環(huán)燈、第二導(dǎo)軌、設(shè)于第二導(dǎo)軌上且可沿第二導(dǎo)軌滑動(dòng)的CCD攝像機(jī)、步進(jìn)馬達(dá)和用于控制CCD攝像機(jī)升降的氣缸,所述步進(jìn)馬達(dá)通過設(shè)有的皮帶輪帶動(dòng)所述CCD攝像機(jī)沿第二導(dǎo)軌滑動(dòng)。
[0010]一種優(yōu)選方案是曝光裝置包括內(nèi)設(shè)有LED燈的燈箱,高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、導(dǎo)軌和步進(jìn)傳動(dòng)機(jī)構(gòu),燈箱設(shè)于導(dǎo)軌上且可沿導(dǎo)軌滑動(dòng),高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與燈箱連接,且調(diào)節(jié)燈箱的升降,步進(jìn)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)連接且控制高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)水平移動(dòng)。
[0011]一種優(yōu)選方案是LED燈發(fā)出垂直第一工作臺(tái)或第二工作臺(tái)的光線。
[0012]一種優(yōu)選方案是LED燈發(fā)出與第一工作臺(tái)或第二工作臺(tái)的成一定角度的光線。
[0013]一種優(yōu)選方案是曝光室四周設(shè)有密封條。
[0014]綜合上述技術(shù)方案可知,本實(shí)用新型具有如下有益效果:通過控制系統(tǒng)控制對(duì)位機(jī)構(gòu)自動(dòng)對(duì)位,使得PCB板與菲林對(duì)位精確,對(duì)位效率高;同時(shí)由于上對(duì)位平臺(tái)與下對(duì)位平臺(tái)能夠同步相對(duì)運(yùn)動(dòng),內(nèi)部對(duì)位好的PCB板的上對(duì)位平臺(tái)移動(dòng)到曝光室的同時(shí)位于曝光室內(nèi)的下對(duì)位平臺(tái)能夠移動(dòng)到對(duì)位室內(nèi),當(dāng)上對(duì)位平臺(tái)內(nèi)的PCB板在曝光室內(nèi)曝光的同時(shí)下對(duì)位平臺(tái)內(nèi)已經(jīng)曝光好的PCB板可移出曝光室,之后再將另外的PCB板放入下對(duì)位平臺(tái)內(nèi)進(jìn)行對(duì)位,由于上對(duì)位平臺(tái)與下對(duì)位平臺(tái)的同步工作,提高了曝光和對(duì)位的效率。
[0015]上述說明僅是本實(shí)用新型技術(shù)方案的概述,為了能夠更清楚了解本實(shí)用新型的技術(shù)手段,而可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施,并且為了讓本實(shí)用新型的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂,以下特舉較佳實(shí)施例,并配合附圖,詳細(xì)說明如下。
【附圖說明】
[0016]圖1是本實(shí)用新型的示意圖;
[0017]圖2是本實(shí)用新型中的上對(duì)位平臺(tái)示意圖;
[0018]圖3是本實(shí)用新型中的上對(duì)位平臺(tái)俯視圖;
[0019]圖4是本實(shí)用新型中的菲林示意圖;
[0020]圖5是本實(shí)用新型中的上對(duì)位平臺(tái)仰視圖;
[0021]圖6是本實(shí)用新型中信號(hào)采集裝置的示意圖;
[0022]圖7是本實(shí)用新型中曝光裝置的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0023]需要說明的是,在不沖突的情況下,本申請(qǐng)中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步描述。
[0024]如圖1至圖7所示,一種PCB板半自動(dòng)對(duì)位及曝光裝置,包括機(jī)架10,機(jī)架10包括對(duì)位室103和曝光室104,對(duì)位室103和曝光室104通過活動(dòng)的隔板106隔開,對(duì)位室103和曝光室104內(nèi)分別設(shè)有平行的上滑道和下滑道,上滑道內(nèi)設(shè)有上對(duì)位平臺(tái)102,上對(duì)位平臺(tái)102包括可沿上滑道滑動(dòng)的第一工作臺(tái)1021,與第一工作臺(tái)1021鉸接的第一上蓋1022和設(shè)于第一工作臺(tái)1021下表面的對(duì)位機(jī)構(gòu)101,第一工作臺(tái)1021兩側(cè)邊的中部分別設(shè)有氣缸控制的第一伸縮桿1023,第一上蓋1022的兩側(cè)邊分別鉸接有第一活動(dòng)桿1024,第一活動(dòng)桿1024與對(duì)應(yīng)的第一伸縮桿1023鉸接,第一工作臺(tái)1021與第一上蓋1022之間設(shè)有第一托板110,第一托板110上表面從下到上依次放置有PCB板111和包含基準(zhǔn)圓1121的菲林112,第一工作臺(tái)1021的正上方設(shè)有可沿對(duì)位室103內(nèi)滑動(dòng)的信號(hào)采集裝置107 ;曝光室104包括設(shè)于下滑道內(nèi)的下對(duì)位平臺(tái)105和設(shè)于下對(duì)位平臺(tái)105正上方的曝光裝置108,曝光裝置108可在沿曝光室104內(nèi)做上下垂直運(yùn)動(dòng),下對(duì)位平臺(tái)105包括可沿下滑道滑動(dòng)的第二工作臺(tái),與第二工作臺(tái)鉸接的第二上蓋和設(shè)于第二工作臺(tái)下表面的對(duì)位機(jī)構(gòu),第二工作臺(tái)兩側(cè)邊的中部分別設(shè)有氣缸控制的第二伸縮桿,第二上蓋的兩側(cè)邊分別鉸接有第二活動(dòng)桿,第二活動(dòng)桿與對(duì)應(yīng)的第二伸縮桿鉸接,第二工作臺(tái)與第二上蓋之間設(shè)有第二托板;上對(duì)位平臺(tái)102與下對(duì)位平臺(tái)105通過機(jī)架10內(nèi)設(shè)有的驅(qū)動(dòng)裝置做相對(duì)運(yùn)動(dòng),還包括控制系統(tǒng),控制系統(tǒng)分別與隔板106、驅(qū)動(dòng)裝置和對(duì)位機(jī)構(gòu)101連接,控制系統(tǒng)控制隔板106的開和閉,控制驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)上對(duì)位平臺(tái)102與下對(duì)位平臺(tái)105相對(duì)運(yùn)動(dòng),控制對(duì)位機(jī)構(gòu)101對(duì)上對(duì)位平臺(tái)102或下對(duì)位平臺(tái)105內(nèi)的PCB板111和菲林112自動(dòng)對(duì)位。
[0025]下面介紹一下工作原理和步驟:
[0026]打開上對(duì)位平臺(tái)102,將待曝光的PCB板111放入第一托板110表面,之后將含有基準(zhǔn)圓1121的菲林112放在PCB板111的上表面,并進(jìn)行初步對(duì)位,之后蓋上第一上蓋1022,控制系統(tǒng)控制對(duì)位機(jī)構(gòu)101對(duì)上對(duì)位平臺(tái)102內(nèi)的PCB板111和菲林112自動(dòng)對(duì)位;同時(shí),位于曝光室104內(nèi)且在下對(duì)位平臺(tái)105上的已對(duì)好位的PCB板111在曝光裝置的作用下曝光,控制系統(tǒng)控制隔板106打開,之后驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)上對(duì)位平臺(tái)102與下對(duì)位平臺(tái)105相對(duì)運(yùn)動(dòng),上對(duì)位平臺(tái)102通過上滑道進(jìn)入曝光室104內(nèi),下對(duì)位平臺(tái)105通過下滑道進(jìn)入對(duì)位室103內(nèi),控制系統(tǒng)控制隔板106關(guān)閉,曝光室104內(nèi)的曝光裝置108上升一段距離后,對(duì)上對(duì)位平臺(tái)102內(nèi)的PCB板111曝光,同時(shí),將下對(duì)位平臺(tái)105內(nèi)已曝光的PCB板111取出,再將另一待曝光的PCB板111放入下對(duì)位平臺(tái)105內(nèi)的第二托板表面,將含有基準(zhǔn)圓1021的菲林112放在PCB板111的上表面,并進(jìn)行初步對(duì)位,之后蓋上第二上蓋,控制系統(tǒng)控制對(duì)位機(jī)構(gòu)101自動(dòng)對(duì)位,此時(shí)完成一次工作過程。
[0027]為了更好的實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的目的,第一工作臺(tái)1021與第一上蓋1022的邊緣之間設(shè)有密封件。還包括將第一上蓋1022和第一工作臺(tái)1021抽成真空的抽真空裝置,使得真空度在400?450mHg,一種優(yōu)選的真空度為420mHg。第一上蓋1022和第一工作臺(tái)1021之間依次放置有待曝光的PCB板111和菲林112后,抽真空裝置將第一上蓋1022與第一工作臺(tái)1021之間抽成真空狀態(tài)。對(duì)位機(jī)構(gòu)101包括固定于第一工作臺(tái)1021下表面的X軸驅(qū)動(dòng)裝置1023,Y軸驅(qū)動(dòng)裝置1022和Z軸驅(qū)動(dòng)裝置。信號(hào)采集裝置107包括照明環(huán)燈1071、第二導(dǎo)軌1074、設(shè)于第二導(dǎo)軌1074上且可沿第二導(dǎo)軌1074滑動(dòng)的CXD攝像機(jī)1072、步進(jìn)馬達(dá)1073和用于控制CXD攝像機(jī)1072升降的氣缸1075,步進(jìn)馬達(dá)1073通過設(shè)有的皮帶輪帶動(dòng)CXD攝像機(jī)1072沿第二導(dǎo)軌1074滑動(dòng)。對(duì)位機(jī)構(gòu)101將待曝光的PCB板111上的同心圓與菲林112上的同心圓進(jìn)行對(duì)位。信號(hào)采集裝置采集PCB板111上的同心圓與菲林112上的同心圓是否重合,并反饋給控制系統(tǒng),控制系統(tǒng)控制位機(jī)構(gòu)101,直到PCB板111上的同心圓與菲林112上的同心圓重合,對(duì)位完成。通過對(duì)位機(jī)構(gòu)101和信號(hào)采集裝置可快速將待曝光的PCB板111與菲林112精確對(duì)位。
[0028]曝光裝置108包括內(nèi)設(shè)有LED燈的燈箱1081,高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)1082、第一導(dǎo)軌1083和步進(jìn)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)1084,燈箱1081設(shè)于第一導(dǎo)軌上且可沿第一導(dǎo)軌滑動(dòng),高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)1082與燈箱1081連接且調(diào)節(jié)燈箱1081的升降,步進(jìn)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)1084與高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)1082連接且控制高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)1082水平移動(dòng)。
[0029]由于上對(duì)位平臺(tái)102和下對(duì)位平臺(tái)105不在同一水平面,當(dāng)上對(duì)位平臺(tái)102移入曝光室104內(nèi)時(shí),上對(duì)位平臺(tái)102離曝光裝置108較近,此時(shí)高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)1082和步進(jìn)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)1084調(diào)節(jié)燈箱1081的位置。
[0030]本實(shí)施例中LED燈發(fā)出與第一工作臺(tái)或第二工作臺(tái)的成一定角度的光線。為防止燈光對(duì)外界的工作人員產(chǎn)生影響,在曝光室四周設(shè)有密封條。
[0031]通過控制系統(tǒng)控制對(duì)位機(jī)構(gòu)101自動(dòng)對(duì)位,使得PCB板111與菲林112對(duì)位精確,對(duì)位效率高;同時(shí),對(duì)位室內(nèi)的對(duì)位機(jī)構(gòu)和曝光室內(nèi)的曝光裝置同時(shí)工作,提高了工作效率。
[0032]第二實(shí)施例,本實(shí)例與第一實(shí)施例不同的是:LED燈發(fā)出與第一工作臺(tái)或第二工作臺(tái)的成一定角度的光線。
[0033]以上是本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】,應(yīng)當(dāng)指出,對(duì)于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下,還可以做出若干改進(jìn)和潤飾,這些改進(jìn)和潤飾也視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種PCB板半自動(dòng)對(duì)位及曝光裝置,包括機(jī)架,所述機(jī)架包括對(duì)位室和曝光室,其特征在于:所述對(duì)位室和曝光室通過活動(dòng)的隔板隔開,所述對(duì)位室和曝光室內(nèi)分別設(shè)有平行的上滑道和下滑道,所述上滑道內(nèi)設(shè)有上對(duì)位平臺(tái),所述上對(duì)位平臺(tái)包括可沿上滑道滑動(dòng)的第一工作臺(tái),與第一工作臺(tái)鉸接的第一上蓋和設(shè)于第一工作臺(tái)下表面的對(duì)位機(jī)構(gòu),所述第一工作臺(tái)兩側(cè)邊的中部分別設(shè)有氣缸控制的第一伸縮桿,所述第一上蓋的兩側(cè)邊分別鉸接有第一活動(dòng)桿,所述第一活動(dòng)桿與對(duì)應(yīng)的第一伸縮桿鉸接,所述第一工作臺(tái)與第一上蓋之間設(shè)有第一托板,所述第一托板上表面從下到上依次放置有PCB板和包含基準(zhǔn)圓的菲林,所述第一工作臺(tái)的正上方設(shè)有可沿對(duì)位室內(nèi)滑動(dòng)的信號(hào)采集裝置;所述曝光室包括設(shè)于下滑道內(nèi)的下對(duì)位平臺(tái)和設(shè)于下對(duì)位平臺(tái)正上方的曝光裝置,所述曝光裝置可沿曝光室內(nèi)做上下垂直運(yùn)動(dòng),所述下對(duì)位平臺(tái)包括可沿下滑道滑動(dòng)的第二工作臺(tái),與第二工作臺(tái)鉸接的第二上蓋和設(shè)于第二工作臺(tái)下表面的對(duì)位機(jī)構(gòu),所述第二工作臺(tái)兩側(cè)邊的中部分別設(shè)有氣缸控制的第二伸縮桿,所述第二上蓋的兩側(cè)邊分別鉸接有第二活動(dòng)桿,所述第二活動(dòng)桿與對(duì)應(yīng)的第二伸縮桿鉸接,所述第二工作臺(tái)與第二上蓋之間設(shè)有第二托板;所述上對(duì)位平臺(tái)與下對(duì)位平臺(tái)通過機(jī)架內(nèi)設(shè)有的驅(qū)動(dòng)裝置做相對(duì)運(yùn)動(dòng),還包括控制系統(tǒng),所述控制系統(tǒng)分別與隔板、驅(qū)動(dòng)裝置和對(duì)位機(jī)構(gòu)連接,所述控制系統(tǒng)控制隔板的開和閉,控制驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述第一工作臺(tái)與第二工作臺(tái)相對(duì)運(yùn)動(dòng),控制對(duì)位機(jī)構(gòu)對(duì)上對(duì)位平臺(tái)或下對(duì)位平臺(tái)內(nèi)的PCB板和菲林自動(dòng)對(duì)位。2.如權(quán)利要求1所述的PCB板半自動(dòng)對(duì)位及曝光裝置,其特征在于,所述第一工作臺(tái)與第一上蓋的邊緣之間設(shè)有密封件。3.如權(quán)利要求2所述的PCB板半自動(dòng)對(duì)位及曝光裝置,其特征在于,還包括將第一上蓋和第一工作臺(tái)抽成真空的抽真空裝置。4.如權(quán)利要求1所述的PCB板半自動(dòng)對(duì)位及曝光裝置,其特征在于,所述對(duì)位機(jī)構(gòu)包括固定于第一工作臺(tái)下表面的X軸驅(qū)動(dòng)裝置,Y軸驅(qū)動(dòng)裝置和Z軸驅(qū)動(dòng)裝置。5.如權(quán)利要求1所述的PCB板半自動(dòng)對(duì)位及曝光裝置,其特征在于,所述信號(hào)采集裝置包括照明環(huán)燈、第二導(dǎo)軌、設(shè)于第二導(dǎo)軌上且可沿第二導(dǎo)軌滑動(dòng)的CCD攝像機(jī)、步進(jìn)馬達(dá)和用于控制CCD攝像機(jī)升降的氣缸,所述步進(jìn)馬達(dá)通過設(shè)有的皮帶輪帶動(dòng)所述CCD攝像機(jī)沿第二導(dǎo)軌滑動(dòng)。6.如權(quán)利要求1所述的PCB板半自動(dòng)對(duì)位及曝光裝置,其特征在于,所述曝光裝置包括內(nèi)設(shè)有LED燈的燈箱,高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、第一導(dǎo)軌和步進(jìn)傳動(dòng)機(jī)構(gòu),所述燈箱設(shè)于第一導(dǎo)軌上且可沿第一導(dǎo)軌滑動(dòng),所述高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與燈箱連接且調(diào)節(jié)燈箱地升降,所述步進(jìn)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)連接且控制高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)水平移動(dòng)。7.如權(quán)利要求6所述的PCB板半自動(dòng)對(duì)位及曝光裝置,其特征在于,所述LED燈發(fā)出垂直第一工作臺(tái)或第二工作臺(tái)的光線。8.如權(quán)利要求6所述的PCB板半自動(dòng)對(duì)位及曝光裝置,其特征在于,所述LED燈發(fā)出與第一工作臺(tái)或第二工作臺(tái)的成一定角度的光線。9.如權(quán)利要求1所述的PCB板半自動(dòng)對(duì)位及曝光裝置,其特征在于,所述曝光室四周設(shè)有密封條。
【文檔編號(hào)】G03F7-20GK204287727SQ201420660191
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