專利名稱：激光加工裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及以對(duì)印刷基板等被加工物進(jìn)行打孔加工為主要目的的激光加工裝置，特別是尋求提高其生產(chǎn)性和加工質(zhì)量。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有的以對(duì)印刷基板等被加工物進(jìn)行打孔加工為主要目的的激光加工裝置中，特別是可以在兩個(gè)部位同時(shí)實(shí)施加工的激光加工裝置，為例如國(guó)際公開號(hào)為WO03/041904號(hào)公報(bào)中圖9所示的結(jié)構(gòu)。
在圖9中，1為激光振蕩器；2為激光；3為掩模(mask)，其從入射的激光中提取所需部分的激光，以使加工孔成為希望的大小和形狀；4為多個(gè)反射鏡，其反射激光2，引導(dǎo)光路。24為第一偏振光分光器，其將激光2分光成兩束激光；6為用第一偏振光分光器24分光后的一束激光；6p為激光6的偏振光方向；7為用第一偏振光分光器分光的另一束激光；7s為激光7的偏振光方向；25為第二偏振光分光器，其用于反射激光6，透過(guò)激光7，導(dǎo)向第二電控掃描反射鏡12。10為用第二偏振光分光器反射的激光；11為透過(guò)第二偏振光分光器的激光；14為反射鏡，其用于將激光6導(dǎo)向第二偏振光分光器25；17為fθ透鏡，其用于將激光10、11向被加工物20上會(huì)聚；13為第一電控掃描反射鏡，其用于在兩個(gè)軸方向上掃描激光7，導(dǎo)向第二偏振光分光器25；12為第二電控掃描反射鏡，其用于在兩個(gè)軸方向上掃描激光10和激光11，導(dǎo)向被加工物20。18為XY工作臺(tái)，其用于使被加工物20在XY方向移動(dòng)；19為光強(qiáng)傳感器，其檢測(cè)從fθ透鏡17射出的激光的能量；15為遮擋激光6的第一遮光器；16為遮擋激光7的第二遮光器。此外，光強(qiáng)傳感器19固定在XY工作臺(tái)18上，在檢測(cè)激光的能量時(shí)，可以使光強(qiáng)傳感器19的受光部移動(dòng)到激光照射的位置上。
如圖9所示，在用偏振光分光器將一束激光分光成兩束激光，通過(guò)獨(dú)立掃描兩束激光，可以在兩個(gè)部位同時(shí)實(shí)施加工的打孔加工用激光加工裝置中，利用激光振蕩器1以直線偏振光起振的激光2經(jīng)由掩模3、反射鏡4被導(dǎo)向第一偏振光分光器24。
然后，利用第一偏振光分光器24，激光2的P波成分透過(guò)偏振光分光器24而成為激光6，S波成分通過(guò)第一偏振光分光器24反射而被分光為激光7。
透過(guò)第一偏振光分光器24的激光6經(jīng)由反射鏡14，被導(dǎo)向第二偏振光分光器25。
另一方面，用第一偏振光分光器24反射的激光7在利用第一電控掃描反射鏡13在兩個(gè)軸方向上掃描后，被導(dǎo)向第二偏振光分光器25。
此外，激光6總是在相同位置導(dǎo)向第二偏振光分光器25，但是通過(guò)控制第一電控掃描反射鏡13的偏轉(zhuǎn)角，可以調(diào)整激光7向第二偏振光分光器25入射的位置、角度。
此后，激光10、11利用第二電控掃描反射鏡12在兩個(gè)軸方向上掃描后，被導(dǎo)入fθ透鏡17，分別在被加工物20的規(guī)定位置上會(huì)聚。
此時(shí)，通過(guò)掃描第一電控掃描反射鏡13，激光11可以相對(duì)激光10的光軸在某個(gè)設(shè)定范圍內(nèi)，例如在邊長(zhǎng)4mm的方形范圍內(nèi)移動(dòng)。這樣通過(guò)，例如在50mm四方等可加工范圍內(nèi)移動(dòng)的第二電控掃描反射鏡12，可以同時(shí)使激光照射在被加工物20上的任意的不同的兩個(gè)點(diǎn)上。
圖10表示用于說(shuō)明偏振光分光器24的原理的示意圖，中央表示正視圖，其左右表示側(cè)視圖，上部表示頂視圖。
在圖10中，26是偏振光分光器的窗口部分，在二氧化碳?xì)怏w激光器的情況下，使用ZnSe或Ge。27是用于將激光反射90°的反射鏡。
偏振光分光器24為相對(duì)于入射光束成為布儒斯特角的結(jié)構(gòu)，以使偏振光分離。
因此，具有以下性質(zhì)當(dāng)使激光28向該偏振光分光器24入射時(shí)，偏振光方向28p的成分(P波成分)透過(guò)，偏振光方向28s的成分(S波成分)反射。
此外，具有以下性質(zhì)如果是所有偏振光方向性質(zhì)均勻地存在的圓偏振光或使P波、S波成45°的角度的偏振光方向，則激光被等分，激光29和激光30的能量相等。
因此，成為以下結(jié)構(gòu)通過(guò)使向第一偏振光分光器24的入射光束2成為圓偏振光或使P波、S波成45°的角度，而將其能量等分。
此外，當(dāng)然，具有以下性質(zhì)如果向偏振光分光器24入射的激光的偏振光方向僅為P波成分，則全部透過(guò)，如果僅為S波成分，則全部反射。
因此，成為以下結(jié)構(gòu)通過(guò)使向第二偏振光分光器25入射的光束的激光7僅為P波成分，使激光6僅為S波成分，而無(wú)能量損耗地導(dǎo)向第二電控掃描反射鏡12。
在上述這種現(xiàn)有的激光加工裝置中，第一偏振光分光器24、第二偏振光分光器25，都以使激光向窗口部分26的入射角為布儒斯特角的方式配置窗口，由此將激光2分光成為S波、P波成分，但是例如在使用以ZnSe為材質(zhì)的窗口進(jìn)行二氧化碳?xì)怏w激光器的分光的情況下，若布儒斯特角為67.5°，則向窗口的入射角變大，若使導(dǎo)向偏振光分光器的激光直徑為φ35mm，則窗口上的激光直徑在長(zhǎng)軸方向上為95mm。因此，存在以下問(wèn)題窗口的有效直徑必須為上述激光直徑的2.5倍或2.5倍以上，難以保持制造精度。
此外，由于作為P波成分透過(guò)第一偏振光分光器24的激光6，在第二偏振光分光器25中必須作為S波成分被反射，作為S波成分被第一偏振光分光器24反射的激光7，在第二偏振光分光器25中必須作為P波成分透過(guò)，所以第一、第二偏振光分光器上必須分別具有用于將激光反射90°的反射鏡27，此外，由于窗口部分26和反射鏡27的相對(duì)位置關(guān)系對(duì)偏振光分光器之后的光路的精度有很大影響，所以在制造偏振光分光器時(shí)，必須注意窗口部分26和反射鏡27的相對(duì)位置關(guān)系，所以也存在偏振光分光器成為價(jià)格更高的光學(xué)部件的問(wèn)題。
此外，考慮fθ透鏡17的特性，為了得到更穩(wěn)定的加工質(zhì)量，必須盡量縮短從第一偏振光分光器24到fθ透鏡17之間的光路長(zhǎng)度，因而必須增加偏振光分光器的有效直徑?？墒?，由于在設(shè)計(jì)上使偏振光分光器的有效直徑足夠大是困難的，所以實(shí)際上是偏振光分光器的有效直徑不足夠大，當(dāng)導(dǎo)向fθ透鏡17的激光的直徑被限制為比希望的直徑小時(shí)，在fθ透鏡的焦距恒定的情況下，被加工物上的激光的直徑被限制為比希望的直徑大，不能構(gòu)成適合更小的孔加工的光路，存在不能得到要求的加工質(zhì)量的問(wèn)題。
此外，在光學(xué)系統(tǒng)中使用的每個(gè)光學(xué)部件在制造工藝上必然有畸變(像差)，因?yàn)閷?duì)于平面度來(lái)說(shuō)，要求精度越小，合格率越差，成本越高，所以一般以激光波長(zhǎng)λ的1/10～1/20左右的光學(xué)畸變進(jìn)行制造。如果不考慮其他的問(wèn)題，將多個(gè)這種程度的光學(xué)部件組合構(gòu)成光學(xué)系統(tǒng)，則每個(gè)像差累積起來(lái)，會(huì)產(chǎn)生像散等，有時(shí)存在不能得到要求的加工質(zhì)量的問(wèn)題。
此外，因?yàn)楦鱾€(gè)表面形狀是平面的光學(xué)部件一般制造表面和背面的制造工藝是相同的，所以存在以下問(wèn)題表面和背面的表面形狀同時(shí)成為凸形或凹形的傾向越強(qiáng)，在透過(guò)型的光學(xué)部件中光學(xué)畸變(像差)越大。
本發(fā)明是為了解決這些問(wèn)題而提出的，第一個(gè)目的是，在使用利用偏振光分離裝置分光的激光進(jìn)行加工的激光加工裝置中，得到可以使用價(jià)格便宜的光學(xué)部件作為偏振光分離裝置并且可以使被加工物上的激光直徑更小的激光加工裝置。
第二個(gè)目的是，得到可以減小因光學(xué)部件的表面形狀引起的像差，從而提高加工質(zhì)量的激光加工裝置。

發(fā)明內(nèi)容
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，在第1個(gè)發(fā)明涉及的激光加工裝置中，具有由將激光振蕩器射出的激光導(dǎo)向被加工物的多個(gè)光學(xué)部件構(gòu)成的光學(xué)系統(tǒng)，利用第一偏振光分離裝置將一束激光分光成兩束激光，一束激光經(jīng)由反射鏡，另一束激光利用第一電控掃描反射鏡在兩個(gè)軸方向上掃描，將兩束激光導(dǎo)向第二偏振光分離裝置后，利用第二電控掃描反射鏡進(jìn)行掃描，加工被加工物，將上述第一和第二偏振光分離裝置配置成相對(duì)激光的光軸成45°。
在第2個(gè)發(fā)明涉及的激光加工裝置中，第一和第二偏振光分離裝置是在表面形成電介質(zhì)多層膜涂覆的偏振光分光器。
在第3個(gè)發(fā)明涉及的激光加工裝置中，上述第一和第二偏振光分離裝置，一面是凹形，它的背面是凸形。
在第4個(gè)發(fā)明涉及的激光加工裝置中，上述第一偏振光分離裝置，反射激光一側(cè)的表面為凸形，它的背面為凹形，在該第一偏振光分離裝置中，將被反射的激光導(dǎo)向表面形狀為凹形的上述第一電控掃描反射鏡，上述第二偏振光分離裝置，反射激光一側(cè)的表面為凹形，它的背面為凸形。
在第5個(gè)發(fā)明涉及的激光加工裝置中，上述第一偏振光分離裝置，反射激光一側(cè)的表面為凹形，它的背面為凸形，在該第一偏振光分離裝置中，將被反射的激光導(dǎo)向表面形狀為凸形的上述第一電控掃描反射鏡，上述第二偏振光分離裝置，反射激光一側(cè)的表面為凸形，它的背面為凹形。
在第6個(gè)發(fā)明涉及的激光加工裝置中，在設(shè)上述激光的波長(zhǎng)為λ的情況下，前述第一和第二偏振光分離裝置的表面的凹或凸形以小于或等于λ/20的精度形成。
在第7個(gè)發(fā)明涉及的激光加工裝置中，在上述光學(xué)系統(tǒng)中，以以下方式配置表面形狀大體相同的一組光學(xué)部件，即一個(gè)光學(xué)部件的光束入射面垂直于另一個(gè)光學(xué)部件的光束入射面，而且向一個(gè)光學(xué)部件的光束入射角與向另一個(gè)光學(xué)部件的光束入射角相同。
在第8個(gè)發(fā)明涉及的激光加工裝置中，在從上述激光振蕩器射出的激光到達(dá)上述第一偏振光分離裝置為止的激光光路中設(shè)置掩模，在此掩模和上述被加工物之間配置上述一組光學(xué)部件。
在第9個(gè)發(fā)明涉及的激光加工裝置中，具有分別固定上述一組光學(xué)部件的托架，在上述托架有方向性的情況下，將表示此方向性的軸配置成與各自的光學(xué)部件的入射面方向相同。
在第10個(gè)發(fā)明涉及的激光加工裝置中，在設(shè)上述激光的波長(zhǎng)為λ的情況下，上述一組光學(xué)部件的表面形狀以λ/10～λ/20的精度形成。
在第11個(gè)發(fā)明涉及的激光加工裝置中，上述第一和第二偏振光分離裝置具有垂直于激光的前進(jìn)方向，且在相互正交的兩個(gè)軸方向上可以調(diào)整角度的機(jī)構(gòu)。
在第12個(gè)發(fā)明涉及的激光加工裝置中，具有減震器，其用于吸收作為能量損耗而從上述第二偏振光分離裝置泄漏的激光。
由本發(fā)明，通過(guò)使用入射角為45°的偏振光分光器作為偏振光分離裝置，可以使更大直徑的激光向fθ透鏡入射，從而可以使被加工物上的激光的直徑更小，能夠?qū)嵤└?xì)微的加工。此外，偏振光分離裝置便宜，可以降低成本。


圖1為表示本發(fā)明的實(shí)施方式1的激光加工裝置的結(jié)構(gòu)圖。
圖2為固定表示本發(fā)明的實(shí)施方式1的偏振光分光器的托架部分的概略圖。
圖3為表示本發(fā)明的實(shí)施方式2的激光加工裝置的結(jié)構(gòu)圖。
圖4為用于說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式2的激光加工裝置的光學(xué)部件表面形狀與折射本領(lǐng)的關(guān)系的示意圖。
圖5為用于說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式2的激光加工裝置的光學(xué)部件配置的示意圖。
圖6為用于說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式2的激光加工裝置的具有方向性的光學(xué)部件的配置與折射本領(lǐng)的關(guān)系的示意圖。
圖7為表示本發(fā)明的實(shí)施方式3的激光加工裝置的結(jié)構(gòu)圖。
圖8為用于說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式3的激光加工裝置的光學(xué)部件表面形狀與折射本領(lǐng)的關(guān)系的示意圖。
圖9為表示與本發(fā)明相關(guān)的現(xiàn)有技術(shù)的激光加工裝置的結(jié)構(gòu)圖。
圖10為用于說(shuō)明表示與本發(fā)明相關(guān)的現(xiàn)有技術(shù)的激光加工裝置的偏振光分光器的示意圖。
具體實(shí)施例方式
實(shí)施方式1.
圖1涉及本發(fā)明的實(shí)施方式1，為表示以下的打孔用激光加工裝置的結(jié)構(gòu)圖使用入射角45°的偏振光分光器作為偏振光分離裝置，將一束激光分光成兩束激光，通過(guò)獨(dú)立掃描兩束激光，可以在兩個(gè)部位同時(shí)實(shí)施加工。對(duì)于與現(xiàn)有技術(shù)的圖9相同的結(jié)構(gòu)采用相同的標(biāo)號(hào)，省略詳細(xì)的說(shuō)明。
在圖1中，5為第一偏振光分光器、6為透過(guò)第一偏振光分光器5的激光、6p為激光6通過(guò)第一偏振光分光器而成為P波成分的偏振光方向、6s為激光6通過(guò)第一偏振光分光器而成為S波成分的偏振光方向、7為被第一偏振光分光器5反射的激光、7s為激光7通過(guò)第一偏振光分光器而成為S波成分的偏振光方向、7p為激光7通過(guò)第一偏振光分光器而成為P波成分的偏振光方向、8為第二偏振光分光器、9為接受作為能量損耗產(chǎn)生的激光的減震器、10為激光6中利用第二偏振光分光器8反射的激光、11為激光7中透過(guò)第二偏振光分光器8的激光。
在現(xiàn)有技術(shù)中，將激光進(jìn)行偏振光分離的情況下，使用使入射角為布儒斯特角的窗口，通過(guò)將含有相等的P波成分、S波成分的激光進(jìn)行偏振光分離，使透過(guò)的P波成分和被反射的S波成分等分，等分激光的能量。
但是，在本實(shí)施方式中，通過(guò)使用在反射面實(shí)施了例如電介質(zhì)多層膜涂覆的偏振光分光器，不是以布儒斯特角配置入射角，而是配置成相對(duì)光軸成45°，以恒定的精度使P波透過(guò)，并且以某個(gè)恒定精度反射S波，等分激光的能量。
作為一個(gè)例子，對(duì)使用鍍膜的偏振光分光器，以使P波的95％和S波的5％透過(guò)，使S波的95％和P波的5％反射的情況進(jìn)行說(shuō)明。如果設(shè)向第一偏振光分光器5入射的激光的能量為100％，則透過(guò)第一偏振光分光器5的激光6含47.5％的P波成分、2.5％的S波成分。此后，含47.5％的S波成分和2.5％的P波成分的激光向第二偏振光分光器8入射，被第二偏振光分光器8反射的激光含45.125％的S波成分和0.125％的P波成分，由此被導(dǎo)向第二電控掃描反射鏡12的激光10的能量最終為45.25％。透過(guò)第二偏振光分光器8的成為能量損耗的激光含有2.375％的S波成分和2.375％的P波成分。
另一方面，對(duì)于被第一偏振光分光器5反射的激光7來(lái)說(shuō)，也經(jīng)歷同樣的過(guò)程，45.25％的能量被導(dǎo)向第二電控掃描反射鏡12，4.75％的能量成為能量損耗。
因此，共計(jì)9.5％作為能量損耗沒(méi)有被導(dǎo)向第二電控掃描反射鏡12，但在由本實(shí)施方式構(gòu)成的光路的情況下，因?yàn)榧す?的損耗部分透過(guò)第二偏振光分光器，激光7的損耗部分反射，所以該成為能量損耗的激光可以全部匯集到減震器9部分，因而可以防止因損耗部分的激光造成光學(xué)部件等的損傷。
上述偏振光分光器以入射角45°使P波的95％和S波的5％透過(guò)，使S波的95％和P的5％波反射，但是因?yàn)樵谌肷浣瞧x45°的情況下，透過(guò)的P波和反射的S波的比例減少，能量損耗增加，所以優(yōu)選以入射角45°進(jìn)行配置。
在上述中，說(shuō)明了使P波的95％和S波的5％透過(guò)，使S波的95％和P的5％波反射的偏振光分光器的能量損耗為9.5％的情況，但可以看出，如果使P波的透過(guò)率和S波的反射率高于95％，則能量損耗會(huì)小于9.5％。
此外，由于本實(shí)施方式的偏振光分光器以45°配置激光入射角，所以當(dāng)導(dǎo)向偏振光分光器的激光的直徑為φ35mm時(shí)，窗口上的激光直徑在長(zhǎng)軸方向上為52mm，為上述激光直徑的1.5倍左右，與入射角為布儒斯特角的現(xiàn)有的偏振光分光器的窗口有效直徑必須大于或等于入射激光直徑的2.5倍相比，可以以更小的形狀進(jìn)行制造。如果用窗口的面積進(jìn)行比較，則由于短軸方向都是35mm，所以入射角45°的偏振光分光器可以比現(xiàn)有的偏振光分光器面積縮小44.6％。由此，可以使加工裝置小型化。
此外，相同直徑的窗口，例如為53mm的情況下，在現(xiàn)有的偏振光分光器中布儒斯特角為67.5°的基礎(chǔ)上，可以分光的激光直徑為φ20mm左右，但是在入射角45°的偏振光分光器中為φ35mm，可以構(gòu)成激光直徑更大的光路。在這里，如果使光束直徑D的激光向焦距f的fθ透鏡入射，設(shè)此時(shí)在被加工物上會(huì)聚的光束點(diǎn)直徑為d，則光束點(diǎn)直徑d與fθ透鏡的焦距f、入射光束直徑D的關(guān)系可以用下式表示。
d∝f/D (1)(1)式表示，利用焦距f的fθ透鏡在工件上會(huì)聚的光束點(diǎn)直徑d與向fθ透鏡入射的激光的光束直徑D成反比。
因此，在考慮用相同直徑的窗口構(gòu)成偏振光分光器的情況下，如上所述，入射角為45°的偏振光分光器可以更有效地確保激光的有效直徑，在使用相同的fθ透鏡的情況下，因?yàn)榭梢允瓜騠θ透鏡入射的光束直徑D增大，所以可以實(shí)施光束點(diǎn)直徑更小的加工。
此外，由于不需要將光路反射90°的反射鏡，所以偏振光分光器更便宜，可以降低加工裝置的成本。
此外，在本發(fā)明的實(shí)施方式中，由于構(gòu)成使激光反射90°的光路，所以適用于入射角45°的偏振光分光器。利用此結(jié)構(gòu)，由于在XY工作臺(tái)18上兩個(gè)軸的電控掃描反射鏡的掃描方向?yàn)橹毙?，所以如圖1所示，通過(guò)使該直行方向與XY方向一致，可以使X方向、Y方向分別與電控掃描反射鏡一對(duì)一地對(duì)應(yīng)，在加工時(shí)容易理解電控掃描反射鏡的控制，從而能夠簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)。
在用偏振光分光器使激光的反射角度為小于90°的銳角的情況下，可以使偏振光分光器的有效直徑變大，實(shí)施光束點(diǎn)直徑更小的加工。但是，因?yàn)檫@種情況下在XY工作臺(tái)上兩個(gè)軸的電控掃描反射鏡的掃描方向不直行，所以即使例如一個(gè)電控掃描反射鏡的掃描方向與X方向一致，Y方向只是以另一個(gè)電控掃描反射鏡與X方向的電控掃描反射鏡的合成進(jìn)行掃描，所以在加工時(shí)電控掃描反射鏡的控制比使上述激光反射90°的光路要復(fù)雜。
實(shí)施方式2.
分光后的兩束激光都經(jīng)過(guò)第二偏振光分光器后，由于必須與圖1的X方向的軸平行，并且導(dǎo)向第二電控掃描反射鏡12的中心，所以分光后的激光6、7必須獨(dú)立實(shí)施光軸的調(diào)整。
為了將激光10、11高精度地導(dǎo)向第二電控掃描反射鏡12，在設(shè)在第一偏振光分光器5緊前面的反射鏡4z以后的光路中，必須至少有兩個(gè)垂直于光路前進(jìn)方向，且在相互正交的兩個(gè)軸方向上分別可以調(diào)整角度的反射鏡，但在本實(shí)施方式中，激光10可以利用第一偏振光分光器5緊前面的反射鏡4z和第二偏振光分光器8調(diào)整光軸，另一方面，可以利用第一偏振光分光器5和第一電控掃描反射鏡13調(diào)整激光11的光軸。在這里，第一電控掃描反射鏡13具有兩個(gè)可以相互在扭轉(zhuǎn)的方向上調(diào)整角度的反射鏡，具有與可以在相互正交的兩個(gè)軸方向上調(diào)整角度的一個(gè)反射鏡相同的功能。
圖2涉及本發(fā)明的實(shí)施方式2，為表示使偏振光分光器垂直于激光的前進(jìn)方向，且在相互正交的兩個(gè)軸方向上可以調(diào)整角度的機(jī)構(gòu)的圖。在圖2中，偏振光分光器5或8由固定托架31支撐，固定托架31通過(guò)第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸35a，以可以自由轉(zhuǎn)動(dòng)的方式支撐在托架支架32上。此外，托架支架32通過(guò)與第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸35a正交的第二轉(zhuǎn)動(dòng)軸35b，以可以自由轉(zhuǎn)動(dòng)的方式支撐在支撐光學(xué)系統(tǒng)的光學(xué)底座36上。這樣，偏振光分光器垂直于激光的前進(jìn)方向，且在相互正交的兩個(gè)軸方向上可以調(diào)整角度。此外，形成這樣的結(jié)構(gòu)，即在托架支架32的與固定托架31的接合部上，沿固定托架31的轉(zhuǎn)動(dòng)方向設(shè)置長(zhǎng)的第一調(diào)整孔34a，穿入第一固定螺栓33a并擰在固定托架31上，轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)整后，通過(guò)緊固第一固定螺栓33a，可以將固定托架31固定在托架支架32上。托架支架32和光學(xué)底座36的接合部也一樣，利用第二調(diào)整孔34b和第二固定螺栓33b成為可以轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)整后固定的結(jié)構(gòu)。
另一方面，因?yàn)橛善窆夥止馄鞯慕嵌日{(diào)整產(chǎn)生的透過(guò)偏振光分光器的激光光軸的變化量，與反射的激光相比非常小，為可以忽略的程度，所以即使調(diào)整由第一偏振光分光器5反射的激光7、11的光軸，也幾乎對(duì)透過(guò)的激光6、10的光軸沒(méi)有影響，因?yàn)榧词拐{(diào)整由第二偏振光分光器8反射的激光6、10的光軸，也幾乎對(duì)透過(guò)的激光7、11的光軸沒(méi)有影響，所以可以分別獨(dú)立地進(jìn)行調(diào)整。
此外，在調(diào)整了反射鏡4z和第一、第二偏振光分光器5、8的角度的情況下，有時(shí)向偏振光分光器的入射角也偏離45°，此時(shí)激光的能量損耗增加，但一般角度調(diào)整是微小的，因而能量損耗也是微小的。此外，由于也可以用激光振蕩器的輸出進(jìn)行補(bǔ)償，所以優(yōu)選優(yōu)先考慮利用光軸調(diào)整提高加工精度。
下面對(duì)用具有上述調(diào)整機(jī)構(gòu)的偏振光分光器等對(duì)光軸的調(diào)整進(jìn)行說(shuō)明。
當(dāng)實(shí)施第一偏振光分光器5緊前面的反射鏡4z的角度調(diào)整時(shí)，激光10、11在第二電控掃描反射鏡13上向相同的方向移動(dòng)。因此，作為光軸調(diào)整方向的順序，必須首先在使用了對(duì)兩個(gè)激光進(jìn)行作用的反射鏡4z的激光10的光軸調(diào)整完成后，實(shí)施激光11的光軸調(diào)整。此外，如果完成一次光軸調(diào)整，則通過(guò)實(shí)施第一偏振光分光器5緊前面的反射鏡4z的角度調(diào)整，可以在第二電控掃描反射鏡12上的兩束激光的相對(duì)關(guān)系保持不變的情況下，進(jìn)行激光10、11的光軸調(diào)整，從而用于高精度地將兩束激光導(dǎo)向第二電控掃描反射鏡12的中心的光軸調(diào)整變得容易。
實(shí)施方式3.
圖3涉及本發(fā)明的實(shí)施方式3，為表示如下結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖，即，在將一束激光分光成兩束激光，通過(guò)獨(dú)立掃描兩束激光，可以在兩個(gè)部位同時(shí)實(shí)施加工的打孔用激光加工裝置中，具有進(jìn)行掩模復(fù)制的光學(xué)系統(tǒng)，特別是將配置在掩模后面的具有大體相同的表面形狀的一組光學(xué)部件，即反射鏡4a、4b或14a、14b，以一個(gè)反射鏡的光束入射面垂直于另一個(gè)反射鏡的光束入射面，而且向一個(gè)反射鏡的光束入射角與向另一個(gè)反射鏡的光束入射角相同(例如為45°)的方式配置(例如以用一個(gè)反射鏡將從X方向入射的激光向Z方向反射，然后用另一個(gè)反射鏡向Y方向反射的方式配置)。
在圖3中，4a、4b是用于將激光2從掩模3導(dǎo)向第一偏振光分光器5的表面形狀大體相同的反射鏡，14a、14b是用于從第一偏振光分光器5導(dǎo)向第二偏振光分光器8的表面形狀大體相同的反射鏡。
本實(shí)施方式3關(guān)于偏振光分光器與實(shí)施方式1相同，但是由于反射鏡4、14的配置或表面形狀不同，所以用圖4對(duì)作為本發(fā)明的特征的光學(xué)部件的配置進(jìn)行說(shuō)明。
在圖4中，Pru(α)、Prv(α)是與以光束入射角α入射的入射光束被反射鏡反射的反射光束相關(guān)的u方向、v方向的折射本領(lǐng)。Ptu(α)、Ptv(a)是與以光束入射角α入射的入射光束透過(guò)反射鏡的透過(guò)光束相關(guān)的u方向、v方向的折射本領(lǐng)。在這里，u方向是垂直于各光束的前進(jìn)方向，并且與光束入射面(由入射光束和反射光束形成的面)平行的方向，v方向是垂直于各光束的前進(jìn)方向，而且與光束入射面垂直的方向。
在這里，折射本領(lǐng)(Power)是表示光學(xué)部件的折射性能的參數(shù)之一，表示折射面的狀態(tài)，一般與表面曲率半徑R成反比，與折射率成正比。在圖4中，如果使表面曲率半徑R以同心圓狀均勻分布，并且相對(duì)于光學(xué)系統(tǒng)足夠大(使光學(xué)部件的表面形狀為大致平面時(shí))，設(shè)折射率為n，則折射本領(lǐng)Pru(α)、Prv(α)用下式給出。
Pru(α)=2cosα1R---(2)]]>Prv(α)=2cosα1R---(3)]]>一般，即使光學(xué)部件以表面形狀為平面進(jìn)行制造，在制造工序中也會(huì)稍有畸變，一般加工精度為λ/10～λ/20左右，為了以比λ/20更高的精度對(duì)表面形狀進(jìn)行精加工，需要很多的時(shí)間和成本。因此可以說(shuō)，一般的光學(xué)部件具有λ/10～λ/20左右的表面曲率半徑R。例如在ZnSe(n＝2.41)上實(shí)施了電介質(zhì)多層膜涂覆的光束入射角45°的偏振光分光器的情況下，由(2)、(3)式分別得到下式。
從(4)、(5)式可以看出，以光束入射角45°反射時(shí)，u方向比v方向的折射本領(lǐng)大。因?yàn)槿绻搖方向和v方向的折射本領(lǐng)的差傳遞到加工點(diǎn)上，就成為像散，所以有可能難以得到穩(wěn)定的加工質(zhì)量。
與此相對(duì)，在本發(fā)明中，在構(gòu)成光學(xué)系統(tǒng)時(shí)，將多個(gè)光學(xué)部件中表面形狀大體相同的一組光學(xué)部件，以一個(gè)光學(xué)部件的光束入射面垂直于另一個(gè)光學(xué)部件的光束入射面，并且向一個(gè)光學(xué)部件的光束入射角與向另一個(gè)光學(xué)部件的光束入射角相同的方式配置。
在這里，使用反射鏡14a、14b說(shuō)明結(jié)構(gòu)。在圖5中，反射鏡14a以將從X方向入射的激光向Z方向反射的方式配置，反射鏡14b以將被反射鏡14a反射的激光向Y方向發(fā)射的方式配置。此外，設(shè)反射鏡14a的反射鏡表面曲率半徑為Ra，設(shè)反射鏡14b的反射鏡表面曲率半徑為Rb。設(shè)反射鏡14a的u方向的折射本領(lǐng)為Paru(45°)，v方向的折射本領(lǐng)為Parv(45°)，反射鏡14b的u方向的折射本領(lǐng)為Pbru(45°)，v方向的折射本領(lǐng)為Pbrv(45°)，則由反射鏡14b反射的激光的由反射鏡14a和反射鏡14b合成的u方向的折射本領(lǐng)Pru和v方向的折射本領(lǐng)Prv如下所述。
在這里，由于反射鏡14a和反射鏡14b為大體相同的表面形狀，所以RaRb，上述Pru和Prv大體相等，這樣，消除了u方向和v方向的折射本領(lǐng)的差，其結(jié)果可以減小在加工點(diǎn)上的像散，從而可以得到穩(wěn)定的加工質(zhì)量。對(duì)于反射鏡4a、反射鏡4b，因?yàn)橐彩窍嗤慕Y(jié)構(gòu)，所以可以得到相同的效果。
上述是以α＝45°進(jìn)行研究，一般角度的情況如下所述。
Pru=Parv(α)+Pbru(α)=2cosα1Ra+2cosα1Rb---(8)]]>Prv=Paru(α)+Pbrv(α)=2cosα1Ra+2cosα1Rb---(9)]]>在RaRb的情況下，從(8)、(9)式可以看出，Pru和Prv大體相等，這樣消除了u方向和v方向的折射本領(lǐng)的差，與α＝45°時(shí)相同，可以減小在加工點(diǎn)上的像散，能夠得到穩(wěn)定的加工質(zhì)量。
可是，固定光學(xué)部件的托架構(gòu)件為具有方向性的結(jié)構(gòu)，在被支撐在此托架上的反射鏡的表面曲率半徑沿此方向性變化而產(chǎn)生像散的情況下，將一組被支撐在上述托架上的反射鏡以以下方式配置使托架的方向性相對(duì)于各入射面在相同的方向上一致，同時(shí)一個(gè)光學(xué)部件的光束入射面垂直于另一個(gè)光學(xué)部件的光束入射面，并且向一個(gè)光學(xué)部件的光束入射角與向另一個(gè)光學(xué)部件的光束入射角相同。
圖6表示一個(gè)例子。在圖6中，第一光學(xué)部件37a和第二光學(xué)部件37b是表面形狀相同的光學(xué)部件，第一托架構(gòu)件38a和第二托架構(gòu)件38b是相同形狀的光學(xué)部件固定部件。A、B分別表示托架構(gòu)件所具有的方向軸，當(dāng)將反射鏡等的光學(xué)部件安裝在此托架上時(shí)，反射鏡表面的曲率半徑在A方向上為RA，在B方向上為RB。
如圖6所示，將第一光學(xué)部件37a和第二光學(xué)部件37b，以第一光學(xué)部件37a的光束入射面垂直于第二光學(xué)部件37b的光束入射面，并且向第一光學(xué)部件37a的光束入射角與向第二光學(xué)部件37b的光束入射角相同(例如45°)的方式配置，在為了使托架構(gòu)件的方向性一致而使A方向平行于入射面的情況下，第二光學(xué)部件37b反射時(shí)的u方向、v方向的折射本領(lǐng)Pru、Prv如下所示。
從(10)、(11)式可以看出，Pru和Prv相等，可以消除具有方向性的托架造成的像散。這樣，可以減小在加工點(diǎn)上的像散，能夠得到穩(wěn)定的加工質(zhì)量。從上述可以看出，在入射角為45°以外時(shí)也可以消除像散。
此外，可以使用具有方向性的便宜的托架構(gòu)件，具有降低加工裝置成本的效果。
此外，在本實(shí)施方式中，對(duì)在進(jìn)行掩模復(fù)制的光學(xué)系統(tǒng)中，配置在掩模后面的多個(gè)光學(xué)部件進(jìn)行了說(shuō)明。這是由于在掩模復(fù)制中，主要是掩模后面的光學(xué)部件的像差對(duì)加工點(diǎn)上的光束質(zhì)量有影響。此外不用說(shuō)，通過(guò)對(duì)掩模前面的多個(gè)光學(xué)部件也以同樣的考慮方法進(jìn)行配置，也有效果。
此外，不僅是進(jìn)行掩模復(fù)制的光學(xué)系統(tǒng)，通過(guò)以同樣的考慮方法進(jìn)行光學(xué)部件的配置，也具有減小光學(xué)像差的效果。
實(shí)施方式4.
圖7涉及本發(fā)明的實(shí)施方式4，為表示以下的打孔用激光加工裝置的結(jié)構(gòu)圖，即，使用表面為凸形、背面為凹形的偏振光分光器作為第一偏振光分離裝置，使用表面為凹形、背面為凸形的偏振光分光器作為第二偏振光分離裝置，將一束激光分光成兩束激光，通過(guò)獨(dú)立掃描兩束激光，可以在兩個(gè)部位同時(shí)進(jìn)行加工。
在圖7中，22為表面為凸形、背面為凹形的偏振光分光器(參照?qǐng)D8(a))；23為表面為凹形、背面為凸形的偏振光分光器(參照?qǐng)D8(b))。在這里，由于各自的表面形狀由作為制造機(jī)械的研磨機(jī)的形狀決定，所以通過(guò)控制制造方法，可以以希望的加工精度的平面度，選擇凹形或凸形進(jìn)行制造。
本實(shí)施方式4，偏振光分光器的表面形狀的結(jié)構(gòu)與實(shí)施方式1不同，因而對(duì)作為本發(fā)明特征的偏振光分光器的形狀進(jìn)行說(shuō)明。
在圖4中，Ptu(α)、Ptv(α)是與以光束入射角α入射的入射光束透過(guò)光學(xué)部件的透過(guò)光束相關(guān)的u方向、v方向的折射本領(lǐng)，當(dāng)使表面曲率半徑R以同心圓狀均勻分布，并且相對(duì)于光學(xué)系統(tǒng)足夠大(使光學(xué)部件的表面形狀為大體為平面時(shí))，設(shè)折射率為n，則折射本領(lǐng)Ptu(α)、Ptv(α)用下式給出。
Ptu(α)=n2-sin2α-cosαcos2α1R---(12)]]>Ptv(α)=(n2-sin2α-cosα)1R---(13)]]>例如在ZnSe(n＝2.41)上實(shí)施了電介質(zhì)多層膜涂覆的光束入射角45°的偏振光分光器的情況下，由(12)、(13)式分別得到下式。
從(4)、(5)、(14)、(15)式可以看出，在光束入射角45°的情況下，不僅在反射時(shí)，透過(guò)時(shí)u方向也比v方向的折射本領(lǐng)大。因?yàn)楫?dāng)此u方向和v方向的折射本領(lǐng)的差傳遞到加工點(diǎn)上時(shí)，就成為像散，所以有可能難以得到穩(wěn)定的加工質(zhì)量。
在這里，著眼于偏振光分光器的透過(guò)時(shí)的折射本領(lǐng)。透過(guò)時(shí)的折射本領(lǐng)是在偏振光分光器表面的折射本領(lǐng)上加上背面的折射本領(lǐng)。也就是說(shuō)，由(14)、(15)式，用1、2的下標(biāo)分別表示表面、背面，透過(guò)時(shí)的u方向、v方向的折射本領(lǐng)Ptua(45°)、Ptva(45°)變?yōu)槿缦鹿健?br> 因此，如圖8(a)所示，當(dāng)表面是凸形(R1＞0)、背面是凹形(R2＜0)時(shí)，由于表面和背面的折射本領(lǐng)抵消，所以透過(guò)時(shí)的折射本領(lǐng)變小。其結(jié)果，由于u方向與v方向的折射本領(lǐng)的差變小，所以具有減小像散的效果。
此外，因?yàn)楫?dāng)如圖8(b)所示的表面是凹形(R1＜0)、背面是凸形(R2＞0)時(shí)也一樣，表面與背面的折射本領(lǐng)抵消，所以透過(guò)時(shí)的折射本領(lǐng)變小，其結(jié)果，由于u方向和v方向的折射本領(lǐng)的差變小，所以具有減小像散的效果。
因?yàn)楸景l(fā)明中的偏振光分光器的表面形狀必須使表面和背面的曲率半徑的絕對(duì)值相同，所以希望使加工精度比一般的要好，優(yōu)選小于或等于λ/20。
下面對(duì)整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)中的第一偏振光分光器以及第二偏振光分光器的最佳形狀進(jìn)行說(shuō)明。
與前面的折射本領(lǐng)的論述相同，在整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)中也是將每個(gè)光學(xué)部件的折射本領(lǐng)相加，其結(jié)果是確定像差是大還是小。所以，對(duì)于在圖7的光學(xué)系統(tǒng)中使用的從第一偏振光分光器22到第二偏振光分光器23之間的光學(xué)部件，將透過(guò)第一偏振光分光器的激光6的光路A和反射的激光7的光路B分開來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。
在光路A中，透過(guò)第一偏振光分光器22的激光6，被反射鏡14a和14b導(dǎo)向第二偏振光分光器23。由于反射鏡14a和14b比較容易制造，所以可以得到精加工的平面度精度為λ/10～λ/20左右的反射鏡。但是，如下所示，由于電控掃描反射鏡的平面度存在變得比較差的傾向，所以優(yōu)選以λ/15～λ/20左右的精度進(jìn)行精加工。
與此相對(duì)，在光路B中，被第一偏振光分光器22反射的激光7，通過(guò)第一電控掃描反射鏡13a和13b被定位，導(dǎo)向第二偏振光分光器23。第一電控掃描反射鏡13a和13b為了高速動(dòng)作而必須非常輕，此外，像用(1)式說(shuō)明的那樣，因?yàn)闉榱瞬皇辜庸べ|(zhì)量惡化而必須加大面積，所以成為薄而寬的形狀，在制造上非常困難，精加工的平面度與上述反射鏡相比，有很強(qiáng)的變差的傾向，為λ/10～λ/15左右。此外，作為表面形狀，更多地依賴制造機(jī)械，例如為較大的凹形。
如果在光路A和光路B中每個(gè)平面度不同，則相加的折射本領(lǐng)有可能產(chǎn)生差值。此折射本領(lǐng)的差有可能成為光路A和光路的焦點(diǎn)差。
在本發(fā)明中，在第一電控掃描反射鏡13a和13b的表面形狀為較大的凹形的情況下，使第一偏振光分光器22的表面形狀為凸形、背面形狀為凹形，使第二偏振光分光器23的表面形狀為凹形、背面形狀為凸形。
利用這樣的結(jié)構(gòu)，在光路A中，透過(guò)第一偏振光分光器22時(shí)，幾乎不產(chǎn)生折射本領(lǐng)，在反射鏡14a和14b上因表面形狀稍成凹形而稍微具有在聚束方向上的折射本領(lǐng)，被導(dǎo)向第二偏振光分光器23，在第二偏振光分光器23的反射時(shí)，因表面形狀稍成凹形而稍微加上在聚束方向的折射本領(lǐng)。其結(jié)果，成為聚束方向稍微具有折射本領(lǐng)的激光。
與此相對(duì)，在光路B上，第一偏振光分光器22反射時(shí)，因表面的凸形而稍微具有在發(fā)散方向的折射本領(lǐng)，被導(dǎo)向第一電控掃描反射鏡1 3a和13b。由于第一電控掃描反射鏡13a和13b是較大的凹形，所以被加上強(qiáng)的聚束方向的折射本領(lǐng)，其結(jié)果，稍微具有在聚束方向的折射本領(lǐng)的激光7，以大體相同的折射本領(lǐng)透過(guò)第二偏振光分光器23。
在上述中，使反射鏡14a和14b的表面形狀稍成凹形，但在稍成凸形的情況下，也是在使第一電控掃描反射鏡13a和13b的表面形狀成較大凹形時(shí)，使第一偏振光分光器22的表面形狀為凸形、背面形狀為凹形，使第二偏振光分光器23的表面形狀為凹形、背面形狀為凸形，通過(guò)這樣可以減小光路A和光路B的折射本領(lǐng)的差。但是，由于使反射鏡14a和14b的表面形狀稍成凹形的情況其減小折射本領(lǐng)的差的效果好，所以優(yōu)選凹形。
如上所述，由本發(fā)明，每個(gè)光學(xué)部件具有的像差成分在光學(xué)系統(tǒng)中被消除，其結(jié)果，具有可以得到像散和焦點(diǎn)差等的光學(xué)像差小的光學(xué)系統(tǒng)的效果。
此外，在本實(shí)施方式中，使表面是凸形、背面是凹形的偏振光分光器作為第一偏振光分離裝置和表面是凹形，使表面是凹形、背面是凸形的偏振光分光器作為第二偏振光分離裝置，但在第一電控掃描反射鏡13a和13b是較大凸形的情況下，如果采用與上述相反配置，即，使表面是凹形、背面是凸形的偏振光分光器作為第一偏振光分離裝置，使表面是凸形、背面是凹形的偏振光分光器作為第二偏振光分離裝置，則可以使每個(gè)光學(xué)部件具有的像差成分在光學(xué)系統(tǒng)中被消除。
從上述說(shuō)明可以看出，根據(jù)光學(xué)系統(tǒng)或在光學(xué)系統(tǒng)中使用的光學(xué)部件的不同，形狀和平面度的最佳值是不同的，這是不言而喻的。
此外，在本實(shí)施方式中，著眼于第一、第二偏振光分離裝置的形狀，但是從上述說(shuō)明也可以看出，在其他光學(xué)部件中，當(dāng)然也由同樣的考慮方法而有最佳值。
此外，以上將實(shí)施方式分為1、2、3進(jìn)行了說(shuō)明，但當(dāng)然也可以將它們進(jìn)行組合。
工業(yè)上的實(shí)用性本發(fā)明涉及的激光加工裝置適用于在將一束激光分光成兩束或兩束以上的激光，同時(shí)在兩個(gè)或兩個(gè)以上部位進(jìn)行激光加工的情況下，降低制造上的難度和成本，并提高加工質(zhì)量。
權(quán)利要求
1.一種激光加工裝置，具有由將激光振蕩器射出的激光導(dǎo)向被加工物的多個(gè)光學(xué)部件構(gòu)成的光學(xué)系統(tǒng)，利用第一偏振光分離裝置將一束激光分光成兩束激光，一束激光經(jīng)由反射鏡，另一束激光利用第一電控掃描反射鏡在兩個(gè)軸方向上掃描，將兩束激光導(dǎo)向第二偏振光分離裝置后，利用第二電控掃描反射鏡進(jìn)行掃描，加工被加工物，其特征在于，將上述第一和第二偏振光分離裝置配置成相對(duì)激光的光軸成45°。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，上述第一和第二偏振光分離裝置是在表面形成電介質(zhì)多層膜涂覆的偏振光分光器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，上述第一和第二偏振光分離裝置，一面是凹形，它的背面是凸形。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光加工裝置，其特征在于，上述第一偏振光分離裝置，反射激光一側(cè)的表面為凸形，它的背面為凹形，在該第一偏振光分離裝置中，將被反射的激光導(dǎo)向表面形狀為凹形的上述第一電控掃描反射鏡，上述第二偏振光分離裝置，反射激光一側(cè)的表面為凹形，它的背面為凸形。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光加工裝置，其特征在于，上述第一偏振光分離裝置，反射激光一側(cè)的表面為凹形，它的背面為凸形，在該第一偏振光分離裝置中，將被反射的激光導(dǎo)向表面形狀為凸形的上述第一電控掃描反射鏡，上述第二偏振光分離裝置，反射激光一側(cè)的表面為凸形，它的背面為凹形。
6.根據(jù)權(quán)利要求3至5中任一項(xiàng)所述的激光加工裝置，其特征在于，在設(shè)上述激光的波長(zhǎng)為λ的情況下，前述第一和第二偏振光分離裝置的表面的凹或凸形以小于或等于λ/20的精度形成。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的激光加工裝置，其特征在于，在上述光學(xué)系統(tǒng)中，以以下方式配置表面形狀大體相同的一組光學(xué)部件，即，一個(gè)光學(xué)部件的光束入射面垂直于另一個(gè)光學(xué)部件的光束入射面，而且向一個(gè)光學(xué)部件的光束入射角與向另一個(gè)光學(xué)部件的光束入射角相同。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的激光加工裝置，其特征在于，在從上述激光振蕩器射出的激光到達(dá)上述第一偏振光分離裝置為止的激光光路中設(shè)置掩模，在此掩模和上述被加工物之間配置上述一組光學(xué)部件。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的激光加工裝置，其特征在于，具有分別固定上述一組光學(xué)部件的托架，在上述托架有方向性的情況下，將此方向配置成與各自的光學(xué)部件的入射面方向相同。
10.根據(jù)權(quán)利要求6至8中任一項(xiàng)所述的激光加工裝置，其特征在于，在設(shè)上述激光的波長(zhǎng)為λ的情況下，上述一組光學(xué)部件的表面形狀以λ/10～λ/20的精度形成。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，上述第一和第二偏振光分離裝置具有垂直于激光的前進(jìn)方向，且在相互正交的兩個(gè)軸方向上可以調(diào)整角度的機(jī)構(gòu)。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，具有減震器，其用于吸收作為能量損耗而從上述第二偏振光分離裝置泄漏的激光。
全文摘要
一種激光加工裝置，具有由將激光振蕩器(1)射出的激光導(dǎo)向被加工物(20)的多個(gè)光學(xué)部件構(gòu)成的光學(xué)系統(tǒng)，利用第一偏振光分離裝置(5)將一束激光分光成兩束激光，一束激光經(jīng)由反射鏡(14)，另一束激光利用第一電控掃描反射鏡(13)在兩個(gè)軸方向上掃描，將兩束激光導(dǎo)向第二偏振光分離裝置(8)后，利用第二電控掃描反射鏡(12)進(jìn)行掃描，加工被加工物(20)，其特征在于，將上述第一和第二偏振光分離裝置配置成相對(duì)激光的光軸成45°。
文檔編號(hào)G02B27/28GK1777489SQ20048001077
公開日2006年5月24日 申請(qǐng)日期2004年6月1日 優(yōu)先權(quán)日2004年6月1日
發(fā)明者京藤友博, 黑巖忠, 小林信高 申請(qǐng)人:三菱電機(jī)株式會(huì)社