激光加工裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及對半導(dǎo)體晶片等的被加工物實(shí)施激光加工的激光加工裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體器件制造工藝中，在呈大致圓板形狀的半導(dǎo)體晶片的正面通過呈格子狀排列的分割預(yù)定線而劃分出多個(gè)區(qū)域，并在該劃分出的區(qū)域上形成IC、LSI等的器件。而且，沿著分割預(yù)定線切斷半導(dǎo)體晶片，從而分割形成有器件的區(qū)域，制造出各個(gè)半導(dǎo)體器件。
[0003]作為沿著上述半導(dǎo)體晶片等的分割預(yù)定線分割的方法，可嘗試如下的激光加工方法，使用對晶片具有透過性的脈沖激光光線，在待分割區(qū)域的內(nèi)部對準(zhǔn)聚光點(diǎn)并照射脈沖激光光線。在使用該激光加工方法的分割方法中，從晶片的一個(gè)正面?zhèn)仍趦?nèi)部對準(zhǔn)聚光點(diǎn)，并照射對晶片具有透過性的波長的脈沖激光光線，在晶片的內(nèi)部沿著分割預(yù)定線連續(xù)形成改質(zhì)層，沿著由于形成該改質(zhì)層而強(qiáng)度降低的分割預(yù)定線施加外力，從而分割被加工物。
[0004]此外，作為分割半導(dǎo)體晶片等的板狀的被加工物的其他方法，提出了如下方法，沿著形成于被加工物上的分割預(yù)定線照射對被加工物具有吸收性的脈沖激光光線，從而通過磨蝕形成激光加工槽，并沿著激光加工槽通過機(jī)械分割裝置割斷的方法。
[0005]實(shí)施上述激光加工的激光加工裝置具有保持被加工物的保持工作臺、對保持于該保持工作臺上的被加工物照射激光光線的激光光線照射構(gòu)件、使保持工作臺與激光光線照射構(gòu)件在加工進(jìn)給方向上相對加工進(jìn)給的加工進(jìn)給構(gòu)件。在這種激光加工裝置中，若越過保持于保持工作臺上的被加工物照射激光光線，則會出現(xiàn)損傷保持工作臺的上表面的問題。
[0006]為了解決這種問題，提出了如下的激光加工裝置，其安裝了檢測構(gòu)件，該檢測構(gòu)件對保持于保持工作臺上的被加工物照射檢測光，并通過返回光的強(qiáng)弱檢測被加工物的有無，在通過該檢測構(gòu)件檢測為未檢測到保持于保持工作臺上的被加工物時(shí)，停止激光光線的照射(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。
[0007]專利文獻(xiàn)I日本特開2010-127920號公報(bào)
[0008]然而，在被保持于保持工作臺上的被加工物反射的返回光的強(qiáng)度與偏離于被加工物而被保持工作臺的框體反射的返回光的強(qiáng)度之間產(chǎn)生差異的情況下，無法區(qū)分被加工物與保持工作臺的框體，會從激光光線照射構(gòu)件對保持工作臺的框體照射激光光線而給操作者帶來危險(xiǎn)，并且存在損傷保持工作臺，或無法恰當(dāng)?shù)卣丈浼す夤饩€的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]本發(fā)明就是鑒于上述情況而完成的，其主要的技術(shù)課題在于，提供一種激光加工裝置，其安裝了保持工作臺，該保持工作臺能夠可靠地檢測被保持于保持工作臺上的被加工物反射的反射光的光量與偏離于被加工物而被保持工作臺的框體反射的反射光的光量之差。
[0010]為了解決上述主要技術(shù)課題，本發(fā)明提供一種激光加工裝置，其特征在于，具有:保持工作臺，其保持被加工物；激光光線照射構(gòu)件，其對保持于該保持工作臺上的被加工物照射激光光線；移動構(gòu)件，其使該保持工作臺與該激光光線照射構(gòu)件進(jìn)行相對移動；檢測構(gòu)件，其對保持于該保持工作臺上的被加工物照射檢查光，檢測被被加工物反射的反射光的光量；以及控制構(gòu)件，其根據(jù)來自該檢測構(gòu)件的檢測信號判定被加工物的有無，該保持工作臺具有吸附保持被加工物的保持部、以及圍繞該保持部的環(huán)狀的框體，該框體的上表面被實(shí)施了使光漫反射的漫反射處理。
[0011]上述漫反射處理優(yōu)選為噴砂處理。
[0012]在本發(fā)明中，保持被加工物的保持工作臺具有吸附保持被加工物的保持部、以及圍繞保持部的環(huán)狀框體，框體的上表面被實(shí)施了使光漫反射的漫反射處理，因此被照射的檢查光進(jìn)行漫反射，而檢測構(gòu)件接受到的反射光的受光量減少，因此能夠立即檢測到檢測光偏離于在保持工作臺上保持的被加工物的情況。其結(jié)果，從激光光線照射構(gòu)件照射的激光光線不會照射在保持工作臺的框體的上表面上，能夠消除對操作者帶來危險(xiǎn)且損傷保持工作臺的問題。
【附圖說明】
[0013]圖1是本發(fā)明實(shí)施方式的激光加工裝置的立體圖。
[0014]圖2是安裝于圖1所示的激光加工裝置上的用于吸附保持被加工物的保持工作臺的立體圖。
[0015]圖3是對保持于保持工作臺上的被加工物照射檢測光，檢測在被加工物上反射的反射光的強(qiáng)度的檢測構(gòu)件的結(jié)構(gòu)框圖。
[0016]圖4是表示安裝于激光加工裝置上的控制構(gòu)件(控制器)的框圖。
[0017]圖5是作為被加工物的半導(dǎo)體晶片的立體圖。
[0018]圖6是表示在圖5所示的半導(dǎo)體晶片的正面貼附保護(hù)帶的保護(hù)部件貼附工序的說明圖。
[0019]圖7是通過激光加工裝置實(shí)施的改質(zhì)層形成工序的說明圖。
[0020]圖8是表示將半導(dǎo)體晶片貼附于在環(huán)狀框架上安裝的切割帶的正面上的晶片保持工序的說明圖。
[0021]圖9是激光加工槽形成工序的說明圖。
[0022]標(biāo)號說明
[0023]2:靜止基座；3:保持工作臺機(jī)構(gòu)；36:保持工作臺；37:X軸方向移動構(gòu)件；38:第IY軸方向移動構(gòu)件；4:激光光線照射單元支撐機(jī)構(gòu)；42:可動支撐基座；43:第Ti軸方向移動構(gòu)件；5:激光光線照射單元；53:Z軸方向移動構(gòu)件；6:加工用脈沖激光光線振蕩構(gòu)件；60:光線偏向構(gòu)件；7:聚光器；71:方向轉(zhuǎn)換鏡；72:聚光透鏡；8:檢測構(gòu)件；81:檢查用激光光線振蕩構(gòu)件；82:分色鏡；83:分光束鏡；84:受光元件；9:攝像構(gòu)件；10:控制構(gòu)件；20:半導(dǎo)體晶片。
【具體實(shí)施方式】
[0024]以下，參照附圖詳細(xì)說明根據(jù)本發(fā)明構(gòu)成的激光加工裝置的優(yōu)選實(shí)施方式。
[0025]圖1示出根據(jù)本發(fā)明構(gòu)成的激光加工裝置I的立體圖。圖1所示的激光加工裝置I具有:靜止基座2 ;保持工作臺機(jī)構(gòu)3，其以能夠在箭頭X所示的加工進(jìn)給方向上移動的方式配設(shè)于該靜止基座2上，用于保持被加工物；激光光線照射單元支撐機(jī)構(gòu)4，其以能夠在與上述箭頭X所示的方向呈直角的箭頭Y所示的分度方向上移動的方式配設(shè)于靜止基座2上；以及激光光線照射單元5，其以能夠在箭頭Z所示的焦點(diǎn)位置調(diào)整方向上移動的方式配設(shè)于該激光光線照射單元支撐機(jī)構(gòu)4上。
[0026]上述保持工作臺機(jī)構(gòu)3具有:沿著箭頭X所示的方向平行配設(shè)于靜止基座2上的一對導(dǎo)軌31、31 ;以能夠在箭頭X所示的方向上移動的方式配設(shè)于該導(dǎo)軌31、31上的第I滑動塊32 ;以能夠在箭頭Y所示的方向上移動的方式配設(shè)于該第I滑動塊32上的第2滑動塊33 ;被圓筒部件34支撐于該第2滑動塊33上的罩工作臺35 ;以及作為被加工物保持構(gòu)件的保持工作臺36。參照圖2說明該保持工作臺36。圖2所示的保持工作臺36具有由多孔陶瓷等多孔性材料形成的圓形的保持部361、以及圍繞該保持部361配設(shè)的環(huán)狀框體362?？蝮w362由不銹鋼等的金屬材料形成，上表面362a被實(shí)施了使光漫反射的漫反射處理。另夕卜，作為漫反射處理，優(yōu)選是噴砂或噴丸等的噴砂處理。在如上構(gòu)成的保持工作臺36上，配設(shè)有用于固定環(huán)狀框架的夾鉗363。此外，保持工作臺36憑借配設(shè)于圓筒部件34內(nèi)的未圖示的脈沖電動機(jī)而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
[0027]上述第I滑動塊32在其下表面上設(shè)有與上述一對導(dǎo)軌31、31嵌合的一對被導(dǎo)向槽321、321，并且在其上表面上設(shè)有沿著箭頭Y所示的方向平行形成的一對導(dǎo)軌322、322。如上構(gòu)成的第I滑動塊32構(gòu)成為，憑借被導(dǎo)向槽321、321嵌合于一對導(dǎo)軌31、31中，從而沿著一對導(dǎo)軌31、31能夠在箭頭X所示的方向上移動。保持工作臺機(jī)構(gòu)3具有用于使第I滑動塊32沿著一對導(dǎo)軌31、31在箭頭X所示的方向上移動的X軸方向移動構(gòu)件37。X軸方向移動構(gòu)件37具有平行配設(shè)于上述一對導(dǎo)軌31與31之間的外螺紋桿371、以及用于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動該外螺紋桿371的脈沖電動機(jī)372等的驅(qū)動源。外螺紋桿371的一端以自由旋轉(zhuǎn)的方式支撐于在上述靜止基座2上固定的軸承塊373上，而另一端與上述脈沖電動機(jī)372的輸出軸傳動連結(jié)。另外，外螺紋桿371與在突出設(shè)置于第I滑動塊32的中央部下表面上的未圖示的內(nèi)螺紋塊上形成的貫通內(nèi)螺紋孔螺合。因此，通過脈沖電動機(jī)372正轉(zhuǎn)和反轉(zhuǎn)驅(qū)動外螺紋桿371，從而第I滑動塊32沿著導(dǎo)軌31、31在箭頭X所示的加工進(jìn)給方向上移動。
[0028]上述第2滑動塊33在其下表面上設(shè)有與設(shè)置于上述第I滑動塊32的上表面上的一對導(dǎo)軌322、322嵌合的一對被導(dǎo)向槽331、331，通過將該被導(dǎo)向槽331、331嵌合于一對導(dǎo)軌322、322上，從而構(gòu)成為能夠在箭頭Y所示的方向上移動。保持工作臺機(jī)構(gòu)3具有第IY軸方向移動構(gòu)件38，該第IY軸方向移動構(gòu)件38用于使第2滑動塊33沿著設(shè)置于第I滑動塊32上的一對導(dǎo)軌322、322在箭頭Y所示的方向上移動。第IY軸方向移動構(gòu)件38具有平行配設(shè)于上述一對導(dǎo)軌32