專利名稱：：可低溫固化的感光性樹脂組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及可以在低溫下固化的用于平板顯示器的濾色器(COlOTfilter)的感光性樹脂組合物。
背景技術(shù)：
：濾色器基板的制造通常包括利用Cr/CrOx形成黑底(blackmatrix)、利用顏料分散法形成濾色器、以及形成共用電極。與薄膜電晶體陣列(TFT-陣列(array))工序同樣地通過反應(yīng)性濺射(reactivesputtering)將Cr/CrOx蒸鍍?cè)诮?jīng)清洗的玻璃基板上形成黑底圖案后，利用光學(xué)(photo)工程技術(shù)形成用于實(shí)現(xiàn)顏色的RGB圖案。通常，移動(dòng)同一掩模形成RGB圖案，由于利用曝光的光聚合反應(yīng)達(dá)到一定程度時(shí)會(huì)停止，因此為了持續(xù)進(jìn)行利用熱的聚合反應(yīng)，另行實(shí)施后烘焙(post-bake),顯影時(shí)利用浸漬(dipping)、浸置(puddle)、淋浴(shower)、噴霧(spray)法等。形成RGB圖案后進(jìn)行共用電極的形成，共用電極用于使液晶盒(cell)與形成于下部的TFT基板的像素電極(pixelelectrode)共同動(dòng)作，通過濺射來蒸鍍ITO(ITO是透明性和導(dǎo)電性良好、化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性優(yōu)異的透明電極材料)，作為共用電極的ITO不另外形成圖案。出于RGB圖案的保護(hù)和平坦化，有時(shí)也在形成共用電極前使用丙烯酸系樹脂、聚酰亞胺系樹脂來形成平坦化膜(overcoat)。在濾色器工序中，RGB圖案的情況下，主要利用旋轉(zhuǎn)涂布、狹縫涂布(slitcoater)來進(jìn)行涂布，預(yù)烘焙(pre-bake)后進(jìn)行曝光、顯影。顯影后，最后進(jìn)行施加22(TC以上的熱的后烘焙工序，通常使用的玻璃在該溫度下幾乎不會(huì)變形，而用于柔性(flexible)顯示器的塑料在220。C以上的溫度會(huì)出現(xiàn)嚴(yán)重的變形。其結(jié)果，為了減少基板的變形而不得不降低后烘焙工序的溫度，而如果降低后烘焙的溫度，就不會(huì)完全固化，氣體產(chǎn)生量會(huì)增加，從而不僅出現(xiàn)殘像，還會(huì)引起耐化學(xué)性和耐熱性變差等問題。下述專利文獻(xiàn)1中公開了一種感光性樹脂組合物，其由于含有經(jīng)酸酐處理的環(huán)氧化物而具有優(yōu)異的耐熱性和耐化學(xué)性。但是，即使是含有經(jīng)酸酐處理的環(huán)氧化物的所述感光性樹脂組合物，在20(TC以下的低溫下進(jìn)行后烘焙工序時(shí)，由于耐化學(xué)性和耐熱性達(dá)不到標(biāo)準(zhǔn)、氣體產(chǎn)生量增加，因而殘像出現(xiàn)的問題仍然存在。專利文獻(xiàn)h大韓民國(guó)專利公開第2002-0048675號(hào)
發(fā)明內(nèi)容因此，本發(fā)明的目的在于提供一種適于形成平板顯示器的濾色器的感光性樹脂組合物，其在低溫下也能夠完全固化，能夠制成不僅氣體產(chǎn)生量少且具有優(yōu)異的耐熱性和耐化學(xué)性的固化膜。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種感光性樹脂組合物，其含有'(A)作為粘結(jié)劑用樹脂的(i)環(huán)氧樹脂和(ii)堿溶性樹脂，所述堿溶性樹脂是選自丙烯酸酯樹脂、光聚合物樹脂和這些樹脂的混合物之中的一種以上的樹脂；(B)環(huán)氧固化劑；(C)具有烯類雙鍵的交聯(lián)性單體；(D)顏料；(E)光聚合引發(fā)劑；和(F)溶劑。使用本發(fā)明的感光性樹脂組合物，利用20(TC以下的低溫固化工序也能夠得到氣體產(chǎn)生量少、耐熱性和耐化學(xué)性優(yōu)異的具有可靠性的固化膜。并且，通過利用所述感光性樹脂組合物，能夠在堿性水溶液中顯影，能夠得到靈敏度和分辨率優(yōu)異、具有良好形狀的固化膜圖案，能夠在工業(yè)上有效地提供可靠性高的濾色器和含有該濾色器的平板顯示器。圖1是顯示在實(shí)驗(yàn)例中將由實(shí)施例1和比較例1制造的感光性樹脂組合物得到的固化膜浸漬在NMP溶液中后溶出的物質(zhì)的吸光度的測(cè)定結(jié)果的圖。具體實(shí)施例方式本發(fā)明的感光性樹脂組合物的特征在于，由于含有堿溶性的丙烯酸酯樹脂或光聚合物樹脂、以及環(huán)氧樹脂和環(huán)氧固化劑，提高了利用熱的固化度。因此，本發(fā)明的感光性樹脂組合物即使通過低溫的固化工序也能夠提供具有優(yōu)異的耐熱性和耐化學(xué)性的固化膜，并且該固化膜的物性與經(jīng)高溫的固化工序得到的固化膜的物性沒有差異。本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，所述環(huán)氧樹脂(成分(A)(i))發(fā)揮出提高感光性樹脂組合物的固化度的作用，根據(jù)固化劑種類的不同，可提供不僅能夠在低溫固化還能縮短固化時(shí)間等多種特性。并且，與其他的樹脂相比，其固化收縮少，耐化學(xué)性和耐熱性等也優(yōu)異。作為所述環(huán)氧樹脂，可以舉出雙酚A型環(huán)氧樹脂、雙酚F型環(huán)氧樹脂、線型酚醛型環(huán)氧樹脂、甲酚線型酚醛型環(huán)氧樹脂和這些樹脂的混合物。作為市售品，雙酚A型環(huán)氧樹脂可以舉出Epikote1001、1002、1003、1004、1007、1009、1010、828(油化、>工少工求年、乂株式會(huì)社制造)等，雙酚F型環(huán)氧樹脂可以舉出Epikote807、834(油化7工少工求年、>株式會(huì)社制造)等，線型酚醛型環(huán)氧樹脂可以舉出Epikote152、154、157H65(油化、>工/1/工求年、>株式會(huì)社制造)、EPPN-201、EPPN-501N、EPPN-501H、EPPN-502N、EPPN-501HY、EOCN-1020(日本化藥株式會(huì)社制造)等，甲酚線型酚醛型環(huán)氧樹脂可以舉出EOCN-102S、EOCN-103S、EOCN-104S、EOCN-1020、EOCN-1025、EOCN-1027(日本化藥株式會(huì)社制造)、Epikote180S75(油化、>二》工求年^株式會(huì)社制造)等，其他的環(huán)氧樹脂可以舉出NC-3000、NC-3000H(日本化藥株式會(huì)社制造)、CY175、CY177、CY179(汽巴-嘉基公司(CIBA-GEIGYAG)制造)。以感光性樹脂組合物的總重量為基準(zhǔn)，所述環(huán)氧樹脂優(yōu)選以1重量％30重量％的量使用，所述環(huán)氧樹脂的用量超過30重量％的情況下，顯影性會(huì)出現(xiàn)問題，而少于1重量％的情況下，低溫下的固化度可能會(huì)降低。本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，從干燥后的感光性樹脂組合物的柔性的方面考慮，所述丙烯酸酯樹脂(成分(A)(ii))具有15(TC以下的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度是適宜的。所述丙烯酸酯樹脂通過在溶劑中將不飽和羧酸、芳香族單體、表面柔性賦予用單體及其他丙烯酸單體聚合而獲得。所述不飽和羧酸是出于賦予堿溶性的目的而使用的，作為其具體例，可以舉出丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、馬來酸、富馬酸、乙烯基乙酸、上述酸的酸酐和這些化合物的混合物等。所述不飽和羧酸在高分子內(nèi)的含量?jī)?yōu)選為20重量％50重量％，此時(shí)，若不飽和羧酸的含量超過50重量％，則聚合時(shí)易于凝膠化，聚合度調(diào)節(jié)變難，導(dǎo)致感光性樹脂組合物的保存穩(wěn)定性惡化，若不飽和羧酸的含量小于20重量％，則會(huì)在顯影工序中出現(xiàn)顯影時(shí)間變長(zhǎng)的缺點(diǎn)。所述芳香族單體是出于提高所形成的感光性樹脂組合物的耐化學(xué)性和耐熱性的目的而使用的。作為所述芳香族單體的例子，可以舉出苯乙烯、甲基丙烯酸芐酯、丙烯酸芐酯、丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸-2-硝基苯酯或丙烯酸-4-硝基苯酯、甲基丙烯酸-2-硝基苯酯或甲基丙烯酸-4-硝基苯酯、甲基丙烯酸-2-硝基芐酯或甲基丙烯酸-4-硝基芐酯、丙烯酸-2-氯苯酯或丙烯酸-4-氯苯酯、甲基丙烯酸-2-氯苯酯或甲基丙烯酸-4-氯苯酯以及這些化合物的混合物等。所述芳香族單體在高分子內(nèi)的含量?jī)?yōu)選為15重量％45重量％，進(jìn)一步優(yōu)選為20重量％40重量％。若所述芳香族單體的含量超過45重量％，則形成涂膜時(shí)薄膜的柔性降低，產(chǎn)生對(duì)基板的耐久性惡化的缺點(diǎn)，若芳香族單體的含量小于15重量％，則在顯影工序中與基板的密合性降低，圖案的剝離現(xiàn)象變得嚴(yán)重，所形成的圖案的直進(jìn)性惡化，難以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的圖案。作為所述表面柔性賦予用單體的例子，可以舉出乙氧基化脂肪酸醇的甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸異十三烷基酯、甲基丙烯酸硬脂基酯、甲基丙烯酸異癸酯、甲基丙烯酸乙基己酯、乙基三甘醇甲基丙烯酸酯、甲氧基聚乙二醇甲基丙烯酸酯、丁基二甘醇甲基丙烯酸酯和這些化合物的混合物等。所述具有柔性賦予功能的單體在高分子內(nèi)的含量可以優(yōu)選為3重量％15重量％，進(jìn)一步優(yōu)選為5重量％10重量％。若所述具有柔性賦予功能的單體的含量超過15重量％，則在顯影工序中圖案的剝離現(xiàn)象變得嚴(yán)重，所形成的圖案的直進(jìn)性惡化。并且，若該含量小于3重量％，則高分子的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度變高，容易損壞，所形成的感光性樹脂組合物的柔性惡化。并且，所述其他丙烯酸單體用于調(diào)節(jié)高分子的極性。作為這樣的丙烯酸單體的例子，可以舉出2-羥基乙基乙基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基辛酯、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、丙烯酸正丁酯和這些化合物的混合物等?？紤]到高分子的耐熱性、分散性、與顯影液的親水性等，這樣的單體在高分子內(nèi)的含量?jī)?yōu)選為10重量％30重量％。所述丙烯酸酯高分子樹脂可以通過在能夠防止所述4種單體凝膠化的具有適當(dāng)?shù)臉O性的溶劑中進(jìn)行聚合來得到，所形成的低玻璃化轉(zhuǎn)變溫度的丙烯酸酯樹脂的重均分子量?jī)?yōu)選為10,00035,000，進(jìn)一步優(yōu)選為20000左右。本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，所述光聚合物樹脂(成分(A)(ii))發(fā)揮出提高感光性樹脂組合物的靈敏度的作用。所述光聚合物樹脂是溶解于堿性水溶液的樹脂，優(yōu)選以下述的化學(xué)式1或化學(xué)式2表示，上述式中，Ri各自獨(dú)立地是氫原子或碳原子數(shù)為12的烷基，R2是具有羥基取代基或不具有取代基的碳原子數(shù)為25的亞烷基，a+b+c=l，且0.KaO.4、0<b<0.5、0.1<c<0.6。所述光聚合物樹脂的重均分子量可以優(yōu)選為10，00080，000，進(jìn)一步優(yōu)選為15，00050,000。所述光聚合物的重均分子量在所述范圍內(nèi)時(shí)，在顯影時(shí)間和殘膜去除程度方面會(huì)更加良好。以感光性樹脂組合物的總重量為基準(zhǔn)，如上所述的環(huán)氧樹脂與堿溶性樹脂(丙烯酸酯樹脂和/或光聚合物樹脂)的混合物(即粘結(jié)劑用樹脂)優(yōu)選以1重量％50重量％的量使用，所述粘結(jié)劑用樹脂的含量在所述范圍內(nèi)時(shí)，具有能夠獲得適宜粘度的感光性樹脂組合物，并且容易調(diào)節(jié)厚度的優(yōu)點(diǎn)。本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，作為所述環(huán)氧固化劑(成分(B))，可以使用胺系、酸酐系、咪唑系、異花青系、硫醇系化合物等，更具體地說，可以使用二亞乙基三胺(DETA)、三亞乙基四胺(TETA)、三亞乙基五胺(TEPA)、二氨基二苯基甲烷(DDM)、二氨基二苯基砜(DDS)、聚酰胺胺(polyamideamine)、雙氰胺等胺系化合物；聚酰胺樹脂；鄰苯二甲酸酐、偏苯三酸酐、均苯四酸二酐、馬來酸酐、四氫鄰苯二甲酸酐、甲基四氫鄰苯二甲酸酐、六氫鄰苯二甲酸酐、甲基氫化鄰苯二甲酸酐等酸酐系化合物；2MZ(2-甲基咪唑)、2E4MZ(2-乙基-4-甲基咪唑)等咪唑系化合物；異花青系化合物；和聚硫醇等硫醇系化合物等。10以組合物的總重量為基準(zhǔn)，所述環(huán)氧固化劑優(yōu)選以0.1重量％10重量％的量來使用。此時(shí)，相對(duì)于環(huán)氧樹脂的1當(dāng)量的環(huán)氧基，所述環(huán)氧固化劑可以優(yōu)選以0.5當(dāng)量1.5當(dāng)量、進(jìn)一步優(yōu)選以0.7當(dāng)量1.2當(dāng)量的量來使用。所述環(huán)氧固化劑的含量小于0.5當(dāng)量或超過1.5當(dāng)量時(shí)，不能獲得良好的固化度?？梢愿鶕?jù)所使用的環(huán)氧固化劑的種類任意地使用固化促進(jìn)劑作為用于促進(jìn)環(huán)氧固化劑與環(huán)氧樹脂的反應(yīng)性的催化劑。作為可以使用的固化促進(jìn)劑，可以舉出2-甲基咪唑、2-乙基咪唑、2-乙基-4-甲基咪唑等咪唑類；2，4-二甲基苯酚等酚類；三苯膦等膦類；辛酸亞錫(才夕于》酸7X)等金屬化合物。以100重量份環(huán)氧樹脂為基準(zhǔn)，所述固化促進(jìn)劑可以以0.1重量份10重量份的量來使用。本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，作為所述具有烯類雙鍵的交聯(lián)性單體(成分(C))，可以使用1,4-丁二醇二丙烯酸酯、1,3-丁二醇二丙烯酸酯、乙二醇二丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、三甘醇二丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、二季戊四醇二丙烯酸酯、山梨糖醇三丙烯酸酯、雙酚A二丙烯酸酯衍生物、三甲基丙垸三丙烯酸酯、二季戊四醇聚丙烯酸酯；與上述的丙烯酸酯對(duì)應(yīng)的甲基丙烯酸酯類；和這些化合物的混合物等。以感光性樹脂組合物的總重量為基準(zhǔn)，所述具有烯類雙鍵的交聯(lián)性單體可以優(yōu)選以1重量％30重量％、進(jìn)一步優(yōu)選以3重量％20重量％的量來使用。所述具有烯類雙鍵的交聯(lián)性單體的含量小于1重量％時(shí)，無(wú)法實(shí)現(xiàn)感光性樹脂組合物的柔性，該含量超過30重量％時(shí)，可能會(huì)降低顯影性和粘接力。本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，作為所述顏料(成分(D))可以使用所有的有機(jī)顏料或無(wú)機(jī)顏料，作為有機(jī)顏料的具體例，可以舉出C.I.顏料黃83、C.I.顏料黃150、C.I.顏料黃138、C.I.顏料黃128、C.I.顏料橙43、C.I.顏料紅177、C.I.顏料紅202、C.I.顏料紅209、C.I.顏料紅254、C.I.顏料紅255、C.I.顏料綠7、C.I.顏料綠36、C.I.顏料藍(lán)15、C.I.顏料藍(lán)15:3、C丄顏料藍(lán)15:4、C.I.顏料藍(lán)15:6、C.I.顏料紫23、C.I.顏料黑1、C.I.顏料黑7等。并且，作為無(wú)機(jī)顏料的具體例，可以舉出二氧化鈦、鈦黑、炭黑等。這些顏料也可以混合一種以上使用以進(jìn)行調(diào)色。以感光性樹脂組合物的總重量為基準(zhǔn)，所述顏料可以優(yōu)選以10重量％70重量％的量來使用。本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，所述光聚合引發(fā)劑(成分(E))起到在可見光線、紫外線、遠(yuǎn)紫外線等波長(zhǎng)的光的作用下來引發(fā)所述交聯(lián)性單體的聚合的作用。作為所述光聚合引發(fā)劑，可以使用三嗪系化合物、二苯乙醇酮系化合物、苯乙酮系化合物、氧雜蒽酮系化合物、咪唑系化合物和這些化合物的混合物等，具體地說，可以使用2,4-雙三氯甲基-6-對(duì)甲氧基苯乙烯基均三嗪、2-對(duì)甲氧基苯乙烯基-4，6-雙三氯甲基均三嗪、2,4-三氯甲基均三嗪、2，4-三氯甲基-4-甲基萘基均三嗪等三嗪系化合物；二苯甲酮、對(duì)(二乙基氨基)二苯甲酮等二苯乙醇酮系化合物；2,2-二氯-4-苯氧基苯乙酮、2，2-二乙氧基苯乙酮、2，2-二丁氧基苯乙酮、2-羥基-2-甲基苯丙酮、對(duì)叔丁基三氯苯乙酮等苯乙酮系化合物；氧雜蒽酮、噻噸酮、2-甲基噻噸酮、2-異丁基噻噸酮、2-十二垸基噻噸酮、2，4-二甲基噻噸酮、2，4-二乙基噻噸酮等氧雜蒽酮系化合物；和2,2-雙(2-氯苯基)-4，5,4，5-四苯基-1，2-雙咪唑、2,2-雙(2,4，6-三氰基苯基)-4，4，5，5-四苯基-l，2-雙咪唑等咪唑系化合物等。以感光性樹脂組合物的總重量為基準(zhǔn)，所述光聚合引發(fā)劑可以優(yōu)選以0.3重量％5重量％、進(jìn)一步優(yōu)選以0.5重量％2重量％的量來使用。所述光聚合引發(fā)劑的含量小于0.3重量％時(shí)，存在固化度降低、因低靈敏度導(dǎo)致難以實(shí)現(xiàn)正常形狀的圖案、圖案的直進(jìn)性也不好之類的問題，該含量超過5重量％時(shí)，在保存穩(wěn)定性方面產(chǎn)生問題，可能會(huì)由于固化度高導(dǎo)致分辨率降低，易于在形成的圖案以外的部分產(chǎn)生殘留物。本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，作為所述溶劑(成分(F))可以使用在溶解性和涂布性等方面適宜的溶劑，作為適宜的溶劑的具體例，可以舉出丙二醇單乙醚乙酸酯、乙氧基丙酸乙酯、乙酸丁酯、乙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單甲醚、丙二醇甲醚乙酸酯、二甘醇二甲醚、二甘醇甲乙醚、環(huán)己酮、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯和這些化合物的混合物等，特別優(yōu)選使用丙二醇單乙醚乙酸酯、乙氧基丙酸乙酯或乙酸丁酯。所述溶劑的含量依粘度或組合物內(nèi)總固體成分含量的不同而不同，所含有的溶劑的量為在除去本發(fā)明的感光性組合物中使用的固體成分后剩余的殘量，以感光性樹脂組合物的總重量為基準(zhǔn)，所述溶劑的含量?jī)?yōu)選為5重量％60重量％。溶劑在所述范圍之外時(shí)，存在無(wú)法克服厚度偏差、感光性樹脂組合物的均一性降低這樣的問題。并且，根據(jù)需要還可以在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中進(jìn)一步含有表面活性劑、增感劑、催化劑等添加劑。特別是可以使用硅系或氟系表面活性劑作為所述表面活性劑。以感光性樹脂組合物的總重量為基準(zhǔn)，所述添加劑優(yōu)選最多使用2重量％的量，該含量超過2重量％時(shí)，會(huì)產(chǎn)生殘膜或穩(wěn)定性降低。根據(jù)本發(fā)明的其他實(shí)施方式，可以提供通過將所述感光性樹脂組合物固化而得到的固化膜、含有所述固化膜的濾色器和含有所述濾色器的平板顯示器。使用本發(fā)明的感光性樹脂組合物，即使是采用20(TC以下的低溫固化工序也能夠得到氣體產(chǎn)生量少、耐熱性和耐化學(xué)性優(yōu)異的具有可靠性的固化膜。并且，通過利用所述感光性樹脂組合物可以在堿性水溶液中顯影，能夠得到靈敏度和分辨率優(yōu)異、具有良好形狀的固化膜圖案，能夠在工業(yè)上有效地提供可靠性高的濾色器和含有該濾色器的平板顯示器。下面利用下述實(shí)施例進(jìn)一步詳細(xì)地說明本發(fā)明。但是下述實(shí)施例僅用于對(duì)本發(fā)明進(jìn)行舉例，本發(fā)明的范圍并不限于這些例子。在下述實(shí)施例中，除非特別聲明，百分?jǐn)?shù)和混合比均以重量為基準(zhǔn)。(實(shí)施例1)在35g丙二醇甲醚乙酸酯(PGMEA)的溶劑中，加入作為光聚合引發(fā)劑的lgIrgacure369(汽巴精化制造)和0.6gDETX-S(2,4-二乙基-噻噸酮，汽巴精化制造)，于常溫?cái)嚢?0分鐘，使光聚合引發(fā)劑溶解后，添加5g作為堿溶性光聚合物樹脂的DJB250(淋沐進(jìn)世美肯制造)、2.5g作為環(huán)氧樹脂的NC-3000H(日本化藥株式會(huì)社制造)、5g作為具有烯類雙鍵的交聯(lián)性單體的DPHA(日本化藥(株))、0.7g作為環(huán)氧固化劑的MCD(日本化藥株式會(huì)社制造)，于常溫?cái)嚢鑜小時(shí)后，添加50g作為顏料的C丄顏料藍(lán)15:6與C.I.顏料紫23的混合物和0.2g添加劑，于常溫?cái)嚢?小時(shí)。將如此得到的組合物過濾兩次以上以去除雜質(zhì)，得到本發(fā)明的感光性樹脂組合物。(實(shí)施例2)除了使用50gC.I.顏料紅254作為顏料外，使用與實(shí)施例1相同的方法獲得感光性樹脂組合物。(實(shí)施例3)除了使用45gC.I.顏料綠36和5gC.I.顏料黃138作為顏料外，使用與實(shí)施例1相同的方法獲得感光性樹脂組合物。(實(shí)施例4)除了使用50g炭黑(20y。溶液)作為顏料外，使用與實(shí)施例1相同的方法獲得感光性樹脂組合物。(實(shí)施例5)除了使用5g作為丙烯酸酯樹脂的HIB((株)東進(jìn)世美肯制造)來作為堿溶性樹脂外，使用與實(shí)施例1相同的方法獲得感光性樹脂組合物。(實(shí)施例6)除了混合2.5g作為堿溶性的光聚合物樹脂的DJB250((株)東進(jìn)世美肯制造)和2.5g作為丙烯酸酯樹脂的HIB((株)東進(jìn)世美肯制造)進(jìn)行使用外，使用與實(shí)施例1相同的方法獲得感光性樹脂組合物。(比較例1)除了沒有使用環(huán)氧樹脂和環(huán)氧固化劑外，使用與實(shí)施例1相同的方法獲得感光性樹脂組合物。(比較例2)除了沒有使用環(huán)氧樹脂和環(huán)氧固化劑外，使用與實(shí)施例5相同的方法獲得感光性樹脂組合物。(比較例3)14除了沒有使用環(huán)氧固化劑外，使用與實(shí)施例1相同的方法獲得感光性樹脂組合物。(比較例4)除了沒有使用環(huán)氧樹脂外，使用與實(shí)施例1相同的方法獲得感光性樹脂組合物。所述實(shí)施例16和比較例14的組成(g)列于下表1。[表l]_<table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table>實(shí)驗(yàn)例固化膜的物性評(píng)價(jià)從氣體產(chǎn)生量、耐化學(xué)性和耐熱性的方面對(duì)由所述實(shí)施例16和比較例14制造的感光性樹脂組合物得到的固化膜的物性進(jìn)行評(píng)價(jià)。首先，將制造出的感光性樹脂組合物旋轉(zhuǎn)涂布，使得涂布厚度為lpm2^im，然后在8(TC的加熱板上干燥2分鐘，得到涂布膜。將光掩模置于所得到的涂布膜上后，利用發(fā)出200nm400nm的波長(zhǎng)的超高壓汞燈進(jìn)行一定時(shí)間的曝光，使得曝光量以365nm為基準(zhǔn)達(dá)到約100mJ/cm2，利用KOH顯影液(DCD-260CF、(株)東進(jìn)世美肯制造)通過噴霧噴嘴進(jìn)行一定時(shí)間的顯影后，在15(TC、17(TC、19(TC和230。C這4種溫度下進(jìn)行30分鐘的后烘焙工序，制造出固化膜。(l)氣體產(chǎn)生量測(cè)定將基于上述進(jìn)行后烘焙的溫度的4種試片以10mmx70mm的大小切斷10張，放入JTD-505自動(dòng)進(jìn)樣器(Autosampler)(Jai社)，在240。C的真空條件下加熱30分鐘，將放出的氣體用-4(TC的冷凝管進(jìn)行捕集(collection).通過GC-MS對(duì)其進(jìn)行分離，對(duì)每個(gè)物質(zhì)進(jìn)行定量分析。將如此評(píng)價(jià)的結(jié)果列于下表2。〇氣體產(chǎn)生量相對(duì)于生產(chǎn)的感光性樹脂組合物小于100%。氣體產(chǎn)生量相對(duì)于生產(chǎn)的感光性樹脂組合物為100%200%。X:氣體產(chǎn)生量相對(duì)于生產(chǎn)的感光性樹脂組合物超過200%。[表2]___<table>tableseeoriginaldocumentpage16</column></row><table>(2)耐熱性評(píng)價(jià)對(duì)基于上述進(jìn)行后烘焙的溫度的4種試片在230度再次進(jìn)行3小時(shí)的熱處理，對(duì)圖案的變化、色度的變化和厚度的變化進(jìn)行評(píng)價(jià)，其結(jié)果列于下表3。〇圖案沒有變化，色差(AEab)為3.0以下?！?圖案稍有變化，色差(AEab)為3.05.0。X:圖案變化較大或色差(AEab)為5.0以上?！鶊D案變化圖案表面上出現(xiàn)再結(jié)晶現(xiàn)象，圖案鼓脹。[表3]_<table>tableseeoriginaldocumentpage16</column></row><table>(3)耐化學(xué)性評(píng)價(jià)將基于上述進(jìn)行后烘焙的溫度的4種試片分別在5%的HC1水溶液、5。/。的NaOH水溶液、NMP、二甲苯、異丙醇中浸漬60分鐘后進(jìn)行干燥，對(duì)圖案的變化和色度的變化進(jìn)行評(píng)價(jià)，其結(jié)果列于下表4。并且，對(duì)在NMP溶液中溶出的物質(zhì)的吸光度進(jìn)行測(cè)定，結(jié)果示于圖1。圖案沒有變化，色差(AEab)為3.0以下。圖案稍有變化，色差(AEab)為3.05.0。X:圖案變化較大或色差(AEab)為5.0以上?！鶊D案變化出現(xiàn)圖案的剝離現(xiàn)象、熔融現(xiàn)象，圖案鼓脹。<table>tableseeoriginaldocumentpage17</column></row><table>由上述表24和圖1的結(jié)果可知，與比較例14的情況相比，由本發(fā)明的實(shí)施例16制造的樹脂組合物得到的固化膜在20(TC以下的低溫下進(jìn)行了固化的情況下也具有低氣體產(chǎn)生量，具有優(yōu)異的耐熱性和耐化學(xué)性。權(quán)利要求1.一種感光性樹脂組合物，其特征在于，該感光性樹脂組合物含有(A)作為粘結(jié)劑用樹脂的(i)環(huán)氧樹脂和(ii)堿溶性樹脂，所述堿溶性樹脂為選自丙烯酸酯樹脂、光聚合物樹脂和這些樹脂的混合物之中的一種以上的樹脂；(B)環(huán)氧固化劑；(C)具有烯類雙鍵的交聯(lián)性單體；(D)顏料；(E)光聚合引發(fā)劑；和(F)溶劑。2.如權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，該感光性樹脂組合物含有1重量％50重量Q/。的(A)作為粘結(jié)劑用樹脂的(i)環(huán)氧樹脂和(ii)堿溶性樹脂，所述堿溶性樹脂是選自丙烯酸酯樹脂、光聚合物樹脂和這些樹脂的混合物之中的一種以上的樹脂；0.1重量％10重量％的(B)環(huán)氧固化劑；1重量％30重量。/。的(C)具有烯類雙鍵的交聯(lián)性單體；10重量。/。70重量。/。的(D)顏料；0.3重量。/。5重量。/。的(E)光聚合引發(fā)劑；和5重量％60重量。/。的(F)溶劑。3.如權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，所述環(huán)氧樹脂是選自雙酚A型環(huán)氧樹脂、雙酚F型環(huán)氧樹脂、線型酚醛型環(huán)氧樹脂、甲酚線型酚醛型環(huán)氧樹脂和這些樹脂的混合物之中的樹脂。4.如權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，所述丙烯酸酯樹脂具有10，00035，000的重均分子量。5.如權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，所述光聚合物樹脂以下述的化學(xué)式1或化學(xué)式2表示，[化學(xué)式1]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>上述式中，R,各自獨(dú)立地是氫原子或碳原子數(shù)為12的烷基，R2是具有羥基取代基或不具有取代基的碳原子數(shù)為25的亞烷基，a+b+c=l，且0.KaO.4、0<b<0.5、0.1<c<0.6。6.如權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，所述光聚合物樹脂具有10，00080，000的重均分子量。7.如權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，所述環(huán)氧固化劑是選自胺系化合物、酸酐系化合物、咪唑系化合物、異花青系化合物、硫醇系化合物和這些化合物的混合物之中的物質(zhì)。8.如權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，相對(duì)于環(huán)氧樹脂的1當(dāng)量的環(huán)氧基，所述組合物含有0.5當(dāng)量1.5當(dāng)量的所述環(huán)氧固化劑。9.如權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，以100重量份環(huán)氧樹脂為基準(zhǔn)，所述組合物還含有0.1重量份10重量份的固化促進(jìn)劑。10.如權(quán)利要求9所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，所述固化促進(jìn)劑是選自2-甲基咪唑、2-乙基咪唑、2-乙基-4-甲基咪唑、2,4-二甲基苯酚、三苯膦、辛酸亞錫和這些化合物的混合物之中的物質(zhì)。11.如權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，所述具有烯類雙鍵的交聯(lián)性單體是選自1，4-丁二醇二丙烯酸酯、1,3-丁二醇二丙烯酸酯、乙二醇二丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、三甘醇二丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、二季戊四醇二丙烯酸酯、山梨糖醇三丙烯酸酯、雙酚A二丙烯酸酯衍生物、三甲基丙烷三丙烯酸酯、二季戊四醇聚丙烯酸酯、與上述丙烯酸酯對(duì)應(yīng)的甲基丙烯酸酯類和這些化合物的混合物之中的物質(zhì)。12.—種固化膜，其是對(duì)權(quán)利要求111中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物進(jìn)行固化而得到的。13.—種濾色器，其含有權(quán)利要求12所述的固化膜。14.一種平板顯示器，其含有權(quán)利要求13所述的濾色器。全文摘要本發(fā)明提供可低溫固化的感光性樹脂組合物，其在低溫下也能夠完全固化，能夠制成不僅氣體產(chǎn)生量少且具有優(yōu)異的耐熱性和耐化學(xué)性的固化膜，可以有用地用作平板顯示器的濾色器。本發(fā)明涉及可低溫固化的感光性樹脂組合物，其特征在于，該感光性樹脂組合物含有(A)作為粘結(jié)劑用樹脂的(i)環(huán)氧樹脂和(ii)堿溶性樹脂，所述堿溶性樹脂是選自丙烯酸酯樹脂、光聚合物樹脂和這些樹脂的混合物之中的一種以上的樹脂；(B)環(huán)氧固化劑；(C)具有烯類雙鍵的交聯(lián)性單體；(D)顏料；(E)光聚合引發(fā)劑；和(F)溶劑。文檔編號(hào)G03F7/028GK101526740SQ200910008090公開日2009年9月9日申請(qǐng)日期2009年3月3日優(yōu)先權(quán)日2008年3月3日發(fā)明者安永載,樸正煥,樸镕一,趙顯一申請(qǐng)人:東進(jìn)世美肯株式會(huì)社