專利名稱:一種涂布設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及一種涂布設(shè)備。
背景技術(shù):
在半導(dǎo)體器件和平面顯示裝置制造的光刻工藝中,常涉及電路圖形在基板表面涂布光刻膠、曝光和顯影。在現(xiàn)有技術(shù)中,液晶顯示裝置(TFT-IXD)、有機(jī)發(fā)光顯示裝置(OLED)中的有源驅(qū)動(dòng)方式等均涉及薄膜晶體管(TFT)的制作工藝,其包括薄膜(Thin Film)工藝、光刻(Wioto)工藝、刻蝕(Etch)工藝等工藝步驟,而光刻工藝是TFT制作過程中的核心工藝?,F(xiàn)有技術(shù)中,在基板表面涂布光刻膠包括兩個(gè)步驟,分別是采用涂布設(shè)備進(jìn)行狹縫涂布(slit coater)與采用旋轉(zhuǎn)設(shè)備進(jìn)行旋轉(zhuǎn)勻膠(spin coater),即將基板平放在涂布臺(tái)面上,在保證涂布設(shè)備中狹縫底端和基板之間精確的間隙基礎(chǔ)上,狹縫口在基板上涂布厚度大于目標(biāo)厚度的光刻膠,然后通過旋轉(zhuǎn)設(shè)備高速旋轉(zhuǎn)基板,利用離心力使基板上的光刻膠分布均勻,從而達(dá)到目標(biāo)厚度。其中的光刻膠狹縫涂布是光刻工藝的一個(gè)非常重要的工藝步驟,其涂覆質(zhì)量的好壞直接影響到后續(xù)的旋轉(zhuǎn)勻膠工藝,從而最終影響到TFT的性能。圖1所示為現(xiàn)有技術(shù)中采用涂布設(shè)備對被涂布體表面進(jìn)行涂布的工作示意圖,圖中箭頭方向表示涂布設(shè)備的移動(dòng)方向,即從被涂布體的一端涂布到另一端的方向。圖2為圖1所示涂布設(shè)備的截面視圖。如圖1和圖2所示,該涂布設(shè)備包括一個(gè)長方體的罩體1 以及設(shè)置在罩體1內(nèi)部的涂布裝置,罩體1的底部開有狹縫2,狹縫2的底端是狹縫口 9 ;涂布裝置中包括有與狹縫口 9連通的涂布液供給通道4。所述狹縫口 9沿罩體1的長度方向延伸,狹縫口 9的延伸方向與涂布設(shè)備的移動(dòng)方向垂直。當(dāng)采用涂布設(shè)備對基板8表面進(jìn)行光刻膠涂布時(shí),狹縫口 9的寬度設(shè)置為3cm左右,狹縫底端與基板8之間的距離為0. 2 0. 3mm。涂布裝置在平動(dòng)裝置的帶動(dòng)下勻速從基板8的一端移動(dòng)到另一端的同時(shí),光刻膠經(jīng)涂布液供給通道4到達(dá)狹縫口 9,并從狹縫口 9 中滴落而涂覆到基板8上,完成光刻膠的預(yù)涂布;然后將預(yù)涂布好的基板放到旋轉(zhuǎn)設(shè)備中, 利用旋轉(zhuǎn)離心力、控制轉(zhuǎn)速及時(shí)間旋轉(zhuǎn)勻膠,使光刻膠達(dá)到需要的厚度。在實(shí)際的涂布過程中,被涂布體上往往沉積有灰塵、浮游顆粒等浮塵,如果不清除這些浮塵,會(huì)使得涂布后的涂布液厚度不均勻,從而影響涂布質(zhì)量;若是對基板進(jìn)行光刻膠涂布,則可能影響光刻膠的涂布厚度,導(dǎo)致顯影后的電路圖形被破壞,最終造成各種TFT或半導(dǎo)體器件性能的不良,從而增加返工(Rework)率,降低產(chǎn)能??梢?,保持涂布之前的被涂布體的潔凈度非常重要,因此,在實(shí)際生產(chǎn)過程中,涂布之前需要先對被涂布體進(jìn)行除塵。在現(xiàn)有技術(shù)中,除塵方式一般是使用氣槍提前對被涂布體進(jìn)行噴氣除塵,但是采用這種除塵方式不僅除塵效果差,而且效率低,不利于提高生產(chǎn)效率
實(shí)用新型內(nèi)容
[0008]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是針對現(xiàn)有技術(shù)中涂布設(shè)備存在的上述不足,提供一種能夠?qū)Ρ煌坎俭w進(jìn)行清潔的涂布設(shè)備,以便在涂布之前對被涂布體進(jìn)行清潔,從而提高涂布質(zhì)量,降低返工率,提高產(chǎn)能。解決本實(shí)用新型技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是該涂布設(shè)備,包括罩體和設(shè)于罩體內(nèi)部的涂布裝置,所述罩體底部開有狹縫,所述罩體和/或狹縫上設(shè)有用于清除被涂布體表面浮塵的除塵單元。優(yōu)選的是,所述除塵單元采用噴氣裝置,所述噴氣裝置能噴出具有一定壓力的氣體,以清除被涂布體表面的浮塵。所述噴氣裝置包括設(shè)于罩體和/或狹縫上的若干個(gè)噴孔、 以及壓縮空氣供給裝置,所述壓縮空氣供給裝置與所述若干個(gè)噴孔連通。其中一種方案是,所述噴孔采用多個(gè),且設(shè)置在狹縫的下部,所述多個(gè)噴孔排列為一排,多個(gè)噴孔與狹縫底端距離分別相等,所述噴氣裝置中還包括有與噴孔數(shù)量相應(yīng)的多個(gè)噴嘴,所述多個(gè)噴嘴分別對應(yīng)設(shè)置在多個(gè)噴孔上,所述多個(gè)噴嘴的設(shè)置方向?yàn)橄蛳聝A斜, 并朝向被涂布體表面。采用向下傾斜的噴嘴,使得除塵更有方向性,除塵效果更好。優(yōu)選的是,所述多個(gè)噴嘴分布在狹縫的兩側(cè),噴嘴與水平面的夾角范圍為 30° -60°。另一種方案是,所述噴孔采用多個(gè),且設(shè)置在狹縫的下部,所述多個(gè)噴孔排列為一排,多個(gè)噴孔與狹縫底端距離分別相等,所述噴氣裝置中還包括有擋風(fēng)板,所述擋風(fēng)板采用兩塊,其分別設(shè)置在多個(gè)噴孔的上方和下方,擋風(fēng)板的設(shè)置方向?yàn)橄蛳聝A斜,并朝向被涂布體表面。采用擋風(fēng)板,既能保證對被涂布體整個(gè)表面除塵不發(fā)生遺漏,又能使風(fēng)力分布更均勻。優(yōu)選的是,所述多個(gè)噴嘴分布在狹縫的兩側(cè),所述擋風(fēng)板采用平板或內(nèi)凹的曲面板,擋風(fēng)板的板面方向與水平面的夾角范圍為30° -60°。進(jìn)一步優(yōu)選的是,上述兩種方案中所述多個(gè)噴孔在狹縫上的設(shè)置位置為距離狹縫底端3-5cm ;所述多個(gè)噴孔中,每相鄰兩個(gè)噴孔之間間隔的距離范圍為5-8cm。在上述兩種方案中,所述罩體內(nèi)部還設(shè)有壓縮空氣管道,所述壓縮空氣供給裝置通過壓縮空氣管道連接至噴孔,所述噴孔中噴出的氣體的壓力范圍為0. 2-0. 5MPa。本實(shí)用新型的有益效果是由于該涂布設(shè)備具有除塵單元,使得在被涂布體上涂布涂布液和對被涂布體進(jìn)行清潔能同步進(jìn)行,節(jié)省了制作工序,節(jié)約了時(shí)間,提高了生產(chǎn)效率;還能有效避免現(xiàn)有技術(shù)中使用氣槍對被涂布體除塵后與實(shí)際涂布涂布液時(shí)間段中浮塵對被涂布體的再次污染;同時(shí),利用噴氣裝置中的高壓氣體除塵,使得除塵更徹底,能更有效降低浮塵對涂覆質(zhì)量的影響,避免涂布液涂覆均勻性被破壞,從而提高良品率,降低了返工率,提高了產(chǎn)能。
圖1是為現(xiàn)有技術(shù)中涂布設(shè)備對被涂布體進(jìn)行涂布的工作示意圖;圖2是圖1所示涂布設(shè)備的截面視圖;圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例1中涂布設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖;圖4是圖3所示涂布設(shè)備的截面視圖;圖5是本實(shí)用新型實(shí)施例2中涂布設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖;[0023]圖6是圖5所示涂布設(shè)備的截面視圖。圖中1-罩體;2-狹縫;3-噴嘴;4-涂布液供給管道;5-壓縮空氣管道;6_噴孔; 7-擋風(fēng)板;8-基板;9-狹縫口。
具體實(shí)施方式
為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本實(shí)用新型的技術(shù)方案,
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對本實(shí)用新型涂布設(shè)備作進(jìn)一步詳細(xì)描述。該涂布設(shè)備包括罩體1和設(shè)于罩體1內(nèi)部的涂布裝置,所述罩體1底部開有狹縫 2,所述罩體1和/或狹縫2上設(shè)有用于清除被涂布體表面浮塵的除塵單元。其中,所述除塵單元可以采用噴氣裝置,所述噴氣裝置能噴出具有一定壓力的氣體,以清除被涂布體表面的浮塵。實(shí)施例1 如圖3所示,涂布設(shè)備包括罩體1和設(shè)于罩體1內(nèi)部的涂布裝置,所述罩體1底部開有狹縫2,狹縫2上設(shè)有用于清除被涂布體表面浮塵的除塵單元。本實(shí)施例中,所述除塵單元采用噴氣裝置。所述噴氣裝置包括噴孔6 (圖3中未示出)和壓縮空氣供給裝置(圖 3中未示出)。所述噴孔6采用多個(gè),且所述多個(gè)噴孔6分別設(shè)置在狹縫2下部的兩側(cè),狹縫2的每一側(cè)各分布有若干個(gè)噴孔6,所述每一側(cè)的若干個(gè)噴孔6排列為一排,該排列為一排的多個(gè)噴孔6與狹縫2底端的距離分別相等,在本實(shí)施例中,狹縫2下部每一側(cè)的多個(gè)噴孔6在狹縫2上的設(shè)置位置為距離狹縫2底端3-5cm,每相鄰兩個(gè)噴孔6之間間隔的距離范圍為 5-8cm。多個(gè)噴孔6的形狀為相同尺寸的圓形。所述噴氣裝置中還包括有與噴孔6數(shù)量相應(yīng)的多個(gè)噴嘴3,所述多個(gè)噴嘴3分別對應(yīng)設(shè)置在多個(gè)噴孔6上,噴嘴3的形狀為與噴孔6相適配的圓形。所述多個(gè)噴嘴3的設(shè)置方向?yàn)橄蛳聝A斜,并朝向被涂布體表面。在本實(shí)施例中,噴嘴3向下傾斜的方向與水平面的夾角范圍為30° -60°。所述壓縮空氣供給裝置設(shè)置在罩體1外部,如圖4所示,罩體1內(nèi)部還設(shè)有壓縮空氣管道5,所述壓縮空氣供給裝置通過壓縮空氣管道5連接至多個(gè)噴孔6,本實(shí)施例中,壓縮空氣供給裝置提供0. 2-0. 5MPa的高壓氣體,高壓氣體從噴孔6經(jīng)噴嘴3噴出,因而從多個(gè)噴嘴3中噴出的氣體的壓力范圍為0. 2-0. 5MPa。壓縮空氣供給裝置中還設(shè)置有開關(guān),可根據(jù)情況對高壓氣體壓強(qiáng)進(jìn)行調(diào)節(jié),也可對高壓氣體的噴出與關(guān)閉進(jìn)行控制,以方便對灰塵、 浮游顆粒等浮塵進(jìn)行清潔。如圖4所示,與現(xiàn)有技術(shù)中涂布設(shè)備一樣,本實(shí)施例中涂布設(shè)備罩體1內(nèi)部的涂布裝置包括有涂布液供給單元,涂布液供給單元通過涂布液供給管道4連接至狹縫口 9,以便滴漏涂布液并進(jìn)行涂布。在使用本實(shí)施例中的涂布設(shè)備對基板8進(jìn)行光刻膠涂布時(shí),先打開壓縮空氣供給裝置的開關(guān),并根據(jù)實(shí)際工況將氣體壓力調(diào)節(jié)至合適的氣體壓力值,此時(shí)狹縫2兩側(cè)的若干個(gè)噴孔6中均噴出具有該壓力值的氣體,一段時(shí)間后(一般為5秒鐘)后關(guān)閉位于涂布設(shè)備前進(jìn)方向背面的一排噴嘴3,而只保留涂布設(shè)備前進(jìn)方向側(cè)的一排噴嘴3繼續(xù)噴氣;然后打開狹縫口 9,狹縫口 9的寬度大約為3cm,將狹縫2底端與基板8的距離調(diào)整為0. 2 0. 3mm,由平動(dòng)裝置帶動(dòng)涂布設(shè)備勻速前進(jìn),當(dāng)該涂布設(shè)備從基板8 —端向另一端移動(dòng)的過程中,即可在對基板8表面的浮塵進(jìn)行清潔的同時(shí),在基板8表面進(jìn)行光刻膠涂布;當(dāng)該涂布設(shè)備移動(dòng)到基板8的另一端后,關(guān)閉狹縫口 9,并關(guān)閉涂布設(shè)備前進(jìn)方向側(cè)的一排噴嘴3, 使之停止噴氣,即完成光刻膠在基板8表面的光刻膠涂布。本實(shí)施例采用向下傾斜的噴嘴,使得對基板整個(gè)表面除塵更有方向性,除塵效果更好。實(shí)施例2 本實(shí)施例與實(shí)施例1的區(qū)別在于,所述噴氣裝置的結(jié)構(gòu)不一樣。如圖5、6所示,在本實(shí)施例中,所述噴氣裝置包括多個(gè)噴孔6、擋風(fēng)板7以及壓縮空氣供給裝置(圖中未示出)。所述多個(gè)噴孔6采用多個(gè),且設(shè)置在狹縫2下部的兩側(cè),狹縫 2每一側(cè)各分布有若干個(gè)噴孔6,所述每一側(cè)的若干個(gè)噴孔6排列為一排,該排列為一排的若干個(gè)噴孔6與狹縫2底端的距離分別相等。在本實(shí)施例中,所述排列為一排的多個(gè)噴孔6在狹縫2上的設(shè)置位置為距離狹縫 2底端3-5cm,每相鄰兩個(gè)噴孔6之間間隔的距離范圍為5-8cm。所述多個(gè)噴孔6的形狀為尺寸相同的圓形。所述擋風(fēng)板7設(shè)置在噴孔的上方和/或下方。本實(shí)施例中,狹縫2的每一側(cè)均各自設(shè)置有兩塊擋風(fēng)板7,所述兩擋風(fēng)板7分別設(shè)置在排列為一排的多個(gè)噴孔6的上方和下方,擋風(fēng)板7的設(shè)置方向?yàn)橄蛳聝A斜,并朝向基板8表面。其中,擋風(fēng)板7的板面與水平面的夾角范圍為30° -60°。本實(shí)施例中,所述擋風(fēng)板7可以采用平板或內(nèi)凹的曲面板。本實(shí)施例中涂布設(shè)備的其他結(jié)構(gòu)以及涂布設(shè)備的使用均與實(shí)施例1相同,這里不再贅述。本實(shí)施例采用擋風(fēng)板,既能保證對基板整個(gè)表面除塵不發(fā)生遺漏,又能使風(fēng)力分布更均勻。這里應(yīng)該理解的是,在實(shí)施例1和實(shí)施例2中,噴孔6的形狀均采用圓形只是基于圓形噴孔結(jié)構(gòu)簡單且易于加工,但本實(shí)用新型涂布裝置中的噴孔的形狀并不限于上述圓形噴孔,其他形狀,如長圓形、扇形、橢圓形均可采用作為噴孔形狀,甚至,也可以在罩體1靠近狹縫2底端的部位不設(shè)置多個(gè)噴孔,而將多個(gè)噴孔直接改為設(shè)置開槽。另外,本實(shí)用新型中的除塵單元并不限于只采用上述實(shí)施例中的噴氣裝置,噴氣裝置也可以為其他能夠清潔被涂布體表面的除塵裝置所代替,這些裝置都視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。在實(shí)施例1和實(shí)施例2,所述涂布設(shè)備采用除塵單元對基板進(jìn)行清潔的同時(shí)在基板上進(jìn)行涂布光刻膠,節(jié)省了制作工序,節(jié)約了時(shí)間,提高了生產(chǎn)效率;有效避免現(xiàn)有技術(shù)中使用氣槍對基板除塵后與實(shí)際涂布光刻膠時(shí)間段中浮塵對基板的再次污染;同時(shí),利用噴氣裝置中的高壓氣體除塵,使得除塵更徹底,能更有效地降低浮塵對涂覆質(zhì)量的影響,避免光刻膠涂覆均勻性被破壞,從而提高良品率,降低了返工率,提高了產(chǎn)能。可以理解的是,以上實(shí)施方式僅僅是為了說明本實(shí)用新型的原理而采用的示例性實(shí)施方式,然而本實(shí)用新型并不局限于此。對于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言,在不脫離本實(shí)用新型的精神和實(shí)質(zhì)的情況下,可以做出各種變型和改進(jìn),這些變型和改進(jìn)也視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種涂布設(shè)備,包括罩體(1)和設(shè)于罩體(1)內(nèi)部的涂布裝置,所述罩體(1)底部開有狹縫O),其特征在于所述罩體(1)和/或狹縫( 上設(shè)有用于清除被涂布體表面浮塵的除塵單元。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂布設(shè)備,其特征在于所述除塵單元采用噴氣裝置,所述噴氣裝置能噴出具有一定壓力的氣體,以清除被涂布體表面的浮塵。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的涂布設(shè)備,其特征在于所述噴氣裝置包括設(shè)于罩體(1)和/ 或狹縫( 上的若干個(gè)噴孔(6)、以及壓縮空氣供給裝置,所述壓縮空氣供給裝置與所述若干個(gè)噴孔(6)連通。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的涂布設(shè)備,其特征在于所述噴孔(6)采用多個(gè),且設(shè)置在狹縫O)的下部,所述多個(gè)噴孔(6)排列為一排,多個(gè)噴孔(6)與狹縫( 底端的距離分別相等,所述噴氣裝置中還包括有與噴孔(6)數(shù)量相應(yīng)的多個(gè)噴嘴(3),所述多個(gè)噴嘴C3)分別對應(yīng)設(shè)置在多個(gè)噴孔(6)上,所述多個(gè)噴嘴(3)的設(shè)置方向?yàn)橄蛳聝A斜并朝向被涂布體表
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的涂布設(shè)備,其特征在于所述多個(gè)噴嘴(3)分布在狹縫O)的兩側(cè),噴嘴(3)與水平面的夾角范圍為30° -60°。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的涂布設(shè)備,其特征在于所述噴孔(6)采用多個(gè),且設(shè)置在狹縫 (2)的下部,所述多個(gè)噴孔(6)排列為一排,多個(gè)噴孔(6)與狹縫( 底端距離分別相等,所述噴氣裝置中還包括有擋風(fēng)板(7),所述擋風(fēng)板(7)采用兩塊,其分別設(shè)置在多個(gè)噴孔(6) 的上方和下方,擋風(fēng)板(7)的設(shè)置方向?yàn)橄蛳聝A斜并朝向被涂布體表面。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的涂布設(shè)備,其特征在于所述多個(gè)噴嘴(3)分布在狹縫O)的兩側(cè),所述擋風(fēng)板(7)采用平板或內(nèi)凹的曲面板,擋風(fēng)板(7)的板面與水平面的夾角范圍為 30° -60°。
8.根據(jù)權(quán)利要求4-7之一所述的涂布設(shè)備,其特征在于所述多個(gè)噴孔(6)在狹縫(2) 上的設(shè)置位置為距離狹縫(2)底端3-5cm。
9.根據(jù)權(quán)利要求4-7之一所述的涂布設(shè)備,其特征在于所述多個(gè)噴孔(6)中,每相鄰兩個(gè)噴孔(6)之間間隔的距離范圍為5-8cm。
10.根據(jù)權(quán)利要求3-7之一所述的涂布設(shè)備,其特征在于所述罩體(1)內(nèi)部還設(shè)有壓縮空氣管道(5),所述壓縮空氣供給裝置通過壓縮空氣管道( 連接至噴孔(6),所述噴孔 (6)中噴出的氣體的壓力范圍為0. 2-0. 5MPa。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種涂布設(shè)備,其包括罩體(1)和設(shè)于(1)內(nèi)部的涂布裝置,所述罩體(1)罩體底部開有狹縫(2),所述罩體(1)和/或狹縫(2)上設(shè)有用于清除被涂布體表面浮塵的除塵單元。本實(shí)用新型通過采用除塵單元在涂布之前對被涂布體表面進(jìn)行清潔,除塵效果好,生產(chǎn)效率高,降低了浮塵對涂覆質(zhì)量的影響,避免涂布液涂覆均勻性被破壞,從而提高良品率,降低了返工率,提高了產(chǎn)能。
文檔編號(hào)G03F7/16GK202166827SQ20112028919
公開日2012年3月14日 申請日期2011年8月10日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月10日
發(fā)明者周偉峰, 高濤 申請人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司