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      一種電路板曝光機的制作方法

      文檔序號:11856426閱讀:478來源:國知局

      本實用新型涉及電路板技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種電路板曝光機。



      背景技術(shù):

      曝光機是集電子光學(xué)、電氣、機械、真空、計算機技術(shù)等于一體的復(fù)雜的半導(dǎo)體加工設(shè)備,70年代以后廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路制造業(yè),是在計算機的控制下,利用聚焦電子束對有機聚合物(通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠)進行曝光,它常用于半導(dǎo)體制造,光電電子,平板,射頻微波,衍射光學(xué),微機電系統(tǒng),凹凸或覆晶設(shè)備和其他要求精細印制領(lǐng)域。

      在電路板加工過程中,需要對電路板進行曝光,而目前最常用的曝光方式就是采用曝光機曝光,但是目前的電路板的中心位置和電路板的邊緣曝光量均勻性很差,無法滿足使用的需要。



      技術(shù)實現(xiàn)要素:

      本實用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供了一種電路板曝光機。

      本實用新型是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn):

      一種電路板曝光機,包括曝光機燈泡殼,該曝光機燈泡殼呈橢圓狀,內(nèi)設(shè)有空腔,在所述曝光機燈泡殼的兩端安裝有密封導(dǎo)桿,沿著所述密封導(dǎo)桿的軸心線方向開設(shè)有階梯型安裝槽,在階梯型安裝槽內(nèi)安裝有鉬導(dǎo)桿,所述鉬導(dǎo)桿與導(dǎo)電鉬相連,所述導(dǎo)電鉬與鉬環(huán)相連,所述曝光機燈泡殼設(shè)置有陰極桿和陽極桿,所述陰極桿與陽極桿均與鉬環(huán)相連,且在所述曝光機燈泡殼的密封導(dǎo)桿外側(cè)安裝有套筒A和套筒B,所述套筒A連接有反光鏡罩A,所述套筒B連接有反光鏡罩B。

      作為本實用新型的優(yōu)選技術(shù)方案,所述反光鏡罩A和反光鏡罩B的內(nèi)表面均內(nèi)嵌有反光鏡。

      作為本實用新型的優(yōu)選技術(shù)方案,所述套筒A和套筒B均與密封導(dǎo)桿通過螺紋連接。

      作為本實用新型的優(yōu)選技術(shù)方案,所述反光鏡罩A和反光鏡罩B大小相同。

      與現(xiàn)有的技術(shù)相比,本實用新型的有益效果是:本實用新型通過設(shè)置有反光鏡罩A和反光鏡罩B,能夠?qū)⑵毓鈾C發(fā)出的光反射,防止光向傾斜方向擴散,使其匯聚到一起,能夠增強器曝光效果,且結(jié)構(gòu)簡單,操作方便。

      附圖說明

      圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

      具體實施方式

      為了使本實用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白,以下結(jié)合附圖及實施例,對本實用新型進行進一步詳細說明。應(yīng)當(dāng)理解,此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型,并不用于限定本實用新型。

      請參閱圖1,圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

      所述一種電路板曝光機,包括曝光機燈泡殼1,該曝光機燈泡殼1呈橢圓狀,內(nèi)設(shè)有空腔,在所述曝光機燈泡殼1的兩端安裝有密封導(dǎo)桿2,沿著所述密封導(dǎo)桿2的軸心線方向開設(shè)有階梯型安裝槽,在階梯型安裝槽內(nèi)安裝有鉬導(dǎo)桿5,所述鉬導(dǎo)桿5與導(dǎo)電鉬4相連,所述導(dǎo)電鉬4與鉬環(huán)6相連,所述曝光機燈泡殼1設(shè)置有陰極桿3和陽極桿7,所述陰極桿3與陽極桿7均與鉬環(huán)6相連,且在所述曝光機燈泡殼1的密封導(dǎo)桿2外側(cè)安裝有套筒A8和套筒B9,所述套筒A8連接有反光鏡罩A10,所述套筒B9連接有反光鏡罩B11,所述反光鏡罩A10和反光鏡罩B11的內(nèi)表面均內(nèi)嵌有反光鏡,所述反光鏡罩A10和反光鏡罩B11大小相同。通過設(shè)置有反光鏡罩A和反光鏡罩B,能夠?qū)⑵毓鈾C發(fā)出的光反射,防止光向傾斜方向擴散,使其匯聚到一起,能夠增強器曝光效果,且結(jié)構(gòu)簡單,操作方便。

      所述套筒A8和套筒B9均與密封導(dǎo)桿2通過螺紋連接。

      以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已,并不用以限制本實用新型,凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進等,均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。

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