感光性樹(shù)脂組合物的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及感光性樹(shù)脂組合物、使用該感光性樹(shù)脂組合物的圖案(pattern)形成 方法、使用在該感光性樹(shù)脂組合物中包含遮光劑作為著色劑的感光性樹(shù)脂組合物而形成的 黑矩陣(black matrix)、和具備該黑矩陣的顯示裝置。
【背景技術(shù)】
[0002] 使用感光性樹(shù)脂組合物而形成的圖案被利用在以液晶顯示裝置這樣的顯示裝置 為代表的各種電氣、電子設(shè)備中。例如,在顯示裝置用的面板中,作為構(gòu)成濾色器的黑矩陣、 RGB的亞像素、黑色柱狀間隔件,使用了使用感光性樹(shù)脂組合物而形成的圖案。
[0003] 作為用于這種用途的感光性樹(shù)脂組合物,例如,已知包含特定結(jié)構(gòu)的堿可溶性樹(shù) 月旨、光聚合引發(fā)劑、光聚合性單體、和著色劑的感光性樹(shù)脂組合物(專利文獻(xiàn)1)。
[0004] 現(xiàn)有專利文獻(xiàn) [0005] 專利文獻(xiàn)
[0006] 專利文獻(xiàn)1 :日本特開(kāi)2006-079064號(hào)公報(bào)
【發(fā)明內(nèi)容】
[0007] 發(fā)明要解決的課題
[0008] 對(duì)于以顯示裝置為代表的電氣、電子設(shè)備中使用的、使用感光性樹(shù)脂組合物而形 成的圖案而言,出于提高設(shè)備的動(dòng)作的可靠性的目的,要求對(duì)基板的密合性的提高、可經(jīng)受 在高溫高濕條件下使用的耐水性的提高。專利文獻(xiàn)1中記載的使用感光性樹(shù)脂組合物而形 成的圖案,雖然對(duì)基板的密合性、耐水性在某種程度上較為優(yōu)異,但要求這些特性的進(jìn)一步 提尚。
[0009] 本發(fā)明鑒于上述課題而完成,其目的在于提供可形成對(duì)基板的密合性和耐水性優(yōu) 異的圖案的感光性樹(shù)脂組合物、使用該感光性樹(shù)脂組合物的圖案形成方法、使用在該感光 性樹(shù)脂組合物中包含遮光劑作為著色劑的感光性樹(shù)脂組合物而形成的黑矩陣、和具備該黑 矩陣的顯示裝置。
[0010] 用于解決課題的方法
[0011] 本發(fā)明人為了解決上述課題而進(jìn)行了深入研宄。結(jié)果發(fā)現(xiàn),通過(guò)在含有(A)堿可 溶性樹(shù)脂、(B)光聚合性單體、及(C)光聚合引發(fā)劑的感光性樹(shù)脂組合物中配合特定結(jié)構(gòu)的 (D)硅烷偶聯(lián)劑,從而可以解決上述課題,從而完成本發(fā)明。具體而言,本發(fā)明提供以下方 案。
[0012] 本發(fā)明的第一方式為感光性樹(shù)脂組合物,其包含(A)堿可溶性樹(shù)脂、(B)光聚合性 單體、(C)光聚合引發(fā)劑和(D)硅烷偶聯(lián)劑,
[0013] (D)硅烷偶聯(lián)劑是以下述式(1)表示的化合物。
[0014] R^^Si-R^NH-CW-Y-R^X ? ? ? (1)
[0015] (式⑴中,R1為烷氧基,R 2為烷基,m為1~3的整數(shù),R 3為亞烷基,Y 為-NH-、-0-或-S-,R4為單鍵或亞烷基,X為具有或不具有取代基的、單環(huán)或多環(huán)的含氮雜 芳基,X中的與-Y-R4-鍵合的環(huán)為含氮6元芳香環(huán),-Y-R4-與所述含氮6元芳香環(huán)中的碳 原子鍵合。)
[0016] 本發(fā)明的第二方式為圖案的形成方法,其包含:
[0017] 將第一方式所涉及的感光性樹(shù)脂組合物涂布在基板上而形成涂布膜的工序;
[0018] 位置選擇性地對(duì)該涂布膜進(jìn)行曝光的工序;和
[0019] 使曝光后的涂布膜顯影的工序。
[0020] 本發(fā)明的第三方式為黑矩陣,其是使用在第一方式所涉及的感光性樹(shù)脂組合物中 包含遮光劑作為著色劑的感光性樹(shù)脂組合物而形成的。
[0021] 本發(fā)明的第四方式為顯示裝置,其具備第三方式所涉及的黑矩陣。
[0022] 發(fā)明效果
[0023] 根據(jù)本發(fā)明,可以提供能夠形成對(duì)基板的密合性和耐水性優(yōu)異的圖案的感光性樹(shù) 脂組合物、使用該感光性樹(shù)脂組合物的圖案形成方法、使用在該感光性樹(shù)脂組合物中包含 遮光劑作為著色劑的感光性樹(shù)脂組合物而形成的黑矩陣、具備該黑矩陣的顯示裝置。
【具體實(shí)施方式】
[0024]《感光性樹(shù)脂組合物》
[0025] 本發(fā)明所涉及的感光性樹(shù)脂組合物包含(A)堿可溶性樹(shù)脂、(B)光聚合性單體、 (C)光聚合引發(fā)劑、和特定結(jié)構(gòu)的⑶硅烷偶聯(lián)劑。以下,對(duì)本發(fā)明所涉及的感光性樹(shù)脂組 合物所包含的必須成分或任意成分依次進(jìn)行說(shuō)明。
[0026] <(A)堿可溶性樹(shù)脂>
[0027] (A)堿可溶性樹(shù)脂(以下,也稱為" (A)成分"。)是指,利用樹(shù)脂濃度20質(zhì)量%的 樹(shù)脂溶液(溶劑:丙二醇單甲基醚乙酸酯)在基板上形成膜厚1 um的樹(shù)脂膜、再將其在濃 度0. 05質(zhì)量%的KOH水溶液中浸漬1分鐘時(shí),膜厚溶解0. 01 ym以上的樹(shù)脂。
[0028] (A)堿可溶性樹(shù)脂只要是顯示出上述堿可溶性的樹(shù)脂,則沒(méi)有特別限定,可以從以 往公知的樹(shù)脂中適當(dāng)選擇使用。作為適合作為(A)堿可溶性樹(shù)脂的樹(shù)脂,可舉出(A1)具有 CARDO結(jié)構(gòu)(力;1/卜'、構(gòu)造)的樹(shù)脂。
[0029] 作為(A1)具有CARDO結(jié)構(gòu)的樹(shù)脂,沒(méi)有特別限定,可以使用以往公知的樹(shù)脂。其 中,優(yōu)選下述式(a_l)所表示的樹(shù)脂。
[0030]【化1】
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種感光性樹(shù)脂組合物,其包含(A)堿可溶性樹(shù)脂、(B)光聚合性單體、(C)光聚合 引發(fā)劑和(D)硅烷偶聯(lián)劑, 所述(D)硅烷偶聯(lián)劑是以下述式(1)表示的化合物, R1mR2(3-m)Si-R3-NH-C (O)-Y-R4-X ? ? ? (1) 式(1)中,R1為烷氧基,R2為烷基,m為1~3的整數(shù),R 3為亞烷基,Y為-NH-、-〇-或-S-, R4為單鍵或亞烷基,X為具有或不具有取代基的、單環(huán)或多環(huán)的含氮雜芳基,X中的 與-Y-R4-鍵合的環(huán)為含氮6元芳香環(huán),-Y-R 4-與所述含氮6元芳香環(huán)中的碳原子鍵合。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹(shù)脂組合物,其還含有(E)著色劑。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的感光性樹(shù)脂組合物,所述(E)著色劑為遮光劑。
4. 一種圖案的形成方法,其包含: 將權(quán)利要求1~3中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物涂布在基板上而形成涂布膜的工 序; 位置選擇性地對(duì)所述涂布膜進(jìn)行曝光的工序;和 使曝光后的所述涂布膜顯影的工序。
5. -種黑矩陣,其是使用權(quán)利要求3所述的感光性樹(shù)脂組合物而形成的。
6. -種顯示裝置,其具備權(quán)利要求5所述的黑矩陣。
【專利摘要】本發(fā)明提供能夠形成對(duì)基板的密合性和耐水性優(yōu)異的圖案的感光性樹(shù)脂組合物、使用該感光性樹(shù)脂組合物的圖案形成方法、使用在該感光性樹(shù)脂組合物中包含遮光劑作為著色劑的感光性樹(shù)脂組合物而形成的黑矩陣、和具備該黑矩陣的顯示裝置。在包含(A)堿可溶性樹(shù)脂、(B)光聚合性單體、及(C)光聚合引發(fā)劑的感光性樹(shù)脂組合物中配合特定的結(jié)構(gòu)的(D)硅烷偶聯(lián)劑。
【IPC分類】G03F7-027, G03F7-004
【公開(kāi)號(hào)】CN104749884
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410818315
【發(fā)明人】石川達(dá)郎, 黑子麻祐美, 鹽田大
【申請(qǐng)人】東京應(yīng)化工業(yè)株式會(huì)社
【公開(kāi)日】2015年7月1日
【申請(qǐng)日】2014年12月24日