共聚焦顯微鏡的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種用于樣品的觀察的共聚焦顯微鏡。
【背景技術(shù)】
[0002]為了觀察細(xì)胞等樣品而使用各種顯微鏡。專(zhuān)利文獻(xiàn)I公開(kāi)了一種光學(xué)掃描樣品的顯微鏡。觀察者能夠使用顯微鏡觀察樣品。
[0003]圖17是專(zhuān)利文獻(xiàn)I的掃描型光學(xué)顯微鏡(以下稱為顯微鏡900)的概略圖。參照?qǐng)D17對(duì)顯微鏡900進(jìn)行說(shuō)明。
[0004]顯微鏡900具備:激光光源901、分束器902、透鏡903、聲光元件(ACOUSTO-OPTICDEFLECTOR:(以下稱為A0D904))以及信號(hào)源905。激光光源901向分束器902射出激光。分束器902向透鏡903反射激光。激光之后通過(guò)透鏡903射入A0D904。
[0005]信號(hào)源905向A0D904輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào)。A0D904根據(jù)驅(qū)動(dòng)信號(hào)使結(jié)晶介質(zhì)中被誘發(fā)的超聲波衍射光柵的光柵常數(shù)(光柵寬度)變化。其結(jié)果，A0D904能夠控制激光的偏光。
[0006]顯微鏡900還具備:反射鏡906、907、透鏡908、共振型的檢流計(jì)909、共振反射鏡910以及信號(hào)源911。A0D904執(zhí)行一維的高速掃描動(dòng)作。激光之后通過(guò)反射鏡906被反射到反射鏡907。激光通過(guò)反射鏡907被反射到透鏡908。激光通過(guò)透鏡908到達(dá)被安裝于檢流計(jì)909的共振反射鏡910。
[0007]信號(hào)源911將驅(qū)動(dòng)信號(hào)向檢流計(jì)909輸出。檢流計(jì)909根據(jù)驅(qū)動(dòng)信號(hào)使共振反射鏡910共振。其結(jié)果，激光被進(jìn)行正弦波的偏光動(dòng)作的共振反射鏡910反射。
[0008]檢流計(jì)909及共振反射鏡910進(jìn)行與A0D904的掃描動(dòng)作的方向垂直的方向的掃描動(dòng)作。檢流計(jì)909及共振反射鏡910與A0D904協(xié)作進(jìn)行二維的掃描動(dòng)作。
[0009]顯微鏡900還具備:球面中繼反射鏡912、913、檢流計(jì)914、檢流鏡915以及信號(hào)源916。激光從共振反射鏡910朝向球面中繼反射鏡912。球面中繼反射鏡912將激光向球面中繼反射鏡913反射。球面中繼反射鏡913將激光向安裝在檢流計(jì)914的檢流鏡915反射。
[0010]信號(hào)源916將驅(qū)動(dòng)信號(hào)向檢流計(jì)914輸出。檢流計(jì)914根據(jù)驅(qū)動(dòng)信號(hào)驅(qū)動(dòng)檢流鏡915。檢流計(jì)914及檢流鏡915進(jìn)行與A0D904的掃描動(dòng)作的方向平行的方向的掃描動(dòng)作。即，檢流計(jì)914及檢流鏡915進(jìn)行與檢流計(jì)909及共振反射鏡910的掃描動(dòng)作的方向垂直的方向的掃描動(dòng)作。
[0011]顯微鏡900還具備:分束器917、中繼透鏡918以及物鏡919。被檢流鏡915反射的激光通過(guò)分束器917及中繼透鏡918射入物鏡919。物鏡919聚光于樣品SMP。
[0012]顯微鏡900具備:物鏡920、反射鏡921、中繼透鏡922、反射鏡923、波長(zhǎng)板924、偏光板925、五角棱鏡926以及中繼透鏡927。樣品SMP被配置在物鏡919、920之間。物鏡920具有與物鏡919相類(lèi)似的光學(xué)特性。物鏡920、反射鏡921、923、中繼透鏡922、927、波長(zhǎng)板924、偏光板925以及五角棱鏡926被用于觀察由透過(guò)樣品SMP的透過(guò)光表示的透過(guò)像。透過(guò)光沿著由物鏡920、反射鏡921、中繼透鏡922、反射鏡923、波長(zhǎng)板924、偏光板925、五角棱鏡926及中繼透鏡927規(guī)定的光路前行。通過(guò)中繼透鏡927的透過(guò)光射入分束器917。透過(guò)光被分束器917反射。其結(jié)果，透過(guò)光沿著由分束器917、檢流鏡915、球面中繼反射鏡913、912、共振反射鏡910、透鏡908、反射鏡907、906、A0D904以及透鏡903規(guī)定的光路前行并射入分束器902。
[0013]波長(zhǎng)板924及偏光板925可利用光的偏振面的旋轉(zhuǎn)只檢測(cè)出透過(guò)光。而且，波長(zhǎng)板924及偏光板925帶來(lái)的光學(xué)損失非常小。
[0014]五角棱鏡926使透過(guò)光的光路在一維方向翻轉(zhuǎn)。其結(jié)果，透過(guò)光的光路與從激光光源901射出的激光的光路相一致。
[0015]顯微鏡900還具備:透鏡928、共聚焦開(kāi)口部件929、偏光板930、濾光片931以及受光元件932。分束器902允許透過(guò)光的通過(guò)。透過(guò)光依次通過(guò)透鏡928、共聚焦開(kāi)口部件929、偏光板930以及濾光片931射入受光元件932。
[0016]透鏡928將光朝向共聚焦開(kāi)口部件929聚光。共聚焦開(kāi)口部件929在由透鏡928形成的焦點(diǎn)位置具有開(kāi)口部933。因此，共聚焦開(kāi)口部件929及樣品SMP具有光學(xué)共軛關(guān)系。共聚焦開(kāi)口部件929遮斷存在于焦點(diǎn)周?chē)碾s散光成分。其結(jié)果，獲得的圖像的分辨率及對(duì)比度得到提高。
[0017]顯微鏡900也能利用來(lái)自樣品SMP的反射光形成圖像。來(lái)自樣品SMP的反射光沿著由物鏡919、分束器917、檢流鏡915、球面中繼反射鏡913、912、共振反射鏡910、透鏡908、反射鏡907、906、A0D904、透鏡903、分束器902、共聚焦開(kāi)口部件929、偏光板930以及濾光片931規(guī)定的光路前行，并射入受光元件932。
[0018]如上所述，因?yàn)楣簿劢归_(kāi)口部件929遮斷存在于焦點(diǎn)周?chē)碾s散光成份，所以從受光元件932接收的光(透過(guò)光或反射光)中除去很多的雜散光成分。因此，受光元件932能夠在較少的雜訊的情況下生成用于表現(xiàn)樣品的圖像信號(hào)。
[0019]觀察者能夠通過(guò)調(diào)整偏光板925、930的偏光方向，有選擇地觀察由透過(guò)光表現(xiàn)的圖像(以下稱為透過(guò)像)和由反射光表現(xiàn)的圖像(以下稱為反射像)。
[0020]顯微鏡900還具備信號(hào)處理裝置934和顯示裝置935。圖像信號(hào)從受光元件932傳送到信號(hào)處理裝置934。信號(hào)處理裝置934處理圖像信號(hào)使其符合顯示裝置935的輸入形式。然后，圖像信號(hào)從信號(hào)處理裝置934輸出到顯示裝置935。顯示裝置935根據(jù)圖像信號(hào)，顯示透過(guò)像或反射像。
[0021]使用顯微鏡900觀察樣品SMP的觀察者，如果不調(diào)整偏光板925、930的偏光方向就無(wú)法同時(shí)獲取透過(guò)像和反射像。因此，觀察者為了同時(shí)獲取包含透過(guò)像的信息及包含反射像的信息需要花費(fèi)長(zhǎng)時(shí)間。而且，透過(guò)像的獲取和反射像的獲取之間在時(shí)間上有滯后。因此，顯微鏡900不適合于觀察隨時(shí)間變化的樣品。
[0022]專(zhuān)利文獻(xiàn)2公開(kāi)了一種不同于顯微鏡900的顯微鏡(共聚焦顯微鏡)。專(zhuān)利文獻(xiàn)2的顯微鏡適合利用于光掩模的缺陷的檢測(cè)。
[0023]專(zhuān)利文獻(xiàn)2的顯微鏡射出激光來(lái)光學(xué)掃描光掩模。透過(guò)光掩模的激光(透過(guò)光)沿著與通過(guò)在光掩模的激光的反射獲得的反射光相同的光路前行并被傳輸。顯微鏡進(jìn)行透過(guò)像和反射像之間的相關(guān)處理，能夠高精度地檢測(cè)光掩模的缺陷。
[0024]專(zhuān)利文獻(xiàn)2的顯微鏡的檢測(cè)精度取決于樣品的光學(xué)特性。例如，如果樣品產(chǎn)生雙折射，就可能讓透過(guò)像包含反射像的一部分?；蛘?，可能讓反射像包含透過(guò)像的一部分。
[0025]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0026]專(zhuān)利文獻(xiàn)
[0027]專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本專(zhuān)利公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)平6-300974號(hào)
[0028]專(zhuān)利文獻(xiàn)2:日本專(zhuān)利公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)2002-40329號(hào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0029]本發(fā)明的目的在于提供一種共聚焦顯微鏡，能快速且高精度地獲取有關(guān)樣品的大量信息。
[0030]本發(fā)明的一個(gè)方面所涉及的共聚焦顯微鏡，包括:光生成部，同時(shí)生成從樣品反射的反射光和透過(guò)所述樣品的透過(guò)光；掃描部，光學(xué)掃描所述樣品且規(guī)定所述反射光傳輸?shù)牡贗光路的方向；調(diào)整部，角度性地調(diào)整所述透過(guò)光傳輸?shù)牡?光路的方向；第I信號(hào)生成部，生成對(duì)應(yīng)于所述反射光的第I信號(hào)；第2信號(hào)生成部，生成對(duì)應(yīng)于所述透過(guò)光的第2信號(hào)；以及圖像生成部，根據(jù)所述第I信號(hào)和所述第2信號(hào)生成合成圖像，所述合成圖像是將由所述反射光表示的反射像及由所述透過(guò)光表示的透過(guò)像合成的圖像。
[0031]上述的共聚焦顯微鏡能夠讓觀察者快速且高精度地獲取有關(guān)樣品的大量信息。
[0032]本發(fā)明的目的、特征及優(yōu)點(diǎn)通過(guò)以下的詳細(xì)說(shuō)明和附圖將更為明確。
【附圖說(shuō)明】
[0033]圖1是第I實(shí)施方式的共聚焦顯微鏡的概略框圖。
[0034]圖2是第2實(shí)施方式的共聚焦顯微鏡的概略圖。
[0035]圖3是表示圖2所示共聚焦顯微鏡的控制部的控制的概念圖。
[0036]圖4是表示圖2所示共聚焦顯微鏡的控制部的控制的概念圖。
[0037]圖5是第3實(shí)施方式的共聚焦顯微鏡的概略框圖。
[0038]圖6是第4實(shí)施方式的共聚焦顯微鏡的概略框圖。
[0039]圖7是第5實(shí)施方式的共聚焦顯微鏡的概略框圖。
[0040]圖8是第6實(shí)施方式的共聚焦顯微鏡的概略框圖。
[0041]圖9是表示圖8所示共聚焦顯微鏡執(zhí)行的圖像合成處理的概念的概略流程圖。
[0042]圖10是第7實(shí)施方式的共聚焦顯微鏡的概略框圖。
[0043]圖11是基于圖10的框圖而設(shè)計(jì)的例示性的共聚焦顯微鏡的概略圖。
[0044]圖12是第8實(shí)施方式的共聚焦顯微鏡的概略圖。
[0045]圖13是第9實(shí)施方式的共聚焦顯微鏡的概略圖。
[0046]圖14是第10實(shí)施方式的共聚焦顯微鏡的概略圖。
[0047]圖15是第11實(shí)施方式的共聚焦顯微鏡的概略圖。
[0048]圖16是第12實(shí)施方式的共聚焦顯微鏡的光學(xué)系統(tǒng)的概略圖。
[0049]圖17是以往的顯微鏡的概略圖。
【具體實(shí)施方式】
[0050]參照附圖對(duì)例示性的共聚焦顯微鏡的各種實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。此外，在以下說(shuō)明的實(shí)施方式中，對(duì)于相同的構(gòu)成要素賦予相同的符號(hào)。而且，為了使說(shuō)明明確，省略重復(fù)的說(shuō)明。附圖所示的結(jié)構(gòu)、配置或形狀以及有關(guān)附圖的記載只是以容易理解本實(shí)施方式的原理為目的。因此，以下的實(shí)施方式的原理并不限定于這些。
[0051]〈以往技術(shù)存在的問(wèn)題〉
[0052]本發(fā)明人研宄了以往的顯微鏡技術(shù)并發(fā)現(xiàn)了各種問(wèn)題。后述的各種實(shí)施方式所說(shuō)明的共聚焦顯微鏡都是為了解決這些問(wèn)題而開(kāi)發(fā)的。
[0053](專(zhuān)利文獻(xiàn)I的顯微鏡技術(shù)所存在的問(wèn)題)
[0054]參照?qǐng)D17對(duì)專(zhuān)利文獻(xiàn)I的顯微鏡900所存在的問(wèn)題進(jìn)行說(shuō)明。
[0055]如上所述，觀察者能夠操作顯微鏡900的偏光板925、930來(lái)控制反射光及透過(guò)光的偏振光方向?？刂破窆夥较虻慕Y(jié)果，顯微鏡900能夠有選擇地只生成由透過(guò)光生成的圖像信號(hào)及由反射光生成的圖像信號(hào)的其中之一。
[0056]顯微鏡900僅具有用于生成由透過(guò)光生成的圖像信號(hào)以及由反射光生成的圖像信號(hào)的單獨(dú)的信號(hào)生成元件(受光元件932)。因此，顯微鏡900不能同時(shí)生成透過(guò)像和反射像。這種情況不適合于觀察具有隨時(shí)間而變化的特性的樣品(例如，生體組織或細(xì)胞)。
[0057]因?yàn)橥高^(guò)光及反射光射入共同的受光元件932，所以為了獲取透過(guò)像及反射像，觀察者必須對(duì)偏光板925、930進(jìn)行機(jī)械性的操作。對(duì)偏光板925、935進(jìn)行機(jī)械性的操作需要某種程度的時(shí)間。因此，顯微鏡900不適合于需要快速獲取透過(guò)像和反射像的用途。
[0058]對(duì)偏光板925、930進(jìn)行機(jī)械性的操作也會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)生偏光板925、930相對(duì)于透過(guò)光及反射光的光路的位置誤差。位置誤差最終導(dǎo)致透過(guò)像及反射像的精度的降低。例如，對(duì)偏光板925、930進(jìn)行機(jī)械性的操作的結(jié)果，如果產(chǎn)生偏光板925、930的位置誤差，也有可能產(chǎn)生在透過(guò)像及反射像的一方出現(xiàn)透過(guò)像及反射像的另一方的現(xiàn)象(以下稱為“串?dāng)_”)。即，受光元件932生成的圖像信號(hào)的信噪比(以下稱為SN比)降低。
[0059]顯微鏡900在組裝作業(yè)中也存在問(wèn)題。想要使用顯微鏡900獲得高精度的透過(guò)像及反射像，則從五角棱鏡926射出的透過(guò)光的光路需要與反射光的光路相一致。然而，使透過(guò)光和反射光之間的光路相一致的光軸調(diào)整作業(yè)要求高精度。因此，對(duì)顯微鏡900的初期調(diào)整需要非常熟練的技能。
[0060]在透過(guò)光和反射光之間的光軸的偏離也有可能由外部因素(例如，周?chē)鷾囟鹊淖兓蛘駝?dòng))引起。這意味著從顯微鏡900獲得的圖像數(shù)據(jù)存在不充分的再現(xiàn)性和不穩(wěn)定性。
[0061]從顯微鏡900獲得的圖像數(shù)據(jù)的精度也取決于樣品的光學(xué)特性。如果樣品具有產(chǎn)生雙折射的光學(xué)特性，則會(huì)產(chǎn)生透過(guò)光及反射光的偏振光的紊亂。其結(jié)果，觀察者不能獲得高精度的透過(guò)像及反射像。例如，起因于上述串?dāng)_的產(chǎn)生的SN比的降低也會(huì)表現(xiàn)在圖像數(shù)據(jù)中。
[0062](專(zhuān)利文獻(xiàn)2的顯微鏡技術(shù)所存在的問(wèn)題)
[0063]專(zhuān)利文獻(xiàn)2的顯微鏡技術(shù)不同于專(zhuān)利文獻(xiàn)I的顯微鏡技術(shù)，其利用兩個(gè)受光元件。兩個(gè)受光元件的其中之一專(zhuān)門(mén)接收透過(guò)光。兩個(gè)受光元件的另一個(gè)專(zhuān)門(mén)接收反射光。然而，透過(guò)光及反射光沿著共同的光路被傳輸。因此，與專(zhuān)利文獻(xiàn)I的顯微鏡技術(shù)一樣，專(zhuān)利文獻(xiàn)2的顯微鏡技術(shù)的圖像精度容易受到樣品的光學(xué)特性的影響。如果樣品具有產(chǎn)生雙折射的光學(xué)特性，則會(huì)產(chǎn)生起因于串?dāng)_的SN比的降低。
[0064]根據(jù)專(zhuān)利文獻(xiàn)2，觀察者觀察作為樣品的光掩模來(lái)檢測(cè)光掩模的缺陷。因?yàn)楣庋谀２划a(chǎn)生雙折射且從光掩模發(fā)出的透過(guò)光及反射光的光量大，所以專(zhuān)利文獻(xiàn)2的顯微鏡技術(shù)能夠以高精度檢測(cè)出光掩模的缺陷。然而，如果替換光掩模而觀察生體組織，生體組織具有復(fù)雜的內(nèi)部形狀且可對(duì)生體組織照射的光量與光掩模相比非常小，所以專(zhuān)利文獻(xiàn)2的顯微鏡技術(shù)無(wú)法達(dá)到高SN比。
[0065]〈第I實(shí)施方式〉
[0066]本發(fā)明人開(kāi)發(fā)了能夠?qū)Ω鞣N樣品生成高精度的圖像數(shù)據(jù)的共聚焦顯微鏡。與第I實(shí)施方式相關(guān)聯(lián)所說(shuō)明的技術(shù)原理，即使在樣品中的折射率差及樣品的反射率少的條件下，也能大致同時(shí)獲取透過(guò)像和反射像。因此，與第I實(shí)施方式相關(guān)聯(lián)說(shuō)明的技術(shù)原理能較好地適用于生體組織或細(xì)胞的觀察。與第I實(shí)施方式相關(guān)聯(lián)說(shuō)明的技術(shù)原理，讓觀察者即使不進(jìn)行使用熒光材料的著色作業(yè)也能非侵害性地觀察生體組織或細(xì)胞。而且，與第I實(shí)施方式相關(guān)聯(lián)說(shuō)明的技術(shù)原理也能適合用于生體組織或細(xì)胞以外的觀察。因此，樣品的種類(lèi)對(duì)第I實(shí)施方式的原理沒(méi)有任何的限定。
[0067]圖1是第I實(shí)施方式的共聚焦顯微鏡(以下稱為顯微鏡100)的概略框圖。參照?qǐng)D1對(duì)顯微鏡100進(jìn)行說(shuō)明。
[0068]觀察者能夠使用顯微鏡100觀察樣品SMP。顯微鏡100具備光生成部200、掃描部300、調(diào)整部400、第I信號(hào)生成部500、第2信號(hào)生成部600以及圖像生成部700。
[0069]光生成部200射出光束LF。光束LF經(jīng)由掃描部300到達(dá)樣品SMP。其結(jié)果，能夠同時(shí)生成透過(guò)樣品SMP的透過(guò)光TL及從樣品SMP反射的反射光RL。光生成部200也可以包含激光、燈泡、發(fā)光二極管、鹵鎢燈、紅外線光源或能夠射出適合觀察樣品SMP的光的其它光源。本實(shí)施方式的原理并不限定于光生成部200所使用的特定的光源。
[0070]掃描部300利用光束LF光學(xué)掃描樣品SMP。如果掃描部300使光束LF對(duì)樣品SMP的照射位置依次二維地變化，觀察者就能獲取樣品SMP的二維的圖像數(shù)據(jù)。另外，本實(shí)施方式的原理并不限定于掃描部300所執(zhí)行的特定的掃描動(dòng)作。
[0071]反射光RL從樣品SMP傳輸?shù)綊呙璨?00。然后，反射光RL從掃描部300傳輸?shù)降贗信號(hào)生成部500。本實(shí)施方式中，第I光路通過(guò)從掃描部300朝向第I信號(hào)生成部500的反射光RL的光路而而被例示。
[0072]掃描部300在執(zhí)行對(duì)樣品SMP的光學(xué)掃描的同時(shí)，決定從掃描部300朝向第I信號(hào)生成部500的反射光RL的方向，以便讓反射光RL到達(dá)第I信號(hào)生成部500。兼顧對(duì)樣品SMP的光學(xué)掃描和由第I信號(hào)生成部500進(jìn)行的反射光RL的接收的光學(xué)設(shè)計(jì)能夠基于已知的各種設(shè)計(jì)技術(shù)而實(shí)現(xiàn)。因此，本實(shí)施方式的原理并不限定于規(guī)定在光生成部200、掃描部300、樣品SMP以及第I信號(hào)生成部500之間形成的光路的光學(xué)元件群的特定的配置。
[0073]透過(guò)光TL從樣品SMP傳輸?shù)秸{(diào)整部400。然后，透過(guò)光TL從調(diào)整部400傳輸?shù)降?信號(hào)生成部600。不同于專(zhuān)利文獻(xiàn)I和專(zhuān)利文獻(xiàn)2的顯微鏡技術(shù)，透過(guò)光TL的光路與反射光RL分離。因此，不同于專(zhuān)利文獻(xiàn)I的顯微鏡技術(shù)，顯微鏡100不需要在透過(guò)光TL和反射光RL之間的細(xì)微的光軸調(diào)整。而且，顯微鏡100不易面臨串?dāng)_等以往的問(wèn)題。本實(shí)施方式中，第2光路通過(guò)從樣品SMP經(jīng)由調(diào)整部400到達(dá)第2信號(hào)生成部600的透過(guò)光TL的光路而被例示。
[0074]掃描部300的掃描動(dòng)作的結(jié)果，從樣品SMP至調(diào)整部400的透過(guò)光TL的光路發(fā)生角度上的變化。調(diào)整部400對(duì)透過(guò)光TL的光路的方向進(jìn)行角度調(diào)整，以便即使在樣品SMP和調(diào)整部400之間的透過(guò)光TL的光路的角度發(fā)生變化的情況下，第2信號(hào)生成部600也能適當(dāng)?shù)亟邮胀高^(guò)光TL。
[0075]第I信號(hào)生成部500接收反射光RL。然后，第I信號(hào)生成部500生成對(duì)應(yīng)于反射光RL的第I信號(hào)FS。第I信號(hào)生成部500也可以將具有與反射光RL的強(qiáng)度或光量相對(duì)應(yīng)的大小的振幅或電壓值的信號(hào)作為第I信號(hào)FS來(lái)生成。如果反射光RL具有大光量，第I信號(hào)生成部500也可以將具有大振幅的信號(hào)作為第I信號(hào)FS輸出。另外，本實(shí)施方式的原理并不限定于第I信號(hào)生成部500的特定的信號(hào)生成技術(shù)。
[0076]第2信號(hào)生成部600接收透過(guò)光TL。然后，第2信號(hào)生成部600生成與透過(guò)光TL相對(duì)應(yīng)的第2信號(hào)SS。第2信號(hào)生成部600也可以將具有與透過(guò)光TL的強(qiáng)度或光量相對(duì)應(yīng)的大小的振幅或電壓值的信號(hào)作為第2信號(hào)SS來(lái)生成。如果透過(guò)光TL具有大光量，第2信號(hào)生成部600也可以將具有大振幅的信號(hào)作為第2信號(hào)SS輸出。另外，本實(shí)施方式的原理并不限定于第2信號(hào)生成部600的特定的信號(hào)生成技術(shù)。
[0077]第I信號(hào)FS從第I信號(hào)生成部500輸出到圖像生成部700。第2信號(hào)SS從第2信號(hào)生成部600輸出到圖像生成部700。從第I信號(hào)生成部500向圖像生成部700的第I信號(hào)FS的傳送意味著由反射光RL表示的反射像的數(shù)據(jù)的傳送。從第2信號(hào)生成部600向圖像生成部700的第2信號(hào)SS的傳送意味著由透過(guò)光TL表示的透過(guò)像的數(shù)據(jù)的傳送。圖像生成部700根據(jù)第I信號(hào)FS和第2信號(hào)SS，生成將反射像及透過(guò)像合成的合成圖像。觀察者觀察合成圖像，能夠同時(shí)獲取從反射像獲得的圖像信息和從透過(guò)像獲得的圖像信息。因?yàn)樵谟煞瓷湎癖硎镜臉悠稴MP和由透過(guò)像表示的樣品SMP之間幾乎不存在時(shí)間上的差異，所以觀察者能夠獲取有關(guān)樣品SMP的狀態(tài)的正確的彳目息。
[0078]圖像生成部700也可以根據(jù)樣品SMP的光學(xué)特性變更所生成的圖像的種類(lèi)。如果樣品SMP整體上