具有低的反射率，圖像生成部700也可以生成透過像來替代合成圖像。如果樣品SMP整體上具有高的反射率，圖像生成部700也可以生成反射像來替代合成圖像。觀察者也可以操作圖像生成部700，從合成圖像、透過像及反射像中選擇圖像生成部700生成的圖像的種類。本實(shí)施方式的原理并不限定于圖像生成部700的特定的圖像生成技術(shù)。
[0079]如果樣品SMP具有大的反射率及/或透過率的變化，則圖像生成部700生成合成圖像是有益的。透過像幾乎不包含有關(guān)樣品SMP中透過率低的區(qū)域的信息，相對(duì)于此，反射像能夠包含很多有關(guān)樣品SMP中透過率低的區(qū)域的信息。因此，圖像生成部700也可以將反射像用在樣品SMP中透過率低的區(qū)域。反射像幾乎不包含有關(guān)樣品SMP中反射率低的區(qū)域的信息，相對(duì)于此，透過像能夠包含很多有關(guān)樣品SMP中反射率低的區(qū)域的信息。因此，圖像生成部700也可以將透過像用于樣品SMP中反射率低的區(qū)域。其結(jié)果，觀察者能夠從合成圖像獲取大量有關(guān)樣品SMP的信息。
[0080]為了表現(xiàn)樣品SMP的輪廓，圖像生成部700也可以使用透過像。如果光束LF照射在偏離樣品SMP的位置，第2信號(hào)SS的信號(hào)強(qiáng)度會(huì)變強(qiáng)。因?yàn)楣馐鳯F —旦照射在樣品SMP，樣品SMP會(huì)使光束LF產(chǎn)生散射或吸收，所以透過光TL的光量降低。因此，光束LF照射在樣品SMP期間的第2信號(hào)SS的信號(hào)強(qiáng)度變?nèi)酢Ｒ虼?，圖像生成部700利用表示透過像的第2信號(hào)SS，能夠以高對(duì)比度表現(xiàn)樣品SMP的輪廓。
[0081]作為樣品SMP，如果觀察生體組織或細(xì)胞等低反射率的物質(zhì)，反射像不適合于表現(xiàn)樣品SMP的輪廓。然而，由于樣品SMP的表面狀態(tài)或內(nèi)部狀態(tài)以在樣品SMP中的反射率變化而表現(xiàn)出來，所以反射像也可以被利用于表現(xiàn)樣品SMP的表面狀態(tài)或內(nèi)部狀態(tài)。如果圖像生成部700對(duì)于樣品SMP的輪廓區(qū)域利用第2信號(hào)SS，并且，對(duì)于被輪廓區(qū)域所包圍的樣品SMP的內(nèi)部區(qū)域利用第I信號(hào)FS，就能獲得表現(xiàn)樣品SMP的很多特征的合成圖像。
[0082]顯微鏡100生成將透過像和反射像合成的合成圖像，因此，觀察者可以不用進(jìn)行使樣品SMP的反射率增大的初步處理(例如，添加熒光材料)。因此，如果將生體組織或細(xì)胞作為樣品SMP而觀察，觀察者能夠觀察處于生存狀態(tài)的生體組織或細(xì)胞。
[0083]〈第2實(shí)施方式〉
[0084]設(shè)計(jì)者能夠利用第I實(shí)施方式的原理設(shè)計(jì)各種共聚焦顯微鏡。在第2實(shí)施方式中，對(duì)基于第I實(shí)施方式的原理而設(shè)計(jì)的例示性的共聚焦顯微鏡進(jìn)行說明。
[0085]圖2是第2實(shí)施方式的共聚焦顯微鏡(以下稱為顯微鏡100A)的概略圖。參照?qǐng)D1及圖2對(duì)顯微鏡100A進(jìn)行說明。第I實(shí)施方式和第2實(shí)施方式之間共同使用的符號(hào)意味著賦予了該共同符號(hào)的要素與第I實(shí)施方式具有相同的功能。因此，第I實(shí)施方式的說明被援用于這些要素。
[0086]顯微鏡100A具備激光光源210、準(zhǔn)直透鏡215、分束器220、中繼透鏡225、230、反射鏡235以及物鏡240。激光光源210、準(zhǔn)直透鏡215、分束器220、中繼透鏡225、230、反射鏡235以及物鏡240被作為參照?qǐng)D1說明的光生成部200的一部分而設(shè)計(jì)。
[0087]顯微鏡100A還具備第I偏光鏡310、第2偏光鏡320、第I驅(qū)動(dòng)馬達(dá)315以及第2驅(qū)動(dòng)馬達(dá)325。第I偏光鏡310、第2偏光鏡320、第I驅(qū)動(dòng)馬達(dá)315以及第2驅(qū)動(dòng)馬達(dá)325被作為參照?qǐng)D1說明的掃描部300而設(shè)計(jì)。
[0088]激光光源210將激光LB向準(zhǔn)直透鏡215射出。激光LB與參照?qǐng)D1說明的光束LF相對(duì)應(yīng)。本實(shí)施方式中，光源部通過激光光源210而被例示。射出光通過激光LB而被例示。
[0089]準(zhǔn)直透鏡215將激光LB轉(zhuǎn)換為平行光。激光LB之后射入分束器220。分束器220朝向第I偏光鏡310反射激光LB。然后，第I偏光鏡310朝向第2偏光鏡320反射激光LB。第2偏光鏡320朝向反射鏡235反射激光LB。激光LB依次通過中繼透鏡225、230射入反射鏡235。反射鏡235朝向物鏡240反射激光LB。中繼透鏡225、230被配置成能夠在第2偏光鏡320及物鏡240的出射光瞳之間獲得共軛關(guān)系。因此，激光LB能夠在適當(dāng)?shù)奈恢眉耙赃m當(dāng)?shù)慕嵌壬淙胛镧R240。本實(shí)施方式中，第I反射部通過第I偏光鏡310和第2偏光鏡320的組合而被例示。
[0090]物鏡240將激光LB朝向樣品SMP聚光，形成樣品焦點(diǎn)SFP。樣品焦點(diǎn)SFP的位置根據(jù)作為掃描部300而被設(shè)計(jì)的第I偏光鏡310、第2偏光鏡320、第I驅(qū)動(dòng)馬達(dá)315以及第2驅(qū)動(dòng)馬達(dá)325的動(dòng)作而變化。
[0091]顯微鏡100A還具備滑動(dòng)玻璃110。觀察者能夠?qū)悠稴MP載置在滑動(dòng)玻璃110上。第I偏光鏡310連接于第I驅(qū)動(dòng)馬達(dá)315。第I驅(qū)動(dòng)馬達(dá)315賦予第I偏光鏡310旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。其結(jié)果，樣品焦點(diǎn)SFP沿在滑動(dòng)玻璃110上規(guī)定的主掃描方向直線移動(dòng)。第2偏光鏡320連接于第2驅(qū)動(dòng)馬達(dá)325。第2驅(qū)動(dòng)馬達(dá)325賦予第2偏光鏡320旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。其結(jié)果，樣品焦點(diǎn)SFP沿在滑動(dòng)玻璃110上規(guī)定的相對(duì)于主掃描方向大致成直角的副掃描方向直線移動(dòng)。因此，樣品焦點(diǎn)SFP能夠在大致平行于載置了樣品SMP的滑動(dòng)玻璃110的面的虛擬平面上移動(dòng)。設(shè)計(jì)者也可以考慮對(duì)顯微鏡100A的設(shè)計(jì)條件來定義主掃描方向及副掃描方向。因此，主掃描方向及副掃描方向的定義對(duì)本實(shí)施方式的原理沒有任何限制。本實(shí)施方式中，第I驅(qū)動(dòng)部通過第I驅(qū)動(dòng)馬達(dá)315和第2驅(qū)動(dòng)馬達(dá)325的組合而被例示。
[0092]本實(shí)施方式中，第I偏光鏡310、第2偏光鏡320、第I驅(qū)動(dòng)馬達(dá)315以及第2驅(qū)動(dòng)馬達(dá)325作為掃描部300而被設(shè)計(jì)。取而代之，掃描部300也可以使用聲光元件、電光元件、檢流鏡、多邊鏡、MEMS(Micro Electro Mechanical System)或能夠高速地光學(xué)掃描樣品SMP的其它光學(xué)元件來設(shè)計(jì)。
[0093]激光LB的一部分被樣品SMP反射成為反射光RL。從樣品焦點(diǎn)SFP發(fā)出的反射光RL為發(fā)散光。反射光RL從樣品焦點(diǎn)SFP朝向物鏡240。物鏡240將反射光RL變成平行光。然后，反射光RL被反射鏡235反射并經(jīng)由中繼透鏡230、225而射入第2偏光鏡320。第2偏光鏡320向第I偏光鏡310反射反射光RL。反射光RL之后通過第I偏光鏡310被朝向分束器220反射。本實(shí)施方式中，第I平行光通過由物鏡240形成的平行光而被例示。
[0094]顯微鏡100A還具備第I檢測(cè)透鏡510、第I針孔部件520以及第I光檢測(cè)器530。第I檢測(cè)透鏡510、第I針孔部件520以及第I光檢測(cè)器530作為參照?qǐng)D1說明的第I信號(hào)生成部500而設(shè)計(jì)。
[0095]反射光RL通過分束器220射入第I檢測(cè)透鏡510。第I檢測(cè)透鏡510聚光反射光RL形成第I焦點(diǎn)FP1。本實(shí)施方式中，第I聚光部通過第I檢測(cè)透鏡510而被例示。第I光路通過樣品SMP和分束器220之間的激光LB及反射光RL的光路而被例示。
[0096]第I針孔部件520在第I焦點(diǎn)FPl的周圍形成有第I針孔521。第I針孔部件520包含圍住第I針孔521的遮斷區(qū)域522。形成第I焦點(diǎn)FPl的反射光RL的成分通過第I針孔521被傳輸?shù)降贗光檢測(cè)器530。遮斷區(qū)域522除去第I焦點(diǎn)FPl周圍的反射光RL的雜散光成分。本實(shí)施方式中，第I通過部件通過第I針孔部件520而被例示。第I通過區(qū)域通過第I針孔521而被例示。第I遮斷區(qū)域通過遮斷區(qū)域522而被例示。
[0097]第I光檢測(cè)器530檢測(cè)通過了第I針孔521的反射光RL的強(qiáng)度。然后，第I光檢測(cè)器530生成對(duì)應(yīng)于反射光RL的強(qiáng)度的第I信號(hào)FS。本實(shí)施方式中，第I檢測(cè)器通過第I光檢測(cè)器530而被例示。
[0098]顯微鏡100A還具備準(zhǔn)直透鏡245、反射鏡250以及中繼透鏡255、260。準(zhǔn)直透鏡245、反射鏡250以及中繼透鏡255、260作為參照?qǐng)D1說明的光生成部200的一部分而被設(shè)
i+o
[0099]激光LB的一部分作為透過光TL通過樣品SMP射入準(zhǔn)直透鏡245。朝向準(zhǔn)直透鏡245的透過光TL為發(fā)散光。準(zhǔn)直透鏡245將透過光TL變成平行光。準(zhǔn)直透鏡245也可以具有與物鏡240同等的光學(xué)特性。本實(shí)施方式中，第2平行光通過準(zhǔn)直透鏡245形成的平行光而被例示。
[0100]通過準(zhǔn)直透鏡245的透過光TL被反射鏡250朝向中繼透鏡255、260反射。透過光TL之后從中繼透鏡260射出。從中繼透鏡260射出的透過光TL為平行光。
[0101]顯微鏡100A還具備第3偏光鏡410、第4偏光鏡420、第3驅(qū)動(dòng)馬達(dá)415以及第4驅(qū)動(dòng)馬達(dá)425。第3偏光鏡410、第4偏光鏡420、第3驅(qū)動(dòng)馬達(dá)415以及第4驅(qū)動(dòng)馬達(dá)425作為參照?qǐng)D1說明的調(diào)整部400而被設(shè)計(jì)。
[0102]第3偏光鏡410連接于第3驅(qū)動(dòng)馬達(dá)415。第3驅(qū)動(dòng)馬達(dá)415賦予第3偏光鏡410旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。第3偏光鏡410的配置(例如，相對(duì)于透過光TL的光路的傾斜角度)也可以對(duì)應(yīng)于第I偏光鏡310的配置(例如，相對(duì)于反射光RL的光路的傾斜角度)而決定。第3偏光鏡410和第3驅(qū)動(dòng)馬達(dá)415以使起因于樣品焦點(diǎn)SFP在主掃描方向的移位的透過光TL的光路的變化降低的方式動(dòng)作。
[0103]第4偏光鏡420連接于第4驅(qū)動(dòng)馬達(dá)425。第4驅(qū)動(dòng)馬達(dá)425賦予第4偏光鏡420旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。第4偏光鏡420的配置(例如，相對(duì)于透過光TL的光路的傾斜角度)也可以對(duì)應(yīng)于第2偏光鏡320的配置(例如，相對(duì)于反射光RL的光路的傾斜角度)而決定。第4偏光鏡420及第4驅(qū)動(dòng)馬達(dá)425以使起因于樣品焦點(diǎn)SFP在副掃描方向的移位的透過光TL的光路的變化降低的方式動(dòng)作。
[0104]顯微鏡100A還具備控制部120?？刂撇?20控制第I驅(qū)動(dòng)馬達(dá)315、第2驅(qū)動(dòng)馬達(dá)325、第3驅(qū)動(dòng)馬達(dá)415以及第4驅(qū)動(dòng)馬達(dá)425。控制部120也可以將第3驅(qū)動(dòng)馬達(dá)415的動(dòng)作與第I驅(qū)動(dòng)馬達(dá)315的動(dòng)作相關(guān)聯(lián)?？刂撇?20也可以將第4驅(qū)動(dòng)馬達(dá)425的動(dòng)作與第2驅(qū)動(dòng)馬達(dá)325的動(dòng)作相關(guān)聯(lián)。
[0105]通過中繼透鏡260的透過光TL被第4偏光鏡420向第3偏光鏡410反射。第3偏光鏡410將透過光TL朝向作為參照?qǐng)D1說明的第2信號(hào)生成部600而設(shè)計(jì)的光學(xué)元件群反射。從樣品SMP到中繼透鏡260的透過光TL的光路根據(jù)樣品焦點(diǎn)SFP的移位而變動(dòng)?？刂撇?20根據(jù)樣品焦點(diǎn)SFP的移位(即，根據(jù)第I驅(qū)動(dòng)馬達(dá)315和第2驅(qū)動(dòng)馬達(dá)325的動(dòng)作)控制第3驅(qū)動(dòng)馬達(dá)415及第4驅(qū)動(dòng)馬達(dá)425，因此，被第3偏光鏡410反射的透過光TL的光路在位置上是穩(wěn)定的。本實(shí)施方式中，第2反射部通過第3偏光鏡410和第4偏光鏡420的組合而被例示。第2驅(qū)動(dòng)部通過第3驅(qū)動(dòng)馬達(dá)415和第4驅(qū)動(dòng)馬達(dá)425的組合而被例示。
[0106]顯微鏡100A還具備第2檢測(cè)透鏡610、第2針孔部件620以及第2光檢測(cè)器630。第2檢測(cè)透鏡610、第2針孔部件620以及第2光檢測(cè)器630作為參照?qǐng)D1說明的第2信號(hào)生成部600而被設(shè)計(jì)。
[0107]被第3偏光鏡410反射的透過光TL射入第2檢測(cè)透鏡610。第2檢測(cè)透鏡610聚光透過光TL形成第2焦點(diǎn)FP2。本實(shí)施方式中，第2聚光部通過第2檢測(cè)透鏡610而被例示。第2光路通過樣品SMP和第2檢測(cè)透鏡610之間的透過光TL的光路而被例示。
[0108]第2針孔部件620在第2焦點(diǎn)FP2周圍形成有第2針孔621。第2針孔部件620包含圍住第2針孔621的遮斷區(qū)域622。形成第2焦點(diǎn)FP2的透過光TL的成分通過第2針孔621被傳輸?shù)降?光檢測(cè)器630。遮斷區(qū)域622除去第2焦點(diǎn)FP2周圍的透過光TL的雜散光成分。本實(shí)施方式中，第2通過部件通過第2針孔部件620而被例示。第2通過區(qū)域通過第2針孔621而被例示。第2遮斷區(qū)域通過遮斷區(qū)域622而被例示。
[0109]第2光檢測(cè)器630檢測(cè)通過第2針孔621的透過光TL的強(qiáng)度。然后，第2光檢測(cè)器630生成對(duì)應(yīng)于透過光TL的強(qiáng)度的第2信號(hào)SS。本實(shí)施方式中，第2檢測(cè)器通過第2光檢測(cè)器630而被例示。
[0110]樣品焦點(diǎn)SFP和第I焦點(diǎn)FPl之間及樣品焦點(diǎn)SFP和第2焦點(diǎn)FP2之間存在共軛關(guān)系。第I針孔部件520規(guī)定第I針孔521以便與第I焦點(diǎn)FPl —致。第2針孔部件620規(guī)定第2針孔621以便與第2焦點(diǎn)FP2 —致。因此，第I針孔部件520能夠一方面允許形成第I焦點(diǎn)FPl的反射光RL的成分透過，另一方面除去第I焦點(diǎn)FPl周圍的無用的大部分雜散光成分。同樣，第2針孔部件620能夠一方面允許形成第2焦點(diǎn)FP2的透過光TL的成分透過，另一方面除去第2焦點(diǎn)FP2周圍的無用的大部分雜散光成分。其結(jié)果，第I信號(hào)FS幾乎不包含起因于第I焦點(diǎn)FPl周圍的雜散光成分的雜訊。同樣，第2信號(hào)SS幾乎不包含起因于第2焦點(diǎn)FP2周圍的雜散光成分的雜訊。這意味著顯微鏡10A能生成具有高分辨率及高對(duì)比度的圖像。
[0111]第I光檢測(cè)器530也可以包含一般的光電轉(zhuǎn)換元件。同樣，第2光檢測(cè)器630也可以包含一般的光電轉(zhuǎn)換元件。接收通過了第I針孔部件520的反射光RL的第I光檢測(cè)器530生成表示反射光RL的強(qiáng)度的信號(hào)來作為第I信號(hào)FS。接收通過了第2針孔部件620的透過光TL的第2光檢測(cè)器630生成表不透過光TL的強(qiáng)度的信號(hào)來作為第2信號(hào)SS。
[0112]顯微鏡100A具備第I信號(hào)處理裝置710、第2信號(hào)處理裝置720、圖像生成裝置730以及顯示裝置740。第I信號(hào)處理裝置710、第2信號(hào)處理裝置720、圖像生成裝置730以及顯示裝置740作為參照?qǐng)D1說明的圖像生成部700而被設(shè)計(jì)。
[0113]第I信號(hào)FS從第I光檢測(cè)器530被輸出到第I信號(hào)處理裝置710。第I信號(hào)處理裝置710可以對(duì)第I信號(hào)FS執(zhí)行雜訊除去處理、信號(hào)放大處理或信號(hào)衰減處理等各種信號(hào)處理。通過第I信號(hào)處理裝置710而接受規(guī)定的處理后的第I信號(hào)FS被輸出到圖像生成裝置730。另外，本實(shí)施方式的原理并不限定于第I信號(hào)處理裝置710執(zhí)行的特定的信號(hào)處理。
[0114]第2信號(hào)SS從第2光檢測(cè)器630被輸出到第2信號(hào)處理裝置720。第2信號(hào)處理裝置720可以對(duì)第2信號(hào)SS執(zhí)行雜訊除去處理、信號(hào)放大處理或信號(hào)衰減處理等各種信號(hào)處理。通過第2信號(hào)處理裝置720而接受規(guī)定的處理后的第2信號(hào)SS被輸出到圖像生成裝置730。另外，本實(shí)施方式的原理并不限定于第2信號(hào)處理裝置720執(zhí)行的特定的信號(hào)處理。
[0115]圖像生成裝置730根據(jù)第I信號(hào)處理裝置710處理的第I信號(hào)FS和第2信號(hào)處理裝置720處理的第2信號(hào)SS生成樣品SMP的圖像。圖像生成裝置730根據(jù)第I信號(hào)FS生成樣品SMP的反射像。圖像生成裝置730根據(jù)第2信號(hào)SS生成樣品SMP的透過像。圖像生成裝置730合成反射像和透過像來生成合成圖像。
[0116]表示合成圖像的圖像信號(hào)從圖像生成裝置730被輸出到顯示裝置740。顯示裝置740根據(jù)圖像信號(hào)顯示合成圖像。觀察者能夠觀察顯示裝置740上放映出的合成圖像來獲取有關(guān)樣品SMP的信息。顯示裝置740也可以是一般的個(gè)人計(jì)算機(jī)所使用的監(jiān)視器或一般的TV裝置。本實(shí)施方式的原理不受顯示裝置740的任何限制。
[0117]圖3是表示控制部120的控制的概念圖。參照?qǐng)D2和圖3對(duì)控制部120的控制進(jìn)行說明。
[0118]圖3表示樣品焦點(diǎn)SFP、第I焦點(diǎn)FPl以及第2焦點(diǎn)FP2。在圖3的部分(a)，樣品焦點(diǎn)SFP、第I焦點(diǎn)FPl以及第2焦點(diǎn)FP2存在于初始位置。圖3的部分(b)表示控制部120只使第I偏光鏡310旋轉(zhuǎn)時(shí)的樣品焦點(diǎn)SFP、第I焦點(diǎn)FPl以及第2焦點(diǎn)FP2的動(dòng)作。圖3的部分(c)表示控制部120在使第3偏光鏡410與第I偏光鏡310的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作同步而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)動(dòng)作時(shí)的樣品焦點(diǎn)SFP、第I焦點(diǎn)FPl以及第2焦點(diǎn)FP2的動(dòng)作。
[0119]圖3表示在滑動(dòng)玻璃110上概念性地設(shè)定的XY坐標(biāo)。X軸表示主掃描方向。Y軸表示副掃描方向。
[0120]圖3表示在第I針孔部件520上概念性地設(shè)定的XlYl坐標(biāo)。Xl軸對(duì)應(yīng)于上述XY坐標(biāo)的X軸。Yl軸對(duì)應(yīng)于上述XY坐標(biāo)的Y軸。XlYl坐標(biāo)的原點(diǎn)被設(shè)定在第I針孔521的中心。
[0121]圖3表示在第2針孔部件620上概念性地設(shè)定的X2Y2坐標(biāo)。X2軸對(duì)應(yīng)于上述XY坐標(biāo)的X軸。Y2軸對(duì)應(yīng)于上述XY坐標(biāo)的Y軸。X2Y2的坐標(biāo)原點(diǎn)被設(shè)定在第2針孔621的中心。
[0122]如部分(a)所示，樣品焦點(diǎn)SFP、第I焦點(diǎn)FPl以及第2焦點(diǎn)FP2存在于坐標(biāo)原點(diǎn)的狀態(tài)作為初期條件而被設(shè)定。如果控制部120向第I驅(qū)動(dòng)馬達(dá)315輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào)，第I驅(qū)動(dòng)馬達(dá)315賦予第I偏光鏡310與驅(qū)動(dòng)信號(hào)相對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角度的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。其結(jié)果，樣品焦點(diǎn)SFP向主掃描方向移動(dòng)(參照部分(b))。本實(shí)施方式中，第I反射元件通過第I偏光鏡310而被例示。第I驅(qū)動(dòng)裝置通過第I驅(qū)動(dòng)馬達(dá)315而被例示。
[0123]如參照?qǐng)D2所說明的那樣，反射光RL在樣品焦點(diǎn)SFP到分束器220的區(qū)間沿與激光光源210射出的激光LB前行的光路逆向的方向前行。之后，反射光RL通過分束器220到達(dá)第I針孔部件520，因此，即使在樣品焦點(diǎn)SFP向主掃描方向移位的情況下，第I焦點(diǎn)FPl也被維持在第I針孔521內(nèi)。
[0124]另一方面，透過光TL的光路被設(shè)定成與激光LB及反射光RL的光路不同，因此，在第3偏光鏡410靜止的情況下，第2焦點(diǎn)FP2的位置直接受樣品焦點(diǎn)SFP移位的影響。因此，如部分(b)所示，第2焦點(diǎn)FP2偏離第2針孔621。在部分(b)，在只有第I偏光鏡310旋轉(zhuǎn)的條件下的第2焦點(diǎn)FP2的移位量用符號(hào)“DX”來表示。
[0125]如部分(c)所示，控制部120以使移位量“DX”抵消的方式控制第3驅(qū)動(dòng)馬達(dá)415。如果第3驅(qū)動(dòng)馬達(dá)415在控制部120的控制下賦予第3偏光鏡410旋轉(zhuǎn)動(dòng)作，第2焦點(diǎn)FP2則被維持在第2針孔621內(nèi)。因此，控制部120能夠控制第3驅(qū)動(dòng)馬達(dá)415來降低樣品焦點(diǎn)SFP的移位對(duì)第2焦點(diǎn)FP2的位置的影響。本實(shí)施方式中，第3反射元件通過第3偏光鏡410而被例示。第3驅(qū)動(dòng)裝置通過第3驅(qū)動(dòng)馬達(dá)415而被例示。
[0126]由第3驅(qū)動(dòng)馬達(dá)415和第3偏光鏡410構(gòu)成的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)與由第I驅(qū)動(dòng)馬達(dá)315和第I偏光鏡310構(gòu)成的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)相關(guān)聯(lián)，這使得顯微鏡100A的光學(xué)設(shè)定變得容易。例如，如果調(diào)整顯微鏡100A的光學(xué)設(shè)定的作業(yè)者發(fā)現(xiàn)在主掃描方向上的顯微鏡100A的動(dòng)作有問題，作業(yè)者只需微調(diào)由第I驅(qū)動(dòng)馬達(dá)315和第I偏光鏡310構(gòu)成的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)與由第3驅(qū)動(dòng)馬達(dá)415和第3偏光鏡410構(gòu)成的驅(qū)