一種芯片顯影定影裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種芯片制造設(shè)備，特別涉及一種芯片顯影定影裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前在芯片生產(chǎn)過程中，芯片顯影、定影全靠手工操作，而在目前市場競爭全球化，開發(fā)周期不斷縮短，半導(dǎo)體元器件需求量急速擴(kuò)張的情況下，手工操作不僅操作時間長易導(dǎo)致疲勞、操作一致性差，使得芯片生產(chǎn)的速率低下，而且手工操作過程中容易出現(xiàn)芯片漏顯，使得次品率較高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)中芯片顯影、定影采用手工操作時間長易導(dǎo)致疲勞、手動操作多導(dǎo)致操作一致性差，漏顯等問題，提供一種采用機(jī)器半自動化的生產(chǎn)替代原有手工操作，使芯片生產(chǎn)速率明顯提高次品率明顯降低的芯片顯影、定影裝置。
[0004]為了實現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明提供了以下技術(shù)方案:
一種芯片顯影定影裝置，包括:
機(jī)架，所述機(jī)架向上伸出一支撐軸；
旋轉(zhuǎn)單元，設(shè)置于所述支撐軸頂端并以所述支撐軸為圓心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；
N個升降單元，一端與所述旋轉(zhuǎn)單元連接，另一端連接一芯片承載欄；
N個容器，設(shè)置于所述機(jī)架上，所述容器開口向上且內(nèi)部盛有顯影液或定影液；
控制單元，用于控制所述旋轉(zhuǎn)單元、升降單元的運(yùn)動；承放于所述芯片承載欄內(nèi)的芯片通過所述升降單元下降進(jìn)入所述容器進(jìn)行顯影或定影，完成后上升抬離所述容器；
其中，N為I以上自然數(shù)。
[0005]優(yōu)選的，所述旋轉(zhuǎn)單元包括圓盤及設(shè)置所述圓盤上的驅(qū)動電機(jī)，用于驅(qū)動所述圓盤進(jìn)行轉(zhuǎn)動。
[0006]優(yōu)選的，所述圓盤上設(shè)置有接近開關(guān)，用于在芯片顯影定影裝置復(fù)位，在圓盤轉(zhuǎn)到原點時反饋原點信號，使驅(qū)動電機(jī)停止轉(zhuǎn)動，圓盤停在原點，所述原點為芯片承載欄初始承掛位置。
[0007]優(yōu)選的，所述接近開關(guān)為光電接近開關(guān)。
[0008]優(yōu)選的，所述升降單元包括氣缸和一端連接所述氣缸的攪拌電機(jī)，所述攪拌電機(jī)另一端連接所述芯片承載欄，所述氣缸用于帶動所述攪拌電機(jī)及芯片承載欄進(jìn)入或離開所述容器。
[0009]優(yōu)選的，所述氣缸為內(nèi)置磁環(huán)型氣缸。
[0010]優(yōu)選的，所述內(nèi)置磁環(huán)型氣缸上下兩端設(shè)置有感應(yīng)器，用于感應(yīng)所述氣缸的運(yùn)動位置，并將感應(yīng)的位置信息傳輸?shù)剿隹刂茊卧?br>[0011]優(yōu)選的，所述內(nèi)置磁環(huán)型氣缸連接有一電磁閥，所述電磁閥連接一繼電器，所述繼電器還連接所述攪拌電機(jī)； 所述繼電器接收所述控制單元信號控制電磁閥的通斷電以控制所述氣缸的運(yùn)動，還控制所述攪拌電機(jī)的開啟與關(guān)閉；
所述芯片承載欄在氣缸帶動下進(jìn)入所述容器后，氣缸停止運(yùn)動，所述繼電器開啟攪拌電機(jī)。
[0012]優(yōu)選的，所述控制單元包括可編程邏輯控制器和觸摸屏。
[0013]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果:通過本發(fā)明提供地一種芯片顯影定影裝置，以半自動機(jī)械式生產(chǎn)替代原有手工操作，解決了人工操作時間長易導(dǎo)致疲勞、操作一致性差的問題，使得芯片生產(chǎn)的速率明顯提高。同時也解決了手工操作過程中容易出現(xiàn)芯片漏顯的問題，使次品率明顯降低。
[0014]【附圖說明】。
[0015]圖1為本發(fā)明一種芯片顯影定影裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖2為本發(fā)明實施例1和2中一種芯片顯影定影裝置俯視示意圖。
[0017]圖中標(biāo)記:1-機(jī)架，11-支撐軸，21-第一顯影定影缸，22-第二顯影定影缸，23-第三顯影定影缸，24-第四顯影定影缸，25-第五顯影定影缸，3-圓盤，4-旋轉(zhuǎn)伺服電機(jī)，5-光電接近開關(guān)，61-第一內(nèi)置磁環(huán)型氣缸，62-第二內(nèi)置磁環(huán)型氣缸，63-第三內(nèi)置磁環(huán)型氣缸，64-第四內(nèi)置磁環(huán)型氣缸，65-第五內(nèi)置磁環(huán)型氣缸，66-第六內(nèi)置磁環(huán)型氣缸，7-無刷直流電機(jī)，8-芯片承載欄，9-磁性光電傳感器。
【具體實施方式】
[0018]下面結(jié)合試驗例及【具體實施方式】對本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。但不應(yīng)將此理解為本發(fā)明上述主題的范圍僅限于以下的實施例，凡基于本
【發(fā)明內(nèi)容】
所實現(xiàn)的技術(shù)均屬于本發(fā)明的范圍。
[0019]實施例1 參看圖1、圖2，
一種芯片顯影定影裝置，包括:
機(jī)架I，所述機(jī)架I向上伸出一支撐軸11 ;
設(shè)置于所述支撐軸11頂端并可以其為圓心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的圓盤3，所述圓盤3上設(shè)置有一驅(qū)動電機(jī)，所述驅(qū)動電機(jī)為旋轉(zhuǎn)伺服電機(jī)4，所述旋轉(zhuǎn)伺服電機(jī)4用于驅(qū)動所述圓盤3繞所述支撐軸11進(jìn)行轉(zhuǎn)動。
[0020]在每次顯影定影操作工序前，需要先將所述圓盤3復(fù)位至原點，復(fù)位過程如下:按下物理復(fù)位按鍵，所述可編程邏輯控制器接收到復(fù)位信號后輸出脈沖信號給旋轉(zhuǎn)伺服電機(jī)4，旋轉(zhuǎn)伺服電機(jī)4帶動圓盤轉(zhuǎn)動，當(dāng)圓盤3上光電接近開關(guān)5在回到預(yù)先設(shè)置的原點位置時，所述可編程邏輯控制器收到復(fù)位完成信號，所述旋轉(zhuǎn)伺服電機(jī)4停止轉(zhuǎn)動，圓盤3停在所述原點，所述原點即為初始位置。
[0021 ] 在所述初始位置處的圓盤3邊緣設(shè)置第一內(nèi)置磁環(huán)型氣缸61，每隔60度依次設(shè)置第二內(nèi)置磁環(huán)型氣缸62、第三內(nèi)置磁環(huán)型氣缸63、第四內(nèi)置磁環(huán)型氣缸64、第五內(nèi)置磁環(huán)型氣缸65及第六內(nèi)置磁環(huán)型氣缸66 ;在所述六個內(nèi)置磁環(huán)型氣缸中的第二、第三、第四、第五、第六內(nèi)置磁環(huán)型氣缸下方對應(yīng)位置設(shè)置五個顯影定影缸，即第一顯影定影缸21、第二顯影定影缸22、第三顯影定影缸23、第四顯影定影缸24、第五顯影定影缸25。
[0022]所述六個內(nèi)置磁環(huán)型氣缸可以上下運(yùn)動，每一個所述內(nèi)置磁環(huán)型氣缸下方連接有一攪拌電機(jī)，本實施例中，所述攪拌電機(jī)為無刷直流電機(jī)7，其下方連接有用于放置待顯影或定影芯片的芯片承載欄8 ;每個無刷直流電機(jī)7下端連接的芯片承載欄8在內(nèi)置磁環(huán)型氣缸的上下運(yùn)動中可下降至所述五個顯影定影缸內(nèi)進(jìn)行芯片的顯影或定影。
[0023]在所述內(nèi)置磁環(huán)型氣缸的上下運(yùn)動過程中，安裝在所述內(nèi)置磁環(huán)型氣缸上下兩端的磁性光電傳感器9，用于感應(yīng)所述內(nèi)置磁環(huán)型氣缸的上下運(yùn)動是否到位，當(dāng)所述內(nèi)置磁環(huán)型氣缸下降位置到位時，所述磁性光電傳感器9將感應(yīng)到的內(nèi)置磁環(huán)型氣缸下降位置到位的信息傳輸?shù)娇删幊踢壿嬁刂破鳎隹删幊踢?