)及（b)、聚合引發(fā)劑及溶劑等投入反應(yīng)容器中，通過(guò) 用氮?dú)庵脫Q出氧氣，在脫氧氣氣氛下，攪拌、加熱、保溫的方法。并且，此處使用的聚合引發(fā) 劑及溶劑等沒(méi)有特別限制，可使用本領(lǐng)域中通常使用著的物質(zhì)。作為聚合引發(fā)劑，可列舉 如：偶氮化合物（2, 2'-偶氮二異丁腈、2, 2'-偶氮二（2, 4-二甲基戊腈）等）或有機(jī)過(guò) 氧化物（過(guò)氧化苯甲酰等），作為溶劑，只要是溶解各單體的物質(zhì)即可，可列舉出作為本發(fā) 明的感光性樹(shù)脂組合物的溶劑（E)的后述溶劑等。
[0084] 并且，制得的共聚物可以直接使用反應(yīng)后的溶液，也可以使用濃縮或稀釋后的溶 液，還可以使用通過(guò)再沉淀等方法作為固體（粉體）提取出的物質(zhì)。特別是在此聚合時(shí)，通 過(guò)使用與后述溶劑（E)同樣的溶劑作為溶劑，可將反應(yīng)后的溶液直接用于感光性樹(shù)脂組合 物的制備，可簡(jiǎn)化感光性樹(shù)脂組合物的制備工序。
[0085] 在聚合物[A2]中，來(lái)源于各單體的結(jié)構(gòu)單元的比率相對(duì)于構(gòu)成聚合物[A2]的全 結(jié)構(gòu)單元的總摩爾數(shù)，優(yōu)選在以下范圍內(nèi)。
[0086] 來(lái)源于（a)的結(jié)構(gòu)單元；2~40摩爾％ (更優(yōu)選5~35摩爾％ )
[0087] 來(lái)源于（b)的結(jié)構(gòu)單元；2~95摩爾％ (更優(yōu)選5~80摩爾％ )
[0088] 來(lái)源于（c)的結(jié)構(gòu)單元；1~65摩爾％ (更優(yōu)選1~60摩爾％ )
[0089] 此外，來(lái)源于（a)的結(jié)構(gòu)單元與來(lái)源于（b)的結(jié)構(gòu)單元的總量相對(duì)于構(gòu)成聚合物 [A2]的全部結(jié)構(gòu)單元的總摩爾數(shù)，優(yōu)選70~99摩爾％，更優(yōu)選90~99摩爾％。
[0090] 若聚合物[A2]的結(jié)構(gòu)單元的比率在上述范圍內(nèi)，則保存穩(wěn)定性、所得到的涂膜的 耐化學(xué)藥品性、耐熱性及機(jī)械強(qiáng)度趨于優(yōu)異。
[0091] 聚合物[A2]可以按照與聚合物[A1]相同的方法制造。
[0092] 作為聚合物[A1]的具體例，可列舉（甲基）丙烯酸/式（I一 1)的共聚物、（甲 基）丙烯酸/式（I一 2)的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 3)的共聚物、（甲基）丙 烯酸/式（I一 4)的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 5)的共聚物、（甲基）丙烯酸/式 (I一 6)的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 7)的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 8) 的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 9)的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 10)的共聚 物、（甲基）丙烯酸/式（I一 11)的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 12)的共聚物、（甲 基）丙烯酸/式（I一 13)的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 14)的共聚物、（甲基）丙烯 酸/式（I一 15)的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（II一 1)的共聚物、（甲基）丙烯酸/式 (II一 2)的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（II一 3)的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（II一 4) 的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（II一 5)的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（II一 6)的共聚 物、（甲基）丙烯酸/式（II一 7)的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（II一 8)的共聚物、（甲 基）丙烯酸/式（II- 9)的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（II- 10)的共聚物、（甲基）丙 烯酸/式（II- 11)的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（II- 12)的共聚物、（甲基）丙烯酸 /式（II- 13)的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（II- 14)的共聚物、（甲基）丙烯酸/式 (II一 15)的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 1)/式（II一 1)的共聚物、（甲基）丙烯 酸/式（I一 2)/式（II一 2)的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 3)/式（II一 3)的共 聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 4)/式（II一 4)的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 5)/ 式（II一 5)的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 6)/式（II一 6)的共聚物、（甲基）丙烯 酸/式（I一 7) /式（II一 7)的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 8) /式（II一 8)的共聚 物、（甲基）丙烯酸/式（1 - 9)/式（II-9)的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（1 - 10)/ 式（II一 10)的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 11)/式（II一 11)的共聚物、（甲基） 丙烯酸/式（I一 12)/式（II一 12)的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 13)/式（II一 13)的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I- 14)/式（II- 14)的共聚物、（甲基）丙烯酸/ 式（I- 15) /式（II- 15)的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I- 1) /式（I- 7)的共聚物、 (甲基）丙烯酸/式（I- 1) /式（II- 7)的共聚物、巴豆酸/式（I- 1)的共聚物、巴豆 酸/式（I一 2)的共聚物、巴豆酸/式（I一 3)的共聚物、巴豆酸/式（I一 4)的共聚物、 巴豆酸/式（I一 5)的共聚物、巴豆酸/式（I一 6)的共聚物、巴豆酸/式（I一 7)的共聚 物、巴豆酸/式（I一 8)的共聚物、巴豆酸/式（I一 9)的共聚物、巴豆酸/式（I一 10)的 共聚物、巴豆酸/式（I一 11)的共聚物、巴豆酸/式（I一 12)的共聚物、巴豆酸/式（I一 13)的共聚物、巴豆酸/式（I一 14)的共聚物、巴豆酸/式（I一 15)的共聚物、巴豆酸/式 (II一 1)的共聚物、巴豆酸/式（II一 2)的共聚物、巴豆酸/式（II一 3)的共聚物、巴豆 酸/式（Π- 4)的共聚物、巴豆酸/式（II一 5)的共聚物、巴豆酸/式（II一 6)的共聚 物、巴豆酸/式（II一 7)的共聚物、巴豆酸/式（II一 8)的共聚物、巴豆酸/式（II一 9) 的共聚物、巴豆酸/式（II一 10)的共聚物、巴豆酸/式（II一 11)的共聚物、巴豆酸/式 (II- 12)的共聚物、巴豆酸/式（II- 13)的共聚物、巴豆酸/式（II- 14)的共聚物、巴 豆酸/式（II一 15)的共聚物、馬來(lái)酸/式（I一 1)的共聚物、馬來(lái)酸/式（I一 2)的共聚 物、馬來(lái)酸/式（I一 3)的共聚物、馬來(lái)酸/式（I一 4)的共聚物、馬來(lái)酸/式（I一 5)的 共聚物、馬來(lái)酸/式（I一 6)的共聚物、馬來(lái)酸/式（I一 7)的共聚物、馬來(lái)酸/式（I一 8) 的共聚物、馬來(lái)酸/式（I一 9)的共聚物、馬來(lái)酸/式（I一 10)的共聚物、馬來(lái)酸/式（I一 11)的共聚物、馬來(lái)酸/式（I一 12)的共聚物、馬來(lái)酸/式（I一 13)的共聚物、馬來(lái)酸/ 式（1一 14)的共聚物、馬來(lái)酸/式（1一 15)的共聚物、馬來(lái)酸/式（II- 1)的共聚物、馬 來(lái)酸/式（II一 2)的共聚物、馬來(lái)酸/式（II一 3)的共聚物、馬來(lái)酸/式（II一 4)的共 聚物、馬來(lái)酸/式（II一 5)的共聚物、馬來(lái)酸/式（II一 6)的共聚物、馬來(lái)酸/式（II一 7)的共聚物、馬來(lái)酸/式（II一 8)的共聚物、馬來(lái)酸/式（II一 9)的共聚物、馬來(lái)酸/式 (II一 10)的共聚物、馬來(lái)酸/式（II一 11)的共聚物、馬來(lái)酸/式（II一 12)的共聚物、 馬來(lái)酸/式（Π- 13)的共聚物、馬來(lái)酸/式（II- 14)的共聚物、馬來(lái)酸/式（II- 15) 的共聚物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式（I一 1)的共聚物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐 /式（I一 2)的共聚物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式（I一 3)的共聚物、（甲基）丙烯 酸/馬來(lái)酸酐/式（I一 4)的共聚物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式（I一 5)的共聚物、 (甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式（I一 6)的共聚物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式（I一 7)的共聚物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式（I一 8)的共聚物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸 酐/式（I一 9)的共聚物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式（I一 10)的共聚物、（甲基） 丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式（I一 11)的共聚物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式（I一 12)的 共聚物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式（I一 13)的共聚物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/ 式（I一 14)的共聚物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式（I一 15)的共聚物、（甲基）丙烯 酸/馬來(lái)酸酐/式（II一 1)的共聚物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式（II一 2)的共聚 物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式（II一 3)的共聚物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式 (II一 4)的共聚物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式（II一 5)的共聚物、（甲基）丙烯酸 /馬來(lái)酸酐/式（II一 6)的共聚物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式（II一 7)的共聚物、 (甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式（II一 8)的共聚物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式（II一 9)的共聚物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式（II一 10)的共聚物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái) 酸酐/式（II- 11)的共聚物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式（II- 12)的共聚物、（甲 基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式（II- 13)的共聚物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式（II- 14)的共聚物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式（II一 15)的共聚物等。
[0093]作為聚合物[A2]的具體例，可列舉（甲基）丙烯酸/式（I一IV(甲基）丙烯酸 甲酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 2)八甲基）丙烯酸甲酯的共聚物、（甲基）丙烯酸 /式（I一 3V(甲基）丙烯酸甲酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 4V(甲基）丙烯酸 甲酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 5)八甲基）丙烯酸甲酯的共聚物、（甲基）丙烯酸 /式（I一 6V(甲基）丙烯酸甲酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 7V(甲基）丙烯酸 甲酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 8V(甲基）丙烯酸甲酯的共聚物、（甲基）丙烯 酸/式（I一 9V(甲基）丙烯酸甲酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 10V(甲基）丙 烯酸甲酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 11V(甲基）丙烯酸甲酯的共聚物、（甲基） 丙烯酸/式（I一 12V(甲基）丙烯酸甲酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 13V(甲 基）丙烯酸甲酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 14V(甲基）丙烯酸甲酯的共聚物、 (甲基）丙烯酸/式（I一 15V(甲基）丙烯酸甲酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（II一 IV(甲基）丙烯酸甲酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（II一 2V(甲基）丙烯酸甲酯的共 聚物、（甲基）丙烯酸/式（II- 3V(甲基）丙烯酸甲酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式 (II一 4V(甲基）丙烯酸甲酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（II一 5V(甲基）丙烯酸甲 酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（II一 6V(甲基）丙烯酸甲酯的共聚物、（甲基）丙烯酸 /式（II一 7V(甲基）丙烯酸甲酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（II一 8V(甲基）丙烯 酸甲酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（II一 9V(甲基）丙烯酸甲酯的共聚物、（甲基）丙 烯酸/式（II- 10V(甲基）丙烯酸甲酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（II- 11V(甲 基）丙烯酸甲酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（II一 12V(甲基）丙烯酸甲酯的共聚物、 (甲基）丙烯酸/式（II- 13V(甲基）丙烯酸甲酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（II- 14V(甲基）丙烯酸甲酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（II一 15V(甲基）丙烯酸甲酯 的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 1)八甲基）丙烯酸二環(huán)戊基酯的共聚物、（甲基）丙 烯酸/式（II一IV(甲基）丙烯酸二環(huán)戊基酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 1)/ 式（II一IV(甲基）丙烯酸二環(huán)戊基酯的共聚物、巴豆酸/式（I一IV(甲基）丙烯酸二 環(huán)戊基酯的共聚物、馬來(lái)酸/式（I一IV(甲基）丙烯酸二環(huán)戊基酯的共聚物、（甲基）丙 烯酸/馬來(lái)酸酐/式（I一IV(甲基）丙烯酸二環(huán)戊基酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式 (I一 1)八甲基）丙烯酸甲酯八甲基）丙烯酸二環(huán)戊基酯的共聚物、巴豆酸/式（11一1)/ (甲基）丙烯酸二環(huán)戊基酯的共聚物、馬來(lái)酸/式（II一IV(甲基）丙烯酸二環(huán)戊基酯的 共聚物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式（II一IV(甲基）丙烯酸二環(huán)戊基酯的共聚物、 (甲基）丙烯酸/式（II一 1)八甲基）丙烯酸甲酯八甲基）丙烯酸二環(huán)戊基酯的共聚物、 (甲基）丙烯酸/式（I一IV(甲基）丙烯酸苯酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（II一 IV(甲基）丙烯酸苯酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 1)/式（II一IV(甲基）丙 烯酸苯酯的共聚物、巴豆酸/式（I一IV(甲基）丙烯酸苯酯的共聚物、馬來(lái)酸/式（I一 IV(甲基）丙烯酸苯酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式（I一IV(甲基）丙烯 酸苯酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一IV(甲基）丙烯酸甲酯八甲基）丙烯酸苯酯 的共聚物、巴豆酸/式（II一IV(甲基）丙烯酸苯酯的共聚物、馬來(lái)酸/式（II一IV(甲 基）丙烯酸苯酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式（II一IV(甲基）丙烯酸苯酯 的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（II一 1)八甲基）丙烯酸甲酯八甲基）丙烯酸苯酯的共 聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 1)/馬來(lái)酸二乙酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（II一 1)/馬來(lái)酸二乙酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 1)/式（II一 1)/馬來(lái)酸二乙酯的 共聚物、巴豆酸/式（I一 1)/馬來(lái)酸二乙酯的共聚物、馬來(lái)酸/式（I一 1)/馬來(lái)酸二乙酯 的共聚物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式（I一 1)/馬來(lái)酸二乙酯的共聚物、（甲基）丙烯 酸/式（I一IV(甲基）丙烯酸甲酯/馬來(lái)酸二乙酯的共聚物、巴豆酸/式（II一 1)/馬 來(lái)酸二乙酯的共聚物、馬來(lái)酸/式（II一 1)/馬來(lái)酸二乙酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/馬 來(lái)酸酐/式（II一 1)/馬來(lái)酸二乙酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（II一IV(甲基）丙 烯酸甲酯/馬來(lái)酸二乙酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一IV(甲基）丙烯酸-2-羥 乙酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（II一IV(甲基）丙烯酸-2-羥乙酯的共聚物、（甲 基）丙烯酸/式（I一 1)/式（II一IV(甲基）丙烯酸-2-羥乙酯的共聚物、巴豆酸/式 (I一 1)八甲基）丙烯酸-2-羥乙酯的共聚物、馬來(lái)酸/式（1一1)八甲基）丙烯酸-2-羥 乙酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式（I一 1)八甲基）丙烯酸-2-羥乙酯的共聚 物、（甲基）丙烯酸/式（I一IV(甲基）丙烯酸甲酯八甲基）丙烯酸-2-羥乙酯的共聚 物、巴豆酸/式（II-IV(甲基）丙烯酸-2-羥乙酯的共聚物、馬來(lái)酸/式（II-IV(甲 基）丙烯酸-2-羥乙酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式（II一IV(甲基）丙烯 酸-2-羥乙酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（II一IV(甲基）丙烯酸甲酯八甲基）丙 烯酸-2-羥乙酯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 1) /雙環(huán)[2. 2. 1]-2-庚烯的共聚物、 (甲基）丙烯酸/式（II一 1) /雙環(huán)[2. 2. 1]-2_庚烯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 1)/式（II- 1)/雙環(huán)[2. 2.l]-2-庚烯的共聚物、巴豆酸/式（I- 1)/雙環(huán)[2. 2.l]-2-庚 烯的共聚物、馬來(lái)酸/式（I一 1)/雙環(huán)[2.2. 1]-2-庚烯的共聚物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái) 酸酐/式（I一 1) /雙環(huán)[2. 2. 1] -2-庚烯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 1)八甲基） 丙烯酸甲酯/雙環(huán)[2.2. 1]-2_庚烯的共聚物、巴豆酸/式（II一 1)/雙環(huán)[2.2. 1]-2_庚烯 的共聚物、馬來(lái)酸/式（Π- 1)/雙環(huán)[2. 2. 1]-2-庚烯的共聚物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸 酐/式（II- 1) /雙環(huán)[2. 2. 1]-2-庚烯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（II- 1)八甲基） 丙烯酸甲酯/雙環(huán)[2. 2. 1]-2_庚烯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一 1)/N-環(huán)己基馬 來(lái)酰亞胺的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（II一 1)/N-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺的共聚物、（甲 基）丙烯酸/式（I一 1)/式（II一 1)/N-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺的共聚物、巴豆酸/式（I一 1)/N-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺的共聚物、馬來(lái)酸/式（I一 1)/N-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺的共聚物、 (甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式（I一 1)/N-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺的共聚物、（甲基）丙烯酸 /式（I一IV(甲基）丙烯酸甲酯/N-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺的共聚物、巴豆酸/式（II一 1)/ N-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺的共聚物、馬來(lái)酸/式（II一 1)/N-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺的共聚物、 (甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式（II- 1)/N-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺的共聚物、（甲基）丙烯 酸/式（II-IV(甲基）丙烯酸甲酯/N-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺的共聚物、（甲基）丙烯酸 /式（I一 1)/苯乙烯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（II一 1)/苯乙烯的共聚物、（甲基） 丙烯酸/式（I一 1)/式（II一 1)/苯乙烯的共聚物、巴豆酸/式（I一 1)/苯乙烯的共聚 物、馬來(lái)酸/式（I一 1)/苯乙烯的共聚物、（甲基）丙烯酸/馬來(lái)酸酐/式（I一 1)/苯乙 烯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（I一IV(甲基）丙烯酸甲酯/苯乙烯的共聚物、巴豆酸 /式（II- 1)/苯乙烯的共聚物、馬來(lái)酸/式（II- 1)/苯乙烯的共聚物、（甲基）丙烯酸 /馬來(lái)酸酐/式（II一 1)/苯乙烯的共聚物、（甲基）丙烯酸/式（II一IV(甲基）丙烯 酸甲酯/苯乙烯的