主動元件陣列基板的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開一種主動元件陣列基板,包括基板、多條掃描線、多條數(shù)據(jù)線、第一及第二像素結(jié)構(gòu)、第一及第二彩色濾光圖案。掃描線及數(shù)據(jù)線位于基板上,其中掃描線沿第一方向延伸。第一與第二像素結(jié)構(gòu)位于基板上且沿第一方向相鄰設(shè)置,其中第一及第二像素結(jié)構(gòu)分別與掃描線的其中之一及數(shù)據(jù)線的其中之一電性連接。第一與第二彩色濾光圖案位于基板上且分別對應(yīng)第一及第二像素結(jié)構(gòu)設(shè)置,其中第一彩色濾光圖案包含第一孔洞,且第一孔洞是由部分第一彩色濾光圖案以及第一覆蓋部共同環(huán)繞而成,且第一覆蓋部和第二彩色濾光圖案鄰接。
【專利說明】
主動元件陣列基板
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及一種主動元件陣列基板,尤其涉及一種屬于彩色濾光圖案配置于主動元件陣列上(Color filter on Array,C0A)的主動元件陣列基板。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著液晶顯示面板的發(fā)展,高解析度已經(jīng)成為基本需求之一。特別是,為了獲得高解析度,必須在相同面積下布局更多像素,因此像素尺寸越來越小。
[0003]近年來,業(yè)界提出了將彩色濾光圖案整合于主動元件陣列上(Color Filter onArray,C0A)的技術(shù)。由于彩色濾光圖案是直接形成在主動元件陣列上,故彩色濾光圖案與像素結(jié)構(gòu)之間的對位精度不受組立COA基板與對向基板的制程能力限制,借此COA技術(shù)適合用來制造高解析度的顯示面板。
[0004]—般而言,在COA基板中,彩色濾光圖案需要設(shè)置多個封閉式孔洞,以使得位于彩色濾光圖案上方的像素電極能夠通過所述開口與彩色濾光圖案下方的薄膜電晶體電性連接。然而,上述開口之間需保持一定的規(guī)范距離,故在通過將像素的尺寸縮小以達成高解析度的情況下,不但像素結(jié)構(gòu)的布局受到限制,也容易導(dǎo)致顯示面板的開口率低落。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]本發(fā)明提供一種主動元件陣列基板,其具有良好的空間利用率、開口率及可靠度。
[0006]本發(fā)明的主動元件陣列基板包括基板、多條掃描線、多條數(shù)據(jù)線第一像素結(jié)構(gòu)、第二像素結(jié)構(gòu)、第一彩色濾光圖案與第二彩色濾光圖案。掃描線以及數(shù)據(jù)線位于基板上,其中每一掃描線沿第一方向延伸,每一數(shù)據(jù)線沿第二方向延伸,且第一方向與第二方向相交錯。第一像素結(jié)構(gòu)與第二像素結(jié)構(gòu)位于基板上且沿第一方向相鄰設(shè)置,其中第一像素結(jié)構(gòu)及第二像素結(jié)構(gòu)分別與掃描線的其中之一以及數(shù)據(jù)線的其中之一電性連接,第一像素結(jié)構(gòu)包括第一主動元件以及第一像素電極,且第二像素結(jié)構(gòu)包括第二主動元件以及第二像素電極。第一彩色濾光圖案與第二彩色濾光圖案位于基板上且分別對應(yīng)第一像素結(jié)構(gòu)及第二像素結(jié)構(gòu)設(shè)置,其中第一彩色濾光圖案包含第一孔洞,且第一孔洞是由部分第一彩色濾光圖案以及第一覆蓋部共同環(huán)繞而成,且第一覆蓋部和第二彩色濾光圖案鄰接。
[0007]基于上述,在本發(fā)明的主動元件陣列基板中,通過第一彩色濾光圖案包含由部分第一彩色濾光圖案以及覆蓋部共同環(huán)繞而成的孔洞,且所述覆蓋部是和與第一彩色濾光圖案相鄰設(shè)置的第二彩色濾光圖案鄰接,使得主動元件陣列基板可具有良好的空間利用率、開口率及可靠度,并能夠應(yīng)用于高解析度產(chǎn)品上。
[0008]為讓本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點能更明顯易懂,下文特舉實施方式,并配合所附附圖作詳細說明如下。
【附圖說明】
[0009]圖1是依照本發(fā)明一實施方式的主動元件陣列基板的上視示意圖。
[0010]圖2是圖1的主動元件陣列基板中的彩色濾光層的上視示意圖。
[0011]圖3是圖1中的剖線A-A’的剖面示意圖。
[0012]圖4是圖1中的剖線B-B’的剖面示意圖。
[0013]圖5至圖21分別是本發(fā)明另一實施方式的主動元件陣列基板中的彩色濾光層的上視示意圖。
[0014]其中,附圖標(biāo)記說明如下:
[0015]10主動元件陣列基板
[0016]100基板
[0017]IlOa側(cè)邊
[0018]IlOb側(cè)邊
[0019]112a側(cè)邊
[0020]112b側(cè)邊
[0021]120側(cè)邊
[0022]122a側(cè)邊
[0023]122b側(cè)邊
[0024]130a側(cè)邊
[0025]130b側(cè)邊
[0026]132a側(cè)邊
[0027]132b側(cè)邊
[0028]142a側(cè)邊
[0029]142b側(cè)邊
[0030]152a側(cè)邊
[0031]152b側(cè)邊
[0032]160側(cè)邊
[0033]162a側(cè)邊
[0034]162b側(cè)邊
[0035]222a側(cè)邊
[0036]222b側(cè)邊
[0037]252a側(cè)邊
[0038]252b側(cè)邊
[0039]322a側(cè)邊
[0040]322b側(cè)邊
[0041 ]CFl?CF7彩色濾光圖案
[0042]CFL?18CFL彩色濾光層
[0043]CHl?CH4通道層
[0044]CPl覆蓋部
[0045]CP2覆蓋部
[0046]2CP2覆蓋部
[0047]3CP2覆蓋部
[0048]CP3覆蓋部
[0049]CP4覆蓋部
[0050]CP5覆蓋部[0051 ]2CP5覆蓋部
[0052]CP6覆蓋部
[0053]Dl第一方向
[0054]D2第二方向
[0055]DEl ?DE4 漏極
[0056]DLl?DL5數(shù)據(jù)線
[0057]GEl ?GE4 柵極
[0058]GI閘絕緣層
[0059]Hl?H4接觸窗
[0060]Pl?P4像素結(jié)構(gòu)[0061 ]PEl?PE4 像素電極
[0062]PVl絕緣層
[0063]PV2絕緣層
[0064]Q弧形輪廓
[0065]SEl ?SE4 源極
[0066]SLl?SL2掃描線
[0067]Tl?T4主動元件
[0068]U寬度
[0069]u距離
[0070]V孔洞[0071 ]3V孔洞
[0072]12V孔洞
[0073]W孔洞
[0074]2W孔洞
[0075]3W孔洞
[0076]Ilff孔洞
[0077]12W孔洞
[0078]X孔洞
[0079]3X孔洞
[0080]1X孔洞
[0081]12X孔洞
[0082]Y孔洞
[0083]2 Y孔洞
[0084]3Y孔洞
[0085]12Y孔洞
[0086]Z孔洞
[0087]IlZ孔洞
【具體實施方式】
[0088]圖1是依照本發(fā)明一實施方式的主動元件陣列基板的上視示意圖,其中圖1省略繪示部分膜層。圖2是圖1的主動元件陣列基板中的彩色濾光層的上視示意圖。圖3是圖1中的剖線A-A’的剖面示意圖。圖4是圖1中的剖線B-B’的剖面示意圖。
[0089]請同時參照圖1至圖4,主動元件陣列基板10包括基板100、多條掃描線SLl?SL2、多條數(shù)據(jù)線DLl?DL5、多個像素結(jié)構(gòu)Pl?P4以及包括多個彩色濾光圖案CFl?CF6的彩色濾光層CFL。另外,在本實施方式中,主動元件陣列基板10還包括絕緣層PVl以及絕緣層PV2。
[0090]基板100的材質(zhì)可為玻璃、石英、有機聚合物或其類似材質(zhì)。掃描線SLl?SL2、數(shù)據(jù)線DLl?DL5位于基板100上。掃描線SLl?SL2與數(shù)據(jù)線DLl?DL5的延伸方向不相同,較佳的是掃描線SLl?SL2的延伸方向與數(shù)據(jù)線DLl?DL5的延伸方向相交錯。詳細而言,在本實施方式中,掃描線SLl?SL2的延伸方向為第一方向Dl,且數(shù)據(jù)線DLl?DL5的延伸方向為第二方向D2,其中第一方向Dl與第二方向D2相交錯。
[0091]此外,掃描線SLl?SL2與數(shù)據(jù)線DLl?DL5是位于不相同的膜層,且掃描線SLl?SL2與數(shù)據(jù)線DLl?DL5之間夾有閘絕緣層GI(于后文進行詳細描述)。另外,基于導(dǎo)電性的考慮,掃描線SLl?SL2與數(shù)據(jù)線DLl?DL5—般是使用金屬材料。然而,本發(fā)明并不限于此,根據(jù)其他實施方式,掃描線SLl?SL2與數(shù)據(jù)線DLl?DL5也可以使用例如合金、金屬材料的氮化物、金屬材料的氧化物、金屬材料的氮氧化物等的其他導(dǎo)電材料,或是金屬材料與前述其它導(dǎo)電材料的堆疊層。另外一提的是,由于圖1僅繪示出局部的主動元件陣列基板10,因此僅示意性地繪示出其中兩條掃描線SLl?SL2及五條數(shù)據(jù)線DLl?DL5。
[0092]像素結(jié)構(gòu)Pl?P4位于基板100上且沿第一方向Dl相鄰設(shè)置。詳細而言,在本實施方式中,像素結(jié)構(gòu)PI與掃描線SLI及數(shù)據(jù)線DLI電性連接;像素結(jié)構(gòu)P2與掃描線SLI及數(shù)據(jù)線DL2電性連接;像素結(jié)構(gòu)P3與掃描線SLl及數(shù)據(jù)線DL3電性連接;以及像素結(jié)構(gòu)P4與掃描線SLl及數(shù)據(jù)線DL4電性連接。更詳細而言,在本實施方式中,像素結(jié)構(gòu)Pl包括主動元件Tl以及像素電極PEl;像素結(jié)構(gòu)P2包括主動元件T2以及像素電極PE2;像素結(jié)構(gòu)P3包括主動元件T3以及像素電極PE3;以及像素結(jié)構(gòu)P4包括主動元件T4以及像素電極PE4。
[0093]在本實施方式中,主動元件Tl?T4分別可以是薄膜電晶體,其中主動元件Tl包括柵極GEl、通道層CHl、漏極DEI以及源極SE I;主動元件T2包括柵極GE2、通道層CH2、漏極DE2以及源極SE2;主動元件T3包括柵極GE3、通道層CH3、漏極DEl以及源極SE3;以及主動元件T4包括柵極GE4、通道層CH4、漏極DE4以及源極SE4。詳細而言,柵極GEl?GE4與掃描線SLl為一連續(xù)的導(dǎo)電圖案,此表示柵極GEl?GE4與掃描線SLl彼此電性連接,且柵極GEl?GE4與掃描線SLl為同一膜層、具有同一材質(zhì)。另外,源極SEl與數(shù)據(jù)線DLl為一連續(xù)的導(dǎo)電圖案、源極SE2與數(shù)據(jù)線DL2為一連續(xù)的導(dǎo)電圖案、源極SE3與數(shù)據(jù)線DL3為一連續(xù)的導(dǎo)電圖案、及源極SE4與數(shù)據(jù)線DL4為一連續(xù)的導(dǎo)電圖案,此表示源極SEl與數(shù)據(jù)線DLl彼此電性連接、源極SE2與數(shù)據(jù)線DL2彼此電性連接、源極SE3與數(shù)據(jù)線DL3彼此電性連接、源極SE4與數(shù)據(jù)線DL4彼此電性連接,且源極SEl?SE4與數(shù)據(jù)線DLl?DL5為同一膜層、具有同一材質(zhì)。此外,在本實施方式中,通道層CHl?CH4的材料例如是非晶硅材料。
[0094]另外,在本實施方式中,閘絕緣層GI共形地形成在基板100上,且配置在柵極GEl?GE4與通道層CHl?CH4之間。閘絕緣層GI的材料包括無機材料(例如:氧化娃、氮化娃、氮氧化硅、其它合適的材料、或上述至少兩種材料的堆疊層)、有機材料或上述的組合。另外,在本實施方式中,主動元件Tl?T4是以底部柵極型薄膜電晶體為例來說明,但本發(fā)明不限于此。在其他實施方式中,主動元件Tl?T4也可以是頂部柵極型薄膜電晶體。
[0095]另外,絕緣層PVl共形地形成于基板100上,且覆蓋源極SEl?SE4及漏極DEl?DE4,以提供絕緣與保護的功能。絕緣層PVl的材料包括無機材料(例如:氧化硅、氮化硅、氮氧化硅或上述至少兩種材料的堆疊層)、有機材料、或上述的組合,且絕緣層PVl的材質(zhì)可以與閘絕緣層GI相同或不同。
[0096]另外,像素電極PEl?PE4分別與主動元件Tl?T4電性連接。詳細而言,像素電極PEl通過接觸窗Hl與漏極DEl電性連接;像素電極PE2通過接觸窗H2與漏極DE2電性連接;像素電極PE3通過接觸窗H3與漏極DE3電性連接;以及像素電極PE4通過接觸窗H4與漏極DE4電性連接。在本實施方式中,像素電極PEl?PE4的材質(zhì)例如是透明導(dǎo)電層,其包括金屬氧化物,例如是銦錫氧化物(indium-tin-oxide,ITO)、銦鋅氧化物(indium zinc oxide,IZO)、招錫氧化物(aluminum tin oxide,AT0)、招鋅氧化物(aluminum zinc oxide,AZ0)、銦鍺鋅氧化物(indium gallium zinc oxide,IGZO)、或其它合適的氧化物、或者是上述至少兩者的堆疊層。另外,像素電極PEl?PE4可以是本領(lǐng)域技術(shù)人員所周知的任一像素電極。也就是說,像素電極PEl?PE4并不以圖1中所繪的米字型圖案為限。另外一提的是,由于圖1僅繪示出局部的主動元件陣列基板10,因此僅示意性地繪示出四個像素結(jié)構(gòu)Pl?P4。
[0097]彩色濾光圖案CFl?CF6位于基板100上且對應(yīng)像素結(jié)構(gòu)設(shè)置。也就是說,主動元件陣列基板10是彩色濾光圖案配置于主動元件陣列上(Color filter on Array,C0A)的主動元件陣列基板。詳細而言,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF2對應(yīng)像素結(jié)構(gòu)Pl設(shè)置;彩色濾光圖案CF3對應(yīng)像素結(jié)構(gòu)P2設(shè)置;彩色濾光圖案CF4對應(yīng)像素結(jié)構(gòu)P3設(shè)置;以及彩色濾光圖案CF5對應(yīng)像素結(jié)構(gòu)P4設(shè)置。另外,雖然圖1僅示意性地繪示出四個像素結(jié)構(gòu)Pl?P4,但所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者應(yīng)可理解,彩色濾光圖案CFl是對應(yīng)與像素結(jié)構(gòu)PI相鄰的像素結(jié)構(gòu)設(shè)置,而彩色濾光圖案CF6是對應(yīng)與像素結(jié)構(gòu)P4相鄰的像素結(jié)構(gòu)設(shè)置。
[0098]另外,在本實施方式中,彩色濾光圖案CFl?CF6分別是對應(yīng)位在同一行上的像素結(jié)構(gòu)而設(shè)置。然而,本發(fā)明并不限于此。在其他實施方式中,彩色濾光圖案CFl?CF6分別也可以是對應(yīng)一個像素結(jié)構(gòu)而設(shè)置。
[0099]另外,絕緣層PV2形成于基板100上,且覆蓋彩色濾光層CFL,以提供絕緣與保護的功能。絕緣層PV2的材料包括無機材料(例如:氧化娃、氮化娃、氮氧化娃或上述至少兩種材料的堆疊層)、有機材料、或上述的組合,且絕緣層PV2的材質(zhì)可以與閘絕緣層G1、絕緣層PVl相同或不同。
[0100]進一步而言,彩色濾光圖案CFl?CF6分別可以是紅色濾光圖案、綠色濾光圖案或藍色濾光圖案。也就是說,在本實施方式中,彩色濾光層CFL是由三種顏色的濾光圖案所構(gòu)成。具體而言,在本實施方式中,彩色濾光圖案CFl例如是藍色濾光圖案、彩色濾光圖案CF2例如是紅色濾光圖案、彩色濾光圖案CF3例如是綠色濾光圖案、彩色濾光圖案CF4例如是藍色濾光圖案、彩色濾光圖案CF5例如是紅色濾光圖案、及彩色濾光圖案CF6例如是綠色濾光圖案。
[0101 ]另外,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF2包含孔洞V,其中孔洞V是由部分的彩色濾光圖案CF2以及覆蓋部CPl共同環(huán)繞而成,如圖2及圖4所示。詳細而言,請同時參照圖1、圖2及圖4,所述孔洞V對應(yīng)接觸窗Hl設(shè)置,而通過接觸窗Hl與漏極DEl電性連接的像素電極PEl的一部分延伸至孔洞V內(nèi)但卻未延伸至覆蓋部CPl上。也就是說,在本實施方式中,即使在地形較深的孔洞V中,仍可通過微影蝕刻制程形成所預(yù)期的像素電極PE1。
[0102]另外,在本實施方式中,覆蓋部CPl和彩色濾光圖案CF3彼此相鄰接,如圖2及圖4所示。也就是說,在本實施方式中,覆蓋部CPl和彩色濾光圖案CF3為同一膜層、具有同一材質(zhì)。
[0103]另外,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF3和彩色濾光圖案CF2部分地重疊。詳細而言,如圖2及圖3所示,彩色濾光圖案CF3覆蓋住一部分的彩色濾光圖案CF2,其中彩色濾光圖案CF2的側(cè)邊IlOb與彩色濾光圖案CF3重疊。也就是說,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF3是在彩色濾光圖案CF2形成之后才形成的。
[0104]另外,由于覆蓋部CPl和彩色濾光圖案CF3彼此相鄰接,故覆蓋部CPl亦會覆蓋住一部分的彩色濾光圖案CF2。詳細而言,如圖2所示,覆蓋部CPl與彩色濾光圖案CF2部分地重疊,且彩色濾光圖案CF2的與覆蓋部CPl重疊的所述部分具有弧形輪廓Q。值得一提的是,在本實施方式中,在形成彩色濾光圖案CF2之后且形成彩色濾光圖案CF3之前,彩色濾光圖案CF2本身具有一開放式孔洞,而在形成彩色濾光圖案CF3之后,覆蓋部CPl即覆蓋住一部分的所述開放式孔洞以及所述弧形輪廓Q而形成孔洞V ο如此一來,在本實施方式中,通過覆蓋部CPl覆蓋住所述弧形輪廓Q,可避免彩色濾光圖案CF2的弧形輪廓Q(即彩色濾光圖案CF2的轉(zhuǎn)角處)在后續(xù)可靠度試驗中發(fā)生破裂,因而提高可靠度。
[0105]值得一提的是,與彩色濾光圖案中設(shè)置封閉式孔洞的現(xiàn)有主動元件陣列基板相比,通過彩色濾光圖案CF2具有開放式孔洞,使得像素結(jié)構(gòu)Pl可具有較佳的空間利用率,借以提高開口率,并使得孔洞的設(shè)計可不受彩色濾光圖案的制程解析度的限制。如此一來,像素結(jié)構(gòu)Pl能夠被設(shè)計成較小的尺寸,借此使得主動元件陣列基板10可有效地應(yīng)用于高解析度產(chǎn)品上。
[0106]另外,如圖2所示,覆蓋部CPl具有相對的側(cè)邊112a和側(cè)邊112b,其中覆蓋部CPl的側(cè)邊112b與彩色濾光圖案CF2的側(cè)邊IlOb切齊。另外,在本實施方式中,覆蓋部CPl的側(cè)邊1128和側(cè)邊11213之間的最小距離11為241]1至1541]1。
[0107]另外,如圖2所示,彩色濾光圖案CF2和彩色濾光圖案CFl部分地重疊。詳細而言,彩色濾光圖案CFl覆蓋住一部分的彩色濾光圖案CF2,其中彩色濾光圖案CF2的側(cè)邊I 1a與彩色濾光圖案CFl重疊。也就是說,在本實施方式中,彩色濾光圖案CFl是在彩色濾光圖案CF2形成之后才形成的。
[0108]另外,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF3包含孔洞W,其中孔洞W是由部分的彩色濾光圖案CF3以及覆蓋部CP2共同環(huán)繞而成,如圖2及圖4所示。詳細而言,請同時參照圖1、圖2及圖4,所述孔洞W對應(yīng)接觸窗H2設(shè)置,而通過接觸窗H2與漏極DE2電性連接的像素電極PE2的一部分延伸至孔洞W內(nèi)但卻未延伸至覆蓋部CP2上。也就是說,在本實施方式中,即使在地形較深的孔洞W中,仍可通過微影蝕刻制程形成所預(yù)期的像素電極PE2。
[0109]另外,在本實施方式中,覆蓋部CP2和彩色濾光圖案CF4彼此相鄰接,如圖2及圖4所示。也就是說,在本實施方式中,覆蓋部CP2和彩色濾光圖案CF4為同一膜層、具有同一材質(zhì)。
[0110]另外,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF4和彩色濾光圖案CF3部分地重疊。詳細而言,如圖2及圖3所示,彩色濾光圖案CF4覆蓋住一部分的彩色濾光圖案CF3,其中彩色濾光圖案CF3的側(cè)邊120與彩色濾光圖案CF4重疊。也就是說,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF4是在彩色濾光圖案CF3形成之后才形成的。
[0111]另外,由于覆蓋部CP2和彩色濾光圖案CF4彼此相鄰接,故覆蓋部CP2亦會覆蓋住一部分的彩色濾光圖案CF3。詳細而言,如圖2所示,覆蓋部CP2與彩色濾光圖案CF3部分地重疊,且彩色濾光圖案CF3的與覆蓋部CP2重疊的所述部分具有弧形輪廓Q。值得一提的是,在本實施方式中,在形成彩色濾光圖案CF3之后且形成彩色濾光圖案CF4之前,彩色濾光圖案CF3本身具有一開放式孔洞,而在形成彩色濾光圖案CF4之后,覆蓋部CP2即覆蓋住一部分的所述開放式孔洞以及所述弧形輪廓Q而形成孔洞Wο如此一來,在本實施方式中,通過覆蓋部CP2覆蓋住所述弧形輪廓Q,可避免彩色濾光圖案CF3的弧形輪廓Q(即彩色濾光圖案CF3的轉(zhuǎn)角處)在后續(xù)可靠度試驗中發(fā)生破裂,因而提高可靠度。
[0112]值得一提的是,與彩色濾光圖案中設(shè)置封閉式孔洞的現(xiàn)有主動元件陣列基板相比,通過彩色濾光圖案CF3具有開放式孔洞,使得像素結(jié)構(gòu)P2可具有較佳的空間利用率,借以提高開口率,并使得孔洞的設(shè)計可不受彩色濾光圖案的制程解析度的限制。如此一來,像素結(jié)構(gòu)P2能夠被設(shè)計成較小的尺寸,借此使得主動元件陣列基板10可有效地應(yīng)用于高解析度產(chǎn)品上。
[0113]另外,如圖2所示,覆蓋部CP2具有相對的側(cè)邊122a和側(cè)邊122b,其中覆蓋部CP2的側(cè)邊122b與彩色濾光圖案CF3的側(cè)邊120切齊。另外,在本實施方式中,覆蓋部CP2的側(cè)邊122a和側(cè)邊122b之間的最小距離u為2μηι至15μηι。
[0114]另外,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF4包含孔洞X,且孔洞X由彩色濾光圖案CF4圍繞而成。詳細而言,請同時參照圖1、圖2及圖4,所述孔洞X對應(yīng)接觸窗Η3設(shè)置,而通過接觸窗Η3與漏極DE3電性連接的像素電極ΡΕ3的一部分延伸至孔洞X內(nèi)但卻未延伸至彩色濾光圖案CF4上。也就是說,在本實施方式中,即使在地形較深的孔洞X中,仍可通過微影蝕刻制程形成所預(yù)期的像素電極ΡΕ3。
[0115]另外,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF5和彩色濾光圖案CF4部分地重疊。詳細而言,如圖2及圖3所示,彩色濾光圖案CF4覆蓋住一部分的彩色濾光圖案CF5,其中彩色濾光圖案CF5的側(cè)邊130a與彩色濾光圖案CF4重疊。也就是說,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF4是在彩色濾光圖案CF5形成之后才形成的。
[0116]進一步而言,由于彩色濾光圖案CF4是在彩色濾光圖案CF3以及彩色濾光圖案CF5形成之后才形成的(即彩色濾光圖案CF4同時覆蓋與其相鄰的彩色濾光圖案CF3以及彩色濾光圖案CF5),故通過孔洞X為一封閉式孔洞,借此可提高主動元件陣列基板10的可靠度。
[0117]另外,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF5包含孔洞Y,其中孔洞Y是由部分的彩色濾光圖案CF5以及覆蓋部CP3共同環(huán)繞而成,如圖2及圖4所示。詳細而言,請同時參照圖1、圖2及圖4,所述孔洞Y對應(yīng)接觸窗H4設(shè)置,而通過接觸窗H4與漏極DE4電性連接的像素電極PE4的一部分延伸至孔洞Y內(nèi)但卻未延伸至覆蓋部CP3上。也就是說,在本實施方式中,即使在地形較深的孔洞Y中,仍可通過微影蝕刻制程形成所預(yù)期的像素電極PE4。
[0118]另外,在本實施方式中,覆蓋部CP3和彩色濾光圖案CF6彼此相鄰接,如圖2及圖4所示。也就是說,在本實施方式中,覆蓋部CP3和彩色濾光圖案CF6為同一膜層、具有同一材質(zhì)。
[0119]另外,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF6和彩色濾光圖案CF5部分地重疊。詳細而言,如圖2及圖3所示,彩色濾光圖案CF6覆蓋住一部分的彩色濾光圖案CF5,其中彩色濾光圖案CF5的側(cè)邊130b與彩色濾光圖案CF6重疊。也就是說,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF6是在彩色濾光圖案CF5形成之后才形成的。
[0120]另外,由于覆蓋部CP3和彩色濾光圖案CF6彼此相鄰接,故覆蓋部CP3亦會覆蓋住一部分的彩色濾光圖案CF5。詳細而言,如圖2所示,覆蓋部CP3與彩色濾光圖案CF5部分地重疊,且彩色濾光圖案CF5的與覆蓋部CP3重疊的所述部分具有弧形輪廓Q。值得一提的是,在本實施方式中,在形成彩色濾光圖案CF5之后且形成彩色濾光圖案CF6之前,彩色濾光圖案CF5本身具有一開放式孔洞,而在形成彩色濾光圖案CF6之后,覆蓋部CP3即覆蓋住一部分的所述開放式孔洞以及所述弧形輪廓Q而形成孔洞Y ο如此一來,在本實施方式中,通過覆蓋部CP3覆蓋住所述弧形輪廓Q,可避免彩色濾光圖案CF5的弧形輪廓Q(即彩色濾光圖案CF5的轉(zhuǎn)角處)在后續(xù)可靠度試驗中發(fā)生破裂,因而提高可靠度。
[0121]值得一提的是,與彩色濾光圖案中設(shè)置封閉式孔洞的現(xiàn)有主動元件陣列基板相比,通過彩色濾光圖案CF5具有開放式孔洞,使得像素結(jié)構(gòu)P4可具有較佳的空間利用率,借以提高開口率,并使得孔洞的設(shè)計可不受彩色濾光圖案的制程解析度的限制。如此一來,像素結(jié)構(gòu)P4能夠被設(shè)計成較小的尺寸,借此使得主動元件陣列基板10可有效地應(yīng)用于高解析度產(chǎn)品上。
[0122]另外,如圖2所示,覆蓋部CP3具有相對的側(cè)邊132a和側(cè)邊132b,其中覆蓋部CP3的側(cè)邊132b與彩色濾光圖案CF5的側(cè)邊130b切齊。另外,在本實施方式中,覆蓋部CP3的側(cè)邊132a和側(cè)邊132b之間的最小距離u為2μηι至15μηι。
[0123]另外,在上述圖1至圖4的實施方式中,彩色濾光圖案CF2的孔洞V、彩色濾光圖案CF3的孔洞W、彩色濾光圖案CF4的孔洞X、以及彩色濾光圖案CF5的孔洞Y所設(shè)置的位置具有一致的方向。然而,本發(fā)明并不限于此。在其他實施方式中,彩色濾光圖案CF2的孔洞V、彩色濾光圖案CF3的孔洞W、彩色濾光圖案CF4的孔洞X、以及彩色濾光圖案CF5的孔洞Y所設(shè)置的位置也可以具有交錯的方向。以下,將參照圖5進行詳細說明。
[0124]圖5是本發(fā)明另一實施方式的主動元件陣列基板中的彩色濾光層的上視示意圖。請同時參照圖5及圖2,圖5的彩色濾光層2CFL與圖2的彩色濾光層CFL相似,因此相似或相同的構(gòu)件以相似或相同的元件符號表示,且相關(guān)說明即不再贅述。以下,將就兩者間的差異處做說明,兩者相同處請依圖1至圖4中的符號參照前述說明。
[0125]請參照圖5,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF3包含孔洞2W,且孔洞2W由彩色濾光圖案CF3圍繞而成。也就是說,在本實施方式中,孔洞2W為一封閉式孔洞。另外,根據(jù)上文圖1至圖4的實施方式,本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)可理解,彩色濾光圖案CF3中的孔洞2W亦是對應(yīng)用以使像素電極與漏極電性連接的接觸窗而設(shè)置,且所述像素電極的一部分延伸至孔洞2W內(nèi)但卻未延伸至彩色濾光圖案CF3上。
[0126]另外,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF2的孔洞V與彩色濾光圖案CF3的孔洞2W的配置方向是相反的。
[0127]值得一提的是,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF2的孔洞V與彩色濾光圖案CF3的孔洞2W之間仍存在有覆蓋部CPl及彩色濾光圖案CF3,且與孔洞V及孔洞2W對應(yīng)設(shè)置的像素電極皆不會延伸至覆蓋部CP及彩色濾光圖案CF3上,借此搭配彩色濾光圖案CF2及彩色濾光圖案CF3的像素結(jié)構(gòu)不易發(fā)生短路問題,進而提升制程良率。
[0128]另外,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF5包含孔洞2Υ,其中孔洞2Υ是由部分的彩色濾光圖案CF5以及覆蓋部2CP2共同環(huán)繞而成。根據(jù)上文圖1至圖4的實施方式,本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)可理解,彩色濾光圖案CF5中的孔洞2Y亦是對應(yīng)用以使像素電極與漏極電性連接的接觸窗而設(shè)置,且所述像素電極的一部分延伸至孔洞2Y內(nèi)但卻未延伸至覆蓋部2CP2上。
[0129]另外,在本實施方式中,覆蓋部2CP2和彩色濾光圖案CF4彼此相鄰接。也就是說,在本實施方式中,覆蓋部2CP2和彩色濾光圖案CF4為同一膜層、具有同一材質(zhì)。
[0130]另外,由于覆蓋部2CP2和彩色濾光圖案CF4彼此相鄰接,且彩色濾光圖案CF4覆蓋住一部分的彩色濾光圖案CF5,故覆蓋部2CP2亦會覆蓋住一部分的彩色濾光圖案CF5。詳細而言,覆蓋部2CP2與彩色濾光圖案CF5部分地重疊,且彩色濾光圖案CF5的與覆蓋部2CP2重疊的所述部分具有弧形輪廓Q。值得一提的是,在本實施方式中,在形成彩色濾光圖案CF5之后且形成彩色濾光圖案CF4之前,彩色濾光圖案CF5本身具有一開放式孔洞,而在形成彩色濾光圖案CF4之后,覆蓋部2CP2即覆蓋住一部分的所述開放式孔洞以及所述弧形輪廓Q而形成孔洞2Y ο如此一來,在本實施方式中,通過覆蓋部2CP2覆蓋住所述弧形輪廓Q,可避免彩色濾光圖案CF5的弧形輪廓Q(即彩色濾光圖案CF5的轉(zhuǎn)角處)在后續(xù)可靠度試驗中發(fā)生破裂,因而提高可靠度。
[0131]值得一提的是,與彩色濾光圖案中設(shè)置封閉式孔洞的現(xiàn)有主動元件陣列基板相比,通過彩色濾光圖案CF5具有開放式孔洞,使得搭配彩色濾光圖案CF5的像素結(jié)構(gòu)可具有較佳的空間利用率,借以提高開口率,并使得孔洞的設(shè)計可不受彩色濾光圖案的制程解析度的限制。如此一來,所述像素結(jié)構(gòu)能夠被設(shè)計成較小的尺寸,借此使得具有彩色濾光層2CFL的主動元件陣列基板可有效地應(yīng)用于高解析度產(chǎn)品上。
[0132]另外,在本實施方式中,覆蓋部2CP2具有相對的側(cè)邊222a和側(cè)邊222b,其中覆蓋部2CP2的側(cè)邊222b與彩色濾光圖案CF5的側(cè)邊130a切齊。另外,在本實施方式中,覆蓋部2CP2的側(cè)邊222a和側(cè)邊222b之間的最小距離u為2μηι至15μηι。
[0133]另外,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF4的孔洞X與彩色濾光圖案CF5的孔洞2Υ的配置方向是相反的。
[0134]同樣地,值得一提的是,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF4的孔洞X與彩色濾光圖案CF5的孔洞2Υ之間仍存在有覆蓋部2CP2及彩色濾光圖案CF4,且與孔洞X及孔洞2Υ對應(yīng)設(shè)置的像素電極皆不會延伸至覆蓋部2CP2及彩色濾光圖案CF4上,借此搭配彩色濾光圖案CF4及彩色濾光圖案CF5的像素結(jié)構(gòu)不易發(fā)生短路問題,進而提升制程良率。
[0135]另外,在前述圖1至圖4的實施方式中,彩色濾光圖案CF2?CF5分別都只有一個孔洞,即彩色濾光圖案CF2具有孔洞V、彩色濾光圖案CF3具有孔洞W、彩色濾光圖案CF4具有孔洞X、以及彩色濾光圖案CF5具有孔洞Y。然而,本發(fā)明并不限于此。在其他實施方式中,彩色濾光圖案CF2?CF5分別也可以具有一個以上的孔洞。以下,將參照圖6進行詳細說明。
[0136]圖6是本發(fā)明另一實施方式的主動元件陣列基板中的彩色濾光層的上視示意圖。請同時參照圖6及圖2,圖6的彩色濾光層3CFL與圖2的彩色濾光層CFL相似,因此相似或相同的構(gòu)件以相似或相同的元件符號表示,且相關(guān)說明即不再贅述。以下,將就兩者間的差異處做說明,兩者相同處請依圖1至圖4中的符號參照前述說明。
[0137]請參照圖6,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF2除了包含孔洞V外,還包含孔洞3V,其中孔洞3V是由部分的彩色濾光圖案CF2以及覆蓋部CP4共同環(huán)繞而成。根據(jù)上文圖1至圖4的實施方式,本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)可理解,彩色濾光圖案CF2中的孔洞3V亦是對應(yīng)用以使像素電極與漏極電性連接的接觸窗而設(shè)置,且所述像素電極的一部分延伸至孔洞3V內(nèi)但卻未延伸至覆蓋部CP4上。
[0138]另外,在本實施方式中,覆蓋部CP4和彩色濾光圖案CFl彼此相鄰接。也就是說,在本實施方式中,覆蓋部CP4和彩色濾光圖案CFl為同一膜層、具有同一材質(zhì)。
[0139]另外,由于覆蓋部CP4和彩色濾光圖案CFl彼此相鄰接且彩色濾光圖案CFl覆蓋住一部分的彩色濾光圖案CF2,故覆蓋部CP4亦會覆蓋住一部分的彩色濾光圖案CF2。詳細而言,覆蓋部CP4與彩色濾光圖案CF2部分地重疊,且彩色濾光圖案CF2的與覆蓋部CP4重疊的所述部分具有弧形輪廓Q。值得一提的是,在本實施方式中,在形成彩色濾光圖案CF2之后且形成彩色濾光圖案CFl之前,彩色濾光圖案CF2本身具有一開放式孔洞,而在形成彩色濾光圖案CFl之后,覆蓋部CP4即覆蓋住一部分的所述開放式孔洞以及所述弧形輪廓Q而形成孔洞3V。如此一來,在本實施方式中,通過覆蓋部CP4覆蓋住所述弧形輪廓Q,可避免彩色濾光圖案CF2的弧形輪廓Q(即彩色濾光圖案CF2的轉(zhuǎn)角處)在后續(xù)可靠度試驗中發(fā)生破裂,因而提高可靠度。
[0140]值得一提的是,與彩色濾光圖案中設(shè)置封閉式孔洞的現(xiàn)有主動元件陣列基板相比,通過彩色濾光圖案CF2具有開放式孔洞,使得搭配彩色濾光圖案CF2的像素結(jié)構(gòu)可具有較佳的空間利用率,借以提高開口率,并使得孔洞的設(shè)計可不受彩色濾光圖案的制程解析度的限制。如此一來,所述像素結(jié)構(gòu)能夠被設(shè)計成較小的尺寸,借此使得具有彩色濾光層3CFL的主動元件陣列基板可有效地應(yīng)用于高解析度產(chǎn)品上。
[0141]另外,在本實施方式中,覆蓋部CP4具有相對的側(cè)邊142a和側(cè)邊142b,其中覆蓋部CP4的側(cè)邊142b與彩色濾光圖案CF2的側(cè)邊IlOa切齊。另外,在本實施方式中,覆蓋部CP4的側(cè)邊142a和側(cè)邊142b之間的最小距離u為2μηι至15μηι。
[0142]另外,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF3除了包含孔洞W外,還包含孔洞3W,其中孔洞3W由彩色濾光圖案CF3圍繞而成。也就是說,在本實施方式中,孔洞3W為一封閉式孔洞。另外,根據(jù)上文圖1至圖4的實施方式,本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)可理解,彩色濾光圖案CF3中的孔洞3W亦是對應(yīng)用以使像素電極與漏極電性連接的接觸窗而設(shè)置,且所述像素電極的一部分延伸至孔洞3W內(nèi)但卻未延伸至彩色濾光圖案CF3上。
[0143]另外,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF4除了包含孔洞X外,還包含孔洞3Χ,其中孔洞3Χ由彩色濾光圖案CF4圍繞而成。也就是說,在本實施方式中,孔洞3Χ為一封閉式孔洞。另外,根據(jù)上文圖1至圖4的實施方式,本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)可理解,彩色濾光圖案CF4中的孔洞3Χ亦是對應(yīng)用以使像素電極與漏極電性連接的接觸窗而設(shè)置,且所述像素電極的一部分延伸至孔洞3Χ內(nèi)但卻未延伸至彩色濾光圖案CF4上。
[0144]另外,彩色濾光圖案CF5除了包含孔洞Y外,還包含孔洞3Υ,其中孔洞3Υ是由部分的彩色濾光圖案CF5以及覆蓋部3CP2共同環(huán)繞而成。根據(jù)上文圖1至圖4的實施方式,本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)可理解,彩色濾光圖案CF5中的孔洞3Υ亦是對應(yīng)用以使像素電極與漏極電性連接的接觸窗而設(shè)置,且所述像素電極的一部分延伸至孔洞3Υ內(nèi)但卻未延伸至覆蓋部3CP2上。
[0145]另外,在本實施方式中,覆蓋部3CP2和彩色濾光圖案CF4彼此相鄰接。也就是說,在本實施方式中,覆蓋部3CP2和彩色濾光圖案CF4為同一膜層、具有同一材質(zhì)。
[0146]另外,由于覆蓋部3CP2和彩色濾光圖案CF4彼此相鄰接,且彩色濾光圖案CF4覆蓋住一部分的彩色濾光圖案CF5,故覆蓋部3CP2亦會覆蓋住一部分的彩色濾光圖案CF5。詳細而言,覆蓋部3CP2與彩色濾光圖案CF5部分地重疊,且彩色濾光圖案CF5的與覆蓋部3CP2重疊的所述部分具有弧形輪廓Q。值得一提的是,在本實施方式中,在形成彩色濾光圖案CF5之后且形成彩色濾光圖案CF4之前,彩色濾光圖案CF5本身具有一開放式孔洞,而在形成彩色濾光圖案CF4之后,覆蓋部3CP2即覆蓋住一部分的所述開放式孔洞以及所述弧形輪廓Q而形成孔洞3Y ο如此一來,在本實施方式中,通過覆蓋部3CP2覆蓋住所述弧形輪廓Q,可避免彩色濾光圖案CF5的弧形輪廓Q(即彩色濾光圖案CF5的轉(zhuǎn)角處)在后續(xù)可靠度試驗中發(fā)生破裂,因而提高可靠度。
[0147]值得一提的是,與彩色濾光圖案中設(shè)置封閉式孔洞的現(xiàn)有主動元件陣列基板相比,通過彩色濾光圖案CF5具有開放式孔洞,使得搭配彩色濾光圖案CF5的像素結(jié)構(gòu)可具有較佳的空間利用率,借以提高開口率,并使得孔洞的設(shè)計可不受彩色濾光圖案的制程解析度的限制。如此一來,所述像素結(jié)構(gòu)能夠被設(shè)計成較小的尺寸,借此使得具有彩色濾光層3CFL的主動元件陣列基板可有效地應(yīng)用于高解析度產(chǎn)品上。
[0148]另外,在本實施方式中,覆蓋部3CP2具有相對的側(cè)邊322a和側(cè)邊322b,其中覆蓋部3CP2的側(cè)邊322b與彩色濾光圖案CF5的側(cè)邊130a切齊。另外,在本實施方式中,覆蓋部3CP2的側(cè)邊322a和側(cè)邊322b之間的最小距離u為2μηι至15μηι。
[0149]另外,在前述圖1至圖4、圖5及圖6的實施方式中,任一覆蓋部的相對設(shè)置的兩側(cè)邊之間的最小距離u皆為2μηι至15μηι,例如覆蓋部CPl的側(cè)邊112a和側(cè)邊112b之間的最小距離u為2μπι至15μπι。然而,本發(fā)明并不限于此。在其他實施方式中,覆蓋部的相對設(shè)置的兩側(cè)邊之間的最小距離也可以是介在其他范圍之間。以下,將參照圖7至圖12進行詳細說明。
[0150]圖7是本發(fā)明另一實施方式的主動元件陣列基板中的彩色濾光層的上視示意圖。請同時參照圖7及圖2,圖7的彩色濾光層4CFL與圖2的彩色濾光層CFL相似,因此相似或相同的構(gòu)件以相似或相同的元件符號表示,且相關(guān)說明即不再贅述。以下,將就兩者間的差異處做說明,兩者相同處請依圖1至圖4中的符號參照前述說明。
[0151 ]詳細而言,請同時參照圖7及圖2,圖7的彩色濾光層4CFL與圖2的彩色濾光層CFL之間的差異主要在于:在圖7的實施方式中,覆蓋部CPl的側(cè)邊112a和側(cè)邊112b之間的最小距離U、覆蓋部CP2的側(cè)邊122a和側(cè)邊122b之間的最小距離U、以及覆蓋部CP3的側(cè)邊132a和側(cè)邊132b之間的最小距離u皆為5μπι至25μπι;而在圖2的實施方式中,覆蓋部CPl的側(cè)邊112a和側(cè)邊112b之間的最小距離U、覆蓋部CP2的側(cè)邊122a和側(cè)邊122b之間的最小距離U、以及覆蓋部CP3的側(cè)邊132a和側(cè)邊132b之間的最小距離u皆介于2μπι至15μπι之間。
[0152]值得說明的是,在本實施方式中,通過覆蓋部CPl的側(cè)邊112a和側(cè)邊112b之間的最小距離U、覆蓋部CP2的側(cè)邊122a和側(cè)邊122b之間的最小距離U、以及覆蓋部CP3的側(cè)邊132a和側(cè)邊132b之間的最小距離u皆介5μπι至25μπι之間,使得覆蓋部CPl、覆蓋部CP2及覆蓋部CP3能夠更完整地覆蓋住彩色濾光圖案CF2、彩色濾光圖案CF3及彩色濾光圖案CF5的轉(zhuǎn)角處,借此更進一步提高可靠度。
[0153]圖8是本發(fā)明另一實施方式的主動元件陣列基板中的彩色濾光層的上視示意圖。請同時參照圖8及圖5,圖8的彩色濾光層5CFL與圖5的彩色濾光層2CFL相似,因此相似或相同的構(gòu)件以相似或相同的元件符號表示,且相關(guān)說明即不再贅述。以下,將就兩者間的差異處做說明,兩者相同處請依圖1至圖5中的符號參照前述說明。
[0154]詳細而言,請同時參照圖8及圖5,圖8的彩色濾光層5CFL與圖5的彩色濾光層2CFL之間的差異主要在于:在圖8的實施方式中,覆蓋部CPl的側(cè)邊112a和側(cè)邊112b之間的最小距離U、以及覆蓋部2CP2的側(cè)邊222a和側(cè)邊222b之間的最小距離u皆介于5μηι至25μηι之間;而在圖5的實施方式中,覆蓋部CPl的側(cè)邊112a和側(cè)邊112b之間的最小距離u、以及覆蓋部2CP2的側(cè)邊222a和側(cè)邊222b之間的最小距離u皆介于2μηι至15μηι之間。
[0155]值得說明的是,在本實施方式中,通過覆蓋部CPl的側(cè)邊112a和側(cè)邊112b之間的最小距離U、以及覆蓋部2CP2的側(cè)邊222a和側(cè)邊222b之間的最小距離u皆介于5μπι至25μπι之間,使得覆蓋部CPl及覆蓋部2CP2能夠更完整地覆蓋住彩色濾光圖案CF2及彩色濾光圖案CF5的轉(zhuǎn)角處,借此更進一步提高可靠度。
[0156]另外,在本實施方式中,通過覆蓋部CPl的側(cè)邊112a和側(cè)邊112b之間的最小距離U、以及覆蓋部2CP2的側(cè)邊222a和側(cè)邊222b之間的最小距離u皆介于5μπι至25μπι之間,使得與圖5的實施方式相比,孔洞2W能夠設(shè)置在更靠近孔洞V的位置以及孔洞X能夠設(shè)置在更靠近孔洞2Υ的位置。如此一來,在本實施方式中,搭配彩色濾光圖案CF3及彩色濾光圖案CF4的像素結(jié)構(gòu)能夠具有較佳的空間利用率,借以提高開口率。
[0157]圖9是本發(fā)明另一實施方式的主動元件陣列基板中的彩色濾光層的上視示意圖。請同時參照圖9及圖6,圖9的彩色濾光層6CFL與圖6的彩色濾光層3CFL相似,因此相似或相同的構(gòu)件以相似或相同的元件符號表示,且相關(guān)說明即不再贅述。以下,將就兩者間的差異處做說明,兩者相同處請依圖1至圖4、圖6中的符號參照前述說明。
[0158]詳細而言,請同時參照圖9及圖6,圖9的彩色濾光層6CFL與圖6的彩色濾光層3CFL之間的差異主要在于:在圖9的實施方式中,覆蓋部CPl的側(cè)邊112a和側(cè)邊112b之間的最小距離U、覆蓋部CP2的側(cè)邊122a和側(cè)邊122b之間的最小距離U、覆蓋部CP3的側(cè)邊132a和側(cè)邊132b之間的最小距離U、覆蓋部3CP2的側(cè)邊322a和側(cè)邊322b之間的最小距離U、以及覆蓋部CP4的側(cè)邊142a和側(cè)邊142b之間的最小距離u皆介于5μηι至25μηι之間;而在圖6的實施方式中,覆蓋部CPl的側(cè)邊112a和側(cè)邊112b之間的最小距離U、覆蓋部CP2的側(cè)邊122a和側(cè)邊122b之間的最小距離u、覆蓋部CP3的側(cè)邊132a和側(cè)邊132b之間的最小距離u、覆蓋部3CP2的側(cè)邊322a和側(cè)邊322b之間的最小距離U、以及覆蓋部CP4的側(cè)邊142a和側(cè)邊142b之間的最小距離u皆介于2μηι至15μηι之間。
[0159]值得說明的是,在本實施方式中,通過覆蓋部CPl的側(cè)邊112a和側(cè)邊112b之間的最小距離U、覆蓋部CP2的側(cè)邊122a和側(cè)邊122b之間的最小距離U、覆蓋部CP3的側(cè)邊132a和側(cè)邊132b之間的最小距離U、覆蓋部3CP2的側(cè)邊322a和側(cè)邊322b之間的最小距離U、以及覆蓋部CP4的側(cè)邊142a和側(cè)邊142b之間的最小距離u皆介于5μπι至25μπι之間,使得覆蓋部CP1、覆蓋部CP2、覆蓋部CP3、覆蓋部3CP2及覆蓋部CP4能夠更完整地覆蓋住彩色濾光圖案CF2、彩色濾光圖案CF3、及彩色濾光圖案CF5的轉(zhuǎn)角處,借此更進一步提高可靠度。
[0160]另外,在本實施方式中,通過覆蓋部CPl的側(cè)邊112a和側(cè)邊112b之間的最小距離U、覆蓋部CP2的側(cè)邊122a和側(cè)邊122b之間的最小距離U、覆蓋部CP3的側(cè)邊132a和側(cè)邊132b之間的最小距離U、覆蓋部3CP2的側(cè)邊322a和側(cè)邊322b之間的最小距離U、以及覆蓋部CP4的側(cè)邊142a和側(cè)邊142b之間的最小距離u皆介于5μπι至25μπι之間,使得與圖6的實施方式相比,孔洞3W能夠設(shè)置在更靠近孔洞V的位置、孔洞3Χ能夠設(shè)置在更靠近孔洞W的位置、以及孔洞X能夠設(shè)置在更靠近孔洞3Υ的位置。如此一來,在本實施方式中,搭配彩色濾光圖案CF3及彩色濾光圖案CF4的像素結(jié)構(gòu)能夠具有較佳的空間利用率,借以提高開口率。
[0161]圖10是本發(fā)明另一實施方式的主動元件陣列基板中的彩色濾光層的上視示意圖。請同時參照圖10及圖2,圖10的彩色濾光層7CFL與圖2的彩色濾光層CFL相似,因此相似或相同的構(gòu)件以相似或相同的元件符號表示,且相關(guān)說明即不再贅述。以下,將就兩者間的差異處做說明,兩者相同處請依圖1至圖4中的符號參照前述說明。
[0162]詳細而言,請同時參照圖10及圖2,圖10的彩色濾光層7CFL與圖2的彩色濾光層CFL之間的差異主要在于:圖10的實施方式中孔洞V的鄰近于覆蓋部CP1、孔洞W的鄰近于覆蓋部CP2、以及孔洞Y的鄰近覆蓋部CP3的寬度U皆小于圖2的實施方式中孔洞V的鄰近于覆蓋部CP、孔洞W的鄰近于覆蓋部CP2、以及孔洞Y的鄰近覆蓋部CP3的寬度U。
[0163]值得說明的是,如前文所述,由于圖10的實施方式中孔洞V的鄰近于覆蓋部CPljL洞W的鄰近于覆蓋部CP2、以及孔洞Y的鄰近覆蓋部CP3的寬度U皆小于圖2的實施方式中孔洞V的鄰近于覆蓋部CP、孔洞W的鄰近于覆蓋部CP2、以及孔洞Y的鄰近覆蓋部CP3的寬度U,故在圖10的實施方式中,通過覆蓋部CPl的側(cè)邊112a和側(cè)邊112b之間的最小距離U、覆蓋部CP2的側(cè)邊122a和側(cè)邊122b之間的最小距離U、以及覆蓋部CP3的側(cè)邊132a和側(cè)邊132b之間的最小距離u皆介于2μπι至15μπι之間,即可使得覆蓋部CP1、覆蓋部CP2及覆蓋部CP3能夠有效地覆蓋住彩色濾光圖案CF2、彩色濾光圖案CF3及彩色濾光圖案CF5的轉(zhuǎn)角處,借以提高可靠度。
[0164]圖11是本發(fā)明另一實施方式的主動元件陣列基板中的彩色濾光層的上視示意圖。請同時參照圖11及圖5,圖11的彩色濾光層8CFL與圖5的彩色濾光層2CFL相似,因此相似或相同的構(gòu)件以相似或相同的元件符號表示,且相關(guān)說明即不再贅述。以下,將就兩者間的差異處做說明,兩者相同處請依圖1至圖5中的符號參照前述說明。
[0165]詳細而言,請同時參照圖11及圖5,圖11的彩色濾光層8CFL與圖5的彩色濾光層2CFL之間的差異主要在于:圖11的實施方式中孔洞V的鄰近于覆蓋部CPl、以及孔洞2Υ的鄰近覆蓋部2CP2的寬度U皆小于圖5的實施方式中孔洞V的鄰近于覆蓋部CPl、以及孔洞2Υ的鄰近覆蓋部2CP2的寬度U。
[0166]值得說明的是,如前文所述,由于圖11的實施方式中孔洞V的鄰近于覆蓋部CP1、以及孔洞2Υ的鄰近覆蓋部2CP2的寬度U皆小于圖5的實施方式中孔洞V的鄰近于覆蓋部CPl、以及孔洞2Υ的鄰近覆蓋部2CP2的寬度U,故在圖11的實施方式中,通過覆蓋部CPl的側(cè)邊112a和側(cè)邊112b之間的最小距離u、以及覆蓋部2CP2的側(cè)邊222a和側(cè)邊222b之間的最小距離u皆介于2μπι至15μπι之間,即可使得覆蓋部CPl以及覆蓋部2CP2能夠有效地覆蓋住彩色濾光圖案CF2及彩色濾光圖案CF5的轉(zhuǎn)角處,借以提高可靠度。
[0167]圖12是本發(fā)明另一實施方式的主動元件陣列基板中的彩色濾光層的上視示意圖。請同時參照圖12及圖6,圖12的彩色濾光層9CFL與圖6的彩色濾光層3CFL相似,因此相似或相同的構(gòu)件以相似或相同的元件符號表示,且相關(guān)說明即不再贅述。以下,將就兩者間的差異處做說明,兩者相同處請依圖1至圖4、圖6中的符號參照前述說明。
[0168]詳細而言,請同時參照圖12及圖6,圖12的彩色濾光層9CFL與圖6的彩色濾光層3CFL之間的差異主要在于:圖12的實施方式中孔洞V的鄰近于覆蓋部CP1、孔洞W的鄰近于覆蓋部CP2、孔洞Y的鄰近覆蓋部CP3、孔洞3Υ的鄰近覆蓋部3CP2、以及孔洞3V的鄰近于覆蓋部CP4的寬度U皆小于圖6的實施方式中孔洞V的鄰近于覆蓋部CPl、孔洞W的鄰近于覆蓋部CP2、孔洞Y的鄰近覆蓋部CP3、孔洞3Υ的鄰近覆蓋部3CP2以及孔洞3V的鄰近于覆蓋部CP4的寬度U0
[0169]值得說明的是,如前文所述,由于圖12的實施方式中孔洞V的鄰近于覆蓋部CPljL洞W的鄰近于覆蓋部CP2、孔洞Y的鄰近覆蓋部CP3、孔洞3Y的鄰近覆蓋部3CP2、以及孔洞3V的鄰近于覆蓋部CP4的寬度U皆小于圖6的實施方式中孔洞V的鄰近于覆蓋部CP1、孔洞W的鄰近于覆蓋部CP2、孔洞Y的鄰近覆蓋部CP3、孔洞3Y的鄰近覆蓋部3CP2以及孔洞3V的鄰近于覆蓋部CP4的寬度U,故在圖11的實施方式中,通過覆蓋部CPl的側(cè)邊112a和側(cè)邊112b之間的最小距離U、覆蓋部CP2的側(cè)邊122a和側(cè)邊122b之間的最小距離U、覆蓋部CP3的側(cè)邊132a和側(cè)邊132b之間的最小距離U、覆蓋部3CP2的側(cè)邊322a和側(cè)邊322b之間的最小距離U、以及覆蓋部CP4的側(cè)邊142a和側(cè)邊142b之間的最小距離u皆介于2μπι至15μπι之間,即可使得覆蓋部CP1、覆蓋部CP2、覆蓋部CP3、覆蓋部3CP2及覆蓋部CP4能夠有效地覆蓋住彩色濾光圖案CF2、彩色濾光圖案CF3及彩色濾光圖案CF5的轉(zhuǎn)角處,借以提高可靠度。
[0170]另外,在前述圖1至圖12的實施方式中,彩色濾光層CFL?9CFL分別皆是由紅色濾光圖案、綠色濾光圖案及藍色濾光圖案所構(gòu)成。然而,本發(fā)明并不限于此。在其他實施方式中,彩色濾光層也可以是由紅色濾光圖案、綠色濾光圖案、藍色濾光圖案以及白色濾光圖案所構(gòu)成。以下,將參照圖13至圖21進行詳細說明。
[0171]圖13是本發(fā)明另一實施方式的主動元件陣列基板中的彩色濾光層的上視示意圖。請同時參照圖13及圖2,圖13的彩色濾光層10CFL與圖2的彩色濾光層CFL相似,因此相似或相同的構(gòu)件以相似或相同的元件符號表示,且相關(guān)說明即不再贅述。以下,將就兩者間的差異處做說明,兩者相同處請依圖1至圖4中的符號參照前述說明。
[0172]請參照圖13,在本實施方式中,彩色濾光層10CFL除了包括彩色濾光圖案CFl?CF6夕卜,還包括彩色濾光圖案CF7。詳細而言,在本實施方式中,彩色濾光圖案CFl?CF7分別可以是紅色濾光圖案、綠色濾光圖案、藍色濾光圖案或白色濾光圖案。也就是說,在本實施方式中,彩色濾光層10CFL是由四種顏色的濾光圖案所構(gòu)成。具體而言,在本實施方式中,彩色濾光圖案CFl例如是白色濾光圖案、彩色濾光圖案CF2例如是紅色濾光圖案、彩色濾光圖案CF3例如是綠色濾光圖案、彩色濾光圖案CF4例如是藍色濾光圖案、彩色濾光圖案CF5例如是紅色濾光圖案、彩色濾光圖案CF6例如是綠色濾光圖案、及彩色濾光圖案CF7例如是白色濾光圖案。
[0173]在本實施方式中,彩色濾光圖案CF4包含孔洞10Χ,且孔洞1X是由部分彩色濾光圖案CF4以及覆蓋部CP5共同環(huán)繞而成。根據(jù)上文圖1至圖4的實施方式,本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)可理解,彩色濾光圖案CF4中的孔洞1X亦是對應(yīng)用以使像素電極與漏極電性連接的接觸窗而設(shè)置,且所述像素電極的一部分延伸至孔洞1X內(nèi)但卻未延伸至覆蓋部CP5上。
[0174]另外,在本實施方式中,覆蓋部CP5和彩色濾光圖案CF7彼此相鄰接。也就是說,在本實施方式中,覆蓋部CP5和彩色濾光圖案CF7為同一膜層、具有同一材質(zhì)。
[0175]另外,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF7和彩色濾光圖案CF4部分地重疊。詳細而言,彩色濾光圖案CF7覆蓋住一部分的彩色濾光圖案CF4,其中彩色濾光圖案CF4的側(cè)邊160與彩色濾光圖案CF7重疊。也就是說,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF7是在彩色濾光圖案CF4形成之后才形成的。
[0176]進一步而言,由于覆蓋部CP5和彩色濾光圖案CF7彼此相鄰接,故覆蓋部CP5亦會覆蓋住一部分的彩色濾光圖案CF4ο詳細而言,覆蓋部CP5與彩色濾光圖案CF4部分地重疊,且彩色濾光圖案CF4的與覆蓋部CP5重疊的所述部分具有弧形輪廓Q。值得一提的是,在本實施方式中,在形成彩色濾光圖案CF4之后且形成彩色濾光圖案CF7之前,彩色濾光圖案CF4本身具有一開放式孔洞,而在形成彩色濾光圖案CF7之后,覆蓋部CP5即覆蓋住一部分的所述開放式孔洞以及所述弧形輪廓Q而形成孔洞1Xο如此一來,在本實施方式中,通過覆蓋部CP5覆蓋住所述弧形輪廓Q,可避免彩色濾光圖案CF4的弧形輪廓Q(即彩色濾光圖案CF4的轉(zhuǎn)角處)在后續(xù)可靠度試驗中發(fā)生破裂,因而提高可靠度。
[0177]值得一提的是,與彩色濾光圖案中設(shè)置封閉式孔洞的現(xiàn)有主動元件陣列基板相比,通過彩色濾光圖案CF4具有開放式孔洞,使得搭配彩色濾光圖案CF4的像素結(jié)構(gòu)可具有較佳的空間利用率,借以提高開口率,并使得孔洞的設(shè)計可不受彩色濾光圖案的制程解析度的限制。如此一來,所述像素結(jié)構(gòu)能夠被設(shè)計成較小的尺寸,借此使得具有彩色濾光層10CFL的主動元件陣列基板可有效地應(yīng)用于高解析度產(chǎn)品上。
[0178]另外,在本實施方式中,覆蓋部CP5具有相對的側(cè)邊152a和側(cè)邊152b,其中覆蓋部CP5的側(cè)邊152b與彩色濾光圖案CF4的側(cè)邊160切齊。另外,在本實施方式中,覆蓋部CP5的側(cè)邊152a和側(cè)邊152b之間的最小距離u為2μηι至15μηι。
[0179]另外,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF7包含孔洞Z,且孔洞Z由彩色濾光圖案CF7圍繞而成。也就是說,在本實施方式中,孔洞Z為一封閉式孔洞。另外,根據(jù)上文圖1至圖4的實施方式,本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)可理解,彩色濾光圖案CF7中的孔洞Z亦是對應(yīng)用以使像素電極與漏極電性連接的接觸窗而設(shè)置,且所述像素電極的一部分延伸至孔洞Z內(nèi)但卻未延伸至彩色濾光圖案CF7上。
[0180]另外,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF7和彩色濾光圖案CF5部分地重疊。詳細而言,彩色濾光圖案CF7覆蓋住一部分的彩色濾光圖案CF5,其中彩色濾光圖案CF5的側(cè)邊130a與彩色濾光圖案CF7重疊。也就是說,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF7是在彩色濾光圖案CF5形成之后才形成的。
[0181]進一步而言,由于彩色濾光圖案CF7是在彩色濾光圖案CF4以及彩色濾光圖案CF5形成之后才形成的(即彩色濾光圖案CF7同時覆蓋與其相鄰的彩色濾光圖案CF4以及彩色濾光圖案CF5),故通過孔洞Z為一封閉式孔洞,借此可提高具有彩色濾光層10CFL的主動元件陣列基板的可靠度。
[0182]另外,在上述圖13的實施方式中,彩色濾光圖案CF2的孔洞V、彩色濾光圖案CF3的孔洞W、彩色濾光圖案CF4的孔洞10X、彩色濾光圖案CF5的孔洞Y以及彩色濾光圖案CF7的孔洞Z所設(shè)置的位置具有一致的方向。然而,本發(fā)明并不限于此。在其他實施方式中,彩色濾光圖案CF2的孔洞V、彩色濾光圖案CF3的孔洞W、彩色濾光圖案CF4的孔洞10X、彩色濾光圖案CF5的孔洞Y以及彩色濾光圖案CF7的孔洞Z所設(shè)置的位置也可以具有交錯的方向。以下,將參照圖14進行詳細說明。
[0183]圖14是本發(fā)明另一實施方式的主動元件陣列基板中的彩色濾光層的上視示意圖。請同時參照圖14及圖13,圖14的彩色濾光層11CFL與圖13的彩色濾光層1CFL相似,因此相似或相同的構(gòu)件以相似或相同的元件符號表示,且相關(guān)說明即不再贅述。以下,將就兩者間的差異處做說明,兩者相同處請依圖1至圖4、圖13中的符號參照前述說明。
[0184]請參照圖14,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF3包含孔洞11W,且孔洞IlW由彩色濾光圖案CF3圍繞而成。也就是說,在本實施方式中,孔洞IlW為一封閉式孔洞。另外,根據(jù)上文圖1至圖4的實施方式,本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)可理解,彩色濾光圖案CF3中的孔洞IlW亦是對應(yīng)用以使像素電極與漏極電性連接的接觸窗而設(shè)置,且所述像素電極的一部分延伸至孔洞IlW內(nèi)但卻未延伸至彩色濾光圖案CF3上。
[0185]另外,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF2的孔洞V與彩色濾光圖案CF3的孔洞IlW的配置方向是相反的。
[0186]值得一提的是,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF2的孔洞V與彩色濾光圖案CF3的孔洞IlW之間仍存在有覆蓋部CPl及彩色濾光圖案CF3,且與孔洞V及孔洞IlW對應(yīng)設(shè)置的像素電極皆不會延伸至覆蓋部CPl及彩色濾光圖案CF3上,借此搭配彩色濾光圖案CF2及彩色濾光圖案CF3的像素結(jié)構(gòu)不易發(fā)生短路問題,進而提升制程良率。
[0187]另外,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF7包含孔洞11Z,且孔洞IlZ由彩色濾光圖案CF7圍繞而成。也就是說,在本實施方式中,孔洞IlZ為一封閉式孔洞。另外,根據(jù)上文圖1至圖4的實施方式,本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)可理解,彩色濾光圖案CF7中的孔洞IlZ亦是對應(yīng)用以使像素電極與漏極電性連接的接觸窗而設(shè)置,且所述像素電極的一部分延伸至孔洞IlZ內(nèi)但卻未延伸至彩色濾光圖案CF7上。
[0188]另外,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF4的孔洞1X與彩色濾光圖案CF7的孔洞IIZ的配置方向是相反的。
[0189]值得一提的是,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF4的孔洞1X與彩色濾光圖案CF7的孔洞IlZ之間仍存在有覆蓋部CP5及彩色濾光圖案CF7,且與孔洞1X及孔洞IlZ對應(yīng)設(shè)置的像素電極皆不會延伸至覆蓋部CP5及彩色濾光圖案CF7上,借此搭配彩色濾光圖案CFlS彩色濾光圖案CF7的像素結(jié)構(gòu)不易發(fā)生短路問題,進而提升制程良率。
[0190]另外,在前述圖13的實施方式中,彩色濾光圖案CF2?CF5、CF7分別都只有一個孔洞,即彩色濾光圖案CF2具有孔洞V、彩色濾光圖案CF3具有孔洞W、彩色濾光圖案CF4具有孔洞10X、彩色濾光圖案CF5具有孔洞Y、以及彩色濾光圖案CF7具有孔洞Z。然而,本發(fā)明并不限于此。在其他實施方式中,彩色濾光圖案CF2?CF5、CF7分別也可以具有一個以上的孔洞。以下,將參照圖15進行詳細說明。
[0191]圖15是本發(fā)明另一實施方式的主動元件陣列基板中的彩色濾光層的上視示意圖。請同時參照圖15及圖13,圖15的彩色濾光層12CFL與圖13的彩色濾光層1CFL相似,因此相似或相同的構(gòu)件以相似或相同的元件符號表示,且相關(guān)說明即不再贅述。以下,將就兩者間的差異處做說明,兩者相同處請依圖1至圖4、圖13中的符號參照前述說明。
[0192]請參照圖15,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF2除了包含孔洞V外,還包含孔洞12V,其中孔洞12V是由部分的彩色濾光圖案CF2以及覆蓋部CP6共同環(huán)繞而成。根據(jù)上文圖1至圖4的實施方式,本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)可理解,彩色濾光圖案CF2中的孔洞12V亦是對應(yīng)用以使像素電極與漏極電性連接的接觸窗而設(shè)置,且所述像素電極的一部分延伸至孔洞12V內(nèi)但卻未延伸至覆蓋部CP6上。
[0193]另外,在本實施方式中,覆蓋部CP6和彩色濾光圖案CFl彼此相鄰接。也就是說,在本實施方式中,覆蓋部CP6和彩色濾光圖案CFl為同一膜層、具有同一材質(zhì)。
[0194]另外,由于覆蓋部CP6和彩色濾光圖案CFl彼此相鄰接,且彩色濾光圖案CFl覆蓋住一部分的彩色濾光圖案CF2,故覆蓋部CP6亦會覆蓋住一部分的彩色濾光圖案CF2。詳細而言,覆蓋部CP6與彩色濾光圖案CF2部分地重疊,且彩色濾光圖案CF2的與覆蓋部CP6重疊的所述部分具有弧形輪廓Q。值得一提的是,在本實施方式中,在形成彩色濾光圖案CF2之后且形成彩色濾光圖案CFl之前,彩色濾光圖案CF2本身具有一開放式孔洞,而在形成彩色濾光圖案CFl之后,覆蓋部CP6即覆蓋住一部分的所述開放式孔洞以及所述弧形輪廓Q而形成孔洞12V。如此一來,在本實施方式中,通過覆蓋部CP6覆蓋住所述弧形輪廓Q,可避免彩色濾光圖案CF2的弧形輪廓Q(即彩色濾光圖案CF2的轉(zhuǎn)角處)在后續(xù)可靠度試驗中發(fā)生破裂,因而提高可靠度。
[0195]值得一提的是,與彩色濾光圖案中設(shè)置封閉式孔洞的現(xiàn)有主動元件陣列基板相比,通過彩色濾光圖案CF2具有開放式孔洞,使得搭配彩色濾光圖案CF2的像素結(jié)構(gòu)可具有較佳的空間利用率,借以提高開口率,并使得孔洞的設(shè)計可不受彩色濾光圖案的制程解析度的限制。如此一來,所述像素結(jié)構(gòu)能夠被設(shè)計成較小的尺寸,借此使得具有彩色濾光層12CFL的主動元件陣列基板可有效地應(yīng)用于高解析度產(chǎn)品上。
[0196]另外,在本實施方式中,覆蓋部CP6具有相對的側(cè)邊162a和側(cè)邊162b,其中覆蓋部CP6的側(cè)邊162b與彩色濾光圖案CF2的側(cè)邊IlOa切齊。另外,在本實施方式中,覆蓋部CP6的側(cè)邊162a和側(cè)邊162b之間的最小距離u為2μηι至15μηι。
[0197]另外,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF3除了包含孔洞W外,還包含孔洞312W,其中孔洞12W由彩色濾光圖案CF3圍繞而成。也就是說,在本實施方式中,孔洞12W為一封閉式孔洞。另外,根據(jù)上文圖1至圖4的實施方式,本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)可理解,彩色濾光圖案CF3中的孔洞12W亦是對應(yīng)用以使像素電極與漏極電性連接的接觸窗而設(shè)置,且所述像素電極的一部分延伸至孔洞12W內(nèi)但卻未延伸至彩色濾光圖案CF3上。
[0198]另外,在本實施方式中,彩色濾光圖案CF^了包含孔洞1X外,還包含孔洞12Χ,其中孔洞12Χ由彩色濾光圖案CF4圍繞而成。也就是說,在本實施方式中,孔洞12Χ為一封閉式孔洞。另外,根據(jù)上文圖1至圖4的實施方式,本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)可理解,彩色濾光圖案CF4中的孔洞12Χ亦是對應(yīng)用以使像素電極與漏極電性連接的接觸窗而設(shè)置,且所述像素電極的一部分延伸至孔洞12Χ內(nèi)但卻未延伸至彩色濾光圖案CF4上。
[0199]另外,彩色濾光圖案CF5除了包含孔洞Y外,還包含孔洞12Υ,其中孔洞12Υ是由部分的彩色濾光圖案CF5以及覆蓋部2CP5共同環(huán)繞而成。根據(jù)上文圖1至圖4的實施方式,本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)可理解,彩色濾光圖案CF5中的孔洞12Υ亦是對應(yīng)用以使像素電極與漏極電性連接的接觸窗而設(shè)置,且所述像素電極的一部分延伸至孔洞12Υ內(nèi)但卻未延伸至覆蓋部2CP5上。
[0200]另外,在本實施方式中,覆蓋部2CP5和彩色濾光圖案CF7彼此相鄰接。也就是說,在本實施方式中,覆蓋部2CP5和彩色濾光圖案CF7為同一膜層、具有同一材質(zhì)。
[0201]進一步而言,由于覆蓋部2CP5和彩色濾光圖案CF7彼此相鄰接,且彩色濾光圖案CF7覆蓋住一部分的彩色濾光圖案CF5,故覆蓋部2CP5亦會覆蓋住一部分的彩色濾光圖案CF5。詳細而言,覆蓋部2CP5與彩色濾光圖案CF5部分地重疊,且彩色濾光圖案CF5的與覆蓋部2CP5重疊的所述部分具有弧形輪廓Q。值得一提的是,在本實施方式中,在形成彩色濾光圖案CF5之后且形成彩色濾光圖案CF7之前,彩色濾光圖案CF5本身具有一開放式孔洞,而在形成彩色濾光圖案CF7之后,覆蓋部2CP5即覆蓋住一部分的所述開放式孔洞以及所述弧形輪廓Q而形成孔洞12Υ。如此一來,在本實施方式中,通過覆蓋部2CP5覆蓋住所述弧形輪廓Q,可避免彩色濾光圖案CF5的弧形輪廓Q(即彩色濾光圖案CF5的轉(zhuǎn)角處)在后續(xù)可靠度試驗中發(fā)生破裂,因而提高可靠度。
[0202]值得一提的是,與彩色濾光圖案中設(shè)置封閉式孔洞的現(xiàn)有主動元件陣列基板相比,通過彩色濾光圖案CF5具有開放式孔洞,使得搭配彩色濾光圖案CF5的像素結(jié)構(gòu)可具有較佳的空間利用率,借以提高開口率,并使得孔洞的設(shè)計可不受彩色濾光圖案的制程解析度的限制。如此一來,所述像素結(jié)構(gòu)能夠被設(shè)計成較小的尺寸,借此使得具有彩色濾光層12CFL的主動元件陣列基板可有效地應(yīng)用于高解析度產(chǎn)品上。
[0203]另外,在本實施方式中,覆蓋部2CP5具有相對的側(cè)邊252a和側(cè)邊252b,其中覆蓋部2CP5的側(cè)邊252b與彩色濾光圖案CF5的側(cè)邊130a切齊。另外,在本實施方式中,覆蓋部2CP5的側(cè)邊252a和側(cè)邊252b之間的最小距離u為2μηι至15μηι。
[0204]另外,在前述圖13、圖14及圖15的實施方式中,任一覆蓋部的相對設(shè)置的兩側(cè)邊之間的最小距離u皆為2μηι至15μηι,例如覆蓋部CP5的側(cè)邊152a和側(cè)邊152b之間的最小距離u為2μπι至15μπι。然而,本發(fā)明并不限于此。在其他實施方式中,覆蓋部的相對設(shè)置的兩側(cè)邊之間的最小距離u也可以是介在其他范圍之間。以下,將參照圖16至圖21進行詳細說明。
[0205]圖16是本發(fā)明另一實施方式的主動元件陣列基板中的彩色濾光層的上視示意圖。請同時參照圖16及圖13,圖16的彩色濾光層13CFL與圖13的彩色濾光層1CFL相似,因此相似或相同的構(gòu)件以相似或相同的元件符號表示,且相關(guān)說明即不再贅述。以下,將就兩者間的差異處做說明,兩者相同處請依圖1至圖4、圖13中的符號參照前述說明。
[0206]詳細而言,請同時參照圖16及圖13,圖16的彩色濾光層13CFL與圖13的彩色濾光層10CFL之間的差異主要在于:在圖16的實施方式中,覆蓋部CPl的側(cè)邊112a和側(cè)邊112b之間的最小距離U、覆蓋部CP2的側(cè)邊122a和側(cè)邊122b之間的最小距離U、覆蓋部CP3的側(cè)邊132a和側(cè)邊132b之間的最小距離u、以及覆蓋部CP5的側(cè)邊152a和側(cè)邊152b之間的最小距離u皆介于5μπι至25μπι之間;而在圖13的實施方式中,覆蓋部CPl的側(cè)邊112a和側(cè)邊112b之間的最小距離U、覆蓋部CP2的側(cè)邊122a和側(cè)邊122b之間的最小距離U、覆蓋部CP3的側(cè)邊132a和側(cè)邊132b之間的最小距離U、以及覆蓋部CP5的側(cè)邊152a和側(cè)邊152b之間的最小距離u皆介于2μπι至15μηι之間。
[0207]值得說明的是,在本實施方式中,通過覆蓋部CPl的側(cè)邊112a和側(cè)邊112b之間的最小距離U、覆蓋部CP2的側(cè)邊122a和側(cè)邊122b之間的最小距離U、覆蓋部CP3的側(cè)邊132a和側(cè)邊132b之間的最小距離U、以及覆蓋部CP5的側(cè)邊152a和側(cè)邊152b之間的最小距離u皆介于5μπι至25μπι之間,使得覆蓋部CPl、覆蓋部CP2、覆蓋部CP3及覆蓋部CP5能夠更完整地覆蓋住彩色濾光圖案CF2、彩色濾光圖案CF3、彩色濾光圖案CF4及彩色濾光圖案CF5的轉(zhuǎn)角處,借此更進一步提尚可靠度。
[0208]圖17是本發(fā)明另一實施方式的主動元件陣列基板中的彩色濾光層的上視示意圖。請同時參照圖17及圖14,圖17的彩色濾光層14CFL與圖14的彩色濾光層11CFL相似,因此相似或相同的構(gòu)件以相似或相同的元件符號表示,且相關(guān)說明即不再贅述。以下,將就兩者間的差異處做說明,兩者相同處請依圖1至圖4、圖13及圖14中的符號參照前述說明。
[0209]詳細而言,請同時參照圖17及圖14,圖17的彩色濾光層14CFL與圖14的彩色濾光層IlCFL之間的差異主要在于:在圖17的實施方式中,覆蓋部CPl的側(cè)邊112a和側(cè)邊112b之間的最小距離U、覆蓋部CP3的側(cè)邊132a和側(cè)邊132b之間的最小距離U、以及覆蓋部CP5的側(cè)邊1528和側(cè)邊15213之間的最小距離11皆介于541]1至2541]1之間;而在圖14的實施方式中,覆蓋部CPl的側(cè)邊112a和側(cè)邊112b之間的最小距離U、覆蓋部CP3的側(cè)邊132a和側(cè)邊132b之間的最小距離U、以及覆蓋部CP5的側(cè)邊152a和側(cè)邊152b之間的最小距離u皆介于2μπι至15μπι之間。
[0210]值得說明的是,在本實施方式中,通過覆蓋部CPl的側(cè)邊112a和側(cè)邊112b之間的最小距離U、覆蓋部CP3的側(cè)邊132a和側(cè)邊132b之間的最小距離U、以及覆蓋部CP5的側(cè)邊152a和側(cè)邊152b之間的最小距離u皆介于5μπι至25μπι之間,使得覆蓋部CP1、覆蓋部CP3及覆蓋部CP5能夠更完整地覆蓋住彩色濾光圖案CF2、彩色濾光圖案CF4及彩色濾光圖案CF5的轉(zhuǎn)角處,借此更進一步提高可靠度。
[0211]另外,在本實施方式中,通過覆蓋部CPl的側(cè)邊112a和側(cè)邊112b之間的最小距離U、覆蓋部CP3的側(cè)邊132a和側(cè)邊132b之間的最小距離U、以及覆蓋部CP5的側(cè)邊152a和側(cè)邊15213之間的最小距離11皆介于54111至2541]1之間,使得與圖14的實施方式相比,孔洞IIW能夠設(shè)置在更靠近孔洞V的位置以及孔洞IlZ能夠設(shè)置在更靠近孔洞1X的位置。如此一來,在本實施方式中,搭配彩色濾光圖案CF3及彩色濾光圖案CF7的像素結(jié)構(gòu)能夠具有較佳的空間利用率,借以提尚開口率。
[0212]圖18是本發(fā)明另一實施方式的主動元件陣列基板中的彩色濾光層的上視示意圖。請同時參照圖18及圖15,圖18的彩色濾光層15CFL與圖15的彩色濾光層12CFL相似,因此相似或相同的構(gòu)件以相似或相同的元件符號表示,且相關(guān)說明即不再贅述。以下,將就兩者間的差異處做說明,兩者相同處請依圖1至圖4、圖13及圖15中的符號參照前述說明。
[0213]詳細而言,請同時參照圖18及圖15,圖18的彩色濾光層15CFL與圖15的彩色濾光層12CFL之間的差異主要在于:在圖18的實施方式中,覆蓋部CPl的側(cè)邊112a和側(cè)邊112b之間的最小距離U、覆蓋部CP2的側(cè)邊122a和側(cè)邊122b之間的最小距離U、覆蓋部CP3的側(cè)邊132a和側(cè)邊132b之間的最小距離u、覆蓋部CP5的側(cè)邊152a和側(cè)邊152b之間的最小距離u、覆蓋部2CP5的側(cè)邊252a和側(cè)邊252b之間的最小距離U、以及覆蓋部CP6的側(cè)邊162a和側(cè)邊162b之間的最小距離u皆介于5μηι至25μηι之間;而在圖15的實施方式中,覆蓋部CPl的側(cè)邊112a和側(cè)邊112b之間的最小距離U、覆蓋部CP2的側(cè)邊122a和側(cè)邊122b之間的最小距離U、覆蓋部CP3的側(cè)邊132a和側(cè)邊132b之間的最小距離U、覆蓋部CP5的側(cè)邊152a和側(cè)邊152b之間的最小距離U、覆蓋部2CP5的側(cè)邊252a和側(cè)邊252b之間的最小距離U、以及覆蓋部CP6的側(cè)邊162a和側(cè)邊16213之間的最小距離11皆介于24111至1541]1之間。
[0214]值得說明的是,在本實施方式中,通過覆蓋部CPl的側(cè)邊112a和側(cè)邊112b之間的最小距離U、覆蓋部CP2的側(cè)邊122a和側(cè)邊122b之間的最小距離U、覆蓋部CP3的側(cè)邊132a和側(cè)邊132b之間的最小距離U、覆蓋部CP5的側(cè)邊152a和側(cè)邊152b之間的最小距離U、覆蓋部2CP5的側(cè)邊252a和側(cè)邊252b之間的最小距離U、以及覆蓋部CP6的側(cè)邊162a和側(cè)邊162b之間的最小距離u皆介于5μπι至25μπι之間,使得覆蓋部CPl、覆蓋部CP2、覆蓋部CP3、覆蓋部CP5、覆蓋部2CP5及覆蓋部CP6能夠更完整地覆蓋住彩色濾光圖案CF2、彩色濾光圖案CF3、彩色濾光圖案CF4、及彩色濾光圖案CF5的轉(zhuǎn)角處,借此更進一步提高可靠度。
[0215]另外,在本實施方式中,通過覆蓋部CPl的側(cè)邊112a和側(cè)邊112b之間的最小距離U、覆蓋部CP2的側(cè)邊122a和側(cè)邊122b之間的最小距離U、覆蓋部CP3的側(cè)邊132a和側(cè)邊132b之間的最小距離U、覆蓋部CP5的側(cè)邊152a和側(cè)邊152b之間的最小距離U、覆蓋部2CP5的側(cè)邊252a和側(cè)邊252b之間的最小距離U、以及覆蓋部CP6的側(cè)邊162a和側(cè)邊162b之間的最小距離u皆介于5μπι至25μπι之間,使得與圖15的實施方式相比,孔洞12W能夠設(shè)置在更靠近孔洞V的位置、孔洞12Χ能夠設(shè)置在更靠近孔洞W的位置、孔洞12Ζ能夠設(shè)置在更靠近孔洞1X的位置、以及孔洞Z能夠設(shè)置在更靠近孔洞12Y的位置。如此一來,在本實施方式中,搭配彩色濾光圖案CF3、彩色濾光圖案CF4、及彩色濾光圖案CF4的像素結(jié)構(gòu)能夠具有較佳的空間利用率,借以提尚開口率。
[0216]圖19是本發(fā)明另一實施方式的主動元件陣列基板中的彩色濾光層的上視示意圖。請同時參照圖19及圖13,圖19的彩色濾光層16CFL與圖13的彩色濾光層1CFL相似,因此相似或相同的構(gòu)件以相似或相同的元件符號表示,且相關(guān)說明即不再贅述。以下,將就兩者間的差異處做說明,兩者相同處請依圖1至圖4、圖13中的符號參照前述說明。
[0217]詳細而言,請同時參照圖19及圖13,圖19的彩色濾光層16CFL與圖13的彩色濾光層10CFL之間的差異主要在于:圖19的實施方式中孔洞V的鄰近于覆蓋部CP1、孔洞W的鄰近于覆蓋部CP2、孔洞1X的鄰近于覆蓋部CP5、以及孔洞Y的鄰近覆蓋部CP3的寬度U皆小于圖13的實施方式中孔洞V的鄰近于覆蓋部CP1、孔洞W的鄰近于覆蓋部CP2、孔洞1X的鄰近于覆蓋部CP5、以及孔洞Y的鄰近覆蓋部CP3的寬度U。
[0218]值得說明的是,如前文所述,由于圖19的實施方式中孔洞V的鄰近于覆蓋部CPljL洞W的鄰近于覆蓋部CP2、孔洞1X的鄰近于覆蓋部CP5、以及孔洞Y的鄰近覆蓋部CP3的寬度U皆小于圖13的實施方式中孔洞V的鄰近于覆蓋部CP1、孔洞W的鄰近于覆蓋部CP2、孔洞1X的鄰近于覆蓋部CP5、以及孔洞Y的鄰近覆蓋部CP3的寬度U,故在圖19的實施方式中,通過覆蓋部CPl的側(cè)邊112a和側(cè)邊112b之間的最小距離U、覆蓋部CP2的側(cè)邊122a和側(cè)邊122b之間的最小距離U、覆蓋部CP3的側(cè)邊132a和側(cè)邊132b之間的最小距離U、以及覆蓋部CP5的側(cè)邊152a和側(cè)邊152b之間的最小距離u皆介于2μπι至15μπι之間,即可使得覆蓋部CP1、覆蓋部CP2、覆蓋部CP3及覆蓋部CP5能夠有效地覆蓋住彩色濾光圖案CF2、彩色濾光圖案CF3、彩色濾光圖案CF5及彩色濾光圖案CF5的轉(zhuǎn)角處,借以提高可靠度。
[0219]圖20是本發(fā)明另一實施方式的主動元件陣列基板中的彩色濾光層的上視示意圖。請同時參照圖20及圖14,圖20的彩色濾光層17CFL與圖14的彩色濾光層11CFL相似,因此相似或相同的構(gòu)件以相似或相同的元件符號表示,且相關(guān)說明即不再贅述。以下,將就兩者間的差異處做說明,兩者相同處請依圖1至圖4、圖13及圖14中的符號參照前述說明。
[0220]詳細而言,請同時參照圖20及圖14,圖20的彩色濾光層17CFL與圖14的彩色濾光層IlCFL之間的差異主要在于:圖20的實施方式中孔洞V的鄰近于覆蓋部CP1、孔洞1X的鄰近于覆蓋部CP5、以及孔洞Y的鄰近覆蓋部CP3的寬度U皆小于圖14的實施方式中孔洞V的鄰近于覆蓋部CPl、孔洞1X的鄰近于覆蓋部CP5、以及孔洞Y的鄰近覆蓋部CP3的寬度U。
[0221]值得說明的是,如前文所述,由于圖20的實施方式中孔洞V的鄰近于覆蓋部CPljL洞1X的鄰近于覆蓋部CP5、以及孔洞Y的鄰近覆蓋部CP3的寬度U皆小于圖14的實施方式中孔洞V的鄰近于覆蓋部CPl、孔洞1X的鄰近于覆蓋部CP5、以及孔洞Y的鄰近覆蓋部CP3的寬度U,故在圖20的實施方式中,通過覆蓋部CPl的側(cè)邊112a和側(cè)邊112b之間的最小距離U、覆蓋部CP3的側(cè)邊132a和側(cè)邊132b之間的最小距離U、以及覆蓋部CP5的側(cè)邊152a和側(cè)邊152b之間的最小距離u皆介于2μπι至15μπι之間,即可使得覆蓋部CPl、覆蓋部CP3以及覆蓋部CP5能夠有效地覆蓋住彩色濾光圖案CF2、彩色濾光圖案CF4及彩色濾光圖案CF5的轉(zhuǎn)角處,借以提高可靠度。
[0222]圖21是本發(fā)明另一實施方式的主動元件陣列基板中的彩色濾光層的上視示意圖。請同時參照圖21及圖15,圖21的彩色濾光層18CFL與圖15的彩色濾光層12CFL相似,因此相似或相同的構(gòu)件以相似或相同的元件符號表示,且相關(guān)說明即不再贅述。以下,將就兩者間的差異處做說明,兩者相同處請依圖1至圖4、圖13及圖15中的符號參照前述說明。
[0223]詳細而言,請同時參照圖21及圖15,圖21的彩色濾光層18CFL與圖15的彩色濾光層12CFL之間的差異主要在于:圖21的實施方式中孔洞V的鄰近于覆蓋部CP1、孔洞W的鄰近于覆蓋部CP2、孔洞Y的鄰近覆蓋部CP3、孔洞1X的鄰近覆蓋部CP5、孔洞12V的鄰近覆蓋部CP6、以及孔洞12Y的鄰近于覆蓋部2CP5的寬度U皆小于圖15的實施方式中孔洞V的鄰近于覆蓋部CP1、孔洞W的鄰近于覆蓋部CP2、孔洞Y的鄰近覆蓋部CP3、孔洞1X的鄰近覆蓋部CP5、孔洞12V的鄰近覆蓋部CP6、以及孔洞12Y的鄰近于覆蓋部2CP5的寬度U。
[0224]值得說明的是,如前文所述,由于圖21的實施方式中孔洞V的鄰近于覆蓋部CPljL洞W的鄰近于覆蓋部CP2、孔洞Y的鄰近覆蓋部CP3、孔洞1X的鄰近覆蓋部CP5、孔洞12V的鄰近覆蓋部CP6、以及孔洞12Y的鄰近于覆蓋部2CP5的寬度U皆小于圖15的實施方式中孔洞V的鄰近于覆蓋部CPl、孔洞W的鄰近于覆蓋部CP2、孔洞Y的鄰近覆蓋部CP3、孔洞1X的鄰近覆蓋部CP5、孔洞12V的鄰近覆蓋部CP6、以及孔洞12Y的鄰近于覆蓋部2CP5的寬度U,故在圖21的實施方式中,通過覆蓋部CPl的側(cè)邊112a和側(cè)邊112b之間的最小距離U、覆蓋部CP2的側(cè)邊122a和側(cè)邊122b之間的最小距離U、覆蓋部CP3的側(cè)邊132a和側(cè)邊132b之間的最小距離U、覆蓋部CP5的側(cè)邊152a和側(cè)邊152b之間的最小距離U、覆蓋部2CP5的側(cè)邊252a和側(cè)邊252b之間的最小距離U、以及覆蓋部CP6的側(cè)邊162a和側(cè)邊162b之間的最小距離u皆介于2μηι至15μηι之間,即可使得覆蓋部CP1、覆蓋部CP2、覆蓋部CP3、覆蓋部CP5、覆蓋部2CP5、及覆蓋部CP6能夠有效地覆蓋住彩色濾光圖案CF2、彩色濾光圖案CF3、彩色濾光圖案CF4及彩色濾光圖案CF5的轉(zhuǎn)角處,借以提高可靠度。
[0225]綜上所述,在上述實施方式所提出的主動元件陣列基板中,通過在第一方向上相鄰設(shè)置的兩彩色濾光圖案中的一彩色濾光圖案包含由本身的一部分以及覆蓋部共同環(huán)繞而成的孔洞,且所述覆蓋部和另一彩色濾光圖案鄰接,使得主動元件陣列基板可具有良好的開口率及可靠度,并能夠應(yīng)用于高解析度產(chǎn)品上。
[0226]雖然本發(fā)明已以實施方式說明如上,然而其并非用以限定本發(fā)明,任何本領(lǐng)域技術(shù)人員,在不脫離本發(fā)明的構(gòu)思和范圍內(nèi),當(dāng)可作些許的更動與潤飾,故本發(fā)明的保護范圍當(dāng)視后附的權(quán)利要求書的范圍為準(zhǔn)。
【主權(quán)項】
1.一種主動元件陣列基板,包括: 一基板; 多條掃描線以及多條數(shù)據(jù)線,位于該基板上,其中每一掃描線沿一第一方向延伸,每一數(shù)據(jù)線沿一第二方向延伸,且該第一方向與該第二方向相交錯; 一第一像素結(jié)構(gòu)與一第二像素結(jié)構(gòu),位于該基板上且沿該第一方向相鄰設(shè)置,其中該第一像素結(jié)構(gòu)及該第二像素結(jié)構(gòu)分別與所述多條掃描線的其中之一以及所述多條數(shù)據(jù)線的其中之一電性連接,該第一像素結(jié)構(gòu)包括一第一主動元件以及一第一像素電極,且該第二像素結(jié)構(gòu)包括一第二主動元件以及一第二像素電極;以及 一第一彩色濾光圖案與一第二彩色濾光圖案,位于該基板上且分別對應(yīng)該第一像素結(jié)構(gòu)及該第二像素結(jié)構(gòu)設(shè)置,其中該第一彩色濾光圖案包含一第一孔洞,且該第一孔洞是由部分該第一彩色濾光圖案以及一第一覆蓋部共同環(huán)繞而成,且該第一覆蓋部和該第二彩色濾光圖案鄰接。2.如權(quán)利要求1所述的主動元件陣列基板,其中該第一像素電極的一部分延伸至該第一孔洞內(nèi)且未延伸至該第一覆蓋部上。3.如權(quán)利要求1所述的主動元件陣列基板,其中該第二彩色濾光圖案和該第一彩色濾光圖案部分重疊。4.如權(quán)利要求3所述的主動元件陣列基板,其中該第一彩色濾光圖案具有一第一側(cè)邊,該第一覆蓋部具有相對的一第二側(cè)邊和一第三側(cè)邊,其中該第一側(cè)邊與該第二彩色濾光圖案重疊,且該第三側(cè)邊與該第一側(cè)邊切齊。5.如權(quán)利要求4所述的主動元件陣列基板,其中該第一覆蓋部與該第一彩色濾光圖案重疊,且該第一彩色濾光圖案的與該第一覆蓋部重疊的部分具有弧形輪廓。6.如權(quán)利要求4所述的主動元件陣列基板,其中該第二側(cè)邊與該第三側(cè)邊之間的最小距離為2μηι至15μηι。7.如權(quán)利要求4所述的主動元件陣列基板,其中該第二側(cè)邊與該第三側(cè)邊之間的最小距離為5μηι至25μηι。8.如權(quán)利要求1所述的主動元件陣列基板,其中該第一彩色濾光圖案還包含一第二孔洞,且該第二孔洞是由部分該第一彩色濾光圖案以及一第二覆蓋部共同環(huán)繞而成。9.如權(quán)利要求1所述的主動元件陣列基板,其中第二彩色濾光圖案包含一第三孔洞,且該第三孔洞由第二彩色濾光圖案圍繞而成。10.如權(quán)利要求9所述的主動元件陣列基板,其中該第二像素電極的一部分延伸至該第一第三孔洞內(nèi)且未延伸至該第二彩色濾光圖案上。11.如權(quán)利要求9所述的主動元件陣列基板,其中該第二彩色濾光圖案還包含一第四孔洞,且該第四孔洞由第二彩色濾光圖案圍繞而成。
【文檔編號】G02F1/1362GK105974698SQ201610409976
【公開日】2016年9月28日
【申請日】2016年6月12日
【發(fā)明人】曾勝煊, 紀志賢, 李美慧, 黃圣碩
【申請人】友達光電股份有限公司