專利名稱：粘結(jié)卡盤裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種粘結(jié)卡盤(チヤツク)裝置，該裝置用于包含基板貼合機(jī)的基板組裝裝置、輸送基板的基板搬運(yùn)裝置等中，所述基板貼合機(jī)在例如液晶顯示器(LCD)、等離子顯示器(PDP)等的平板顯示器的制造過程中，粘結(jié)保持并貼合CF玻璃、TFT玻璃等的玻璃基板或合成樹脂制的基板。
具體的，涉及相對于保持板，通過粘結(jié)裝卸自由地保持基板的粘結(jié)卡盤裝置。
背景技術(shù)：
以往，在使兩片基板重合的基板貼合機(jī)中，通過靜電卡盤保持基板，但隨著近年來基板的大型化，制造大尺寸的靜電卡盤變得困難，而且即使可以制造成本也非常高。
因此，為了解決這些問題，已有在基板的保持中使用粘結(jié)部件的粘結(jié)卡盤裝置。
作為這樣的粘結(jié)卡盤裝置的一個例子，在相對于卷取自如地張緊在一對滾筒上的粘結(jié)片，將上基板粘貼保持后，進(jìn)行上基板和下基板的貼合，然后，通過多個電機(jī)的驅(qū)動，使心軸回轉(zhuǎn)并卷取粘結(jié)片，同時，通過以與該繞取速度同步的速度向該卷取方向上水平移動該心軸及一方的滾筒，以次將粘結(jié)片從上基板的上面緩緩地剝離。(例如，參照專利文獻(xiàn)1)另外，代替上述的通過心軸卷取粘結(jié)片，可以在能夠貼合兩基板并形成一個元件后，通過多個促動器的驅(qū)動，使刀具臺及刀具座通過多個促動器上升到切刀刃的下端位置，然后通過使切刀向粘結(jié)片的橫向移動，切斷粘貼有上基板的粘結(jié)片，在帶有該粘結(jié)片的狀態(tài)下取出元件，并在適宜的時候從元件上剝離粘結(jié)片。
作為其它的例子，在上方的加壓板上開設(shè)多個孔，在這些開孔內(nèi)分別設(shè)置促動器，在從各促動器朝向下方伸出的軸的前端粘貼有粘結(jié)部件，通過上述促動器的動作在開孔內(nèi)使粘結(jié)部件下降，若粘結(jié)部件的下面接觸到上基板，則通過其粘結(jié)作用以固定到加壓板的下面的形狀保持，另外，在完成基板的貼合后在從上基板剝離粘結(jié)部件時，若通過促動器使粘結(jié)部件在開孔內(nèi)上升，則開孔的周緣部阻止上基板的移動將上基板從粘結(jié)部件拉開。(例如，參照專利文獻(xiàn)2)又，在上方的加壓板上開設(shè)多個開口，在這些開口內(nèi)分別設(shè)置回轉(zhuǎn)用促動器和上下驅(qū)動用促動器，在從每個回轉(zhuǎn)用促動器向下方伸出的回轉(zhuǎn)軸的前端安裝有粘結(jié)部件，通過上下驅(qū)動用促動器的動作在開口內(nèi)使各粘結(jié)部件下降，并通過這些粘結(jié)部件及吸引吸附作用保持上基板，進(jìn)行定位，同時進(jìn)行貼合，在使粘結(jié)部件退回到加壓板時，相對于基板面通過回轉(zhuǎn)用促動器扭轉(zhuǎn)粘結(jié)部件，或者扭轉(zhuǎn)后通過上下驅(qū)動用促動器使其退回，以此將粘結(jié)部件從上基板剝離。(例如，參照專利文獻(xiàn)3)專利文獻(xiàn)1特開2001-133745號公報(bào)(第3～5頁、圖1～圖7)專利文獻(xiàn)2特開2003-241160號公報(bào)(第5頁，圖7)專利文獻(xiàn)3特開2003-273508號公報(bào)(第5頁，圖1～5)發(fā)明內(nèi)容但是，在這樣的以往的粘結(jié)卡盤裝置中，在專利文獻(xiàn)1的情況下，存在如下問題，即，為了剝離粘結(jié)部件和基板，在卷取粘結(jié)片的同時要以與卷取速度同步的速度使其向卷取方向水平移動，或者必須使刀具臺和刀具座上升并通過刀具來切斷粘結(jié)片，為完成各個動作需要多個電機(jī)、促動器等的驅(qū)動源，導(dǎo)致構(gòu)造復(fù)雜。
在專利文獻(xiàn)2的情況下，為了在加壓板的開孔內(nèi)使粘結(jié)部件上升，在每個粘結(jié)部件上都分別需要多個促動器，另外，在專利文獻(xiàn)3的情況下，由于每個粘結(jié)部件都分別需要用于扭轉(zhuǎn)并退回粘結(jié)部件的回轉(zhuǎn)用促動器及上下驅(qū)動用促動器，因此導(dǎo)致構(gòu)造復(fù)雜化。
因此，專利文獻(xiàn)1～3，，特別是由于剝離結(jié)構(gòu)復(fù)雜，因此不僅故障發(fā)生率高，而且還存在如下問題，即，在配置于包含基板貼合機(jī)的基板組裝裝置、基板輸送裝置上的情況下，難以將原有的靜電卡盤等的基板保持機(jī)構(gòu)置換成本發(fā)明的粘結(jié)卡盤裝置。
本發(fā)明的技術(shù)方案1所述的發(fā)明，以通過簡單的結(jié)構(gòu)切實(shí)地裝卸基板為目的。
技術(shù)方案2所述的發(fā)明，在技術(shù)方案1所述的發(fā)明目的的基礎(chǔ)上，以能夠簡單地制造基板粘結(jié)機(jī)構(gòu)為目的。
技術(shù)方案3所述的發(fā)明，在技術(shù)方案1或2所述的發(fā)明目的的基礎(chǔ)上，以使整體結(jié)構(gòu)進(jìn)一步簡單化為目的。
技術(shù)方案4所述的發(fā)明，在技術(shù)方案2或3所述的發(fā)明目的的基礎(chǔ)上，以能夠容易實(shí)現(xiàn)吸引用配管系統(tǒng)、吸引控制且能夠切實(shí)地保持基板為目的。
為了達(dá)到前述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案1所述的發(fā)明的特征在于，在保持板的基板側(cè)，設(shè)有粘結(jié)部件和變形膜，該粘結(jié)部件與基板的反面相對地粘結(jié)保持，該變形膜可向與該基板側(cè)面交叉的方向出入變形，通過該變形膜的出入變形使基板與粘結(jié)部件的粘結(jié)表面抵接地進(jìn)行粘結(jié)，同時強(qiáng)制地拉開并剝離兩者。
技術(shù)方案2所述的發(fā)明的特征在于，在技術(shù)方案1所述的發(fā)明的結(jié)構(gòu)中，增加了將所述粘結(jié)部件與變形膜一體形成的結(jié)構(gòu)。
技術(shù)方案3所述的發(fā)明的特征在于，在技術(shù)方案1或2所述的發(fā)明的結(jié)構(gòu)中，增加了在所述變形膜的一部分上設(shè)置粘結(jié)部件的粘結(jié)表面的結(jié)構(gòu)。
技術(shù)方案4所述的發(fā)明的特征在于，在技術(shù)方案2或3所述的發(fā)明的的結(jié)構(gòu)中，增加了在所述板狀體的一部分上開設(shè)通氣孔，并從該通氣孔吸引、吸附基板的反面的結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明中的技術(shù)方案1的所述發(fā)明，在保持板的基板側(cè)，設(shè)有粘結(jié)部件和變形膜，該粘結(jié)部件與基板的反面相對地粘結(jié)保持，該變形膜可向與該基板側(cè)面交叉的方向出入變形，通過該變形膜的出入變形使基板與粘結(jié)部件的粘結(jié)表面抵接地進(jìn)行粘結(jié)，同時強(qiáng)制地拉開兩者，以此不費(fèi)力地將基板從粘結(jié)部件的粘結(jié)表面剝離。
因此，可以通過簡單的結(jié)構(gòu)切實(shí)地裝卸基板。
其結(jié)果，與為了剝離粘結(jié)部件和基板，需要多個電機(jī)、促動器等的驅(qū)動源的以往的技術(shù)相比，由于剝離機(jī)構(gòu)特別簡單，所以可以顯著降低故障的發(fā)生率，特別是在配備于包含有基板貼合機(jī)的基板組裝裝置、基板輸送裝置等上面的情況下，能夠容易地將已有的靜電卡盤等的基板保持機(jī)構(gòu)與本發(fā)明的粘結(jié)卡盤裝置進(jìn)行置換，能夠大幅降低制造成本。
又，由于不通過靜電吸附保持基板，所以具有不會自發(fā)地產(chǎn)生靜電的優(yōu)點(diǎn)。
技術(shù)方案2的發(fā)明，在技術(shù)方案1的發(fā)明效果的基礎(chǔ)上，由于粘結(jié)部件和變形膜是一體形成的，所以只通過在保持板的基板側(cè)上進(jìn)行配設(shè)，就可以同時配置粘結(jié)部件和變形膜。
因此，可以簡單地制造基板粘結(jié)機(jī)構(gòu)。
技術(shù)方案3的發(fā)明，在技術(shù)方案1或2的發(fā)明效果的基礎(chǔ)上，由于在變形膜的一部分上配設(shè)粘結(jié)部件的粘結(jié)表面，所以只通過由變形膜覆蓋保持板的基板側(cè)就可以同時配置粘結(jié)部件的粘結(jié)表面。
因此，可以使整體構(gòu)造更加簡化。
其結(jié)果，由于不必分開地將粘結(jié)部件切開并與變形膜粘貼，所以可以以低成本在短時間內(nèi)制造，能夠面向大量生產(chǎn)。
而且，在將粘結(jié)部件的粘結(jié)表面與變形膜的表面一體形成為同一面狀的情況，由于在這些粘結(jié)表面與變形膜的表面之間不產(chǎn)生垂直臺階差，因此在用于基板貼合機(jī)并貼合一對基板時，不但能夠無彎曲變形地均勻地將這些基板彼此壓接，而且可以將其它的不良影響抑制到最小。
技術(shù)方案4的發(fā)明，在技術(shù)方案2或3的發(fā)明的效果的基礎(chǔ)上，在板狀體的一部分上開設(shè)通氣孔，通過從該通氣孔吸引、吸附基板的反面，能夠同時利用基于粘結(jié)部件的粘結(jié)保持和基于真空吸附的保持。
因此，能夠容易實(shí)現(xiàn)吸引用的配管系統(tǒng)和吸引控制，而且可以切實(shí)地保持基板。


圖1是表示本發(fā)明的粘結(jié)卡盤裝置的實(shí)施例1的局部縱向剖面正視圖，(a)～(c)表示其工作工序。
圖2是沿圖1的(2)-(2)線的局部橫向剖面仰視圖。
圖3是表示本發(fā)明的粘結(jié)卡盤裝置的實(shí)施例2的局部縱向剖面正視圖，(a)～(c)表示其工作工序。
圖4是沿圖3的(4)-(4)線的局部的橫向剖面仰視圖。
圖5是表示本發(fā)明的粘結(jié)卡盤裝置的實(shí)施例3的局部縱向剖面正視圖，(a)～(c)表示其工作工序。
圖6是沿著圖5的(6)-(6)線的局部橫向剖面仰視圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明的粘結(jié)卡盤裝置，表示配置于粘結(jié)保持并貼合有液晶顯示器(LCD)平板等的玻璃基板的基板貼合機(jī)中的情況。
該基板貼合機(jī)，如圖1～圖6所示，在配置于上下的保持板1、2的平行相對的保持面1a、2a上分別保持有兩片玻璃基板A、B，在它們的周圍劃分形成的密閉空間S內(nèi)達(dá)到規(guī)定的真空度后，將上下保持板1、2向XYθ方向相對地調(diào)整移動，進(jìn)行基板A、B彼此的定位，然后，將上基板A從上保持板1的保持面1a強(qiáng)制剝離并在瞬間壓接到下基板B上的環(huán)狀粘結(jié)劑(密封材料)C上，由此，將兩者間密封并重合，然后，通過在兩基板A、B的內(nèi)外產(chǎn)生的氣壓差將兩基板A、B之間加壓到規(guī)定的間隙。
若詳細(xì)地說明，就是將上下保持板1、2通過升降裝置(圖中未示出)向Z方向可相對移動地進(jìn)行支承，在使這些上下保持板1、2向上下方向離開的狀態(tài)下，在各自的保持面1a、2a上設(shè)置基板A、B，然后，通過該升降裝置的動作使上下保持板1、2接近，從而劃分形成封閉空間S。
然后，在通過抽氣裝置(圖中未示出)的動作，從該密閉空間S中抽取空氣并達(dá)到規(guī)定的真空度的時候，通過水平移動機(jī)構(gòu)(圖中未示出)的動作，將上下保持板1、2的任意一方相對于另一方向XYθ方向調(diào)整移動，以此順次進(jìn)行保持在保持板上的基板A、B彼此的定位(alignment)，即，粗定位和精定位。
完成這些定位，使上下基板A、B重合后，向密閉空間S內(nèi)供給空氣或氮?dú)猓ㄟ^使該密閉空間S內(nèi)的空氣返回大氣壓，由兩基板A、B的內(nèi)外產(chǎn)生的氣壓差均勻地加壓，在封入液晶的狀態(tài)下擠壓規(guī)定的間隔從而完成產(chǎn)品。
而且，在前述保持板1、2的基板側(cè)，具有本發(fā)明的粘結(jié)卡盤裝置。
詳細(xì)地說，如圖1、圖3及圖5所示，在作為上下保持板1、2的基板側(cè)的保持面1a、2a的任何一方或兩方上，設(shè)置有粘結(jié)部件3、3′和變形膜4，前述粘結(jié)部件3、3′與基板A、B的反面A1、B1相對地粘結(jié)保持，前述變形膜4能夠向與該基板側(cè)的保持面1a、2a交叉的方向出入變形，通過該變形膜4的出入(凹凸)變形將基板A、B與粘結(jié)部件3、3′的粘結(jié)表面3a、3a′接觸并粘結(jié)，并且，將兩者強(qiáng)制分離，由此，將基板A、B從粘結(jié)部件3的粘結(jié)表面3a、3a′不費(fèi)力地剝離。
下面，根據(jù)附圖對本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行說明。
實(shí)施方式1該實(shí)施例1，如圖1～圖2所示，表示如下情況，即，上下保持板1、2是由例如金屬、陶瓷等的剛體形成為沒有彎曲(撓曲)變形的厚度的平板狀平臺，僅將這些中的上保持板1的基板側(cè)，通過由多個粘結(jié)部件3和多個變形膜(加壓膜)4構(gòu)成的板狀體4′進(jìn)行覆蓋，通過利用加壓使這些變形膜4從該上保持板1的基板側(cè)突出(凸?fàn)?變形，由此，將上基板A從粘結(jié)部件3的粘結(jié)表面3a強(qiáng)制拉開、進(jìn)行剝離。
在上保持板1的保持面1a上凹陷設(shè)有多個或單個凹部1b，這些凹部1b與例如真空泵、壓縮機(jī)等的吸氣源(圖中未示出)通過通氣路1c相連，通過該吸氣源的動作將凹部1b內(nèi)的氣體向外部排放，在上述凹部1b的周圍可自由裝卸地固定有粘結(jié)部件3，同時，凹部1b的開口由變形膜4覆蓋。
在圖示例中，如圖2所示，在上保持板1的保持面1a上，通過大致等間隔地設(shè)置的隔壁1d設(shè)有多個圓形的凹部1b，所有的凹部1b的開口由一片變形膜4分別覆蓋成密封狀，通過該變形膜4在與上述隔壁1d的前端面相對應(yīng)的位置上，與該變形膜4的表面重合地固定有圓環(huán)狀的粘結(jié)部件3。
該粘結(jié)部件3是由例如硅類、丙烯酸系、氟類等的粘結(jié)材料構(gòu)成的粘結(jié)片，最好使其粘結(jié)表面3a與后述的變形膜4盡可能接近地進(jìn)行配置，而且，該粘結(jié)表面3a的面積在具有可以吊持上基板A的粘結(jié)力的范圍內(nèi)最好較小地設(shè)定，同時最好簡單地可以替換地安裝粘結(jié)部件3。
在圖示例子的情況下，將與前述玻璃制的基板A接觸的粘結(jié)部件3的粘結(jié)表面3a的粘結(jié)力設(shè)定為比與變形膜4接觸的固定反面3b的粘結(jié)力小，所述變形膜4配置于上保持板1的保持面1a側(cè)，在與基板A粘結(jié)時通過其重量，粘結(jié)部件3不會從保持面1a側(cè)剝離，但是根據(jù)需要隨時可以將粘結(jié)部件3從變形膜4的表面剝離。
前述板狀體4′及變形膜4是可以彈性變形的隔膜，該隔膜由例如不銹鋼等的金屬制的薄板或橡膠、工程塑料等的合成樹脂或其它的彈性材料成型而成的薄片構(gòu)成，相對于隔壁1d的前端面通過例如電子束焊接等的熔敷或接合部件等進(jìn)行接合，通過經(jīng)由前述通氣路1c從各凹部1b內(nèi)向外部排出氣體，使該變形膜4產(chǎn)生撓曲變形、向各凹部1b內(nèi)凹陷；與此相反通過從外部向各凹部1b內(nèi)供給氣體，使該變形膜4以從各凹部1b的開口突出的方式進(jìn)行彎曲變形。
而且，前述板狀體4′的安裝方法，并不限于上述的通過焊接或者粘接件的接合方式，通過相對于例如各凹部1b間的隔壁1d以螺釘?shù)鹊墓潭ㄑb置安裝壓板(未圖示)，也可以在這些隔壁1d的前端面與壓板間裝卸自如地夾持該板狀體4′。
另外，根據(jù)需要，在前述變形膜4上如圖2所示，也可以在與各凹部1b的大致中心相對應(yīng)的位置上，分別貫通穿設(shè)小孔4a。
下面，對該基板貼合機(jī)的動作進(jìn)行說明。
首先，如圖1(a)所示，在上下保持板1、2向上下方向離開的狀態(tài)下，在各個的保持面1a、2a上設(shè)置上下基板A、B，此時，通過將在上保持板1的保持面1a上形成的凹部1b內(nèi)抽成真空并減壓，使變形膜4彎曲成凹狀。
在該狀態(tài)下，通過基板輸送用機(jī)械手(圖中未示出)輸送上基板A，將其反面A1向上保持板1的保持面1a移動，若以規(guī)定的壓力與粘結(jié)部件3的粘結(jié)表面3a相接觸，則可通過該粘結(jié)表面3a的粘結(jié)力保持上基板A。
另外，如圖2所示，在與各凹部1b相對應(yīng)地在變形膜4上穿設(shè)小孔4a的情況下，若從這些小孔4a抽成真空，則能夠更強(qiáng)地吸附保持上基板A。
然后，如圖1(b)所示，在上下保持板1、2接近、密閉空間S內(nèi)達(dá)到規(guī)定的真空度以后，將上下保持板1、2的任意一方相對于另一方向XYθ方向調(diào)整移動，進(jìn)行保持于其上的基板A、B彼此的定位。
完成定位以后，如圖1(c)所示，向形成于上保持板1的保持面1a上的凹部1b內(nèi)導(dǎo)入氣體，并從其背面?zhèn)葘ψ冃文?加壓、使之彎曲成凸?fàn)?，并使其前端從粘結(jié)部件3的粘結(jié)表面3a突出。
由此，將粘結(jié)保持在粘結(jié)部件3的粘結(jié)表面3a上的上基板A強(qiáng)制地拉開，在將上基板A從粘結(jié)部件3的粘結(jié)表面3a不費(fèi)力地剝離的同時，通過這些變形膜4的突出壓力將該上基板A按壓到下基板B上的環(huán)狀粘合劑C上并使之重合。
此時，在變形膜4上開小孔4a的情況下，通過從這些小孔4a向上基板A的反面A1噴出例如氮?dú)獾鹊臍怏w，將上基板A從該粘結(jié)部件3的粘結(jié)表面3a強(qiáng)制地剝離并向下基板B上的環(huán)狀粘合劑C瞬間地壓接，使兩者之間密封。
因此，可以將玻璃制的上下基板A、B在真空中沒有變形地均一地壓接，所加的壓力也可以容易地改變。
而且，由于上保持板1的基板側(cè)被由多個粘結(jié)部件3和多個變形膜4構(gòu)成的板狀體4′覆蓋，所以上基板A的多個位置被同時粘結(jié)保持，同時能夠進(jìn)行剝離，即使上基板A是大型的也可以切實(shí)地保持和剝離。
而且，由于將上述粘結(jié)部件3和變形膜4盡可能接近地進(jìn)行配置，所以在通過變形膜4的突出壓力將玻璃制的上基板A從粘結(jié)表面3a剝離時，上基板A的一部分不會較大地彎曲，由此，在完成定位的上下基板A、B上不會發(fā)生位置偏移、封閉液晶的環(huán)狀粘合劑C斷開的問題。
又，由于粘結(jié)部件3的面積設(shè)定得較小，所以在將玻璃制的上基板A從粘結(jié)表面3a剝離時，不需要很大的力，可以防止玻璃的破裂等的事故，同時，由于粘結(jié)部件可以簡單地替換安裝，所以雖然擔(dān)心由于反復(fù)進(jìn)行上基板A的粘結(jié)接觸與分離會導(dǎo)致的異物的粘附和粘結(jié)力的降低，但是此時可以通過更換粘結(jié)部件3來解決。
實(shí)施方式2該實(shí)施例2如圖3～圖4所示，從在前述保持板1的保持面1a上形成的隔壁1d遍及粘結(jié)部件3及變形膜4，貫通狀地開設(shè)有多個通氣孔1e，將連通這些通氣孔1e和例如真空泵、壓縮機(jī)等的吸氣源(圖中未示出)的通氣路1f與前述凹部1b的通氣路1c以不同系統(tǒng)的方式形成，該結(jié)構(gòu)與前述圖1～圖2所示的實(shí)施例1不同，其它的結(jié)構(gòu)與圖1～圖2所示的實(shí)施例1相同。
根據(jù)上述構(gòu)成，如圖3(a)所示，通過在上保持板1的保持面1a上設(shè)置上基板A時從通氣孔1e抽氣，可以以更強(qiáng)的力吸附保持上基板A。另外如圖3(c)所示，在進(jìn)行基板A、B彼此的定位后的剝離時，由于從通氣孔1e噴出例如壓縮空氣或氮?dú)獾鹊臍怏w，能夠以更大的力將上基板A從粘結(jié)部件3的粘結(jié)表面3a強(qiáng)制地剝離并在瞬間向下基板B上的環(huán)狀粘合劑C上壓接。
所以，圖3～圖4所示的實(shí)施例2，可以得到與上述圖1～圖2所示的實(shí)施例1相同的作用效果，而且由于在通過實(shí)施例1的粘結(jié)部件3粘結(jié)保持上基板A的基礎(chǔ)上，增加了通過來自通氣孔1e的吸引對上基板進(jìn)行真空吸附保持，所以具有以下優(yōu)點(diǎn)，即，能夠容易實(shí)現(xiàn)吸引用配管系等的結(jié)構(gòu)、吸引控制，而且可以更切實(shí)地保持上基板A，同時，能夠完全防止由于變形膜4的突出壓力不穩(wěn)而導(dǎo)致的上基板A的位置偏移。
實(shí)施方式3該實(shí)施例3，如圖5～圖6所示，以下的結(jié)構(gòu)與前述圖1～圖2所示的實(shí)施例1及圖3～圖4所示的實(shí)施例2不同，除此以外的其它結(jié)構(gòu)與圖1～圖2所示的實(shí)施例1及圖3～圖4所示的實(shí)施例2相同，所述的不同的結(jié)構(gòu)是代替上述環(huán)狀的粘結(jié)部件3，在前述變形膜4的一部分上設(shè)置粘結(jié)部件3′，以此構(gòu)成由多個變形膜4和粘結(jié)部件3′構(gòu)成的板狀體4″，通過該板狀體4″覆蓋上保持板1的基板側(cè)，同時，在使變形膜4平坦的狀態(tài)下，使該粘結(jié)部件3′的粘結(jié)表面3a′與上基板A抵接、進(jìn)行粘結(jié)保持，另一方面，通過使變形膜4在該上保持板1的基板側(cè)的減壓作用下進(jìn)行沒入(凹狀)變形，以此將粘結(jié)部件3′的粘結(jié)表面3a′從上基板A強(qiáng)制分開并剝離。
作為在上述變形膜4的一部分上配設(shè)粘結(jié)部件3′的方法，通過對由彈性材料構(gòu)成的變形膜4進(jìn)行表面處理或?qū)ζ溥M(jìn)行類似的加工，僅在其表面的所期望的位置上使粘結(jié)表面3a′與該變形膜4的表面一體形成為同一面狀或設(shè)置成一體，作為板狀體4″。
該板狀體4″的形狀不僅僅限于圖示的平坦的板狀，也可以是使變形膜4朝向形成于上保持板1的保持面1a上的凹部1b內(nèi)局部地凹進(jìn)等的非完全的平板狀。
在圖示的情況下，在前述變形膜4的大致中心位置上局部地一體形成圓狀的粘結(jié)表面3a′，但只要可以切實(shí)地保持上基板A的反面A1，除此以外的其它形狀也可以。
另外，在圖示例子中，上述小孔4a沒有穿設(shè)在變形膜4上，但是根據(jù)需要，也可以與前述實(shí)施例1的圖2、實(shí)施例2的圖4所示的裝置相同地，在粘結(jié)部件3′的大致中心位置上分別貫通穿設(shè)小孔4a。
通過上述結(jié)構(gòu)，如圖5(a)及圖5(b)所示，將氣體導(dǎo)入到形成于上保持板1的保持面1a上的凹部1b內(nèi)，通過從其反面?zhèn)葘ψ冃文?進(jìn)行加壓使其彎曲成凸?fàn)?，若使粘結(jié)部件3′的粘結(jié)表面3a′與上基板A接觸，則可通過該粘結(jié)力保持上基板A。
在上下基板A、B重合后，從使密閉空間S內(nèi)的環(huán)境返回到大氣壓開始，如圖5(c)所示，通過將凹部1b內(nèi)抽成真空并進(jìn)行使其減壓等的減壓驅(qū)動，若使變形膜4凹狀彎曲并使粘結(jié)部件3′的粘結(jié)表面3a′沒入到凹部1b內(nèi)，則可將把粘結(jié)表面3a′從上基板A上強(qiáng)制拉開。
與此同時，若從通氣孔1e噴出例如壓縮空氣或氮?dú)獾鹊臍怏w，則可以以更大的力將上基板A從粘結(jié)部件3′的粘結(jié)表面3a′上強(qiáng)制剝離。其結(jié)果，如圖5～圖6所示的實(shí)施例3，可以得到與上述圖1～圖2所示的實(shí)施例1、圖3～圖4所示的實(shí)施例2同樣的作用效果，而且更具有如下優(yōu)點(diǎn)由于在變形膜4的一部分上配置粘結(jié)部件3′的粘結(jié)表面3a′，所以僅通過以板狀體4′覆蓋作為上保持板1的基板側(cè)的保持面1a及凹部1b全體，便可同時配置粘結(jié)部件3′的粘結(jié)部件3′，由此能夠使粘結(jié)卡盤裝置的整體結(jié)構(gòu)更加簡化，由于不必像實(shí)施例1和實(shí)施例2那樣將粘結(jié)部件3與變形膜4分開貼合，所以可以以低成本在短時間內(nèi)制造。
又，在通過表面處理等將粘結(jié)部件3′的粘結(jié)表面3a′與變形膜4的表面一體形成為同一面狀的情況下，由于在這些粘結(jié)表面3a′與變形膜4的表面之間不產(chǎn)生臺階差，所以在上下基板A、B的貼合時，不僅能夠沒有變形且均勻地壓接基板A、B彼此，而且還具有能夠把其它的不良影響抑制到最小的優(yōu)點(diǎn)。
另外，雖然示出了將本發(fā)明的粘結(jié)卡盤裝置配備在貼合機(jī)中的情況，該貼合機(jī)粘結(jié)保持并貼合液晶顯示器(LCD)平板等的玻璃基板，但本發(fā)明并不僅限于此，也可以配置在該基板貼合機(jī)以外的基板組裝裝置、輸送基板的基板搬運(yùn)裝置中，用來粘結(jié)、保持LCD平板用玻璃基板以外的基板。
另外，雖然說明了在真空中貼合基板A、B的基板貼合機(jī)，但是不僅限于此，也可以是在空氣中貼合基板A、B的基板貼合機(jī)，即使在該情況下，也可以得到與上述真空貼合機(jī)相同的作用效果。
又，在前面所示的實(shí)施例中，僅在作為上保持板1的基板側(cè)的保持面1a上配置粘結(jié)部件3和變形膜4，但不僅限于此，同樣也可以在作為下保持板2的基板側(cè)的保持面2a上，固定與下基板B的反面B1相對地粘結(jié)保持的粘結(jié)部件3，同時，可以設(shè)置能夠向上下方向彈性變形的變形膜4。
而且，在上保持板1的保持面1a上凹設(shè)有多個圓形的凹部1b，所有這些凹部1b的開口由一片板狀體4′、4″覆蓋，但并不僅限于此，也可以將凹部1b的形狀換成圓形以外的形狀，將各凹部1b由多片變形膜4分別覆蓋。
權(quán)利要求
1.一種粘結(jié)卡盤裝置，其相對于保持板通過粘結(jié)裝卸自如地保持基板，其特征在于，在所述保持板的基板側(cè)，設(shè)有粘結(jié)部件和變形膜，該粘結(jié)部件與基板的反面相對地粘結(jié)保持，該變形膜可向與該基板側(cè)面交叉的方向出入變形，通過該變形膜的出入變形使基板與粘結(jié)部件的粘結(jié)表面抵接地進(jìn)行粘結(jié)，同時強(qiáng)制地拉開并剝離兩者。
2.如權(quán)利要求1所述的粘結(jié)卡盤裝置，其特征在于，所述粘結(jié)部件與變形膜一體形成。
3.如權(quán)利要求1或2所述的粘結(jié)卡盤裝置，其特征在于，在所述變形膜的一部分上設(shè)置粘結(jié)部件的粘結(jié)表面。
4.如權(quán)利要求2或3所述的粘結(jié)卡盤裝置，其特征在于，在所述板狀體的一部分上開設(shè)通氣孔，從該通氣孔吸引、吸附基板的反面。
全文摘要
一種粘結(jié)卡盤裝置，以簡單的結(jié)構(gòu)切實(shí)地裝卸基板，在保持板(1)的基板側(cè)，設(shè)有粘結(jié)部件(3)和變形膜(4)，該粘結(jié)部件(3)與基板(A)的反面(A1)相對地粘結(jié)保持，該變形膜(4)可向與該基板側(cè)面(1a)交叉的方向出入變形，通過該變形膜(4)的出入變形使基板(A)與粘結(jié)部件(3)的粘結(jié)表面(3a)抵接地進(jìn)行粘結(jié)，同時通過強(qiáng)制地拉開兩者，能夠不費(fèi)力地將基板(A)從粘結(jié)部件(3)的粘結(jié)表面(3a)剝離。
文檔編號H01J11/20GK1777832SQ20058000015
公開日2006年5月24日 申請日期2005年4月8日 優(yōu)先權(quán)日2004年4月9日
發(fā)明者大谷義和, 橫田道也 申請人:信越工程株式會社