專利名稱：金屬屏蔽的制造方法及用于制造金屬屏蔽的鐳射開孔裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及金屬屏蔽的制造方法及用于制造該金屬屏蔽的鐳射開孔裝置，尤其涉及一種可提高良率的屏蔽制造方法及鐳射開孔裝置。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)中，主動矩陣有機(jī)發(fā)光二極管(Active-matrix organiclight-emitting diode, AMOLED)蒸鍍罩的制造方法是先以圖案化蝕刻的方式在一片厚度僅約40 μ m的金屬薄板上形成多個(gè)微小的網(wǎng)孔，以作成一蒸鍍網(wǎng)。該蒸鍍網(wǎng)上的每一網(wǎng)孔的大小僅約50 μ m,且相鄰網(wǎng)孔之間的間距僅約70 μ m。另一種制造上述蒸鍍網(wǎng)的方法，如美國專利公開第2011/0183271號所示，該方法是先在一金屬薄板上形成復(fù)數(shù)個(gè)(長條)孔，再利用激光束將這些孔的孔壁修整成斜面狀，從而形成該蒸鍍網(wǎng)上的網(wǎng)孔。如圖10所示，當(dāng)蒸鍍網(wǎng)80完成后，將該蒸鍍網(wǎng)80置于一金屬框82上，并利用多個(gè)夾具(圖中未示)將該蒸鍍網(wǎng)80的各邊(至少兩邊)加以夾持并向外拉伸，以拉平該蒸鍍網(wǎng)80。然而，由于該蒸鍍網(wǎng)80及其上的這些第一網(wǎng)孔801的尺寸都是微米等級。故，要在該蒸鍍網(wǎng)80的第一網(wǎng)孔801不變形的前提下將該蒸鍍網(wǎng)80拉平，并非易事。一般來說，在拉平一張蒸鍍網(wǎng)的過程中，通常需要將該蒸鍍網(wǎng)與一母玻璃進(jìn)行比對作業(yè)，若該蒸鍍網(wǎng)的網(wǎng)孔與該母玻璃上的標(biāo)準(zhǔn)網(wǎng)孔位置相對齊，則代表該蒸鍍網(wǎng)的網(wǎng)孔被這些夾具的拉過之后沒有產(chǎn)生變形，隨后即可將該蒸鍍網(wǎng)焊接固定于該金屬框，并藉由一總間距(Total pitch)量測機(jī)執(zhí)行總間距檢查，以確認(rèn)該蒸鍍網(wǎng)的網(wǎng)孔位置是否位在可容許的誤差范圍內(nèi)。該蒸鍍網(wǎng)的網(wǎng)孔通常被要求需符合總間距誤差(total pitch error)小于±5μπι，及符合其與母玻璃的標(biāo)準(zhǔn)網(wǎng)孔的開孔精度誤差小于±3μπι的雙重檢查標(biāo)準(zhǔn)。然而，若比對結(jié)果不在上述的檢查標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)，就表示該蒸鍍網(wǎng)上的網(wǎng)孔在該些夾具拉伸該蒸鍍網(wǎng)的過程中發(fā)生變形或位移，此時(shí)就需要去調(diào)整該些夾具的拉伸力道，直到比對結(jié)果符合檢查標(biāo)準(zhǔn)為止。上述蒸鍍罩的制造方法不但步驟復(fù)雜，且在該些夾具拉伸該蒸鍍網(wǎng)的過程中，很容易導(dǎo)致該蒸鍍網(wǎng)的網(wǎng)孔變形或位移，而需要花費(fèi)很多時(shí)間去調(diào)整該些夾具的拉伸力道。此外，在將該蒸鍍網(wǎng)焊接到該金屬框的過程中，該蒸鍍網(wǎng)的網(wǎng)孔也有可能會發(fā)生變形或位移，故焊接完成后還需要花費(fèi)許多工夫去執(zhí)行Total pitch檢查。由此可知，這種習(xí)知的AMOLED蒸鍍罩制造方法一直存在著制造效率差及良率低落的問題而亟待解決。圖11為臺灣公開第200526794號專利申請案所揭露的又一種AMOLED蒸鍍罩制造裝置的分解結(jié)構(gòu)示意圖。該制造方法是先將一金屬薄板91貼于一張網(wǎng)架92中間的網(wǎng)布920上，藉由該網(wǎng)布920使該金屬薄板91的表面維持水平。接著，利用鐳射切割在該金屬薄板91形成多個(gè)第二網(wǎng)孔910。再將一固定框93置于該金屬薄板91底部，并利用第一冶具94、第二冶具95將該固定框93及該金屬薄板91壓合，以進(jìn)行焊接作業(yè)，使得該固定框93與該金屬薄板91焊接在一起。最后，將該固定框93連同該金屬薄板91從該張網(wǎng)架92上裁切下來，以得到該蒸鍍罩。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服上述缺陷，本發(fā)明提供了一種金屬屏蔽的制造方法及用于制造金屬屏蔽的儀射開孔裝置，能夠有效提聞廣品良率。本發(fā)明為了解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:該制造方法包括執(zhí)行一金屬框入料作業(yè)，用以將一金屬框置于一工作臺上，該工作臺具有一支撐裝置，并使該金屬框套設(shè)于該支撐裝置外圍。接著，執(zhí)行一金屬薄板入料作業(yè)，用以將一金屬薄板平置于該金屬框與該支撐裝置所共構(gòu)的一頂面上。接下來，執(zhí)行一焊接作業(yè)，用以將該金屬薄板與該金屬框焊接在一起，以形成一屏蔽雛型。最后，藉由一鐳射開孔裝置執(zhí)行一鐳射開孔作業(yè)，用以在該屏蔽雛型的金屬薄板上形成復(fù)數(shù)個(gè)網(wǎng)孔。其中，該鐳射開孔裝置包括一機(jī)臺、能夠移動設(shè)于該機(jī)臺上的一移載機(jī)構(gòu)、設(shè)于該移載機(jī)構(gòu)的一鐳射頭及一計(jì)算機(jī)裝置。該計(jì)算機(jī)裝置用以控制該移載機(jī)構(gòu)連同該鐳射頭的移動，并控制該鐳射頭執(zhí)行該雷射開孔作業(yè)。較佳地，該鐳射開孔裝置還包括一檢查裝置，該檢查裝置設(shè)于該移載機(jī)構(gòu)上。本發(fā)明的制造方法還包括藉由該檢查裝置執(zhí)行一檢查作業(yè)及一校正作業(yè)。該計(jì)算機(jī)裝置在該鐳射頭進(jìn)行該鐳射開孔作業(yè)時(shí)，控制該檢查裝置執(zhí)行該檢查作業(yè)，以及對該鐳射頭執(zhí)行一校正作業(yè)，以使該金屬薄板上由該鐳射開孔作業(yè)所制作出來的網(wǎng)孔能符合標(biāo)準(zhǔn)。另一方面，本發(fā)明的制造方法還包括藉由該檢查裝置執(zhí)行另一種檢查作業(yè)。該計(jì)算機(jī)裝置在該鐳射頭進(jìn)行該鐳射開孔作業(yè)之后，控制該檢查裝置執(zhí)行該檢查作業(yè)，用以檢查該金屬薄板上由該鐳射開孔作業(yè)所制作出來的該些網(wǎng)孔是否符合標(biāo)準(zhǔn)。本發(fā)明的有益效果是:相較于先前技術(shù)，本發(fā)明是先將該金屬薄板平置于該金屬框上并與該金屬框焊接后，才進(jìn)行該鐳射開孔作業(yè)，故可避免該金屬屏蔽的網(wǎng)孔發(fā)生變形或位移的問題，進(jìn)而提高該金屬屏蔽的良率。至于本發(fā)明的其它發(fā)明內(nèi)容與更詳細(xì)的技術(shù)及功能說明，將揭露于隨后的說明。


圖1為本發(fā)明所述有機(jī)發(fā)光二極管蒸鍍罩的制造方法流程圖；圖2為本發(fā)明所述金屬框置于一工作臺的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明所述金屬薄板平置于一金屬框架及一支撐裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明所述鐳射開孔裝置的主視圖；圖5為本發(fā)明所述鐳射開孔裝置的俯視圖；圖6為本發(fā)明所述鐳射開孔作業(yè)示意圖；圖7為本發(fā)明所形成的一網(wǎng)孔的立體圖；圖8為圖7所示A-A剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖9為圖7所示B-B剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖10為現(xiàn)有技術(shù)中一種AMOLED蒸鍍罩制造裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖11為現(xiàn)有技術(shù)中另一種AMOLED蒸鍍罩制造裝置的分解結(jié)構(gòu)示意圖。
結(jié)合附圖，作以下說明:I——金屬框2——金屬薄板20——網(wǎng)孔3——錯(cuò)射開孔裝置35——機(jī)臺350——軌道355——支撐條37——移載機(jī)構(gòu)371——第一活動座372——第二活動座39 儀射頭6 檢查頭7——工作臺71——支撐裝置80——蒸鍍網(wǎng)801——第一網(wǎng)孔82——金屬框91——金屬薄板910——第二網(wǎng)孔92——張網(wǎng)架920-網(wǎng)布93-固定框94——第一冶具95——第二冶具
具體實(shí)施例方式圖1為本發(fā)明所述的金屬屏蔽的制造方法的流程圖。在本發(fā)明中，該制造方法是用來制造一種有機(jī)發(fā)光二極管的蒸鍍罩(Fine Pitch Metal Mask，F(xiàn)MM)，但并不以此為限，該制造方法也可運(yùn)用于制造一般的金屬屏蔽，例如:用于制造觸控面板的印刷屏蔽或IC封裝作業(yè)中所使用的印刷屏蔽。該制造方法包括一金屬框入料作業(yè)S1、一金屬薄板入料作業(yè)S2、一焊接作業(yè)S3及一鐳射開孔作業(yè)S4。其中，該金屬框入料作業(yè)S1、該金屬薄板入料作業(yè)S2及該焊接作業(yè)S3系在一張平機(jī)上進(jìn)行。如圖2所示，該張平機(jī)包括一工作臺7、設(shè)于該工作臺7頂面的一支撐裝置71及一焊接裝置(圖中未示)。該金屬框入料作業(yè)SI是將一金屬框I置于該工作臺7并套設(shè)于該支撐裝置71外。該支撐裝置71是包括多個(gè)支撐條710，但并不以此為限。參閱圖3，該金屬薄板入料作業(yè)S2是用以使一厚度僅約40 μ m的金屬薄板2平置于該金屬框I及該支撐裝置71所共構(gòu)的一頂面。該金屬薄板入料作業(yè)S2亦可采用其它方式，例如:拉伸，來使該金屬薄板2的頂面形成一平面。該焊接作業(yè)S3，是利用該焊接裝置(圖中未示)將該金屬薄板2與該金屬框I焊接在一起，以形成一蒸鍍罩雛型。該雷射開孔作業(yè)S4是利用一鐳射開孔裝置3，如圖4和圖5所示，在該金屬薄板2上進(jìn)行開孔。該鐳射開孔裝置3包括一機(jī)臺35、一移載裝置37、至少一鐳射頭39及一計(jì)算機(jī)裝置(圖中未示)。該機(jī)臺35是供承載焊接完成的該金屬薄板7及該金屬框1，該機(jī)臺35具有一支撐裝置，該支撐裝置包括多個(gè)支撐條355，供支撐該金屬薄板2，使其頂面保持水平。該移載裝置37包括一第一活動座371及一第二活動座372。該第一活動座371設(shè)于該機(jī)臺35上的一組軌道350上，且可沿著該軌道350移動。該第二活動座372設(shè)于該第一活動座371上，且可相對于該第一活動座371移動。

該鐳射頭39設(shè)于該移載裝置37的第二活動座372上，用以在該金屬薄板2上進(jìn)行錯(cuò)射開孔(laser opening)。優(yōu)選地,該錯(cuò)射開孔裝置3包括多個(gè)錯(cuò)射頭39,該錯(cuò)射開孔作業(yè)S4能夠同時(shí)控制該多個(gè)鐳射頭39在該金屬薄板2上進(jìn)行鐳射開孔，以提升開孔的速度。另一方面，該鐳射頭39能夠以垂直或傾斜的加工角度進(jìn)行鐳射開孔，圖6顯示了該鐳射頭39以傾斜的加工角度進(jìn)行鐳射開孔，進(jìn)而使得藉由上述步驟所制成的蒸鍍罩的每一網(wǎng)孔20的形狀由下而上漸縮，如圖7、8和9所示。如圖4和圖5所示，該計(jì)算機(jī)裝置用以控制該移載機(jī)構(gòu)37的移動及控制該鐳射頭39對該金屬薄板2的執(zhí)行該鐳射開孔作業(yè)S4。其中，該計(jì)算機(jī)裝置藉由一種能精密量測長度的量測儀器(圖中未示)來控制該移載機(jī)構(gòu)37的運(yùn)作，而使該移載裝置37能將其上的鐳射頭39準(zhǔn)確地移載到目標(biāo)位置進(jìn)行開孔。優(yōu)選地，如圖4和圖5所示，該鐳射開孔裝置3還包括一檢查裝置6，其設(shè)于該移載機(jī)構(gòu)37的第二活動座372上，且該檢查裝置6具備一 CXD攝像組件。優(yōu)選地，本發(fā)明還包括藉由該檢查裝置6來執(zhí)行一檢查作業(yè)，該檢查作業(yè)在此可分為兩種形式，詳如后述。其中一種是在該鐳射頭39進(jìn)行該鐳射開孔作業(yè)S4的同時(shí)，藉由該鐳射開孔裝置3的計(jì)算機(jī)裝置控制該檢查裝置6實(shí)時(shí)執(zhí)行該檢查作業(yè)，并根據(jù)該檢查作業(yè)的結(jié)果決定是否需要對該鐳射頭39進(jìn)行一校正作業(yè)，以使該金屬薄板2上由該鐳射開孔作業(yè)S4所制作出來的網(wǎng)孔能符合標(biāo)準(zhǔn)，例如:符合開孔精度小于±3 μ m的、網(wǎng)孔20的總間距誤差小于±5 μ m之標(biāo)準(zhǔn)，但并不以此為限。透過這種一邊開孔一邊檢查的作業(yè)方式，即可確保所形成的蒸鍍罩的網(wǎng)孔是符合標(biāo)準(zhǔn)的。另外一種則是在該鐳射頭39進(jìn)行該鐳射開孔作業(yè)S4之后，藉由該計(jì)算機(jī)裝置控制該檢查裝置6執(zhí)行另一種檢查作業(yè)，用以檢查該金屬薄板上由該鐳射開孔作業(yè)所所形成的蒸鍍罩的網(wǎng)孔是否符合標(biāo)準(zhǔn)，例如:符合開孔精度小于±3 μ m的、網(wǎng)孔20的總間距誤差小于±5 μ m之標(biāo)準(zhǔn)，但并不以此為限。相較于先前技術(shù)，本發(fā)明所提供的金屬屏蔽的制造方法是先將整片未開孔的金屬薄板平置并焊接到該金屬框上，再進(jìn)行開孔的作業(yè)，故可避免該金屬屏蔽的網(wǎng)孔在制造過程中發(fā)生變形或位移問題，而不需花費(fèi)很多時(shí)間去調(diào)整該些夾具的拉伸力道，即可輕易地改善良率低落的問題。無論如何，任何人都可以從上述說明獲得足夠教導(dǎo)，并據(jù)而了解本發(fā)明內(nèi)容確實(shí)不同于先前技術(shù)，且具有產(chǎn)業(yè)上的利用性，及足具進(jìn)步性。是本發(fā)明確已符合專利要件，并依法提出申請。
權(quán)利要求
1.一種制造屏蔽雛型的方法，其特征在于:包括: 將一金屬框套設(shè)于一支撐裝置的外圍； 將一金屬薄板平置于由該金屬框與該支撐裝置所共構(gòu)形成的一頂面上；及 將該金屬薄板焊接于該金屬框上。
2.一種制造金屬屏蔽的方法，其特征在于:包括: 提供一屏蔽雛型，該屏蔽雛型包括一金屬框和焊接在該金屬框上的一金屬薄板；及 執(zhí)行一鐳射開孔作業(yè)，用以在該金屬薄板上形成復(fù)數(shù)個(gè)網(wǎng)孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制造金屬屏蔽的方法，其特征在于:還包括在該鐳射開孔作業(yè)期間，執(zhí)行一檢查作業(yè)和一校正作業(yè)，以使由該鐳射開孔作業(yè)所形成的復(fù)數(shù)個(gè)網(wǎng)孔符合標(biāo)準(zhǔn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制造金屬屏蔽的方法，其特征在于:還包括在該鐳射開孔作業(yè)之后執(zhí)行一檢查作業(yè)，用以檢查該鐳射開孔作業(yè)所制作出來的復(fù)數(shù)個(gè)網(wǎng)孔是否符合標(biāo)準(zhǔn)。
5.一種鐳射開孔裝置，其特征在于:包括: 一機(jī)臺，該機(jī)臺供承載一屏蔽雛形，該屏蔽雛型包括一金屬框和焊接在該金屬框上的一金屬薄板，其中，該機(jī)臺還具有一供支撐該金屬薄板的支撐裝置； 一移載機(jī)構(gòu)，該移載機(jī)構(gòu)能夠移動設(shè)于該機(jī)臺上； 一鐳射頭，該鐳射頭設(shè)于該移載機(jī)構(gòu)上，并對該金屬薄板進(jìn)行鐳射開孔 '及 一計(jì)算機(jī)裝置，該計(jì)算機(jī)裝置能夠控制該移載機(jī)構(gòu)的移動及控制該鐳射頭對該金屬薄板的鐳射開孔作業(yè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的鐳射開孔裝置，其特征在于:還包括有一檢查裝置，該檢查裝置設(shè)于該移載機(jī)構(gòu)上。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的鐳射開孔裝置，其特征在于:該計(jì)算機(jī)裝置還能夠在該鐳射頭進(jìn)行鐳射開孔作業(yè)時(shí)，控制該檢查裝置執(zhí)行一檢查作業(yè)、以及對該鐳射頭執(zhí)行一校正作業(yè)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的鐳射開孔裝置，其特征在于:該計(jì)算機(jī)裝置還能夠在該鐳射頭進(jìn)行鐳射開孔作業(yè)之后，控制該檢查裝置執(zhí)行一檢查作業(yè)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種制造金屬屏蔽的方法，包括將一金屬框套設(shè)于一工作臺的支撐裝置外圍。接著，將一金屬薄板平置于該金屬框與該支撐裝置共構(gòu)的一頂面。接下來，將該金屬薄板與該金屬框焊接，以形成一屏蔽雛型。最后，藉由一鐳射開孔裝置對該屏蔽雛型執(zhí)行一鐳射開孔作業(yè)，用以在該金屬薄板上形成復(fù)數(shù)個(gè)網(wǎng)孔。相較于先前技術(shù)，本發(fā)明是先將該金屬薄板平置于該金屬框上并與該金屬框焊接后，才進(jìn)行該鐳射開孔作業(yè)，故可避免該金屬屏蔽的網(wǎng)孔發(fā)生變形或位移的問題，進(jìn)而提高該金屬屏蔽的良率。
文檔編號B23P15/00GK103182630SQ20121030910
公開日2013年7月3日 申請日期2012年8月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月3日
發(fā)明者李松賢 申請人:旭東機(jī)械工業(yè)股份有限公司