專利名稱：一種用于離子鍍膜室的分度回轉工作臺裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種用于離子鍍膜室的分度回轉工作臺裝置。
上述主傳動軸10與主工作臺4聯(lián)接處可設置上內(nèi)棘輪6。
上述主傳動軸10與回轉驅動盤14聯(lián)接處可設置下內(nèi)棘輪7。
上述傳動裝置11可采用傘齒輪組或斜齒輪組等。
上述鎖緊裝置2可采用彈簧夾頭鎖緊裝置。本實用新型具有以下優(yōu)點本實用新型位于真空室內(nèi)，可實現(xiàn)工件裝夾、分度回轉等離子清洗和分度回轉鍍膜，工作范圍大，可確保鍍膜位置。
主傳動軸10與主工作臺4聯(lián)接處設置有上內(nèi)棘輪6。
主傳動軸10與回轉驅動部件14聯(lián)接處設置有下內(nèi)棘輪7。棘輪為限位部件，主要用于配合主工作臺4實現(xiàn)限位及回轉工作臺實現(xiàn)運動傳遞?；剞D運動動力傳遞是通過真空室外的步進式伺服系統(tǒng)經(jīng)磁密封的主軸傳入的。
上述傳動裝置11為傘齒輪組或斜齒輪組。
參見圖2，主傳動軸10逆時針回轉為驅動分度，順時針回轉為去除驅動。為了確保正確定位，需要過限位部件上的棘爪與主工作臺外圓上棘齒反向設置，即設計的內(nèi)齒與外齒齒向相反，以限定主傳動軸10在順時針回轉時，主工作臺4停留在當前工位位置。六個回轉工作臺3按設定的工位及工序順序進行運動，完成加工工作?；剞D工作臺3的運動傳遞元件為直齒輪及二對共齒傘齒輪，回轉工作臺3上可配裝不同的工裝，對工件進行裝夾。同時，該工作臺能夠向外偏擺0°～60°的擺角，以適應不同加工工藝的要求。擺角調整好后，可通過該部件的彈簧夾頭鎖緊。
分度回轉工作臺3的主傳動軸10轉速通過降速比i＝0.26降速，分度及回轉的速度為0.26n。分度及回轉工藝過程信號的提供，可通過限位部件中設置的光電開關及分度工作臺主工作臺4下面的分度通光環(huán)配合提供，通過微機進行工位工序控制。分度回轉工作臺的分度和回轉運動的速度任意可調，光電角度分辨率可達5°，硬限位點定位精度可小于0.05mm。
權利要求1.一種用于離子鍍膜室的分度回轉工作臺裝置，包括回轉工作臺(3)、主工作臺(4)和驅動裝置(9)，所述回轉工作臺(3)設置在主工作臺(4)上方，所述驅動裝置(9)包括電機(15)和主傳動軸(10)，所述主工作臺(4)設置在主傳動軸(10)上，其特征在于所述主工作臺(4)上設置有回轉部件(8)，該回轉部件(8)包括鎖緊裝置(2)、傳動裝置(11)和回轉驅動裝置(5)，傳動裝置(11)設置在主工作臺(4)與回轉工作臺(3)間，所述回轉工作臺(3)與傳動裝置(11)間為可繞傳動裝置(11)的中心軸(13)旋轉的軸聯(lián)接，鎖緊裝置(2)設置在中心軸(13)上；所述回轉驅動裝置(5)包括回轉驅動盤(14)和驅動輪(12)，所述回轉驅動盤(14)設置在主工作臺(4)下方的主傳動軸(10)上，其通過驅動輪(12)與傳動裝置(11)聯(lián)接，所述主工作臺(4)和回轉驅動盤(14)聯(lián)接；所述主工作臺(4)外端設置有外棘輪(1)。
2.如權利要求1所述的分度回轉工作臺裝置，其特征在于所述主傳動軸(10)與主工作臺(4)聯(lián)接處設置有上內(nèi)棘輪(6)。
3.如權利要求1或2所述的分度回轉工作臺裝置，其特征在于所述主傳動軸(10)與回轉驅動盤(14)聯(lián)接處設置有下內(nèi)棘輪(7)。
4.如權利要求3所述的分度回轉工作臺裝置，其特征在于所述傳動裝置(11)為傘齒輪組或斜齒輪組。
5.如權利要求4所述的分度回轉工作臺裝置，其特征在于所述鎖緊裝置(2)為彈簧夾頭鎖緊裝置。
專利摘要一種用于離子鍍膜室的分度回轉工作臺裝置,其主工作臺用以實現(xiàn)工件在設定工位的分度及定位,同時對安裝于主工作臺上的回轉工作臺進行回轉運動傳遞,回轉工作臺用以實現(xiàn)工件的裝夾,回轉及所需的擺角位置,限位部件,用于配合主工作臺實現(xiàn)限位及回轉工作臺實現(xiàn)運動傳遞。本實用新型位于真空室內(nèi),可實現(xiàn)工件裝夾、分度回轉等離子清洗和分度回轉鍍膜,工作范圍大,可確保鍍膜位置。
文檔編號C23C14/50GK2510503SQ0126593
公開日2002年9月11日 申請日期2001年11月30日 優(yōu)先權日2001年11月30日
發(fā)明者朱克志, 李東生, 趙玉清 申請人:陜西百納科技發(fā)展有限責任公司