專(zhuān)利名稱(chēng)：具有自動(dòng)識(shí)別功能的有機(jī)發(fā)光鍍膜機(jī)基片小擋板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于機(jī)械領(lǐng)域，具體涉及一種安裝于有機(jī)發(fā)光鍍膜機(jī)基片架前的具有自動(dòng)識(shí)別功能的小擋板。
背景技術(shù)：
如附圖1所示，為現(xiàn)在使用的最基本的一種有機(jī)真空鍍膜系統(tǒng)的示意圖。系統(tǒng)各部分的作用和名稱(chēng)為真空室9經(jīng)抽真空管道1抽真空達(dá)到要求后，對(duì)蒸發(fā)源3通過(guò)電極引線(xiàn)2通電預(yù)熱，為了避免基片7受預(yù)熱蒸發(fā)源時(shí)的污染，事前關(guān)閉基片大擋板6。行星式旋轉(zhuǎn)基片架8能夠保證基片7上的成膜均勻。基片架旋轉(zhuǎn)動(dòng)力機(jī)構(gòu)10是控制基片旋轉(zhuǎn)和調(diào)速的裝置，可以使行星式旋轉(zhuǎn)基片架8及基片7繞中心軸13同步公轉(zhuǎn)，同時(shí)使基片7自轉(zhuǎn)。通過(guò)玻璃觀(guān)察窗5可以對(duì)真空室9內(nèi)的工作情況進(jìn)行觀(guān)察，快開(kāi)門(mén)11是為了快速裝卸基片和鍍料。聯(lián)結(jié)手套箱窗口4是在鍍完膜后將基片送進(jìn)手套箱進(jìn)行器件的封裝。
探索和確定有機(jī)電致發(fā)光條件，需要設(shè)計(jì)和作出大量的不同配方和組合的高質(zhì)量的試樣進(jìn)行比較。具有行星式旋轉(zhuǎn)方式的基片架，由于其鍍膜質(zhì)量均勻而得到廣泛應(yīng)用。但直到目前為止在這種模式的有機(jī)鍍膜機(jī)的行星式旋轉(zhuǎn)基片架上，不論放置幾個(gè)基片，在一個(gè)實(shí)驗(yàn)周期內(nèi)只能作出一種試樣。這是由于每個(gè)基片都完全暴露于相同的實(shí)驗(yàn)條件下，在同一個(gè)蒸鍍周期內(nèi)各個(gè)基片上的膜層材料結(jié)構(gòu)與成份完全相同，達(dá)不到在同一個(gè)實(shí)驗(yàn)周期里選擇不同實(shí)驗(yàn)條件作出不同試樣的目的。然而在基片孔位的下面安裝小擋板單獨(dú)進(jìn)行控制又是極其困難的。所以這是一個(gè)長(zhǎng)期沒(méi)有得到解決的問(wèn)題。從而只能慢慢的在一個(gè)實(shí)驗(yàn)周期里作出一種試樣，在另一個(gè)實(shí)驗(yàn)周期里作出另一種試樣，使獲得一個(gè)有用的數(shù)據(jù)要花費(fèi)大量的時(shí)間和物力，這是制約提高真空有機(jī)鍍膜研究工作效率的瓶頸之一。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的就是在基片的下面提供一組具有自動(dòng)識(shí)別功能的小檔板，每個(gè)小檔板可以很方便地對(duì)相應(yīng)基片的鍍膜條件進(jìn)行控制，從而實(shí)現(xiàn)在一個(gè)實(shí)驗(yàn)周期內(nèi)作出多個(gè)試樣的目的。
本發(fā)明所述的具有自動(dòng)識(shí)別功能的基片小檔板由安裝在托板上的兩個(gè)半圓形能夠開(kāi)合并與基片架同步公轉(zhuǎn)的平板構(gòu)成的基片小擋板、磁力傳動(dòng)機(jī)械手、推拉控制板、傳感器和位置探測(cè)器及自動(dòng)識(shí)別電路構(gòu)成。


圖1現(xiàn)有技術(shù)中真空有機(jī)鍍膜機(jī)結(jié)構(gòu)示意圖；圖2本發(fā)明所述真空有機(jī)鍍膜機(jī)結(jié)構(gòu)示意圖；圖3基片小檔板安裝結(jié)構(gòu)示意圖；圖4托板上小檔板分布結(jié)構(gòu)示意圖；圖5磁力傳動(dòng)裝置工作狀態(tài)示意圖；圖6自動(dòng)識(shí)別電路示意圖；圖7(a)位置探測(cè)器安裝示意圖；圖7(b)位置探測(cè)器、傳感器安裝示意圖。
實(shí)施方式具體來(lái)說(shuō)，如附圖2所示，本發(fā)明是在行星式旋轉(zhuǎn)基片架上8的基片7和基片大擋板6之間，設(shè)置有托板12，托板12安裝在行星式旋轉(zhuǎn)基片架8的公轉(zhuǎn)軸13上，與行星式旋轉(zhuǎn)基片架上8同步轉(zhuǎn)動(dòng)。在托板12上安裝有基片小檔板，每個(gè)小檔板的位置與每個(gè)基片的孔位相對(duì)應(yīng)，每個(gè)基片小檔板能夠在一個(gè)實(shí)驗(yàn)周期里控制對(duì)應(yīng)基片上的鍍膜。這樣，在同一真空室的行星式旋轉(zhuǎn)基片架8上就可以設(shè)置多個(gè)基片(＞＝2)，相應(yīng)地在托板12上設(shè)置多個(gè)小檔板，多個(gè)小檔板以繞公轉(zhuǎn)軸(13)對(duì)稱(chēng)的形式排列。通過(guò)開(kāi)合小檔板就能夠?qū)γ總€(gè)基片鍍膜時(shí)間及鍍膜材料成份等工藝條件進(jìn)行控制，從而可以在一個(gè)實(shí)驗(yàn)周期內(nèi)獲得多個(gè)試樣，有效地提高鍍膜機(jī)的工作效率?；靶n板的數(shù)量以2、3、4、5、6、8為宜，以3、4、5為最佳。
本發(fā)明以具有4個(gè)基片的有機(jī)真空鍍膜機(jī)為例，本發(fā)明的發(fā)明點(diǎn)在于小檔板的結(jié)構(gòu)，而與基片的數(shù)目無(wú)關(guān)，凡是應(yīng)用與本發(fā)明相同或相近的小檔板，均在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
如附圖3及附圖4所示，4個(gè)小擋板對(duì)稱(chēng)安裝在圓形托板12上，4個(gè)小擋板都是由沿托板12徑向分開(kāi)的兩個(gè)半圓形的擋板37組合而成。每個(gè)半圓形小擋板37均用定軸34和動(dòng)軸35分別固定在托板12和推拉控制板38上。導(dǎo)向柱39和定軸34是限定推拉控制板38的運(yùn)動(dòng)方向和距離的，推拉控制板38只能沿托板12徑向運(yùn)動(dòng)。在兩個(gè)半圓形小擋板37的動(dòng)軸35上套有彈簧36，彈簧36能夠使小擋板37在打開(kāi)和關(guān)閉的狀態(tài)下都能夠自鎖，以確保兩個(gè)半圓形小擋板37在隨托板12與行星式旋轉(zhuǎn)基片架8公轉(zhuǎn)的過(guò)程中不會(huì)自行關(guān)閉或打開(kāi)。
對(duì)于彈簧的自鎖功能，可做如下理解當(dāng)彈簧36在定軸34的右側(cè)時(shí)，小檔板37處于關(guān)閉狀態(tài)，這時(shí)彈簧緊緊拉著兩個(gè)小檔板，小檔板不會(huì)自己打開(kāi)；當(dāng)推拉控制板38沿導(dǎo)向柱39及定軸34向左運(yùn)動(dòng)時(shí)，小檔板被打開(kāi)，彈簧36是套掛在動(dòng)軸35上的，因而彈簧36被拉到定軸34的左邊，仍然是緊緊的拉著小檔板，故而無(wú)論是對(duì)應(yīng)小檔板的開(kāi)啟狀態(tài)還是關(guān)閉狀態(tài)，彈簧都具有自鎖功能。
小檔板開(kāi)合控制裝置是由磁力傳動(dòng)機(jī)械手31、磁力連桿32組成，磁力連桿32的一端位于真空室外面，另一端與磁力傳動(dòng)機(jī)械手31連動(dòng)，從而可以在充分保證真空室真空條件不變的情況下，在真空室外面通過(guò)操縱磁力連桿32，再連動(dòng)磁力傳動(dòng)機(jī)械手31控制每個(gè)小檔板的打開(kāi)或關(guān)閉，這就實(shí)現(xiàn)了在一個(gè)實(shí)驗(yàn)周期內(nèi)，獲得不同試樣的目的。圖5是表示小擋板37開(kāi)與合的動(dòng)作原理圖，當(dāng)磁力傳動(dòng)機(jī)械手31的端部處在推拉控制板38的外側(cè)時(shí)，向上提升磁力傳動(dòng)機(jī)械手31的磁力連桿32，機(jī)械手31的端部推動(dòng)推拉控制板38向右運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)小擋板37繞定軸34作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，使小擋板37關(guān)閉；當(dāng)將機(jī)械手31的端部移動(dòng)到推拉控制板38的右側(cè)時(shí)，向下壓磁力傳動(dòng)機(jī)械手31的磁力連桿32時(shí)，機(jī)械手31的端部向左運(yùn)動(dòng)，將推拉控制板38向左推，從而實(shí)現(xiàn)了打開(kāi)小擋板37的操作。
當(dāng)利用本發(fā)明所述有機(jī)真空鍍膜機(jī)作完一個(gè)試樣(設(shè)該試樣為1#)之后，要作2#試樣時(shí)，當(dāng)然要先將試樣1#對(duì)應(yīng)的基片小擋板關(guān)閉，再將試樣2#對(duì)應(yīng)的基片小擋板打開(kāi)。不論是打開(kāi)或是關(guān)閉基片小檔板，都需要先使行星式旋轉(zhuǎn)基片架8的轉(zhuǎn)動(dòng)停止下來(lái)，這時(shí)1#基片及其下面的小擋板相對(duì)于安裝在真空鍍膜機(jī)固定位置的磁力連桿32而言將隨機(jī)停在任意位置，需要將1#試樣對(duì)應(yīng)的基片及小擋板找到并將其移動(dòng)到與磁力連桿32連接的磁力傳動(dòng)機(jī)械手31的下方。此項(xiàng)工作通過(guò)玻璃觀(guān)察窗5去觀(guān)察和尋找再用手通過(guò)基片架動(dòng)力旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)10進(jìn)行操作顯然是很麻煩的，而通過(guò)一個(gè)基片自動(dòng)識(shí)別裝置則能夠快速而準(zhǔn)確的完成這個(gè)操作?；詣?dòng)識(shí)別裝置由傳感器、位置探測(cè)器和自動(dòng)識(shí)別電路構(gòu)成，從而實(shí)現(xiàn)自動(dòng)快速選擇基片的目的。
基片自動(dòng)識(shí)別裝置由1個(gè)傳感器，與基片數(shù)目相同的位置探測(cè)器和一個(gè)自動(dòng)識(shí)別電路構(gòu)成。如圖7(a)、7(b)所示，傳感器44安裝在行星式旋轉(zhuǎn)基片架8的上面，位置與某一基片7孔位對(duì)應(yīng)(認(rèn)定它即為1#試樣)，靠近真空室上法蘭盤(pán)頂蓋33的內(nèi)表面。該傳感器必須適于在真空條件下工作，并且其信號(hào)能夠透過(guò)金屬，例如磁鋼就是一種常用的傳感器。在真室上法蘭盤(pán)頂蓋33的外面，4個(gè)能夠接受傳感器發(fā)出的磁力信號(hào)的探測(cè)器45對(duì)稱(chēng)地分布在與傳感器同一圓周上，其中一個(gè)探測(cè)器的位置與磁力連桿32的位置同一徑向。在真空室的具體設(shè)計(jì)過(guò)程中，使傳感器與探測(cè)器兩者相距越近越好，以保證探測(cè)器能夠接受足夠大的信號(hào)。
基片自動(dòng)識(shí)別電路如圖6所示。該電路的目的是為了識(shí)別所要選擇的基片并將其移動(dòng)到磁力傳動(dòng)機(jī)械手31的下方，自動(dòng)識(shí)別電路與行星式旋轉(zhuǎn)基片架的電動(dòng)機(jī)控制電路結(jié)合在一起。
圖6電路圖中上面的實(shí)線(xiàn)矩形框里(框A)是行星式旋轉(zhuǎn)基片架的電動(dòng)機(jī)控制電路，整個(gè)點(diǎn)畫(huà)線(xiàn)框里都是基片自動(dòng)識(shí)別電路(框B)，框C是位置探測(cè)器與自動(dòng)識(shí)別電路的聯(lián)結(jié)電路。
自動(dòng)識(shí)別電路的工作原理簡(jiǎn)述如下。在框A中，K4是“工作/識(shí)別”按扭，按下去是行星式基片架8工作，彈出時(shí)是基片7自動(dòng)識(shí)別。當(dāng)按下K4后，再按下K3按扭，則行星式基片架8就開(kāi)始工作，彈出K3則行星式基片架8停止工作。
在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中，當(dāng)選擇某一基片(如1#)，需要打開(kāi)或關(guān)閉小擋板時(shí)，先彈出K3按鈕，使行星式旋轉(zhuǎn)基片架8的轉(zhuǎn)動(dòng)停止下來(lái)，再?gòu)棾鯧4，啟動(dòng)自動(dòng)識(shí)別電路，然后再按下K5(對(duì)應(yīng)1#基片)按扭，這時(shí)J1-1，J1-2與J1-3閉合，為識(shí)別準(zhǔn)備好工作條件。按下K3(電源“ON”)，電動(dòng)機(jī)開(kāi)始轉(zhuǎn)動(dòng)起來(lái)，當(dāng)傳感器轉(zhuǎn)到位置探測(cè)器1時(shí)，將探測(cè)器1閉合，使繼電器J5工作，J5-1的常閉觸點(diǎn)打開(kāi)，使電動(dòng)機(jī)停止工作，此時(shí)，1#基片的孔位正好轉(zhuǎn)到磁力傳動(dòng)機(jī)械手31的下面。有了這個(gè)自動(dòng)識(shí)別裝置后，能夠顯著地提高工作效率，操作起來(lái)非常方便。
權(quán)利要求
1.具有自動(dòng)識(shí)別功能的有機(jī)發(fā)光鍍膜機(jī)基片小擋板，其特征在于①由兩個(gè)半圓形的基片小擋板(37)、推拉控制板(38)、磁力傳動(dòng)機(jī)械手(31)、自動(dòng)識(shí)別裝置組成；②半圓形小檔板(37)與推拉控制板(38)一同安裝在托板(12)上，小檔板位于基片(7)孔位下方，托板(12)安裝在行星式旋轉(zhuǎn)基片架(8)的公轉(zhuǎn)軸(13)上，位于基片(7)及大檔板(6)之間，與行星式旋轉(zhuǎn)基片架(8)同步轉(zhuǎn)動(dòng)；③每個(gè)半圓形小檔板(37)用定軸(34)和動(dòng)軸(35)分別固定在托板(12)和推拉控制板(38)上；④磁力傳動(dòng)機(jī)械手(31)安裝在真空室的固定位置，通過(guò)推拉控制板(38)實(shí)現(xiàn)兩個(gè)半圓形小檔板的開(kāi)合；⑤自動(dòng)識(shí)別裝置由傳感器、位置探測(cè)器和自動(dòng)識(shí)別電路構(gòu)成，傳感器(44)安裝在行星式旋轉(zhuǎn)基片架(8)的上面，位置對(duì)應(yīng)于某一個(gè)基片，與基片數(shù)目相同的位置探測(cè)器(45)安裝在真空室法蘭盤(pán)頂蓋(33)的外面，與傳感器同圓周且對(duì)稱(chēng)分布，其中的一個(gè)位置探測(cè)器與磁力傳動(dòng)機(jī)械手(31)的磁力連桿(32)同一徑向。
2.如權(quán)利要求1所述的具有自動(dòng)識(shí)別功能的有機(jī)發(fā)光鍍膜機(jī)基片小擋板，其特征在于在托板(12)還安裝有導(dǎo)向柱(39)，導(dǎo)向柱(39)位于推拉控制板(38)的中心線(xiàn)上。
3.如權(quán)利要求1或2所述的具有自動(dòng)識(shí)別功能的有機(jī)發(fā)光鍍膜機(jī)基片小擋板，其特征在于在兩個(gè)半圓形小擋板(37)的動(dòng)軸(35)上套有彈簧(36)。
4.如權(quán)利要求1所述的具有自動(dòng)識(shí)別功能的有機(jī)發(fā)光鍍膜機(jī)基片小擋板，其特征在于所述的磁力傳動(dòng)機(jī)械手(31)由磁力連桿(32)在真空室外連動(dòng)。
5.如權(quán)利要求1所述的具有自動(dòng)識(shí)別功能的有機(jī)發(fā)光鍍膜機(jī)基片小擋板，其特征在于所述的傳感器是磁鋼，探測(cè)器是干簧管，自動(dòng)識(shí)別電路與基片架(8)的電動(dòng)機(jī)控制電路結(jié)合在一起。
全文摘要
本發(fā)明屬于機(jī)械領(lǐng)域，具體涉及一種安裝于有機(jī)發(fā)光鍍膜機(jī)基片架前的具有自動(dòng)識(shí)別功能的小擋板?；醢逵砂惭b在托板上的兩個(gè)半圓形能夠開(kāi)合并與基片架同步公轉(zhuǎn)的平板構(gòu)成的基片小擋板(37)、磁力傳動(dòng)機(jī)械手(31)、推拉控制板(38)、傳感器(44)和位置探測(cè)器(45)及自動(dòng)識(shí)別電路構(gòu)成。半圓形小擋板(37)與推拉控制板(38)一同安裝在托板(12)上，托板(12)安裝在行星式旋轉(zhuǎn)基片架(8)的公轉(zhuǎn)軸(13)上，位于基片(7)及大擋板(6)之間，與行星式旋轉(zhuǎn)基片架(8)同步轉(zhuǎn)動(dòng)。小擋板可以很方便地對(duì)相應(yīng)基片的鍍膜條件進(jìn)行控制，從而實(shí)現(xiàn)在一個(gè)實(shí)驗(yàn)周期內(nèi)作出多個(gè)試樣的目的，從而有效地提高有機(jī)鍍膜的工作效率。
文檔編號(hào)C23C14/12GK1441081SQ03111338
公開(kāi)日2003年9月10日 申請(qǐng)日期2003年3月30日 優(yōu)先權(quán)日2003年3月30日
發(fā)明者侯晶瑩, 劉立寧, 趙毅, 李傳南, 高文寶, 謝文法, 劉式墉 申請(qǐng)人:吉林大學(xué)