專利名稱：一種用于etp pecvd生產(chǎn)線的鏤空石墨載板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種用于ETP PECVD生產(chǎn)線的鏤空石墨載板，屬于高端PECVD裝備領(lǐng)域。
技術(shù)背景ETP PECVD技術(shù)具有高沉積率(可達(dá)20nm/s)、SiH4氣源利用率高(只是輝光放電PECVD技術(shù)的一半)和操作簡單等優(yōu)點。該技術(shù)廣泛用于太陽能電池片制造工藝中減反射薄膜的制備。在減反射薄膜生產(chǎn)過程中，由于石墨載板反復(fù)經(jīng)歷低真空、低溫到高真空、高溫(450攝氏度)再到低真空、低溫的不同腔室，因此要求石墨抗蠕變和膨脹系數(shù)小。另一方面在ETP PECVD中由于沉積速度快，石墨載板在沉積腔室中停留時間只有不到一分鐘時間，導(dǎo)致石墨載板和硅片之間的接觸面溫度很難達(dá)到設(shè)定溫度，從而影響電池片轉(zhuǎn)換率。
發(fā)明內(nèi)容為了克服上述缺點，本實用新型的目的在于提供一種用于ETP PECVD生產(chǎn)線鏤空石墨載板，該載板制作簡單、成本低，能有效提聞娃片加熱效率和減少娃片在裝卸過程中的破片率。為達(dá)到上述目的，本新型的石墨載板采用的解決方案是將石墨板的中心區(qū)域加工有12個鏤空方格，方格四周加工有凹槽，凹槽的角上加工有半圓臺階和矩形臺階，與安放硅片的支撐面齊平。石墨板的上側(cè)加工有傳輸磁鐵固定孔和磁鐵安裝板定位孔；下側(cè)加工有滑輪固定孔和定位孔。本實用新型具有如下效果由于加工了鏤空方格，PECVD生產(chǎn)線沉積腔室下部熱源所輻射的熱量可以直接到達(dá)硅片背面，避免了原來只能靠載板將熱量傳遞給硅片的背面，這樣在短時間內(nèi)硅片上下兩個面就能達(dá)到熱平衡，受熱均勻，從而提高了太陽能電池片的轉(zhuǎn)換率。鏤空方格四周加工的凹槽，減少了硅片與載板的有效接觸面積，降低了硅片四個邊緣處與載板的摩擦力，在裝片與卸片的過程，有效降低了硅片的破片率。凹槽角上加工的半圓臺階和矩形臺階，有效的避免了硅片的四個角與載板在安放時的干涉，有利于硅片安放的更平整。

圖I為本實用新型的主視圖。圖2為本實用新型沿方格的縱剖視圖。圖中I 一石墨板 101—磁鐵安裝板定位孔 102—傳輸磁鐵固定孔103—半圓臺階 104—矩形臺階 105—凹槽 106—鏤空方格 107—滑輪固定孔 108—定位孔 109—娃片支撐平臺 110—娃片定位框。
具體實施方式
[0009]為了使本實用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，
以下結(jié)合附圖及實施例，對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。如圖I、圖2所不,本實用新型石墨載板在一矩形石墨板I的中心區(qū)域加工有12個鏤空方格106，方格四周加工有凹槽105，凹槽的角上加工有半圓臺階103和矩形臺階104，石墨板I的上側(cè)加工有傳輸磁鐵固定孔102和磁鐵安裝板定位孔101，下側(cè)加工有滑輪固定孔107和定位孔108。鏤空方格外側(cè)設(shè)置有硅片定位框110和硅片支撐平臺109?！?br> 權(quán)利要求1.一種用于ETP PECVD生產(chǎn)線的鏤空石墨載板,其特征在于在一矩形石墨板(I)的中心區(qū)域加工有鏤空方格(106)，方格四周加工有凹槽(105)，凹槽的角上加工有半圓臺階(103)和矩形臺階(104)，與安放硅片的支撐面齊平。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種用于ETPPECVD生產(chǎn)線的鏤空石墨載板，其特征在于所述鏤空方格(106)的個數(shù)為12個。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種用于ETP PECVD生產(chǎn)線的鏤空石墨載板，其特征在于鏤空方格(106)外側(cè)設(shè)置有硅片定位框(109)和硅片支撐平臺(110)。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種用于ETP PECVD生產(chǎn)線的鏤空石墨載板，其特征在于石墨板(I)的上側(cè)加工有傳輸磁鐵固定孔(102)和磁鐵安裝板定位孔(101),下側(cè)加工有滑 輪固定孔(107)和定位孔(108)。
專利摘要本實用新型公開了一種用于ETP PECVD生產(chǎn)線的鏤空石墨載板結(jié)構(gòu)，該石墨載板主要由鏤空方格構(gòu)成。在一矩形石墨板的中心區(qū)域加工有12個鏤空方格，方格四周加工有凹槽，凹槽的角上加工有半圓臺階和矩形臺階，石墨板的上側(cè)加工有傳輸磁鐵固定孔和磁鐵安裝板定位孔，下側(cè)加工有滑輪固定孔和定位孔。本實用新能有效提高硅片的加熱效率和太陽能電池片的轉(zhuǎn)換率，減少硅片在裝卸過程中的破片率。
文檔編號C23C16/458GK202766616SQ20122028061
公開日2013年3月6日 申請日期2012年6月15日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月15日
發(fā)明者芶富均 申請人:芶富均