專利名稱：鉬反應(yīng)腔的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及有機金屬化學(xué)氣象沉積設(shè)備領(lǐng)域，更具體的說涉及一種鑰反應(yīng)腔，使用于MOCVD工藝。
背景技術(shù)：
隨著化合物半導(dǎo)體器件(如GaAs麗1C、InP麗IC以及GaN藍(lán)光LED)市場的不斷擴大，MOCVD系統(tǒng)的需求量不斷增長。目前國際上實力最為雄厚的MOCVD系統(tǒng)制造商有德國、美國、英國等。因為MOCVD系統(tǒng)最關(guān)鍵的問題就是保證材料生長的均勻性和重復(fù)性，因此不同廠家的MOCVD系統(tǒng)最主要的區(qū)別在于反應(yīng)室結(jié)構(gòu)。目前國內(nèi)使用于MOCVD設(shè)備主要是LED光電行業(yè)，而且MOCVD設(shè)備相對國內(nèi) 的LED廠商來講都是全進(jìn)口設(shè)備，對于該設(shè)備的部件，基本上都是采用德國原廠的部件，以保證設(shè)備的正常使用，其進(jìn)口的鑰反應(yīng)腔是由2個扇形組成的結(jié)構(gòu)。因此MOCVD設(shè)備及其備品備件基本上都是國外設(shè)備公司壟斷。根據(jù)國內(nèi)LED廠商實際使用狀況，我們國內(nèi)LED芯片廠商為了降低生產(chǎn)成本，就需要部分設(shè)備備品備件都國產(chǎn)化。因此我們有必要進(jìn)行自行設(shè)計和開發(fā)鑰反應(yīng)腔。實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是針對現(xiàn)有技術(shù)的不足之處，提供一種鑰反應(yīng)腔，其連接牢固，使用壽命長。本實用新型的技術(shù)解決措施如下鑰反應(yīng)腔，所述鑰反應(yīng)腔是由四個鑰體外側(cè)板、四個鑰體內(nèi)側(cè)板和四個鑰體底板拼接而成的環(huán)形腔室結(jié)構(gòu)，且四個鑰體外側(cè)板的高度大于四個鑰體內(nèi)側(cè)板的高度；所述四個鑰體外側(cè)板、四個鑰體內(nèi)側(cè)板與底板之間分別采用鏈接的方式連接在一起；所述四個鑰體外側(cè)板之間、四個鑰體內(nèi)側(cè)板之間分別采用搭接的方式連接在一起；所述四個鑰體外側(cè)板和四個鑰體內(nèi)側(cè)板之間采用螺桿螺母結(jié)構(gòu)鎖緊在一起；所述四個鑰體外側(cè)板和四個鑰體內(nèi)側(cè)板的上邊緣分別設(shè)有包邊。作為優(yōu)選，所述螺桿螺母結(jié)構(gòu)共16個，在側(cè)板搭接處兩側(cè)對稱各有一組螺桿螺母結(jié)構(gòu)，其中一組螺桿螺母結(jié)構(gòu)上還鎖有一折鉤，且螺桿螺母結(jié)構(gòu)的中心線與側(cè)板搭接處的中心線之間形成的角度為3. 9°。作為優(yōu)選，所述螺桿螺母結(jié)構(gòu)的螺桿頭部與螺母平齊。作為優(yōu)選，所述四個鑰體外側(cè)板上均布設(shè)有多個通孔。本實用新型的有益效果在于本實用新型的鑰反應(yīng)腔由四個鑰體外側(cè)板、四個鑰體內(nèi)側(cè)板和四個鑰體底板拼接而成的環(huán)形腔室結(jié)構(gòu)，連接處用鑰的螺桿螺母連接，更具有熱脹冷縮的伸縮性，使鑰反應(yīng)腔能夠整體得到平衡，不至于鑰反應(yīng)腔在短時間內(nèi)因為高溫的變形而破壞鑰腔體。同時本實用新型鑰反應(yīng)腔的環(huán)形結(jié)構(gòu)更接近真圓度，使用壽命長。


以下結(jié)合附圖對本實用新型做進(jìn)一步的說明[0017]圖I為本實用新型的主視圖；圖2為本實用新型的附視圖；圖3為圖2中的A-A剖視圖；圖4為圖I中的I處的放大示意圖；圖5為圖I中的II處的放大示意圖；圖6為圖3中的III處的放大示意圖；圖7為圖3中的IV處的放大示意圖。
具體實施方式
以下所述僅為本實用新型的較佳實施例，并非對本實用新型的范圍進(jìn)行限定。實施例，見附圖f 3，鑰反應(yīng)腔，所述鑰反應(yīng)腔是由四個鑰體外側(cè)板I、四個鑰體內(nèi)側(cè)板2和四個鑰體底板3拼接而成的環(huán)形腔室結(jié)構(gòu)，且四個鑰體外側(cè)板的高度大于四個鑰體內(nèi)側(cè)板的高度。附圖4是四個鑰體外側(cè)板之間、四個鑰體內(nèi)側(cè)板之間分別采用搭接的方式連接在一起，且采用訂書釘?shù)拇罱臃绞竭B接。附圖5是四個鑰體外側(cè)板與底板之間采用鏈接的方式連接在一起；附圖6是四個鑰體內(nèi)側(cè)板與底板之間采用鏈接的方式連接在一起。附圖7是四個鑰體外側(cè)板和四個鑰體內(nèi)側(cè)板的上邊緣分別設(shè)有包邊5、6的結(jié)構(gòu)示意圖。所述四個鑰體外側(cè)板和四個鑰體內(nèi)側(cè)板之間采用螺桿螺母結(jié)構(gòu)4鎖緊在一起，螺桿螺母結(jié)構(gòu)都采用鑰的材質(zhì)，由于鑰反應(yīng)腔是在1200°C高溫的真空環(huán)境下工作，采用鑰的材質(zhì)具有熱脹冷縮的伸縮性，使鑰反應(yīng)腔能夠整體得到平衡，不至于鑰反應(yīng)腔在短時間內(nèi)因為高溫的變形而破壞鑰腔體。所述螺桿螺母結(jié)構(gòu)共16個，在側(cè)板搭接處兩側(cè)對稱各有一組螺桿螺母結(jié)構(gòu)，其中一組螺桿螺母結(jié)構(gòu)上還鎖有一折鉤7，且四個帶折鉤的螺桿螺母結(jié)構(gòu)對稱分布在鑰反應(yīng)腔四周。同時螺桿螺母結(jié)構(gòu)的中心線與側(cè)板搭接處的中心線之間形成的角度為3. 9°。這樣共有8個螺桿螺母結(jié)構(gòu)分布在搭接處兩側(cè)，其余8個分別均勻布置在四個側(cè)板上，每個側(cè)板兩個，這兩個螺桿螺母結(jié)構(gòu)的中心線之間以及與相鄰螺桿螺母結(jié)構(gòu)的中心線之間形成的角度均為27. 4°。所述螺桿螺母結(jié)構(gòu)的螺桿頭部與螺母平齊。所述四個鑰體外側(cè)板上均布設(shè)有12個通孔8,通孔的直徑為20mm。
權(quán)利要求1.鑰反應(yīng)腔，其特征在于所述鑰反應(yīng)腔是由四個鑰體外側(cè)板、四個鑰體內(nèi)側(cè)板和四個鑰體底板拼接而成的環(huán)形腔室結(jié)構(gòu)，且四個鑰體外側(cè)板的高度大于四個鑰體內(nèi)側(cè)板的高度；所述四個鑰體外側(cè)板、四個鑰體內(nèi)側(cè)板與底板之間分別采用鏈接的方式連接在一起；所述四個鑰體外側(cè)板之間、四個鑰體內(nèi)側(cè)板之間分別采用搭接的方式連接在一起；所述四個鑰體外側(cè)板和四個鑰體內(nèi)側(cè)板之間采用螺桿螺母結(jié)構(gòu)鎖緊在一起；所述四個鑰體外側(cè)板和四個鑰體內(nèi)側(cè)板的上邊緣分別設(shè)有包邊。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的鑰反應(yīng)腔，其特征在于所述螺桿螺母結(jié)構(gòu)共16個，在側(cè)板搭接處兩側(cè)對稱各有一組螺桿螺母結(jié)構(gòu)，其中一組螺桿螺母結(jié)構(gòu)上還鎖有一折鉤，且螺桿螺母結(jié)構(gòu)的中心線與側(cè)板搭接處的中心線之間形成的角度為3.9°。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的鑰反應(yīng)腔，其特征在于所述螺桿螺母結(jié)構(gòu)的螺桿頭部與螺母平齊。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的鑰反應(yīng)腔，其特征在于所述四個鑰體外側(cè)板上均布設(shè)有多個通孔。
專利摘要本實用新型涉及一種鉬反應(yīng)腔，鉬反應(yīng)腔是由四個鉬體外側(cè)板、四個鉬體內(nèi)側(cè)板和四個鉬體底板拼接而成的環(huán)形腔室結(jié)構(gòu)，且四個鉬體外側(cè)板的高度大于四個鉬體內(nèi)側(cè)板的高度；四個鉬體外側(cè)板、四個鉬體內(nèi)側(cè)板與底板之間分別采用鏈接的方式連接；四個鉬體外側(cè)板之間、四個鉬體內(nèi)側(cè)板之間分別采用搭接的方式連接；四個鉬體外側(cè)板和四個鉬體內(nèi)側(cè)板之間采用螺桿螺母結(jié)構(gòu)鎖緊在一起；四個鉬體外側(cè)板和四個鉬體內(nèi)側(cè)板的上邊緣分別設(shè)有包邊；螺桿螺母結(jié)構(gòu)共16個，在側(cè)板搭接處兩側(cè)對稱各有一組螺桿螺母結(jié)構(gòu)，其中一組螺桿螺母結(jié)構(gòu)上還鎖有一折鉤，且螺桿螺母結(jié)構(gòu)的中心線與側(cè)板搭接處的中心線之間形成的角度為3.9°。本實用新型連接牢固，使用壽命長。
文檔編號C23C16/44GK202671649SQ20122028556
公開日2013年1月16日 申請日期2012年6月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月14日
發(fā)明者高建鋒 申請人:湖州維德光電科技有限公司