技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種在使片狀基材以規(guī)定速度移動(dòng)的同時(shí)，隔著掩膜供給成膜材料并在基材的一面上以規(guī)定圖案連續(xù)成膜時(shí)，可使片狀基材的一部分和片狀轉(zhuǎn)印基板的一部分以高精度進(jìn)行位置對(duì)準(zhǔn)，并且，可降低裝置成本和運(yùn)營(yíng)成本的成膜裝置。具有：以從成膜設(shè)備(9)朝向片狀基材(Sw)的方向?yàn)樯?，掩膜件移?dòng)裝置(4)具有片狀掩膜件(Sm)的一部分(Sm1)相對(duì)于朝一個(gè)方向移動(dòng)的片狀基材的一部分(Sw1)在上下方向上距離規(guī)定間隔平行移動(dòng)的平行移動(dòng)區(qū)域形成部(42a、42b)；以及使片狀掩膜件與片狀基材同步移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)部(42d、DM2)，將平行移動(dòng)區(qū)域形成部和驅(qū)動(dòng)部設(shè)置在單一的支架(41)上。

技術(shù)研發(fā)人員：中尾裕利;佐藤誠(chéng)一;柴智志;坂內(nèi)雄也;木村孔
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社愛(ài)發(fā)科
文檔號(hào)碼：201580015142
技術(shù)研發(fā)日：2015.03.10
技術(shù)公布日：2016.11.16