技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及用于通過化學(xué)鍍將鈀層沉積在襯底上的水性鍍浴組合物和方法。根據(jù)本發(fā)明的水性鍍浴組合物包含鈀離子源、用于鈀離子的還原劑和醛化合物。所述水性鍍浴組合物對鈀具有高的沉積速率，并同時維持鍍浴穩(wěn)定性。所述水性鍍浴組合物還具有延長的壽命。本發(fā)明的醛化合物使得能夠在鍍浴壽命內(nèi)將沉積速率調(diào)節(jié)到恒定范圍，并使得能夠在較低溫度下化學(xué)沉積鈀層。本發(fā)明的醛化合物活化沉積速率低的化學(xué)鈀鍍浴并再活化老化的化學(xué)鈀鍍浴。

技術(shù)研發(fā)人員：托馬斯·貝克;格哈德·施泰因貝格爾;安德烈亞斯·韋爾特
受保護(hù)的技術(shù)使用者：埃托特克德國有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.17
技術(shù)公布日：2017.08.29