本發(fā)明涉及一種基板對準(zhǔn)裝置，尤其涉及一種在基板處理裝置中，將基板及被對象物(對象)對準(zhǔn)的基板對準(zhǔn)裝置。

背景技術(shù)：

一般來說，等離子化學(xué)氣相沉積(plasmaenhancedchemicalvapordeposition；pecvd)設(shè)備，在顯示屏制造工藝或半導(dǎo)體制造工藝中，在真空狀態(tài)中利用氣體的化學(xué)反應(yīng)，使絕緣膜、保護膜、氧化膜、金屬膜等沉積到基板上從而使用。

圖1是圖示現(xiàn)有基板處理裝置的示意圖。

參照圖1，現(xiàn)有基板處理裝置包括：真空腔室10；基座20，設(shè)置在所述真空腔室10內(nèi)部，可以升降，并且安裝有基板2，在基座20的上部具備電極及噴出工序氣體的花灑30。

通過所述花灑30向真空腔室10的內(nèi)部供給工序氣體及同時根據(jù)向電極施加rf電源，向真空腔室10的內(nèi)部供給的工序氣體形成等離子化，從而可以沉積在安裝在基座20上面的基板2上。

另外，將各種膜(例如，絕緣膜、保護膜、氧化膜、金屬膜)以特定圖案形態(tài)沉積到基板2上時，將掩膜4配置在基板2的上面，由于在配置掩膜4的狀態(tài)中執(zhí)行沉積工序，所以在基板2上可以形成特定沉積圖案。

并且，為了在基板2上準(zhǔn)確地形成特定沉積圖案，基板2的掩膜4位置需要準(zhǔn)確地對準(zhǔn)。為此，在將掩膜4安裝在基板2上面之前，可以執(zhí)行用于將關(guān)于基板2的掩膜4位置排列的對準(zhǔn)工序。

作為對準(zhǔn)方法中的一個，目前是將形成在基板上的目標(biāo)標(biāo)記(targetmark)及形成在掩膜4上的對象標(biāo)記(objectmark)用對準(zhǔn)攝像機40拍攝從而比較之后，相對于基板2將掩膜4移動相當(dāng)于目標(biāo)標(biāo)記的對象標(biāo)記距離及方向誤差的大小，從而執(zhí)行對準(zhǔn)工序。。

但是，目前，用于拍攝形成在基板2上目標(biāo)標(biāo)記及形成在掩膜4上對象標(biāo)記的對準(zhǔn)攝像機40配置在外部，由此便產(chǎn)生對準(zhǔn)攝像機運轉(zhuǎn)距離(workingdistance)增加的問題，作為對準(zhǔn)攝像機，由于不可避免地需要使用具備長運轉(zhuǎn)距離的高性能攝像機，不僅具有原價上升的問題，還具有對準(zhǔn)控制存在復(fù)雜的問題。

并且，目前對象標(biāo)記的一部分配置在對準(zhǔn)攝像機聚焦區(qū)域(fieldofview；fov)的外側(cè)時，很難準(zhǔn)確識別對象標(biāo)記，存在頻繁發(fā)生錯誤對準(zhǔn)判斷情況的問題。

于是，最近進行用于提高對準(zhǔn)準(zhǔn)確度及效率性的多樣性檢測，至今還很薄弱所以需要開發(fā)。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

(要解決的問題)

本發(fā)明的目的在于，提供一種可以提高對準(zhǔn)準(zhǔn)確度及效率性的基板對準(zhǔn)裝置。

特別是，本發(fā)明的目的在于，提供一種可以縮短對準(zhǔn)攝像機的運轉(zhuǎn)距離，并且可以節(jié)減原價及可以提供便利的基板對準(zhǔn)裝置。

并且，本發(fā)明的目的在于，提供一種使關(guān)于記號的攝像機位置(聚焦區(qū)域)可變，防止根據(jù)識別率低下導(dǎo)致錯誤對準(zhǔn)的基板對準(zhǔn)裝置。

并且，本發(fā)明的目的在于，提供一種可以將結(jié)構(gòu)簡化，并且可以提高設(shè)計者誘導(dǎo)的基板對準(zhǔn)裝置。

(解決問題的手段)

為了達到上述本發(fā)明的目的如果根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實施例，利用在基板上形成的目標(biāo)標(biāo)記及在對象上形成的對象標(biāo)記從而執(zhí)行基板目標(biāo)對準(zhǔn)的基板對準(zhǔn)裝置，包括：攝像機腔室，在真空腔室內(nèi)部中提供獨立密封的大氣壓收容空間；及對準(zhǔn)攝像機，設(shè)置于攝像機腔室內(nèi)部，并且拍攝目標(biāo)標(biāo)記及對象標(biāo)記；及腔室移動單元，使攝像機腔室在真空腔室內(nèi)部移動。依靠這樣的結(jié)構(gòu)，可以縮短對準(zhǔn)攝像機的運轉(zhuǎn)距離，并且可以調(diào)整關(guān)于記號的對準(zhǔn)攝像機聚焦區(qū)域。

作為參考，本發(fā)明中稱其為對象可理解為顯示器制造工序或半導(dǎo)體制造工序中，對于基板需要排列的被對象物，借助于對象的種類及特性本發(fā)明不受限定。例如，對象可以包括為了在基板上形成特定沉積圖案從而在基板上疊層的掩膜。

攝像機腔室可以根據(jù)需求的條件及設(shè)計規(guī)格安裝在真空腔室中的多個位置上。例如，為了使攝像機腔室配置在基板的下部而將其安裝在真空腔室的下部。舉另一個例子，為了使攝像機腔室配置在基板的上部而將其安裝在真空腔室的上部或者安裝在真空腔室的側(cè)壁上。

攝像機腔室，可以構(gòu)成為向內(nèi)部提供大氣壓收容空間的多樣結(jié)構(gòu)。例如，攝像機腔室可以包括形成大氣壓收容空間的腔室主體及使收容到腔室主體內(nèi)部的對準(zhǔn)攝像機能觀察目標(biāo)標(biāo)記及對象標(biāo)記而形成在腔室主體的觀察窗。

腔室移動單元可以構(gòu)成為使攝像機腔室在真空腔室內(nèi)部中向3個軸方向(例如，x軸、y軸、z軸或r軸、θ軸、z軸)移動的多種結(jié)構(gòu)。例如，腔室移動單元一端連接在大氣壓腔室，另一端可以包括：運轉(zhuǎn)軸，配置在真空腔室外側(cè)；直線驅(qū)動部，設(shè)置在真空腔室的外側(cè)并且使運轉(zhuǎn)軸沿著運轉(zhuǎn)軸的軸方向直線移動；以及旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部，設(shè)置在真空腔室的外側(cè)并且使運轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。

直線驅(qū)動部可以構(gòu)成為使運轉(zhuǎn)軸沿著運轉(zhuǎn)軸的軸方向移動的多種結(jié)構(gòu)。例如，直線驅(qū)動部可以包括：可旋轉(zhuǎn)的螺旋部件；第1發(fā)動機，提供用于使所述螺旋部件旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動力；第1動力傳達部件，將所述第1發(fā)動機的驅(qū)動力向所述螺旋部件傳達；運行部件，連接所述運轉(zhuǎn)軸，并對應(yīng)于所述螺旋部件的旋轉(zhuǎn)，沿著所述螺旋部件進行直線移動。

旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部具備在真空腔室的外側(cè)，從而使運轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動，并且由于運轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，攝像機腔室可以向x軸及y軸方向移動。根據(jù)不同情況，攝像機腔室借助于x軸直線驅(qū)動手段及y軸直線驅(qū)動手段直線移動，并且只要能使其向x軸及y軸移動的結(jié)構(gòu)也是可行的。旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部可以由使運轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的多種結(jié)構(gòu)形成。例如，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部，包括：第2發(fā)動機，提供用于使所述運轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動力；及第2動力傳達部件，將所述第2發(fā)動機的驅(qū)動力向所述運轉(zhuǎn)軸傳達。

為使腔室移動單元的結(jié)構(gòu)及運轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)減小化，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部的結(jié)構(gòu)設(shè)置可以借助于直線驅(qū)動部的驅(qū)動力，與運轉(zhuǎn)軸一起進行直線移動。不同地，也可以使旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部及直線驅(qū)動部各自獨立運轉(zhuǎn)構(gòu)成。例如，直線驅(qū)動部包括：可以旋轉(zhuǎn)的螺旋部件；第1發(fā)動機，提供用于使所述螺旋部件旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動力；第1動力傳達部件，將所述第1發(fā)動機的驅(qū)動力向所述螺旋部件傳達；運行部件，連接所述運轉(zhuǎn)軸，并對應(yīng)于所述螺旋部件的旋轉(zhuǎn)，沿著所述螺旋部件進行直線移動。旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部可以包括：第2發(fā)動機，提供用于使所述運轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動力；及第2動力傳達部件，將所述第2發(fā)動機的驅(qū)動力向所述運轉(zhuǎn)軸傳達，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部可以借助于第1發(fā)動機的驅(qū)動力與驅(qū)動部件一起直線移動。

攝像機腔室可設(shè)置為向配置在所述對象區(qū)域上的對準(zhǔn)攝像機的拍攝位置及配置在所述對象區(qū)域外側(cè)的對準(zhǔn)攝像機的非拍攝位置。此處，稱之為對準(zhǔn)攝像機的拍攝位置可以理解為：在平面投影時，對準(zhǔn)攝像機的聚焦區(qū)域是配置于對象區(qū)域的狀態(tài)，稱之為對準(zhǔn)攝像機的非拍攝位置可以理解為：平面投影時，對準(zhǔn)攝像機的聚焦區(qū)域是配置在對象的外側(cè)區(qū)域的狀態(tài)。

向攝像機腔室的拍攝位置及非拍攝位置的移動可以根據(jù)需求的條件及設(shè)計規(guī)格以多種方式實現(xiàn)。例如，攝像機腔室可以由借助于腔室移動單元向拍攝位置及非拍攝位置移動的結(jié)構(gòu)構(gòu)成。根據(jù)不同的情況，攝像機腔室借助于另外的移動單元向拍攝位置及非拍攝位置移動，或者也可以由從拍攝位置向非拍攝位置直線移動的結(jié)構(gòu)構(gòu)成。

另外，可以使運轉(zhuǎn)軸形成為具有空心截面形態(tài)。并且，可以在具有空心截面形態(tài)的運轉(zhuǎn)軸內(nèi)部配置有與攝像機連接的攝像機電纜。并且，在攝像機腔室的大氣壓收容空間中可以連接用于供給冷卻氣體的冷卻管，冷卻管在運轉(zhuǎn)軸的內(nèi)部而設(shè)置，并且一端配置在大氣壓收容空間，另一端可以配置在真空腔室的外部。

并且，在運轉(zhuǎn)軸上，可設(shè)置用于在真空腔室及運轉(zhuǎn)軸之間密封的密封部件。作為一種密封部件，可以使用能阻攔真空區(qū)域(真空腔室內(nèi)部)及大氣壓區(qū)域(真空腔室外部)界限的多種密封手段。例如，可以使用磁流體密封(magneticfluidseal)作為密封部件。并且，在真空腔室及運行部件之間，可以提供用于收尾的外罩部件。外罩部件的一端連接在真空腔室的外面，另一端可以連接在運行部件上，對應(yīng)于運行部件的移動可以在真空腔室及運行部件之間伸縮。

所述攝像機腔室如果是配置在基板上部結(jié)構(gòu)的情況，那么攝像機腔室的設(shè)置，可以向?qū)?zhǔn)攝像機配置在對象區(qū)域上的拍攝位置，及所述對準(zhǔn)攝像機配置在對象區(qū)域外側(cè)的非拍攝位置移動。在所述攝像機腔室向非拍攝位置移動的狀態(tài)下，可以保障基板及對象在真空腔室的內(nèi)部可以更自由地移動。

另外，在完成利用對準(zhǔn)攝像機的對準(zhǔn)工序后，即使攝像機腔室配置于非拍攝位置，在執(zhí)行沉積工序期間，也可能存在類似顆粒的異物質(zhì)對攝像機腔室(特別是，觀察窗)產(chǎn)生影響。特別是，當(dāng)攝像機腔室配置于基板上部的結(jié)構(gòu)時，受異物質(zhì)影響的可能性較大。為此，在真空腔室的內(nèi)面可以形成一個用于攝像機腔室收容的腔室收容部，攝像機腔室在非拍攝位置中可以收容到腔室收容部。

更優(yōu)選為，在沉積工序執(zhí)行期間，為了使基于類似顆粒的異物質(zhì)的影響最小化，可以在攝像機腔室中連接屏蔽部件(shieldmember)，所述腔室收容部在所述攝像機腔室收容于所述腔室收容部的狀態(tài)下被所述屏蔽部件阻擋。

(發(fā)明的效果)

根據(jù)如上所述的本發(fā)明，可以提高對準(zhǔn)準(zhǔn)確度及效率性。

特別是，如果根據(jù)本發(fā)明，在真空腔室的內(nèi)部中，利用提供獨立密閉的大氣壓收容空間的攝像機腔室，將對準(zhǔn)攝像機配置于真空腔室的內(nèi)部，由于使攝像機腔室借助于腔室移動單元向3軸(例如，x軸、y軸、z軸或r軸、θ軸、z軸)方向移動，可以將對準(zhǔn)攝像機的運轉(zhuǎn)距離縮短，從而可以節(jié)減原價并且提供控制的容易性。

并且，如果根據(jù)本發(fā)明，使關(guān)于記號的攝像機的位置(聚焦區(qū)域)可變，即使在記號的一部分配置于對準(zhǔn)攝像機聚焦區(qū)域的外側(cè)情況中，可以事先防止根據(jù)記號的識別率低下的錯誤對準(zhǔn)，可以穩(wěn)定執(zhí)行對準(zhǔn)工序。

并且，如果根據(jù)本發(fā)明，借助于直線驅(qū)動部的驅(qū)動力旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部可以與運轉(zhuǎn)軸一起運轉(zhuǎn)，可以使腔室移動單元的結(jié)構(gòu)簡潔化，可以使腔室移動單元裝載時需要的空間最小化。

并且，如果根據(jù)本發(fā)明，借助于基板處理工序時發(fā)生的異物質(zhì)，使對準(zhǔn)攝像機的性能低下及損傷最小化。

附圖說明

圖1是現(xiàn)有基板處理裝置的附圖。

圖2是用于說明根據(jù)本發(fā)明的基板對準(zhǔn)裝置的附圖。

圖3至圖5是用于說明根據(jù)本發(fā)明的基板對準(zhǔn)裝置的結(jié)構(gòu)及運行結(jié)構(gòu)的附圖。

圖6是作為一種根據(jù)本發(fā)明的基板對準(zhǔn)裝置，用于說明攝像機腔室的拍攝位置及非拍攝位置的附圖。

圖7至圖10是用于說明根據(jù)本發(fā)明另一實施例的基板對準(zhǔn)裝置的附圖。

圖11是作為一種根據(jù)本發(fā)明的基板對準(zhǔn)裝置，用于說明攝像機的位置(聚焦區(qū)域)可變狀態(tài)的附圖。

符號說明：

110:真空腔室120：基座

130:花灑210：基板

212:目標(biāo)標(biāo)記220：對象

222:對象標(biāo)記310：攝像機腔室

320:對準(zhǔn)攝像機330：腔室移動單元

340:運轉(zhuǎn)軸350：直線驅(qū)動部

352:螺旋部件354：第1發(fā)動機

356:第1動力傳達部件358：運行部件

360:旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部362：第2發(fā)動機

364：第2動力傳達部件

具體實施方式

參照以下附圖，雖然對本發(fā)明的優(yōu)選實施例進行了詳細的說明，但不借助于本發(fā)明的實施例限制或限定。作為參考，在本說明中的相同號碼實際指代相同要素，在這種規(guī)則下，可以引用其他附圖中記載的內(nèi)容從而說明，判斷該領(lǐng)域的技術(shù)人員不言自明或重復(fù)的內(nèi)容被省略。

圖2是用于說明根據(jù)本發(fā)明的基板對準(zhǔn)裝置的附圖，圖3至圖5是用于說明根據(jù)本發(fā)明的基板對準(zhǔn)裝置的結(jié)構(gòu)及運轉(zhuǎn)機構(gòu)的附圖，圖6是作為一種根據(jù)本發(fā)明的基板對準(zhǔn)裝置，用于說明攝像機腔室的拍攝位置及非拍攝位置的附圖。

如果參照圖2至圖5，根據(jù)本發(fā)明，提供一種基板對準(zhǔn)裝置，是利用形成在基板210上的目標(biāo)標(biāo)記212及形成在對象220上的對象標(biāo)記222，從而為了執(zhí)行基板210的對象220對準(zhǔn)，包括：攝像機腔室310、對準(zhǔn)攝像機320、腔室移動單元330。

作為參考，在本發(fā)明中，稱之為對象220的可理解為在顯示屏制造工序或半導(dǎo)體制造工序中需要對于基板210排序的被對象物，借助于對象220的種類及特性，本發(fā)明不受限制或限定。例如，對象220為了在基板210上形成特定沉積圖案可以包括疊層在基板210上的掩膜。

并且，根據(jù)本發(fā)明的基板對準(zhǔn)裝置，在基板處理裝置中，將對象220安裝在基板210上面之前，為了使基板210的對象220位置排序使用，基板處理裝置可以包括真空腔室110及基座120。

所述真空腔室110在內(nèi)部設(shè)置有規(guī)定的處理空間，側(cè)壁至少在一側(cè)上設(shè)置有用于供基板210和掩膜等出入的出入部。

所述真空腔室110的大小及結(jié)構(gòu)可以根據(jù)要求的條件及設(shè)計規(guī)格適當(dāng)?shù)刈兏?，基于真空腔?10特性的本發(fā)明不受限制或并不局限于此。例如，真空腔室110具備大面積處理空間，收容大面積基板210及與掩膜一起各種移送單元。

所述基座120設(shè)置在真空腔室110的內(nèi)部，且可沿著上下方向升降，在基座120的上面可以安裝基板210。所述基座120可以借助于類似于發(fā)動機的常規(guī)性驅(qū)動手段來沿著上下方向移動。

在所述基座120的上部供給工序氣體，可以設(shè)置供給rf能量的花灑130，作為花灑130可以使用已公開的一般花灑。

所述對象220可以借助于對象支承帶(未圖示)來支承，對象支承帶可以依靠一般的驅(qū)動手段而向x、y、z方向移動。

所述攝像機腔室310在真空腔室的內(nèi)部中提供有獨立密閉的大氣壓收容空間。

所述攝像機腔室310根據(jù)要求的條件及設(shè)計規(guī)格在真空腔室上可以安裝于多個位置上。例如，所述攝像機腔室310可以安裝在真空腔室的下部。以使攝像機腔室310能配置在基板的下部。

所述攝像機腔室310可以由向內(nèi)部提供大氣壓收容空間的多種結(jié)構(gòu)而構(gòu)成。例如，所述攝像機腔室310可以包括：腔室主體312，形成大氣壓收容空間，及觀察窗(sightwindow)314，形成在腔室主體312上，收容到腔室主體312內(nèi)部的對準(zhǔn)攝像機320通過所述觀察窗314觀察(viewing)目的記號212及對象標(biāo)記222。

所述腔室主體根據(jù)要求的條件及設(shè)計規(guī)格借助于可以由四角、三角或球等形態(tài)設(shè)置的腔室主體的形狀及結(jié)構(gòu)，但本發(fā)明不受限制或局限于此。

所述觀察窗314可以由一般透明的材質(zhì)形成，在不阻礙對準(zhǔn)攝像機320可讀性(readability)的界限內(nèi)，也可以包括一些不透明的程度。

所述對準(zhǔn)攝像機320設(shè)置在攝像機腔室310內(nèi)部的大氣壓收容空間上，并且拍攝目標(biāo)標(biāo)記212及對象標(biāo)記222。作為所述對準(zhǔn)攝像機320可以使用類似于視覺攝像機的一般攝像機，并且借助于對準(zhǔn)攝像機320的種類及特性本發(fā)明不受限制或局限于此。只是，在本發(fā)明中，對準(zhǔn)攝像機320以攝像機腔室310為媒介，由于配置于真空腔室內(nèi)部可以縮短攝像機的運轉(zhuǎn)距離(workingdistance)，所以沒有必要使用同以往對準(zhǔn)攝像機320相同的高性能攝像機。此處，稱其為所述攝像機的運轉(zhuǎn)距離意味著攝像機與拍攝對象之間的距離。

所述腔室移動單元330的設(shè)置，使攝像機腔室310在真空腔室內(nèi)部，向3個軸(例如，x軸、y軸、z軸或r軸、θ軸、z軸)方向移動。

所述腔室移動單元330可以是使攝像機腔室310在真空腔室內(nèi)部向3個軸移動的多樣結(jié)構(gòu)而構(gòu)成。例如，所述腔室移動單元330可以構(gòu)成為包括運轉(zhuǎn)軸340、直線驅(qū)動部350和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部360。

所述運轉(zhuǎn)軸340的一端貫通真空腔室的下部，從而與在配置在大氣壓收容空間的攝像機腔室310連接成為一體，另一端配置在真空腔室的外側(cè)。例如，作為所述運轉(zhuǎn)軸340可以使用具有空心截面形態(tài)的空心部件。

所述直線驅(qū)動部350具備在真空腔室的外側(cè)，使運轉(zhuǎn)軸340沿著運轉(zhuǎn)軸340的軸方向(例如，z軸方向)進行直線移動。

所述直線驅(qū)動部350的結(jié)構(gòu)，可以由運轉(zhuǎn)軸340根據(jù)運轉(zhuǎn)軸340的軸方向移動的多種結(jié)構(gòu)構(gòu)成。例如，所述直線驅(qū)動部350包括：可以旋轉(zhuǎn)的螺旋部件352；第1發(fā)動機354，用于使所述螺旋部件352旋轉(zhuǎn)而提供驅(qū)動力；第1動力傳達部件356，用螺旋部件352傳達上述第1發(fā)動機354的驅(qū)動力；及運行部件358，連接所述運轉(zhuǎn)軸340，并對應(yīng)于所述螺旋部件352的旋轉(zhuǎn)，沿著所述螺旋部件352進行直線移動。

所述螺旋部件352根據(jù)要求的條件及設(shè)計規(guī)格可旋轉(zhuǎn)安裝在真空腔室的外面，或者可旋轉(zhuǎn)安裝鄰接在真空腔室外側(cè)的構(gòu)造物上。并且，作為所述螺旋部件352可以使用一般的滾珠絲杠，螺旋部件352的種類及特性根據(jù)要求的條件及設(shè)計規(guī)格可以多種變形。

作為所述第1發(fā)動機354可以使用一般的伺服發(fā)動機，根據(jù)情況也可以使用其他另外的一般發(fā)動機作為第1發(fā)動機。

所述第1動力傳達部件356的設(shè)置，是為了用螺旋部件352傳達第1發(fā)動機354的驅(qū)動力，作為第1動力傳達部件356，根據(jù)要求的條件及設(shè)計規(guī)格可以使用多種動力傳達部件。例如，作為所述第1動力傳達部件356可以使用一般的傳送帶。根據(jù)情況作為第1動力傳達部件可以使用一般的鏈條或齒輪組合。

所述螺旋部件352的旋轉(zhuǎn)可以轉(zhuǎn)換為運行部件358的直線移動，對應(yīng)于運行部件358的直線移動，運轉(zhuǎn)軸340可以一起直線移動。

所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部360具備在真空腔室的外側(cè)，從而使運轉(zhuǎn)軸340旋轉(zhuǎn)驅(qū)動，借助于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部360，運轉(zhuǎn)軸340根據(jù)旋轉(zhuǎn)攝像機腔室310可以向x軸及y軸方向移動。作為參考，雖然在本發(fā)明的實施例中，對攝像機腔室310借助于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部360旋轉(zhuǎn)，并且以便于向x軸及y軸方向移動而構(gòu)成的結(jié)構(gòu)為例進行說明，但根據(jù)不同的情況，攝像機腔室依靠x軸直線驅(qū)動方式及y軸直線驅(qū)動方式進行直線移動，使其向x軸及y軸方向移動的構(gòu)成結(jié)構(gòu)也是可以的。

所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部360的設(shè)置，可以由使運轉(zhuǎn)軸340旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的多種結(jié)構(gòu)構(gòu)成。例如，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部360包括：第2發(fā)動機362，用于使運轉(zhuǎn)軸340旋轉(zhuǎn)而提供驅(qū)動力，第2動力傳達部件364，將所述第2發(fā)動機362的驅(qū)動力向運轉(zhuǎn)軸340傳達所構(gòu)成。

作為所述第2發(fā)動機362可以使用一般的伺服發(fā)動機，根據(jù)情況可以使用其他另外一般的發(fā)動機作為第2發(fā)動機。

所述第2動力傳達部件364是為了將第2發(fā)動機362的驅(qū)動力向運轉(zhuǎn)軸340傳達而設(shè)置，作為第2動力傳達部件364根據(jù)要求的條件及設(shè)計規(guī)格可以使用多種動力傳達部件。例如，作為第2動力傳達部件364可以使用一般的傳送帶。根據(jù)情況作為第2動力傳達部件可以使用一般的鏈條或齒輪組合。

優(yōu)選為，為了使所述腔室移動單元330的結(jié)構(gòu)及運轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)可以簡潔化，前述的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部360的設(shè)置為，借助于直線驅(qū)動部350的驅(qū)動力與運轉(zhuǎn)軸340一起可進行直線移動。不同的是，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部及直線驅(qū)動部各自獨立運轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)也是可行的。以下，所述直線驅(qū)動部350包括：可以旋轉(zhuǎn)的螺旋部件352；第1發(fā)動機354，提供用于使所述螺旋部件352旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動力；第1動力傳達部件356，將所述第1發(fā)動機354的驅(qū)動力向螺旋部件352傳達；及運行部件358，連接所述運轉(zhuǎn)軸340，并對應(yīng)于所述螺旋部件352的旋轉(zhuǎn)，沿著所述螺旋部件352進行直線移動。所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部360包括：第2發(fā)動機362，安裝在所述運行部件358上，并且提供用于使運轉(zhuǎn)軸340旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動力，及第2動力傳達部件364，將所述第2發(fā)動機362的驅(qū)動力向運轉(zhuǎn)軸340傳達，以所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部360借助于第1發(fā)動機354的驅(qū)動力與運行部件358一起進行直線移動。

所述運行部件358的一端上形成了根據(jù)螺旋部件352移動的球狀螺母358a，運行部件358的另外一端上可以安裝第2發(fā)動機362。所述第1發(fā)動機354安裝在連接于真空腔室底面的構(gòu)造物上，使其在真空腔室底面與第2發(fā)動機362以非同軸方式配置。所述第1發(fā)動機354及第2發(fā)動機362的配置及安裝結(jié)構(gòu)根據(jù)要求的條件及設(shè)計規(guī)格可以適當(dāng)?shù)刈兏?/p>

依靠這種結(jié)構(gòu)，如圖4所示，借助于所述第1發(fā)動機354的驅(qū)動力，螺旋部件352可以旋轉(zhuǎn)，對應(yīng)于螺旋部件352的旋轉(zhuǎn)，從而運行部件358可以通過螺旋部件352而進行直線移動，結(jié)果，由于連接在運行部件358的運轉(zhuǎn)軸340及攝像機腔室310沿著z軸方向直線移動，所以可以調(diào)節(jié)對準(zhǔn)攝像機320的聚焦。并且，當(dāng)所述對象標(biāo)記222的一部分配置在對準(zhǔn)攝像機320聚焦區(qū)域(fov)的外側(cè)時，由于借助于第2發(fā)動機362的驅(qū)動力使運轉(zhuǎn)軸340旋轉(zhuǎn)，所以可以使關(guān)于對象標(biāo)記222的對準(zhǔn)攝像機位置(聚焦區(qū)域)可變。(參照圖10及圖11)

并且，如果參照圖6，所述攝像機腔室310的設(shè)置為，可以向?qū)?zhǔn)攝像機320配置在對象區(qū)域上的拍攝位置p1，及所述對準(zhǔn)攝像機320配置在對象區(qū)域外側(cè)的非拍攝位置p2移動。此處，稱之為對準(zhǔn)攝像機320的拍攝位置p1可理解為：平面投影時，對準(zhǔn)攝像機320的聚焦區(qū)域配置在對象區(qū)域的狀態(tài)，稱之為對準(zhǔn)攝像機320的非拍攝位置p2可理解為：平面投影時，對準(zhǔn)攝像機320的聚焦區(qū)域配置在對象外側(cè)區(qū)域的狀態(tài)。

所述對準(zhǔn)腔室310向拍攝位置p1及非拍攝位置p2移動，可根據(jù)要求的條件及設(shè)計規(guī)格多種方式實現(xiàn)。例如，攝像機腔室310可以由借助于腔室移動單元330而向拍攝位置p1及非拍攝位置p2移動的結(jié)構(gòu)而構(gòu)成。更具體一些，由于攝像機腔室310借助于腔室移動單元330的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部360旋轉(zhuǎn)，所以可以向拍攝位置p1及非拍攝位置p2移動。根據(jù)不同情況，攝像機腔室借助于另外的移動單元向拍攝位置及非拍攝位置移動，或者也可以從拍攝位置向非拍攝位置進行直線移動。

另外，連接在所述攝像機的攝像機光纜322可以在具有空心截面形態(tài)的運轉(zhuǎn)軸340的內(nèi)部配置。當(dāng)然，雖然可以由使攝像機光纜322配置在運轉(zhuǎn)軸340的外側(cè)的結(jié)構(gòu)而構(gòu)成，優(yōu)選為將攝像機光纜322在運轉(zhuǎn)軸340的內(nèi)部而配置，使攝像機腔室310的大氣壓收容空間的大氣壓狀態(tài)能穩(wěn)定維持。

并且，在所述攝像機腔室310的大氣壓收容空間可以連接冷卻管316，通過冷卻管316，在攝像機腔室310的內(nèi)部空間中，以高溫環(huán)境可供應(yīng)用于保護對準(zhǔn)攝像機320的冷卻管。優(yōu)選為所述冷卻管316在運轉(zhuǎn)軸340的內(nèi)部而設(shè)置，從而一端配置在大氣壓收容空間中，另一端配置在真空腔室的外部。

另外，由于所述運轉(zhuǎn)軸340的配置，將真空腔室的下部貫通，真空腔室及運轉(zhuǎn)軸340之間需要密封。為此，在所述運轉(zhuǎn)軸340上可以設(shè)置密封部件410，使真空腔室及運轉(zhuǎn)軸340之間密封。

作為所述密封部件410，可以使用可阻擋真空區(qū)域(真空腔室內(nèi)部)及大氣壓區(qū)域(真空腔室外部)界限的多種密封手段。例如，作為所述密封部件410可以使用一般的磁流體密封條(magneticfluidseal)。

并且，在所述真空腔室及運行部件358之間可以設(shè)置用于收尾的外罩部件420。所述外罩部件420一端可以連接在真空腔室的外面，另一端連接在運行部件358，并且對應(yīng)于運行部件358的移動，可以在真空腔室及運行部件358之間伸縮。例如，作為所述外罩部件420，可以使用環(huán)形管結(jié)構(gòu)的風(fēng)箱，外罩部件420的種類及特性可以根據(jù)要求的條件及設(shè)計規(guī)格適當(dāng)?shù)刈兏?/p>

前述及所示的本發(fā)明實施例中，雖然以安裝在真空腔室的下部從而使攝像機腔室配置在基板的下部為例進行了說明，不同的是，也可以采用使攝像機腔室配置在基板上部安裝的結(jié)構(gòu)。

圖7至圖10是根據(jù)本發(fā)明實施例用于說明基板對準(zhǔn)裝置的附圖。并且，與前述的構(gòu)成相同及對于相同部分賦予相同或者相同相當(dāng)?shù)膮⒄辗?，關(guān)于其的詳細說明將省略。

以下，以便于攝像機腔室310配置在基板上部，從而對安裝在真空腔室的側(cè)壁的例子進行了說明。根據(jù)情況，使攝像機腔室配置在基板的上部，安裝在真空腔室上部的結(jié)構(gòu)也是可能的。

如果參照圖7至圖10，攝像機腔室310安裝在真空腔室側(cè)壁上的情況，腔室移動單元330包括：運轉(zhuǎn)軸340，一端連接在大氣壓腔室，另一端配置在真空腔室的外側(cè)；直線驅(qū)動部350，設(shè)置在所述真空腔室的外側(cè)，使運轉(zhuǎn)軸340沿著運轉(zhuǎn)軸340的軸方向進行直線移動；及旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部360，設(shè)置在所述真空腔室的外側(cè)，使運轉(zhuǎn)軸340旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。

例如，所述直線驅(qū)動部350包括：可旋轉(zhuǎn)的螺旋部件352；第1發(fā)動機354，提供用于使所述螺旋部件352旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動力；第1動力傳達部件356，將所述第1發(fā)動機354的驅(qū)動力向螺旋部件352傳達；及運行部件358，連接所述運轉(zhuǎn)軸340，并對應(yīng)于所述螺旋部件352的旋轉(zhuǎn)，沿著所述螺旋部件352進行直線移動。

所述螺旋部件352根據(jù)要求的條件及設(shè)計規(guī)格可旋轉(zhuǎn)安裝在真空腔室的外面，或者可旋轉(zhuǎn)安裝在鄰接于真空腔室外側(cè)的構(gòu)造物上。

作為所述第1發(fā)動機354可以使用一般的伺服發(fā)動機，根據(jù)情況可以使用其他另外一般的發(fā)動機作為第1發(fā)動機。

所述第1動力傳達部件356為了將第1發(fā)動機354的驅(qū)動力向螺旋部件352傳達提供，作為第1動力傳達部件356可以根據(jù)要求的條件及設(shè)計規(guī)格使用多種動力傳達部件。例如，作為所述第1動力傳達部件356可以使用一般的傳送帶。根據(jù)情況作為第1動力傳達部件可以使用一般的鏈條或齒輪組合。

所述螺旋部件352的旋轉(zhuǎn)可以轉(zhuǎn)換為運行部件358的直線移動，對應(yīng)于運行部件358的直線移動，從而可以與運轉(zhuǎn)軸340一起進行直線移動。

所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部360具備在真空腔室的外側(cè)從而使運轉(zhuǎn)軸340旋轉(zhuǎn)驅(qū)動，通過運轉(zhuǎn)軸340的旋轉(zhuǎn)攝像機腔室310可以向x軸及y軸(或者r軸及z軸)移動。

所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部360可以由使運轉(zhuǎn)軸340旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的多種結(jié)構(gòu)來提供。例如，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部360可以包括：第2發(fā)動機362，提供用于使運轉(zhuǎn)軸340旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動力；第2動力傳達部件364，將所述第2發(fā)動機362的驅(qū)動力向運轉(zhuǎn)軸340傳達。

作為所述第2發(fā)動機362可以使用一般的伺服發(fā)動機，根據(jù)情況可以使用其他另外一般的發(fā)動機作為第2發(fā)動機。

所述第2動力傳達部件364設(shè)置為用于將第2發(fā)動機362的驅(qū)動力傳達給運轉(zhuǎn)軸340，作為第2動力傳達部件364可以根據(jù)要求的條件及設(shè)計規(guī)格使用所終動力傳達部件。例如，作為所述第2動力傳達部件364可以使用一般的傳送帶。根據(jù)情況作為第2動力傳達部件可以使用一般的鏈條或齒輪組合。

優(yōu)選為，以便使所述腔室移動單元330的結(jié)構(gòu)及運轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)簡化，前述的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部360可以借助于直線驅(qū)動部350同運轉(zhuǎn)軸340一起可直線移動提供。例如，所述第2發(fā)動機362可以安裝在運行部件358上，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部360可以借助于第1發(fā)動機354的驅(qū)動力同運行部件358一起直線移動。

優(yōu)選為，當(dāng)所述攝像機腔室310安裝在真空腔室的側(cè)壁上時，為了使腔室移動單元330的安裝空間最小化，第1發(fā)動機354及第2發(fā)動機362可以在真空腔室的一面以同軸方式配置。在所述運行部件358中可以形成根據(jù)螺旋部件352移動的球狀螺母358a，運行部件358的另一端上可以安裝第2發(fā)動機362。為了使所述第1發(fā)動機354與第2發(fā)動機362同軸配置，可以安裝在連接于真空腔室外側(cè)的構(gòu)造物上。

借助于這種結(jié)構(gòu)，如圖9所示，借助于所述第1發(fā)動機354的驅(qū)動力螺旋部件352可以旋轉(zhuǎn)，對應(yīng)于螺旋部件352的旋轉(zhuǎn)從而根據(jù)螺旋部件352運行部件358可以直線移動，結(jié)果，由于連接在運行部件358的運轉(zhuǎn)軸340及攝像機腔室310根據(jù)z軸方向直線移動，對準(zhǔn)攝像機320的聚焦可以調(diào)節(jié)。并且，當(dāng)所述對象標(biāo)記222的一部分配置在對準(zhǔn)攝像機320聚焦區(qū)域(fov)的外側(cè)時，由于借助于第2發(fā)動機362的驅(qū)動力使運轉(zhuǎn)軸340旋轉(zhuǎn)，可以使關(guān)于對象標(biāo)記222的對準(zhǔn)攝像機的位置(聚焦區(qū)域)可變。(參照圖10及圖11)

即使是所述攝像機腔室310配置在基板上部的情況，攝像機腔室310也可以向配置在對象區(qū)域上的對準(zhǔn)攝像機320的拍攝位置p1以及配置在對象區(qū)域外側(cè)上的所述對準(zhǔn)攝像機320的非拍攝位置p2移動。在所述攝像機腔室310向非拍攝位置p2移動的狀態(tài)中，可以保障基板和對象在真空腔室的內(nèi)部自由移動。

優(yōu)選為，當(dāng)所述攝像機腔室310配置在基板上部的結(jié)構(gòu)時，利用對準(zhǔn)攝像機320的對準(zhǔn)工序結(jié)束后，即使攝像機腔室310配置在非拍攝位置p2，在沉積工序執(zhí)行期間與顆粒相同的異物質(zhì)可能會對攝像機腔室310(特別是，觀察窗)產(chǎn)生影響。

為此，在所述真空腔室的里面，可以形成用于收容攝像機腔室310腔室收容部112，所述攝像機腔室310可以在非拍攝位置p2處收容到腔室收容部112。

進一步優(yōu)選為，為了使借助于沉積工序執(zhí)行的期間與顆粒相同的異物質(zhì)的影響最小化，在攝像機腔室310中可以連接屏蔽構(gòu)件(shieldmember)316，所述腔室收容部112在所述攝像機腔室310收容于所述腔室收容部112的狀態(tài)下被所述屏蔽部件316阻擋。

所述屏蔽構(gòu)件316可以提供可阻擋的做種結(jié)構(gòu)及形態(tài)，借助于屏蔽構(gòu)件316的材質(zhì)及特性本發(fā)明不受限定。

如上所述，雖然參照本發(fā)明的優(yōu)選實施例進行了說明，如果是屬于本技術(shù)區(qū)域的具有常識的人，在不脫離下面權(quán)利要求范圍中記載的本發(fā)明的思想及領(lǐng)域內(nèi)，理解為可以將本發(fā)明進行多種修正及變更。