本發(fā)明涉及對半導(dǎo)體晶片等工件的表背面進(jìn)行研磨的平面研磨裝置、和保持上述工件的游星輪(carrier)。

背景技術(shù)：

對半導(dǎo)體晶片或玻璃襯底等板狀的工件進(jìn)行研磨的平面研磨裝置通常具有旋轉(zhuǎn)自如地配置的上定盤(uppersurfaceplate)及下定盤(lowersurfaceplate)、和保持上述工件的游星輪，并構(gòu)成為通過上定盤及下定盤來夾持該游星輪上所保持的上述工件，且通過上述上定盤和下定盤來對該工件的表背面進(jìn)行研磨。

在這種平面研磨裝置中，公知通過在工件的厚度與游星輪的厚度之差成為規(guī)定值的時(shí)刻結(jié)束研磨而得到具有高平面度的工件。因此，以往，如專利文獻(xiàn)1所公開的那樣，分別測定工件的厚度和游星輪的厚度，并對該工件的厚度與游星輪的厚度之差(間隔)進(jìn)行管理，進(jìn)行研磨加工直至該間隔成為規(guī)定值。

但是，專利文獻(xiàn)1所公開的發(fā)明在研磨開始前要測定游星輪的厚度，并且在不研磨時(shí)(磨粒的改換時(shí)刻)要測定工件的厚度，因此存在作業(yè)效率差的缺點(diǎn)。

另一方面，在專利文獻(xiàn)2中，公開有如下內(nèi)容：將基于激光的厚度測定裝置安裝到支承架上，從該厚度測定裝置向工件照射激光，并基于從該工件的表面及背面反射的反射光來計(jì)算出該工件的厚度。由此，能夠在研磨中測定工件的厚度，因此作業(yè)效率優(yōu)異。關(guān)于游星輪，由于來自該游星輪的反射光弱，所以將該反射光作為計(jì)測誤差來處理，由此沒有基于激光進(jìn)行厚度測定。

用于平面研磨加工的游星輪重復(fù)使用，由此需要耐久性，因此，通常使用耐久性優(yōu)異的游星輪。其中，由金屬或纖維增強(qiáng)塑料等構(gòu)成的不具有光透過性(透光性)的游星輪或光透過性(透光性)低且反射光弱的游星輪(以下稱為“不具有光透過性(透光性)的游星輪”)的反射光的強(qiáng)度弱，由此從反射光得到的測定數(shù)據(jù)的峰值被因研磨加工時(shí)的研磨裝置的振動(dòng)等而產(chǎn)生的噪聲埋沒，導(dǎo)致被作為噪聲處理(成為計(jì)測誤差)。尤其是在金屬制游星輪的情況下，由于激光沒有透過，所以無法基于該激光來測定厚度。因此，在使用金屬制游星輪來對工件進(jìn)行研磨的情況下，需要在不研磨時(shí)特意將該游星輪從研磨裝置取出并使用千分尺(micrometer)等測定器來測定厚度，作業(yè)效率差。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2010-45279號公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開2008-227393號公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

因此，本發(fā)明的技術(shù)課題在于，即使在游星輪為上述不具有光透過性(透光性)的游星輪的情況下，也能夠基于激光來測定該游星輪的厚度，由此在測定該游星輪的厚度時(shí)不需要將該游星輪從研磨裝置拆下，能夠基于間隔管理來高效地進(jìn)行工件的研磨。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明，提供一種平面研磨裝置，具有旋轉(zhuǎn)自如地配置的上定盤及下定盤、和用于保持工件的游星輪，通過上述上定盤和下定盤來夾持該游星輪上所保持的工件并對該工件的兩面進(jìn)行研磨，上述平面研磨裝置的特征在于，上述平面研磨裝置具有用于測定上述工件及游星輪的厚度的厚度測定裝置，上述厚度測定裝置構(gòu)成為，朝向上述工件及游星輪照射激光，并根據(jù)來自該工件及游星輪的表面的反射光和來自背面的反射光來測定該工件及游星輪的厚度，上述游星輪具有：主體部，其具有用于保持上述工件的工件保持孔；和厚度測定部，其用于測定該游星輪的厚度，該厚度測定部具有形成在與上述工件保持孔不同的位置上的測定孔、和嵌入在該測定孔中的透光部件，該透光部件與上述主體部相比光透過性(透光性)優(yōu)異，另外，該透光部件的厚度與上述主體部的厚度相等，且該透光部件的表背面與上述主體部的表背面形成為共面。

在本發(fā)明的平面研磨裝置中，優(yōu)選的是，上述測定孔的口徑比上述工件保持孔的口徑小。另外，更優(yōu)選的是，上述透光部件的研磨率與上述主體部的研磨率同等或?yàn)槠湟韵隆?/p>

另外，根據(jù)本發(fā)明，提供一種游星輪，配置在平面研磨裝置的上定盤與下定盤之間，且用于保持通過該上定盤和下定盤而被研磨的工件，上述游星輪的特征在于，上述游星輪具有：主體部，其具有用于保持上述工件的工件保持孔；和厚度測定部，其用于通過激光來測定該游星輪的厚度，該厚度測定部具有形成在與上述工件保持孔不同的位置上的測定孔、和嵌入在該測定孔中的透光部件，該透光部件與上述主體部相比光透過性(透光性)優(yōu)異，另外，該透光部件的厚度與上述主體部的厚度相等，且該透光部件的表背面與上述主體部的表背面形成為共面。

在本發(fā)明的游星輪中，優(yōu)選的是，上述測定孔的口徑比上述工件保持孔的口徑小。另外，更優(yōu)選的是，上述透光部件的研磨率與上述主體部的研磨率同等或?yàn)槠湟韵隆?/p>

發(fā)明效果

像這樣，根據(jù)本發(fā)明，即使游星輪為不具有光透過性(透光性)或光透過性(透光性)低的材料，也能夠通過激光來測定該游星輪的厚度，且在測定游星輪的厚度時(shí)不需要特意將該游星輪從研磨裝置拆下，因此容易進(jìn)行工件的厚度與游星輪的厚度之間的間隔管理，而減少其作業(yè)工時(shí)。另外，由于能夠防止因游星輪的拆下/再裝填而導(dǎo)致的游星輪變形和破損，所以能夠防止產(chǎn)生因該變形和破損使研磨面相對于上下定盤的接觸變得不均勻、且研磨面的狀態(tài)不穩(wěn)定而導(dǎo)致的工件加工精度的偏差，從而能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定的研磨加工。

附圖說明

圖1是表示本發(fā)明的平面研磨裝置的一個(gè)實(shí)施方式的整體結(jié)構(gòu)的概略剖視圖。

圖2是表示上定盤和配置在下定盤上的多個(gè)游星輪的概略俯視圖。

圖3是表示對工件的厚度進(jìn)行測定的狀態(tài)的概略局部放大圖。

圖4是表示本實(shí)施方式的游星輪的第一例子的概略俯視圖。

圖5是表示上述游星輪的第二例子的概略俯視圖。

圖6是表示上述游星輪的第三例子的概略俯視圖。

圖7是表示上述游星輪的第四例子的概略俯視圖。

圖8是表示對游星輪的厚度進(jìn)行測定的狀態(tài)的概略局部放大圖。

附圖標(biāo)記說明

1平面研磨裝置

2上定盤

3下定盤

30游星輪

31主體部

32工件保持孔

34測定孔

35透光部件

40工件

50第2探頭

x厚度測定裝置

y厚度測定部

具體實(shí)施方式

以下使用附圖來詳細(xì)地說明本發(fā)明的平面研磨裝置的一個(gè)實(shí)施方式。本實(shí)施方式的平面研磨裝置1用于對硅晶片或玻璃襯底那樣的具有光透過性(透光性)的板狀的工件40的表背面進(jìn)行研磨，如圖1所示，具有以軸線l為中心旋轉(zhuǎn)自如地配置在該平面研磨裝置1的機(jī)體上的上定盤2及下定盤3、太陽齒輪(sungear)4及內(nèi)齒輪(internalgear)5，并且具有以相等間隔載置在上述下定盤3上且與上述太陽齒輪4及內(nèi)齒輪5嚙合的金屬制的游星輪30。在該游星輪30上形成有用于保持上述工件40的工件保持孔32。

另外，上述平面研磨裝置1具有以上述軸線l為中心配置成同軸狀且下端與驅(qū)動(dòng)馬達(dá)等驅(qū)動(dòng)源連接的第1-第4驅(qū)動(dòng)軸2a-5a，在第1驅(qū)動(dòng)軸2a的上端安裝有驅(qū)動(dòng)器10，第2驅(qū)動(dòng)軸3a的上端與上述下定盤3連接，第3驅(qū)動(dòng)軸4a的上端與上述太陽齒輪4連接，第4驅(qū)動(dòng)軸5a的上端與上述內(nèi)齒輪5連接，通過這些驅(qū)動(dòng)軸2a-5a，使上述上定盤2及下定盤3、和太陽齒輪4及內(nèi)齒輪5以上述軸線l為中心驅(qū)動(dòng)并旋轉(zhuǎn)。此外，基于上述第1驅(qū)動(dòng)軸2a對上定盤2的驅(qū)動(dòng)將通過以下的說明而得以明確。

在上述上定盤2的上方設(shè)有與上述機(jī)體一體的支承架6，在該支承架6上安裝有馬達(dá)或氣缸等升降用致動(dòng)器7，在該升降用致動(dòng)器7的升降桿7a的下端連結(jié)有定盤懸吊件8，在該定盤懸吊件8上通過多個(gè)支承螺柱8a而支承有上述上定盤2。在上述定盤懸吊件8的內(nèi)周與上述升降桿7a的外周之間設(shè)有軸承12，通過該軸承12而使上述升降桿7a和定盤懸吊件8以在上下方向上相互固定但在以上述軸線l為中心的旋轉(zhuǎn)方向上相對地旋轉(zhuǎn)自如的方式連結(jié)。

并且，在研磨工件40時(shí)，當(dāng)通過上述升降用致動(dòng)器7使升降桿7a伸長而使上定盤2下降至圖1的研磨位置時(shí)，設(shè)在該上定盤2上的鉤9與上述第1驅(qū)動(dòng)軸2a的上端的上述驅(qū)動(dòng)器10卡合，由此該上定盤2經(jīng)由上述驅(qū)動(dòng)器10且通過上述第1驅(qū)動(dòng)軸2a而被驅(qū)動(dòng)并旋轉(zhuǎn)。

在不研磨工件時(shí)，當(dāng)通過上述升降用致動(dòng)器7使升降桿7a收縮而使上述上定盤2上升到從研磨位置遠(yuǎn)離的退避位置時(shí)，上述鉤9與驅(qū)動(dòng)器10的卡合被解除。

如圖1所示，在上述上定盤2的下表面和下定盤3的上表面上分別貼付有具有均勻厚度的研磨墊11。作為該研磨墊11，使用無紡布制的研磨墊或聚氨酯制的研磨墊。但是，研磨墊11不是必須的，也可以代替研磨墊11而是貼付磨粒的構(gòu)造或定盤面自身形成研磨面的構(gòu)造。

上述游星輪30為由不具有光透過性(透光性)或光透過性(透光性)低的材料構(gòu)成的游星輪。作為這樣的游星輪的材質(zhì)，具有不銹鋼/sk鋼/鈦等金屬、陶瓷、使用了玻璃纖維/碳纖維/芳香族聚酰胺纖維等的纖維增強(qiáng)塑料、芳香族聚酰胺樹脂、氯乙烯、夾布酚醛塑料(clothinsertedbakelite)、或?qū)⑺鼈円跃哂心湍p性/耐藥品性/耐久性的材料涂布而得到的材質(zhì)等，但在此以金屬來說明。如圖4所示，游星輪30在主體部31的外周具有齒輪31a，并且在偏心的位置上具有與工件為相同形狀的一個(gè)工件保持孔32，在該工件保持孔32內(nèi)保持上述工件40(參照圖1及圖2)。該游星輪30載置在上述下定盤3的研磨墊11上，使外周的齒輪31a與上述太陽齒輪4和內(nèi)齒輪5嚙合，由此，通過這些太陽齒輪4和內(nèi)齒輪5的旋轉(zhuǎn)，該游星輪30一邊自轉(zhuǎn)一邊繞上述太陽齒輪4公轉(zhuǎn)。

上述游星輪30制作得比研磨前的工件40的厚度薄，在將該研磨前的工件40保持在工件保持孔32上時(shí)，該工件40與游星輪30的表面相比向上方突出(參照圖1及圖3)。

另外，如圖4-圖7所示，上述游星輪30具有漿料(slurry)導(dǎo)入孔33，在研磨工件40時(shí)，從未圖示的漿料供給部供給的研磨漿料通過該漿料導(dǎo)入孔33而遍及工件40的表背面。

在通過上述平面研磨裝置1來進(jìn)行工件40的研磨時(shí)，在使上述上定盤2上升到退避位置的狀態(tài)下，如圖2所示，將多個(gè)上述游星輪30以相等間隔配置在下定盤3上，并且使形成在其外周上的上述齒輪31a與上述太陽齒輪4和內(nèi)齒輪5嚙合。并且，在使工件40保持在各游星輪30的工件保持孔32中之后，如圖1所示，使上述上定盤2下降至研磨位置，并通過該上定盤2和下定盤3來夾入游星輪30。在該狀態(tài)下，一邊經(jīng)由上述驅(qū)動(dòng)軸2a-5a使上定盤2及下定盤3和太陽齒輪4及內(nèi)齒輪5以預(yù)先設(shè)定的旋轉(zhuǎn)方向及旋轉(zhuǎn)速度旋轉(zhuǎn)，一邊向上述上定盤2與下定盤3之間供給研磨漿料，由此，保持在繞上述太陽齒輪4自轉(zhuǎn)及公轉(zhuǎn)的上述游星輪30上的工件40的表背面通過上述上定盤2和下定盤3而被研磨。

此外，在圖2的例子中，將四個(gè)游星輪30沿圓周方向以相等間隔排列，但配置在下定盤3上的游星輪30的數(shù)量是任意的。

另外，本實(shí)施方式的平面研磨裝置1構(gòu)成為進(jìn)行如下間隔管理方式的研磨，即分別測定工件40的厚度(t)和游星輪30的厚度(t)，并在該工件40的厚度與游星輪30的厚度之差(間隔)成為所期望的值的時(shí)刻結(jié)束研磨。因此，上述平面研磨裝置1具有通過激光來測定工件40的厚度和游星輪30的厚度的光學(xué)式的厚度測定裝置x。

上述厚度測定裝置x構(gòu)成為能夠在研磨上述工件40的過程中實(shí)時(shí)地測定該工件40的厚度和上述游星輪30的厚度這兩方。因此如圖1所示，該厚度測定裝置x具有：光源部20，其輸出紅外線波長區(qū)域的激光；第1探頭(probe)21，其通過將從該光源部20輸出的激光朝向工件40照射來測定該工件40的厚度；和第2探頭50，其通過將從上述光源部20輸出的激光朝向游星輪30照射來測定該游星輪30的厚度。

上述第1探頭21以與上述上定盤2一起旋轉(zhuǎn)的方式設(shè)置。即，該第1探頭21經(jīng)由保持架24向下地安裝在上述定盤懸吊件8或上述支承螺柱8a等上，由此配置在上述上定盤2的上方，且通過第1光纜22并經(jīng)由旋轉(zhuǎn)接頭23而與上述光源部20連接。并且，如圖3所示，在上述工件40的研磨加工中，通過形成在上述上定盤2上的測定用的第1測定窗部25而向該工件40照射激光，并且接收從該工件40的表面及背面反射的反射光?；诮邮盏降姆瓷涔獾臏y定數(shù)據(jù)通過上述第1光纜22而被向運(yùn)算控制部29輸送，并在運(yùn)算控制部29中進(jìn)行運(yùn)算處理而計(jì)算出工件40的厚度。

基于上述第1探頭21進(jìn)行的工件40的厚度測定在保持于繞太陽齒輪4自轉(zhuǎn)及公轉(zhuǎn)的游星輪30上的工件40從上述第1探頭21的正下方即上述第1測定窗部25的正下方通過時(shí)進(jìn)行。

此外，基于由上述第1探頭21接收的反射光的測定數(shù)據(jù)可以通過上述第1光纜22而保持光的狀態(tài)向上述運(yùn)算控制部29輸送，但也可以在上述第1探頭21中轉(zhuǎn)換成電信號，并通過經(jīng)由旋轉(zhuǎn)接頭23將該第1探頭21和上述運(yùn)算控制部29連結(jié)的未圖示的電纜向上述運(yùn)算控制部29輸送，或者也可以通過無線方式輸送。

上述第1測定窗部25配置在上述第1探頭21的正下方，且具有將該上定盤2沿上下貫穿的通過孔26、與該通過孔26嵌合的套筒27、和安裝在該套筒27的下端的透過板28。此外，在貼付于上述上定盤2的研磨墊11上，在設(shè)有上述第1測定窗部25的部分上設(shè)有開口11a。

上述套筒27為合成樹脂制或玻璃制等的圓筒體，具有與上述通過孔26的口徑大致相等的外徑，上端的凸緣部27a固定在上定盤2的上表面上。此外，上述通過孔26及上述套筒27并不限于圓筒體，也可以為多邊筒體等形狀。

另外，上述透過板28由合成樹脂或玻璃等具有光透過性(透光性)的材料形成為板狀，優(yōu)選由透明的材料形成為板狀，以封堵上述套筒27的下端的開口的方式安裝。

另一方面，用于測定游星輪30的厚度的上述第2探頭50向下地安裝在上述支承架6上，且通過第2光纜51而與上述光源部20連接。該第2探頭50和與上定盤2一起旋轉(zhuǎn)的上述第1探頭21不同，而是通過適當(dāng)?shù)墓潭C(jī)構(gòu)固定地配置在上述支承架6的固定位置上。

為了通過上述第2探頭50并通過旋轉(zhuǎn)的上述上定盤2來測定游星輪30的厚度，在該上定盤2上設(shè)有一個(gè)或多個(gè)用于供激光透過的第2測定窗部52。在圖2所示的實(shí)施方式中，合計(jì)五個(gè)第2測定窗部52隔開相等間隔地與上述第1測定窗部25配置在相同圓周上。但是，配置有上述第2測定窗部52的位置也可以為與上述第1測定窗部25在上定盤2的半徑方向上不同的位置。

另外，如圖8所示，上述第2測定窗部52與上述第1測定窗部25同樣地，具有將上定盤2沿上下貫穿的通過孔26、與該通過孔26嵌合的套筒27、和安裝在該套筒27的下端的透過板28。此外，在貼付于上述上定盤2的研磨墊11上，在設(shè)有上述第2測定窗部52的部分上，與設(shè)有上述第1測定窗部25的部分同樣地設(shè)有開口11a。

上述套筒27為合成樹脂制或玻璃制等的圓筒體，具有與上述通過孔26的口徑大致相等的外徑，上端的凸緣部27a固定在上定盤2的上表面上。此外，上述通過孔26及上述套筒27并不限于圓筒體，也可以為多邊筒體等形狀。

另外，上述透過板28由合成樹脂或玻璃等具有光透過性(透光性)的材料形成為板狀，優(yōu)選由透明的材料形成為板狀，以封堵上述套筒27的下端的開口的方式安裝。

另外，在上述游星輪30為金屬制的情況下，即使通過上述第2探頭50向該游星輪30照射激光，激光也不會(huì)從該游星輪30透過而無法得到來自該游星輪30的背面?zhèn)鹊姆瓷涔?，因此無法測定該游星輪30的厚度。

因此，在本發(fā)明中，如圖1-圖4所示，在上述游星輪30上形成有用于通過激光來測定厚度的一個(gè)厚度測定部y。該厚度測定部y由形成在與上述工件保持孔32及漿料導(dǎo)入孔33不同的位置上的測定孔34、和埋入至該測定孔34中的透光部件35形成。

上述測定孔34為將游星輪30從表面向背面貫穿的圓形的孔，優(yōu)選其口徑比上述工件保持孔32的口徑小。由此，能夠不損害游星輪30的強(qiáng)度地抑制因設(shè)置在上述測定孔中的上述透光部件35與研磨面接觸而產(chǎn)生的磨損。期望該測定孔34形成在盡可能接近游星輪30的中心的位置上。此外，上述測定孔34的形狀并不限于圓形，也可以為多邊形。

上述透光部件35由具有光透過性(透光性)的材料形成，與上述主體部31相比光透過性(透光性)優(yōu)異，具有與上述主體部31的厚度相等的厚度，并以其表背面與上述主體部31的表背面形成為共面的方式嵌入在上述測定孔34內(nèi)。

在金屬制的游星輪30上形成由這樣的測定孔34及透光部件35構(gòu)成的厚度測定部y，由此，通過用上述第2探頭50向該透光部件35照射激光，而能夠得到來自該透光部件35的表面及背面的反射光，其結(jié)果為，能夠測定該游星輪30的厚度。

作為具有光透過性(透光性)的材料，上述透光部件35能夠由例如丙烯酸類樹脂/聚氨酯類樹脂/聚對苯二甲酸乙二醇酯樹脂(pet)等合成樹脂、石英、藍(lán)寶石、玻璃、硅等構(gòu)成，重要的是適當(dāng)選擇光透過性(透光性)比上述主體部31的材質(zhì)優(yōu)異的材料。尤其重要的是，適當(dāng)選擇紅外線波長區(qū)域的激光的光透過性(透光性)比上述主體部31的材質(zhì)優(yōu)異的材料(紅外線透過材料)。此外，該透光部件35向上述測定孔34的安裝例如可以為基于粘結(jié)劑進(jìn)行的粘結(jié)，可以為基于楔合進(jìn)行的安裝，能夠通過適當(dāng)?shù)姆椒▉戆惭b。

另外，期望上述透光部件35的研磨率與上述主體部31的研磨率同等或研磨率比上述主體部31低(難以被研磨)。其理由是，在研磨加工中，下定盤3的研磨面始終與上述主體部31的下表面接觸，因此存在上述主體部31被研磨的情況，另外，隨著研磨加工的進(jìn)行，上述上定盤2與上述主體部31的上表面之間的距離縮短，上述上定盤2的研磨面與上述主體部31的上表面接觸，由此存在上述主體部31被研磨的情況。因此，若上述透光部件35的研磨率比上述主體部31的研磨率高(容易被研磨)，則該透光部件35會(huì)被研磨而變得比上述主體部31薄，厚度的測定精度會(huì)降低。

如圖8所示，工件40的研磨加工中的基于上述第2探頭50對游星輪30的厚度測定，在形成于旋轉(zhuǎn)的上定盤2上的上述第2測定窗部52、和安裝在游星輪30上的上述透光部件35到達(dá)上述第2探頭50的正下方時(shí)進(jìn)行。此時(shí)，從上述第2探頭50向上述透光部件35照射的激光在該透光部件35的表面及背面被反射，該反射光作為測定數(shù)據(jù)被上述第2探頭50接收。接收到的測定數(shù)據(jù)通過上述第2光纜51而被向運(yùn)算控制部29輸送，并在運(yùn)算控制部29中進(jìn)行運(yùn)算處理而計(jì)算出游星輪30的厚度。

來自上述第2探頭50的激光可以在工件40的研磨加工中始終照射，也可以是以僅在上定盤2的第2測定窗部52和游星輪30的透光部件35在該第2探頭50的正下方排列的瞬間照射的方式進(jìn)行控制。在該情況下，通過以相等間隔配置多個(gè)第2測定窗部52，而能夠以有規(guī)則的定時(shí)進(jìn)行照射。此外，通過設(shè)置多個(gè)第2測定窗部52，測定次數(shù)增多，測定精度也會(huì)提高。

另外，基于上述第2探頭50得到的測定數(shù)據(jù)可以通過上述第2光纜51保持光的狀態(tài)地向上述運(yùn)算控制部29輸送，但也可以在上述第2探頭50中轉(zhuǎn)換成電信號，并通過將該第2探頭50和上述運(yùn)算控制部29連結(jié)的未圖示的電纜向該運(yùn)算控制部29輸送，或者也可以通過無線方式輸送。

當(dāng)在工件40的研磨加工中像這樣測定工件40的厚度和游星輪30的厚度時(shí)，兩者的測定數(shù)據(jù)會(huì)在上述運(yùn)算控制部29中進(jìn)行比較，在工件40的厚度與游星輪30的厚度之差成為所期望的值的時(shí)刻，結(jié)束研磨。

此外，在像這樣在工件40的研磨加工中測定該工件40的厚度和游星輪30的厚度的情況下，上述第1探頭21及第2探頭50接收來自上述工件40的表背面的反射光、和來自上述游星輪30的透光部件35的表背面的反射光這兩方的反射光，但兩者的峰值具有差值，因此，需要利用該差值，以上述第1探頭21僅將來自工件40的反射光作為測定數(shù)據(jù)而接收、第2探頭50僅將來自游星輪30的透光部件35的反射光作為測定數(shù)據(jù)而接收的方式事先進(jìn)行調(diào)整。

上述游星輪30的厚度測定也能夠在不對工件40進(jìn)行研磨時(shí)進(jìn)行。例如，能夠利用在研磨開始前將新的工件40設(shè)置到游星輪30上時(shí)、在工件40的研磨后使用純水進(jìn)行的沖洗工序時(shí)等的間歇(batch)處理期間的時(shí)間來進(jìn)行。此時(shí)的厚度測定通過如下來進(jìn)行：在該上定盤2的某一個(gè)第2測定窗部52處于第2探頭50的正下方的位置上使該上定盤2停止，并使太陽齒輪4和內(nèi)齒輪5緩慢地旋轉(zhuǎn)，使游星輪30自轉(zhuǎn)及公轉(zhuǎn)而使上述透光部件35從上述第2測定窗部52的下方通過。像這樣，在不研磨工件40時(shí)進(jìn)行游星輪30的厚度測定的裝置中，形成在上定盤2上的上述第2測定窗部52可以為一個(gè)。

在圖5-圖7中示出本發(fā)明的游星輪30的變形例。

圖5所示的游星輪30與圖4所示的游星輪30的不同點(diǎn)在于，三個(gè)厚度測定部y在游星輪30的周向上以相等間隔(120度間隔)形成。通過像這樣設(shè)置多個(gè)厚度測定部y，測定數(shù)據(jù)的獲取數(shù)增多。

在圖6所示的游星輪30上，三個(gè)工件保持孔32在游星輪30的周向上隔開相等間隔(120度間隔)地形成，并且，三個(gè)漿料導(dǎo)入孔33一個(gè)一個(gè)地形成在相鄰的上述工件保持孔32之間，在該游星輪30的中心部上設(shè)有單一的厚度測定部y。游星輪30的中心部為該游星輪30自轉(zhuǎn)及公轉(zhuǎn)時(shí)的移動(dòng)量最小的位置，因此通過在此處設(shè)置厚度測定部y，而具有在研磨加工中透光部件35難以被上定盤2和下定盤3研磨的優(yōu)點(diǎn)。

圖7所示的游星輪30與圖6所示的游星輪30的不同點(diǎn)在于形成有多個(gè)厚度測定部y。即，以分別夾持各漿料導(dǎo)入孔33的方式各形成有兩個(gè)厚度測定部y，由此形成總共三組即六個(gè)厚度測定部y。

像這樣，在本實(shí)施方式的平面研磨裝置1中，使用由照射激光時(shí)的反射光的強(qiáng)度比來自工件40的反射光的強(qiáng)度低的材料構(gòu)成的游星輪30，且能夠測定工件40的厚度和游星輪30的厚度來進(jìn)行基于間隔管理方式的研磨，其結(jié)果為，能夠得到具有高平面度的工件40。而且，能夠?qū)⒃撚涡禽?0保持設(shè)置在平面研磨裝置上的狀態(tài)不取出地通過激光來進(jìn)行上述游星輪30的厚度測定，因此不需要如以往裝置那樣將游星輪從裝置取出后通過千分尺等來測定，省去了測定的勞力和時(shí)間，作業(yè)性優(yōu)異。另外，由于不需要每次進(jìn)行游星輪的拆下/再裝填，所以能夠防止游星輪的變形和破損，從而能夠防止產(chǎn)生因該變形和破損使研磨面相對于上下定盤的接觸不均勻且研磨面的狀態(tài)不穩(wěn)定而導(dǎo)致的工件加工精度的偏差，其結(jié)果為，能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定的研磨加工。

以上，說明了本發(fā)明的平面研磨裝置，但本發(fā)明并不限定于上述的實(shí)施方式及變形例，能夠在不脫離權(quán)利要求書的主旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種設(shè)計(jì)變更。例如，如上述那樣，上述第1探頭21及第2探頭50能夠接收來自上述工件40的表背面的反射光、和來自上述游星輪30的透光部件35的表背面的反射光這兩方的反射光，因此也能夠構(gòu)成為省略某一方的探頭并通過第1探頭21或第2探頭50來測定工件40的厚度和游星輪30的厚度這兩方。另外，也能夠構(gòu)成為省略第1測定窗部25和第2測定窗部52中的任一方的測定窗部并通過第1測定窗部25或第2測定窗部52來測定工件40的厚度和游星輪30的厚度這兩方。