本發(fā)明屬于超精密加工技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

隨著科學(xué)技術(shù)的日益發(fā)展，超精密加工技術(shù)在國(guó)防工業(yè)、航空航天科技、光學(xué)與通信、新能源等眾多高技術(shù)領(lǐng)域中發(fā)揮著越來越重要的作用。同時(shí)這些領(lǐng)域?qū)λ枨蟮牧慵募庸べ|(zhì)量也提出了越來越高的要求，使用的材料越來越多樣化，結(jié)構(gòu)也相應(yīng)的越來越復(fù)雜化，這些特點(diǎn)使得該類零件的加工難度也隨之增加。該類零件多由超精密磨削來實(shí)現(xiàn)其加工過程。

當(dāng)該類零件的總體尺寸較小時(shí)，由于結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜，所以加工過程中工具砂輪極易與工件產(chǎn)生干涉，而且其圓弧曲率半徑較小，因此，需要采用小尺寸的球頭砂輪對(duì)其進(jìn)行超精密磨削加工。因?yàn)榍蝾^砂輪的直徑受最小曲率半徑限制一般只有幾毫米，所以其加工線速度不會(huì)特別高，為了獲得優(yōu)異的加工質(zhì)量，則需要采用細(xì)微粒的金剛石作為磨粒。該類球頭砂輪在加工熔融石英等難加工材料的過程中容易產(chǎn)生磨損，使砂輪失去正常磨削能力，從而影響加工零件的表面質(zhì)量，也使得加工后零件的面型精度變差。而砂輪安裝所帶來的偏心等問題也會(huì)使工件的加工表面質(zhì)量和面型精度變差，并加劇砂輪的磨損速度。為了解決這兩個(gè)問題，需要一種具有兩工位的磨削裝置能夠在砂輪安裝后進(jìn)行修整以盡可能減小偏心量的存在，可以在加工過程中實(shí)現(xiàn)對(duì)砂輪的隨時(shí)修整，以獲得砂輪較高的面型精度的同時(shí)提高砂輪的磨削能力，并且具有砂輪修整過程監(jiān)測(cè)能力。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明是為了解決對(duì)小尺寸球頭砂輪在安裝后存在偏心量和加工過程中細(xì)磨粒球頭砂輪磨損導(dǎo)致加工質(zhì)量和面型精度變差的問題，提出了一種具有砂輪修整和磨削加工的兩工位加工裝置。

本發(fā)明所述的具有砂輪修整和磨削加工的兩工位加工裝置，該裝置包括修整裝置防護(hù)罩3、工作臺(tái)防護(hù)罩5、工件主軸裝置防護(hù)罩6、工作臺(tái)7、工件主軸8、兩個(gè)ccd監(jiān)測(cè)裝置、電火花修整裝置、工件主軸過渡板22、精密定位平臺(tái)防護(hù)罩23、防護(hù)裝置蓋板25、工件主軸夾持件26、超精密定位平臺(tái)27、修整裝置過渡板28、電極支撐桿29和電極蓋板13；

ccd監(jiān)測(cè)裝置包括二維微位移平臺(tái)11、ccd對(duì)刀裝置連接板12、ccd相機(jī)10、ccd對(duì)刀裝置定位塊18、二維微位移平臺(tái)連接板19和ccd相機(jī)夾持件20；

電火花修整裝置包括修整電極主軸2、修整電極9、石墨電刷14、電刷絕緣外殼15、電刷彈簧16和修整電極主軸夾持件24；

工作臺(tái)7的上表面等間隔開有t型槽，所述t型槽用于通過t型槽螺釘將兩個(gè)ccd監(jiān)測(cè)裝置、電火花修整裝置和工件主軸夾持件26固定在工作臺(tái)7上；

工件主軸過渡板22通過定位塊定位于工作臺(tái)7上表面，并通過t型槽螺釘緊固，工件主軸夾持件26連接于工件主軸過渡板22上，工件主軸8安裝于工件主軸夾持件26的夾持孔內(nèi)，并通過旋緊螺釘進(jìn)行夾緊緊固；所述工件主軸8的軸心方向與t型槽方向平行；

工作臺(tái)7的四周設(shè)有工作臺(tái)防護(hù)罩5，所述工作臺(tái)防護(hù)罩5的內(nèi)側(cè)設(shè)有工件主軸裝置防護(hù)罩6，工件主軸8與電火花修整裝置之間設(shè)有上邊緣高度可上下調(diào)節(jié)的防護(hù)風(fēng)琴罩；

精密定位平臺(tái)防護(hù)罩23和防護(hù)裝置蓋板25分別設(shè)置在修整電極主軸夾持件24下側(cè)過渡板的側(cè)面和上面，精密定位平臺(tái)防護(hù)罩23和防護(hù)裝置蓋板25用于避免球頭砂輪電火花修整過程中，工作液飛濺入直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的超精密定位平臺(tái)內(nèi)部；修整電極主軸夾持件24安裝于防護(hù)裝置蓋板25的上表面，修整電極主軸2安裝于修整電極主軸夾持件24的夾持孔內(nèi)，并通過旋緊螺釘進(jìn)行夾緊緊固；修整電極9安裝在修整電極主軸2的軸孔內(nèi)；修整裝置防護(hù)罩3圍設(shè)在電火花修整裝置的外側(cè)，修整裝置防護(hù)罩3的前端面開設(shè)有圓形通孔，所述修整電極9的前端穿過所述修整裝置防護(hù)罩3前端面的圓形通孔；

ccd對(duì)刀裝置連接板12通過定位塊定位在工作臺(tái)7的上表面，二維微位移平臺(tái)11通過二維微位移平臺(tái)連接板19與ccd對(duì)刀裝置連接板12連接，ccd相機(jī)10通過ccd相機(jī)夾持件20夾設(shè)在二維微位移平臺(tái)11的上；

ccd對(duì)刀裝置定位塊18固定連接于ccd對(duì)刀裝置連接板12的下側(cè)，ccd相機(jī)10的鏡頭對(duì)準(zhǔn)球頭砂輪電火花修整加工區(qū)域或工件磨削加工區(qū)域；ccd相機(jī)10用于監(jiān)測(cè)球頭砂輪電火花修整過程和工件磨削過程；

電極蓋板13壓緊電刷彈簧16將石墨電刷14壓緊在電刷絕緣外殼15的內(nèi)部，電刷絕緣外殼15通過電極支撐桿29安裝于修整裝置過渡板28上；

修整裝置過渡板28通過定位塊定位于工作臺(tái)7上，超精密定位平臺(tái)27安裝在修整裝置過渡板28上，修整電極主軸夾持件24通過過渡板安裝于超精密定位平臺(tái)27的上側(cè)。

本發(fā)明是針對(duì)小尺寸球頭砂輪在安裝后存在偏心量和加工過程中細(xì)磨粒球頭砂輪磨損導(dǎo)致加工質(zhì)量和面型精度變差的問題，電火花修整裝置和磨削工件主軸裝置并排安放于工作臺(tái)上形成兩工位，并安裝ccd監(jiān)測(cè)裝置，監(jiān)測(cè)砂輪修整過程。在砂輪安裝后可通過電火花修整工位對(duì)砂輪進(jìn)行修整，減小砂輪安裝過程中所帶來的偏心誤差，在加工過程中砂輪產(chǎn)生磨損時(shí)，可以隨時(shí)更換磨削加工工位和修整工位，對(duì)砂輪進(jìn)行電火花修整，以保證對(duì)工件的超精密磨削加工。

本發(fā)明所述裝置通過工作臺(tái)過渡連接板上預(yù)留的連接孔與機(jī)床運(yùn)動(dòng)平臺(tái)相連，并可以隨運(yùn)動(dòng)平臺(tái)實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)。該裝置的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)主要由超精密定位平臺(tái)及工件主軸和修整電極主軸組成，每個(gè)運(yùn)動(dòng)軸及定位平臺(tái)都有獨(dú)立的驅(qū)動(dòng)器，定位平臺(tái)可通過控制反饋信號(hào)線與運(yùn)動(dòng)控制卡相連，受控于上位機(jī)的運(yùn)動(dòng)控制軟件，可以實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，以及相應(yīng)的誤差補(bǔ)償，以獲得更高的運(yùn)動(dòng)精度。

完成該裝置與機(jī)床的軟硬件連接工作后，即可使用該裝置進(jìn)行磨削加工和球頭砂輪的電火花修整加工。加工前檢查修整裝置中碳刷的可用長(zhǎng)度并調(diào)整碳刷彈簧的預(yù)緊力，保證碳刷在修整過程中與修整電極和球頭砂輪桿的可靠接觸。然后將平頭砂輪安裝于砂輪主軸上，操作機(jī)床運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，使其處于電火花修整工位，并用修整工位的ccd對(duì)刀裝置完成修整前的對(duì)刀工作，開啟砂輪和電極主軸并供給磨削液，開始對(duì)砂輪進(jìn)行球頭修整，這樣可以盡可能的減小砂輪安裝偏心對(duì)磨削加工過程所帶來的影響。修整后將工作臺(tái)移動(dòng)到磨削工位，完成ccd對(duì)刀，并對(duì)零件進(jìn)行磨削加工，加工過程中用ccd裝置對(duì)砂輪的磨損狀態(tài)進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。達(dá)到一定的磨損量時(shí)，移動(dòng)工作臺(tái)至修整工位對(duì)磨損的砂輪進(jìn)行修整，依次往復(fù)進(jìn)行，完成零件的高質(zhì)量磨削加工。

附圖說明

圖1為本發(fā)明所述的具有砂輪修整和磨削加工的兩工位加工裝置的俯視圖；

圖2為本發(fā)明所述具有砂輪修整和磨削加工的兩工位加工裝置的后視圖；

圖3為本發(fā)明所述的具有砂輪修整和磨削加工的兩工位加工裝置的左視圖；

圖4為異面誤差分析坐標(biāo)圖；

圖5為砂輪徑向跳動(dòng)誤差分析坐標(biāo)圖；

圖6為電極徑向跳動(dòng)誤差分析坐標(biāo)圖。

具體實(shí)施方式

為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。

具體實(shí)施方式一、結(jié)合圖1至圖3說明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式所述的具有砂輪修整和磨削加工的兩工位加工裝置，該裝置包括修整裝置防護(hù)罩3、工作臺(tái)防護(hù)罩5、工件主軸裝置防護(hù)罩6、工作臺(tái)7、工件主軸8、兩個(gè)ccd監(jiān)測(cè)裝置、電火花修整裝置、工件主軸過渡板22、精密定位平臺(tái)防護(hù)罩23、防護(hù)裝置蓋板25、工件主軸夾持件26、超精密定位平臺(tái)27、修整裝置過渡板28、電極支撐桿29和電極蓋板13；

ccd監(jiān)測(cè)裝置包括二維微位移平臺(tái)11、ccd對(duì)刀裝置連接板12、ccd相機(jī)10、ccd對(duì)刀裝置定位塊18、二維微位移平臺(tái)連接板19和ccd相機(jī)夾持件20；

電火花修整裝置包括修整電極主軸2、修整電極9、石墨電刷14、電刷絕緣外殼15、電刷彈簧16和修整電極主軸夾持件24；

工作臺(tái)7的上表面等間隔開有t型槽，所述t型槽用于通過t型槽螺釘將兩個(gè)ccd監(jiān)測(cè)裝置、電火花修整裝置和工件主軸夾持件26固定在工作臺(tái)7上；

工件主軸過渡板22通過定位塊定位于工作臺(tái)7上表面，并通過t型槽螺釘緊固，工件主軸夾持件26連接于工件主軸過渡板22上，工件主軸8安裝于工件主軸夾持件26的夾持孔內(nèi)，并通過旋緊螺釘進(jìn)行夾緊緊固；所述工件主軸8的軸心方向與t型槽方向平行；

工作臺(tái)7的四周設(shè)有工作臺(tái)防護(hù)罩5，所述工作臺(tái)防護(hù)罩5的內(nèi)側(cè)設(shè)有工件主軸裝置防護(hù)罩6，工件主軸8與電火花修整裝置之間設(shè)有上邊緣高度可上下調(diào)節(jié)的防護(hù)風(fēng)琴罩；

精密定位平臺(tái)防護(hù)罩23和防護(hù)裝置蓋板25分別設(shè)置在修整電極主軸夾持件24下側(cè)過渡板的側(cè)面和上面，精密定位平臺(tái)防護(hù)罩23和防護(hù)裝置蓋板25用于避免球頭砂輪(21)電火花修整過程中，工作液飛濺入直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的超精密定位平臺(tái)內(nèi)部；修整電極主軸夾持件24安裝于防護(hù)裝置蓋板25的上表面，修整電極主軸2安裝于修整電極主軸夾持件24的夾持孔內(nèi)，并通過旋緊螺釘進(jìn)行夾緊緊固；修整電極9安裝在修整電極主軸2的軸孔內(nèi)；修整裝置防護(hù)罩3圍設(shè)在電火花修整裝置的外側(cè)，修整裝置防護(hù)罩3的前端面開設(shè)有圓形通孔，所述修整電極9的前端穿過所述修整裝置防護(hù)罩3前端面的圓形通孔；

ccd對(duì)刀裝置連接板12通過定位塊定位在工作臺(tái)7的上表面，二維微位移平臺(tái)11通過二維微位移平臺(tái)連接板19與ccd對(duì)刀裝置連接板12連接，ccd相機(jī)10通過ccd相機(jī)夾持件20夾設(shè)在二維微位移平臺(tái)11的上；

ccd對(duì)刀裝置定位塊18固定連接于ccd對(duì)刀裝置連接板12的下側(cè)，ccd相機(jī)10的鏡頭對(duì)準(zhǔn)球頭砂輪電火花修整加工區(qū)域或工件磨削加工區(qū)域；ccd相機(jī)10用于監(jiān)測(cè)球頭砂輪電火花修整過程和工件磨削過程；

電極蓋板13壓緊電刷彈簧16將石墨電刷14壓緊在電刷絕緣外殼15的內(nèi)部，電刷絕緣外殼15通過電極支撐桿29安裝于修整裝置過渡板28上；

修整裝置過渡板28通過定位塊定位于工作臺(tái)7上，超精密定位平臺(tái)27安裝在修整裝置過渡板28上，修整電極主軸夾持件24通過過渡板安裝于超精密定位平臺(tái)27的上側(cè)。

本實(shí)施方式所述的工作臺(tái)通過內(nèi)六角螺釘與工作臺(tái)過渡板相連接，采用工作臺(tái)過渡板可以在一定程度上減小工作臺(tái)因加工t型槽而帶來的變形，同時(shí)可以方便將該裝置與機(jī)床運(yùn)動(dòng)平臺(tái)連接。工作臺(tái)上分布的裝置主要為并排安裝的工件主軸系統(tǒng)和球頭砂輪電火花修整系統(tǒng)以及ccd對(duì)刀裝置。工件主軸系統(tǒng)通過定位塊安放于工作臺(tái)上，并采用t型槽螺釘將工件主軸過渡板固定于工作臺(tái)上，安裝過程中應(yīng)嚴(yán)格保證工件主軸軸線與t型槽方向一致。工件主軸夾持件通過定位銷準(zhǔn)確的安裝于工件主軸過渡板上，并通過內(nèi)六角螺釘緊固。工件主軸安裝于工件主軸夾持件的夾持孔內(nèi)，并通過旋緊內(nèi)六角螺釘夾緊工件主軸，并調(diào)整旋緊力的大小，以避免對(duì)工件主軸內(nèi)部結(jié)構(gòu)造成損壞。電火花修整系統(tǒng)通過定位塊定位放置于工作臺(tái)上，并通過修整裝置過渡板與工作臺(tái)固定連接，安裝過程中應(yīng)保證修整電極主軸的方向與t型槽的方向嚴(yán)格一致。修整過程中二維微位移平臺(tái)連接板安裝于過渡板上，因該平臺(tái)為直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)平臺(tái)，所以為其設(shè)計(jì)磨削液防護(hù)裝置，在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上安裝過渡連接板，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)防護(hù)罩通過內(nèi)六角螺釘連接于過渡板上，過渡板的上表面安裝防護(hù)裝置蓋板(防止磨削液從上部流入)，防護(hù)裝置蓋板上安裝修整電極主軸夾持零件，電極主軸安裝于夾持件的圓孔中，并通過內(nèi)六角螺栓夾緊，夾緊過程中注意調(diào)整夾緊力的大小。ccd對(duì)刀裝置通過定位塊定位安放于工作臺(tái)上，并通過過渡板固定。通過位移平臺(tái)連接板將二維微位移平臺(tái)連接到過渡板上，二維微位移平臺(tái)的作用是在ccd裝置固定于工作臺(tái)上后，可以進(jìn)行微調(diào)以實(shí)現(xiàn)ccd相機(jī)的對(duì)焦功能。ccd相機(jī)夾持件通過內(nèi)六角螺釘固定連接在二維微位移平臺(tái)上，與ccd相機(jī)夾持件上部相互配合在內(nèi)六角螺釘?shù)淖饔孟聤A緊ccd相機(jī)和鏡頭。為了保證工件主軸系統(tǒng)和電火花修整系統(tǒng)的正常運(yùn)行，需要為其設(shè)計(jì)磨削液防護(hù)裝置。首先是工作臺(tái)防護(hù)罩通過內(nèi)六角螺釘安裝于工作臺(tái)的四周，防止工作液飛濺到工作臺(tái)以外的地方，防護(hù)罩設(shè)計(jì)有門和玻璃窗，以方便操作和觀察。工作臺(tái)中間設(shè)計(jì)有豎直方向的風(fēng)琴罩，可以避免磨削和修整工藝過程的相互干擾。同時(shí)為工件主軸裝置設(shè)計(jì)防護(hù)罩并通過內(nèi)六角螺釘固定于工件主軸過渡板上，為修整裝置設(shè)計(jì)防護(hù)罩并通過內(nèi)六角螺釘固定于修整裝置過渡板上，以保證工件主軸裝置和修整裝置的正常運(yùn)行。

由于在超精密磨削加工過程中，球頭砂輪的面型精度將會(huì)直接影響加工后工件的面型精度，所以為了獲得高面型精度的工件，需要使砂輪修整的面型精度較高。因此需要分析修整過程中對(duì)面型精度的影響因素。通過分析可以發(fā)現(xiàn)對(duì)砂輪修整后面型精度具有影響的因素主要包括：砂輪軸線和修整電極軸線的異面、砂輪主軸的徑向跳動(dòng)、工件主軸的徑向跳動(dòng)這三個(gè)因素。

(1)砂輪軸線和修整電極軸線異面分析

當(dāng)砂輪軸線和電極軸線存在異面誤差時(shí)，異面誤差值為δ1。建立砂輪的空間直角坐標(biāo)系，原點(diǎn)位于標(biāo)準(zhǔn)球頭砂輪球心o，并隨砂輪轉(zhuǎn)動(dòng)。建立電極的空間坐標(biāo)系，原點(diǎn)為o0，其坐標(biāo)為(x0,y0,z0)電極圓環(huán)中心為o1，其坐標(biāo)為(x1,y1,z1),空間位置不發(fā)生改變,(x,y,z)為電極圓環(huán)上的任意一點(diǎn)。建立的兩坐標(biāo)系如圖4所示。

當(dāng)砂輪坐標(biāo)系旋轉(zhuǎn)時(shí)，電極圓環(huán)相對(duì)于砂輪形成運(yùn)動(dòng)軌跡，包絡(luò)出砂輪端部形狀，根據(jù)電極圓環(huán)和砂輪的相對(duì)關(guān)系，計(jì)算出存在異面誤差時(shí)修整出的砂輪端部輪廓表達(dá)式，見式(1)。

式中r為球頭砂輪半徑；

因此當(dāng)存在異面誤差時(shí)砂輪修整的面型精度為：

其中：δ1為存在異面誤差時(shí)砂輪修整的面型精度，r為球頭砂輪半徑；

(2)砂輪主軸徑向跳動(dòng)分析

當(dāng)砂輪主軸徑向跳動(dòng)誤差為δ2時(shí)，建立砂輪直角空間坐標(biāo)系和電極空間直角坐標(biāo)系，砂輪坐標(biāo)系原點(diǎn)位于砂輪修整后的理想球心位置，電極坐標(biāo)系原點(diǎn)為o0，其坐標(biāo)為(x0,y0,z0),電極圓環(huán)的圓心為o1,，其坐標(biāo)為(x1,y1,z1)。(x,y,z)為電極圓環(huán)上的任意一點(diǎn)其中砂輪坐標(biāo)系xy平面和電極坐標(biāo)系x’y’平面處于同一平面內(nèi)，在砂輪主軸運(yùn)動(dòng)過程中，砂輪坐標(biāo)系繞電極坐標(biāo)系沿誤差圓運(yùn)動(dòng)，如圖5所示。砂輪徑向跳動(dòng)誤差值為δ2，運(yùn)動(dòng)過程中x’正向與o1o0連線的夾角為α,獲得砂輪修整面型輪廓表達(dá)式如式(3)所示：

面型精度誤差為：

其中，δ2為砂輪主軸徑向跳動(dòng)誤差分析；

(3)電極主軸徑向跳動(dòng)分析

當(dāng)電極主軸徑向跳動(dòng)為δ3時(shí)，并且理想軸線的連線與豎直方向夾角為θ，可知此時(shí)的異面量為δ3sinθ。建立處于此位置的砂輪直角坐標(biāo)系o，并建立處于任意旋轉(zhuǎn)位置的電極直角坐標(biāo)系o0，原點(diǎn)坐標(biāo)(x0,y0,z0)，建立好的直角坐標(biāo)系如圖6所示。根據(jù)此坐標(biāo)系推導(dǎo)在此狀態(tài)下修整出來的砂輪形狀公式為(5)

因此面型精度為：

其中，δ3為砂輪主軸徑向跳動(dòng)誤差分析；

(4)綜合分析

采用rrs方法對(duì)三種誤差進(jìn)行綜合和誤差分配，當(dāng)砂輪直徑為3.8mm，要求修整后砂輪的面型精度要小于3.5μm，則砂輪主軸和電極主軸的徑向跳動(dòng)量應(yīng)優(yōu)于1μm，砂輪軸線和電極軸線間的異面誤差應(yīng)該小于3μm。

具體實(shí)施方式二、本實(shí)施方式是對(duì)具體實(shí)施方式一所述的具有砂輪修整和磨削加工的兩工位加工裝置的進(jìn)一步說明，它還包括走線擋塊1和走線槽4，所述走線槽4通過螺栓固定安裝于工作臺(tái)防護(hù)罩5的外側(cè)；走線擋塊1通過螺釘將密封膠墊壓緊于工作臺(tái)上。

本實(shí)施方式的走線擋塊1通過螺釘將密封膠墊壓緊于工作臺(tái)上，防止工作液流入工作臺(tái)下方。

具體實(shí)施方式三、本實(shí)施方式是對(duì)具體實(shí)施方式一或二所述的具有砂輪修整和磨削加工的兩工位加工裝置的進(jìn)一步說明，它還包括工作臺(tái)過渡板17，所述工作臺(tái)過渡板17安裝在工作臺(tái)7的下側(cè)。

本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)：

(1)該裝置適用于小尺寸零件磨削加工及直徑小于2mm球頭砂輪的電火花修整加工，球頭砂輪修整后面型精度優(yōu)于2μm；

(2)該裝置可以實(shí)現(xiàn)在磨削過程中隨時(shí)對(duì)砂輪磨損狀態(tài)進(jìn)行ccd監(jiān)控，并隨時(shí)對(duì)磨損的砂輪進(jìn)行電火花修整，以保證磨削后工件的加工質(zhì)量；

(3)修整裝置的進(jìn)給運(yùn)動(dòng)由高精度定位平臺(tái)實(shí)現(xiàn)，該平臺(tái)可以實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制和誤差補(bǔ)償，定位精度為±0.1μm，以保證修整后砂輪的尺寸精度。同時(shí)定位平臺(tái)可與機(jī)床其余運(yùn)動(dòng)平臺(tái)聯(lián)動(dòng)，以獲得不同砂輪形狀；

(4)該裝置采用小尺寸的高速精密電主軸，適合于小尺寸零件的磨削加工，電主軸的回轉(zhuǎn)精度均優(yōu)于1μm，以保證磨削的加工質(zhì)量和球頭砂輪修整后的高面型精度；

(5)磨削和電火花修整過程采用相同工作液，避免加工過程中工作液對(duì)裝置的正常運(yùn)行帶來的影響，為電火花修整裝置和磨削加工裝置設(shè)計(jì)磨削液防護(hù)罩。

在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，一體地連接，也可以是可拆卸連接；可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。

以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。