本實(shí)用新型涉及一種鍍膜機(jī)，尤其涉及一種熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)。

背景技術(shù)：

蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來(lái)并且沉降在基片表面，通過(guò)成膜過(guò)程(散點(diǎn)－島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長(zhǎng))形成薄膜。目前，熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)普遍使用的工件架系統(tǒng)從外形結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō)分為幾大類(lèi)，傘形(多片式、整體式)、行星式(平面行星式、傘形行星)、平板式(水平、斜面)等，該類(lèi)工件架系統(tǒng)一般只適用于基片單面鍍膜，用于基片兩面鍍膜的翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性差。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為解決現(xiàn)有的熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)中用于基片兩面鍍膜的翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)穩(wěn)定性較差的缺陷，本實(shí)用新型特提供一種新型的熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下：

一種熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)，包括機(jī)架，機(jī)架內(nèi)設(shè)置有真空室，真空室上罩設(shè)有鐘罩，真空室的上方轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有轉(zhuǎn)臺(tái)，轉(zhuǎn)臺(tái)的臺(tái)邊均勻設(shè)置有多個(gè)基片架，所述機(jī)架上設(shè)置有翻轉(zhuǎn)基片架的撥動(dòng)裝置，基片架上還設(shè)置有限制基片架翻轉(zhuǎn)的限位裝置。將待鍍膜的基片卡設(shè)在基片架上，真空室內(nèi)被加熱的靶材蒸發(fā)后沉降在基片表面，待基片的第一面鍍膜完成后，啟動(dòng)撥動(dòng)裝置，在撥動(dòng)裝置的作用下基片架開(kāi)始翻轉(zhuǎn)，待翻轉(zhuǎn)到合適位置時(shí)，限位裝置將對(duì)翻轉(zhuǎn)基片架進(jìn)行限位，提高了翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。與此同時(shí)，采用撥動(dòng)裝置使得基片架的翻轉(zhuǎn)更為靈活可靠。

為更好地實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型，所述基片架包括固定在轉(zhuǎn)臺(tái)上的支板，支板的背面設(shè)置有可轉(zhuǎn)動(dòng)的星輪，星輪上連接有星輪軸，星輪軸穿過(guò)支板的一端連接有夾架，所述撥動(dòng)裝置作用在星輪上。在本方案中，撥動(dòng)裝置撥動(dòng)星輪時(shí)，夾架將帶動(dòng)夾設(shè)在其上的基片翻轉(zhuǎn)，操作簡(jiǎn)單方便。

作為本實(shí)用新型的優(yōu)選，所述撥動(dòng)裝置包括氣缸以及與氣缸活塞桿連接的撥桿，氣缸固定在機(jī)架上，所述撥桿作用在星輪下端相鄰的兩個(gè)輪齒間。在轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)開(kāi)始基片第一面鍍膜時(shí)，撥桿處于收回狀態(tài)，不會(huì)導(dǎo)致基片架翻轉(zhuǎn)。在第一面鍍膜完成后，啟動(dòng)氣缸，氣缸將啟動(dòng)撥桿使之伸長(zhǎng)作用在星輪的相鄰兩個(gè)輪齒間。星輪在轉(zhuǎn)臺(tái)的帶動(dòng)下將往前移動(dòng)，由于撥桿的位置固定，星輪將實(shí)現(xiàn)翻轉(zhuǎn)。星輪為90°四等分，每次翻轉(zhuǎn)角度為90°，兩次翻轉(zhuǎn)即可實(shí)現(xiàn)第二面即背面的鍍膜。

進(jìn)一步地，所述限位裝置包括鉸接在支板上的轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸上鉸接有限位塊，限位塊作用在星輪上端相鄰的兩個(gè)輪齒間，所述支板上還設(shè)置有彈簧，彈簧的一端與限位塊連接。在星輪翻轉(zhuǎn)時(shí)，限位塊將被彈開(kāi)，此時(shí)彈簧處于拉伸狀態(tài)，待星輪翻轉(zhuǎn)完后，彈簧將把限位塊拉回星輪的上端相鄰兩個(gè)齒輪間，對(duì)星輪的位置進(jìn)行固定，避免在鍍膜時(shí)星輪發(fā)生翻轉(zhuǎn)影響鍍膜效果。

為更好地實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型，所述機(jī)架上設(shè)置有支撐轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)的支撐裝置，轉(zhuǎn)臺(tái)的下端設(shè)置有齒圈，機(jī)架的側(cè)壁上設(shè)置有電機(jī)以及與電機(jī)連接的皮帶輪A，機(jī)架上設(shè)置有轉(zhuǎn)桿，轉(zhuǎn)桿的下端設(shè)置有皮帶輪B，皮帶輪B與皮帶輪A通過(guò)皮帶傳送，轉(zhuǎn)桿的上端設(shè)置有與齒圈相嚙合的齒輪。本方案與原有翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)相比，驅(qū)動(dòng)方式從箱式鍍膜機(jī)頂部中心驅(qū)動(dòng)改為鍍膜機(jī)底部側(cè)面?zhèn)鲃?dòng)，結(jié)構(gòu)緊湊，對(duì)于貴金屬的熱蒸發(fā)鍍膜較為經(jīng)濟(jì)、節(jié)約。

進(jìn)一步地，所述支撐裝置包括支撐座，支撐座的側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有通孔A，通孔A內(nèi)設(shè)置有軸承A，軸承A中裝配有轉(zhuǎn)桿A，轉(zhuǎn)桿A的前端連接有滾輪A，滾輪A位于轉(zhuǎn)臺(tái)的下端。在本方案中，設(shè)置在轉(zhuǎn)臺(tái)下端面的滾輪A用于支承轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)。

作為本實(shí)用新型的優(yōu)選結(jié)構(gòu)，所述機(jī)架上設(shè)置有底座，底座上開(kāi)設(shè)有通孔B，通孔B內(nèi)設(shè)置有軸承B，軸承B中轉(zhuǎn)配有連桿B，連桿B的上端連接有與轉(zhuǎn)臺(tái)側(cè)壁接觸的滾輪B。在本方案中，滾輪B的設(shè)置用于在水平方向限制轉(zhuǎn)臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)范圍，以保證轉(zhuǎn)臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)中心與真空室的室體中心跳動(dòng)誤差≤2mm。

綜上所述，本實(shí)用新型的有益效果是：

1、將待鍍膜的基片卡設(shè)在基片架上，真空室內(nèi)被加熱的靶材蒸發(fā)后沉降在基片表面，待基片的第一面鍍膜完成后，啟動(dòng)撥動(dòng)裝置，在撥動(dòng)裝置的作用下基片架開(kāi)始翻轉(zhuǎn)，待翻轉(zhuǎn)到合適位置時(shí)，限位裝置將對(duì)翻轉(zhuǎn)基片架進(jìn)行限位，提高了翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。與此同時(shí)，采用撥動(dòng)裝置使得基片架的翻轉(zhuǎn)更為靈活可靠。

2、在本方案中，撥動(dòng)裝置撥動(dòng)星輪時(shí)，夾架將帶動(dòng)夾設(shè)在其上的基片翻轉(zhuǎn)，操作簡(jiǎn)單方便。

3、在轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)開(kāi)始基片第一面鍍膜時(shí)，撥桿處于收回狀態(tài)，不會(huì)導(dǎo)致基片架翻轉(zhuǎn)。在第一面鍍膜完成后，啟動(dòng)氣缸，氣缸將啟動(dòng)撥桿使之伸長(zhǎng)作用在星輪的相鄰兩個(gè)輪齒間。星輪在轉(zhuǎn)臺(tái)的帶動(dòng)下將往前移動(dòng)，由于撥桿的位置固定，星輪將實(shí)現(xiàn)翻轉(zhuǎn)。星輪為90°四等分，每次翻轉(zhuǎn)角度為90°，兩次翻轉(zhuǎn)即可實(shí)現(xiàn)第二面即背面的鍍膜。

4、在星輪翻轉(zhuǎn)時(shí)，限位塊將被彈開(kāi)，此時(shí)彈簧處于拉伸狀態(tài)，待星輪翻轉(zhuǎn)完后，彈簧將把限位塊拉回星輪的上端相鄰兩個(gè)齒輪間，對(duì)星輪的位置進(jìn)行固定，避免在鍍膜時(shí)星輪發(fā)生翻轉(zhuǎn)影響鍍膜效果。

5、本方案與原有翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)相比，驅(qū)動(dòng)方式從箱式鍍膜機(jī)頂部中心驅(qū)動(dòng)改為鍍膜機(jī)底部側(cè)面?zhèn)鲃?dòng)，結(jié)構(gòu)緊湊，對(duì)于貴金屬的熱蒸發(fā)鍍膜較為經(jīng)濟(jì)、節(jié)約。

6、在本方案中，設(shè)置在轉(zhuǎn)臺(tái)下端面的滾輪A用于支承轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)。

7、在本方案中，滾輪B的設(shè)置用于在水平方向限制轉(zhuǎn)臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)范圍，以保證轉(zhuǎn)臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)中心與真空室的室體中心跳動(dòng)誤差≤2mm。

附圖說(shuō)明

圖1為一種熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為鍍膜機(jī)的剖視圖；

圖3為星輪翻轉(zhuǎn)前的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為星輪翻轉(zhuǎn)后的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為支撐裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為底座、滾輪B的結(jié)構(gòu)示意圖；

其中附圖標(biāo)記所對(duì)應(yīng)的零部件名稱(chēng)如下：1-機(jī)架，2-真空室，3-鐘罩，4-轉(zhuǎn)臺(tái)，5-基片架，6-撥動(dòng)裝置，7-支板，8-星輪，9-星輪軸，10-夾架，11-氣缸，12-撥桿，13-轉(zhuǎn)軸，14-限位塊，15-彈簧，16-支撐裝置，17-齒圈，18-電機(jī)，19-皮帶輪A，20-轉(zhuǎn)桿，21-皮帶輪B，22-齒輪，23-支撐座，24-滾輪A，25-底座，26-連桿B，27-滾輪B。

具體實(shí)施方式

為更好地實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型，下面結(jié)合附圖及具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)地說(shuō)明，但本實(shí)用新型的實(shí)施方式并不限于此。

如圖1、圖2、圖3、圖4、圖5、圖6所示，一種熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)，包括機(jī)架1，機(jī)架1內(nèi)設(shè)置有真空室2，真空室2上罩設(shè)有鐘罩3，真空室2的上方轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有轉(zhuǎn)臺(tái)4，轉(zhuǎn)臺(tái)4的臺(tái)邊均勻設(shè)置有多個(gè)基片架5，所述機(jī)架1上設(shè)置有翻轉(zhuǎn)基片架5的撥動(dòng)裝置6，基片架5上還設(shè)置有限制基片架5翻轉(zhuǎn)的限位裝置。將待鍍膜的基片卡設(shè)在基片架5上，真空室2內(nèi)被加熱的靶材蒸發(fā)后沉降在基片表面，待基片的第一面鍍膜完成后，啟動(dòng)撥動(dòng)裝置6，在撥動(dòng)裝置6的作用下基片架5開(kāi)始翻轉(zhuǎn)，待翻轉(zhuǎn)到合適位置時(shí)，限位裝置將對(duì)翻轉(zhuǎn)基片架5進(jìn)行限位，提高了翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。與此同時(shí)，采用撥動(dòng)裝置6使得基片架5的翻轉(zhuǎn)更為靈活可靠。

為更好地實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型，所述基片架5包括固定在轉(zhuǎn)臺(tái)4上的支板7，支板7的背面設(shè)置有可轉(zhuǎn)動(dòng)的星輪8，星輪8上連接有星輪軸9，星輪軸9穿過(guò)支板7的一端連接有夾架10，所述撥動(dòng)裝置6作用在星輪8上。在本實(shí)施例中，撥動(dòng)裝置6撥動(dòng)星輪8時(shí)，夾架10將帶動(dòng)夾設(shè)在其上的基片翻轉(zhuǎn)，操作簡(jiǎn)單方便。

作為本實(shí)用新型的優(yōu)選，所述撥動(dòng)裝置6包括氣缸11以及與氣缸11活塞桿連接的撥桿12，氣缸11固定在機(jī)架1上，所述撥桿12作用在星輪8下端相鄰的兩個(gè)輪齒間。在轉(zhuǎn)臺(tái)4旋轉(zhuǎn)開(kāi)始基片第一面鍍膜時(shí)，撥桿12處于收回狀態(tài)，不會(huì)導(dǎo)致基片架5翻轉(zhuǎn)。在第一面鍍膜完成后，啟動(dòng)氣缸11，氣缸11將啟動(dòng)撥桿12使之伸長(zhǎng)作用在星輪8的相鄰兩個(gè)輪齒間。星輪8在轉(zhuǎn)臺(tái)4的帶動(dòng)下將往前移動(dòng)，由于撥桿12的位置固定，星輪8將實(shí)現(xiàn)翻轉(zhuǎn)。星輪8為90°四等分，每次翻轉(zhuǎn)角度為90°，兩次翻轉(zhuǎn)即可實(shí)現(xiàn)第二面即背面的鍍膜。

進(jìn)一步地，所述限位裝置包括鉸接在支板7上的轉(zhuǎn)軸13，轉(zhuǎn)軸13上鉸接有限位塊14，限位塊14作用在星輪8上端相鄰的兩個(gè)輪齒間，所述支板7上還設(shè)置有彈簧15，彈簧15的一端與限位塊14連接。在星輪8翻轉(zhuǎn)時(shí)，限位塊14將被彈開(kāi)，此時(shí)彈簧15處于拉伸狀態(tài)，待星輪8翻轉(zhuǎn)完后，彈簧15將把限位塊14拉回星輪8的上端相鄰兩個(gè)齒輪間，對(duì)星輪8的位置進(jìn)行固定，避免在鍍膜時(shí)星輪8發(fā)生翻轉(zhuǎn)影響鍍膜效果。

為更好地實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型，所述機(jī)架1上設(shè)置有支撐轉(zhuǎn)臺(tái)4旋轉(zhuǎn)的支撐裝置16，轉(zhuǎn)臺(tái)4的下端設(shè)置有齒圈17，機(jī)架1的側(cè)壁上設(shè)置有電機(jī)18以及與電機(jī)18連接的皮帶輪A19，機(jī)架1上設(shè)置有轉(zhuǎn)桿20，轉(zhuǎn)桿20的下端設(shè)置有皮帶輪B21，皮帶輪B21與皮帶輪A19通過(guò)皮帶傳送，轉(zhuǎn)桿20的上端設(shè)置有與齒圈17相嚙合的齒輪22。本實(shí)施例與原有翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)相比，驅(qū)動(dòng)方式從箱式鍍膜機(jī)頂部中心驅(qū)動(dòng)改為鍍膜機(jī)底部側(cè)面?zhèn)鲃?dòng)，結(jié)構(gòu)緊湊，對(duì)于貴金屬的熱蒸發(fā)鍍膜較為經(jīng)濟(jì)、節(jié)約。

進(jìn)一步地，所述支撐裝置16包括支撐座23，支撐座23的側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有通孔A，通孔A內(nèi)設(shè)置有軸承A，軸承A中裝配有轉(zhuǎn)桿A，轉(zhuǎn)桿A的前端連接有滾輪A24，滾輪A24位于轉(zhuǎn)臺(tái)4的下端。在本實(shí)施例中，設(shè)置在轉(zhuǎn)臺(tái)4下端面的滾輪A24用于支承轉(zhuǎn)臺(tái)4的旋轉(zhuǎn)。

為更好地實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型，所述機(jī)架1上設(shè)置有底座25，底座25上開(kāi)設(shè)有通孔B，通孔B內(nèi)設(shè)置有軸承B，軸承B中轉(zhuǎn)配有連桿B26，連桿B26的上端連接有與轉(zhuǎn)臺(tái)4側(cè)壁接觸的滾輪B27。在本實(shí)施例中，滾輪B27的設(shè)置用于在水平方向限制轉(zhuǎn)臺(tái)4的轉(zhuǎn)動(dòng)范圍，以保證轉(zhuǎn)臺(tái)4的轉(zhuǎn)動(dòng)中心與真空室2的室體中心跳動(dòng)誤差≤2mm。

實(shí)施例1

一種熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)，包括機(jī)架1，機(jī)架1內(nèi)設(shè)置有真空室2，真空室2上罩設(shè)有鐘罩3，真空室2的上方轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有轉(zhuǎn)臺(tái)4，轉(zhuǎn)臺(tái)4的臺(tái)邊均勻設(shè)置有多個(gè)基片架5，所述機(jī)架1上設(shè)置有翻轉(zhuǎn)基片架5的撥動(dòng)裝置6，基片架5上還設(shè)置有限制基片架5翻轉(zhuǎn)的限位裝置。

實(shí)施例2

本實(shí)施例在實(shí)施例1的基礎(chǔ)上，所述基片架5包括固定在轉(zhuǎn)臺(tái)4上的支板7，支板7的背面設(shè)置有可轉(zhuǎn)動(dòng)的星輪8，星輪8上連接有星輪軸9，星輪軸9穿過(guò)支板7的一端連接有夾架10，所述撥動(dòng)裝置6作用在星輪8上。

實(shí)施例3

本實(shí)施例在實(shí)施例2的基礎(chǔ)上，所述撥動(dòng)裝置6包括氣缸11以及與氣缸11活塞桿連接的撥桿12，氣缸11固定在機(jī)架1上，所述撥桿12作用在星輪8下端相鄰的兩個(gè)輪齒間。

實(shí)施例4

本實(shí)施例在實(shí)施例2或?qū)嵤├?的基礎(chǔ)上，所述限位裝置包括鉸接在支板7上的轉(zhuǎn)軸13，轉(zhuǎn)軸13上鉸接有限位塊14，限位塊14作用在星輪8上端相鄰的兩個(gè)輪齒間，所述支板7上還設(shè)置有彈簧15，彈簧15的一端與限位塊14連接。

實(shí)施例5

本實(shí)施例在實(shí)施例1至實(shí)施例4中任意一項(xiàng)的基礎(chǔ)上，所述機(jī)架1上設(shè)置有支撐轉(zhuǎn)臺(tái)4旋轉(zhuǎn)的支撐裝置16，轉(zhuǎn)臺(tái)4的下端設(shè)置有齒圈17，機(jī)架1的側(cè)壁上設(shè)置有電機(jī)18以及與電機(jī)18連接的皮帶輪A19，機(jī)架1上設(shè)置有轉(zhuǎn)桿20，轉(zhuǎn)桿20的下端設(shè)置有皮帶輪B21，皮帶輪B21與皮帶輪A19通過(guò)皮帶傳送，轉(zhuǎn)桿20的上端設(shè)置有與齒圈17相嚙合的齒輪22。

實(shí)施例6

本實(shí)施例在實(shí)施例1至實(shí)施例5中任意一項(xiàng)的基礎(chǔ)上，所述支撐裝置16包括支撐座23，支撐座23的側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有通孔A，通孔A內(nèi)設(shè)置有軸承A，軸承A中裝配有轉(zhuǎn)桿A，轉(zhuǎn)桿A的前端連接有滾輪A24，滾輪A24位于轉(zhuǎn)臺(tái)4的下端。

實(shí)施例7

本實(shí)施例在實(shí)施例1至實(shí)施例6中任意一項(xiàng)的基礎(chǔ)上，所述機(jī)架1上設(shè)置有底座25，底座25上開(kāi)設(shè)有通孔B，通孔B內(nèi)設(shè)置有軸承B，軸承B中轉(zhuǎn)配有連桿B26，連桿B26的上端連接有與轉(zhuǎn)臺(tái)4側(cè)壁接觸的滾輪B27。

如上所述，可較好地實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。