一種液晶顯示器用蝕刻液的制備方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種液晶顯示器用蝕刻液的制備方法。
【背景技術(shù)】
[0002]薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-1XD)因其反應(yīng)速度快、對(duì)比度好、可視角度大、色彩豐富等優(yōu)點(diǎn)，作為當(dāng)下各類(lèi)數(shù)碼顯示器中的主流產(chǎn)品，廣泛應(yīng)用于筆記本電腦、液晶電視等方面，受到越來(lái)越多用戶(hù)的青睞。薄膜晶體管是薄膜晶體管液晶顯示器中的關(guān)鍵器件，其性能好壞對(duì)最終液晶顯示器產(chǎn)品的性能具有決定性作用。其制造工藝就是根據(jù)器件的光學(xué)和電學(xué)特性要求，在玻璃基板上制造不同的薄膜，并根據(jù)設(shè)計(jì)要求對(duì)不同的薄膜進(jìn)行加工，形成有規(guī)則排列的特定的電子學(xué)器件一一薄膜晶體管列陣。薄膜晶體管列陣制造的主要工藝包括基板清洗、成膜、光刻、檢查修復(fù)等基本步驟。其中核心工藝是光刻。在液晶顯示裝置的制造過(guò)程中，在玻璃基板表面需要通過(guò)多次光刻的過(guò)程進(jìn)行多層布線(xiàn)。
[0003]鉻金屬膜即可以用來(lái)作為其他金屬的中間層、保護(hù)層，也可以單獨(dú)附著在基板上，做柵電極。其加工方便，可以通過(guò)蝕刻技術(shù)得到各種復(fù)雜的鉻金屬膜圖形。另外鉻的儲(chǔ)量豐富，價(jià)格便宜，所以在液晶顯示裝置的中，金屬鉻因其優(yōu)良的電導(dǎo)性、熱穩(wěn)定性、耐腐蝕、耐氧化、與其他金屬具有很好的附著性且價(jià)格低廉等優(yōu)點(diǎn)而廣泛用于薄膜晶體管液晶顯示器制造中的電極、布線(xiàn)材料。
[0004]目前的絡(luò)金屬膜蝕刻液中一般均存在組分硝酸。這類(lèi)蝕刻液對(duì)絡(luò)金屬膜蝕刻時(shí)主要存在的缺點(diǎn)有:蝕刻速度慢，導(dǎo)致光致抗蝕劑長(zhǎng)時(shí)間浸泡于蝕刻液中，將會(huì)使部分光致抗蝕劑脫落，導(dǎo)致部分金屬走線(xiàn)蝕刻效果不佳；對(duì)不需要進(jìn)行蝕刻的抗蝕涂層與鉻金屬膜界面上也有因蝕刻液滲入所致的蝕刻痕導(dǎo)致不需蝕刻部分的鉻金屬膜表面粗糙。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷提供一種液晶顯示器用蝕刻液的制備方法。
[0006]本發(fā)明為實(shí)現(xiàn)上述目的，采用如下技術(shù)方案:一種液晶顯示器用蝕刻液的制備方法，包括如下步驟:
[0007]第一步:將強(qiáng)酸性陽(yáng)離子交換樹(shù)脂加入到重量百分比為1.5%?2.3%有機(jī)鹽酸中，攪拌混合，攪拌的速度為75?90轉(zhuǎn)/分鐘，攪拌時(shí)間為12?20分鐘，然后濾出強(qiáng)酸性陽(yáng)離子交換樹(shù)脂，控制或去除有機(jī)鹽酸中的雜質(zhì)離子；
[0008]第二步:將重量百分比為0.5%?2.3%的硝酸鈰銨和五分之一的蒸餾水到入反應(yīng)釜中，在常溫、常壓下充分?jǐn)嚢瑁瑪嚢钑r(shí)間為5?10分鐘，攪拌速度為55?65轉(zhuǎn)/分鐘；
[0009]第三步:然后加入重量百分比為0.2%?1.8%的鄰氟苯甲酸，充分?jǐn)嚢??5分鐘；加入重量百分比為1.2%?2.6%的正戊酸，充分?jǐn)嚢??6分鐘；加入五分之一的蒸饋水，充分?jǐn)嚢??5分鐘；加入重量百分比為1.2%?2.6%的碘酸，充分?jǐn)嚢??4分鐘；加入重量百分比為1.5%?2.3%的有機(jī)鹽酸，充分?jǐn)嚢??6分鐘；加入重量百分比為2.5%?3.3%的非離子表面活性劑，充分?jǐn)嚢??5分鐘；加入重量百分比為1.5%?
2.6%的消泡劑，充分?jǐn)嚢??3分鐘；最后再加滿(mǎn)蒸饋水，再攪拌10?15分鐘，攪拌速度為65?80轉(zhuǎn)/分鐘；
[0010]第五步:最后將制得的混合物經(jīng)0.12?0.16 μ m的過(guò)濾器過(guò)濾，以去除混合物中粒徑大于0.12?0.16 μ m的有害粒子，制得所需蝕刻液，其表面張力低為50?70 X 10 3N/m，結(jié)晶溫度為-25?0°C。
[0011]進(jìn)一步的，所述硝酸鈰銨的濃度大于95.5% (重量百分比)，所述鄰氟苯甲酸的濃度大于97.5% (重量百分比)，所述正戊酸的濃度大于89% (重量百分比)，所述碘酸的濃度大于89% (重量百分比)，所述有機(jī)鹽酸的濃度大于75% (重量百分比)。
[0012]進(jìn)一步的，所述非離子表面活性劑為司盤(pán)類(lèi)非離子表面活性劑。
[0013]進(jìn)一步的，所述強(qiáng)酸性陽(yáng)離子交換樹(shù)脂為強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)離子交換樹(shù)脂。
[0014]進(jìn)一步的，所述強(qiáng)酸性陽(yáng)咼子交換樹(shù)脂與有機(jī)鹽酸的質(zhì)量比為0.6?0.9。
[0015]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明通過(guò)在原有工藝的基礎(chǔ)上新加入了添加硝酸鈰銨、鄰氟苯甲酸、正戊酸、碘酸、有機(jī)鹽酸，不僅能夠在不發(fā)生抗蝕涂層滲透的情況下進(jìn)行蝕刻，顯著提高鉻金屬膜的蝕刻速度，具有蝕刻速度可控性，有效抑制抗蝕保護(hù)層的劣化，得到表面平坦光滑的鉻金屬膜配線(xiàn)，具有重要的應(yīng)用價(jià)值；而且能有效降低蝕刻液的表面張力，不僅能夠產(chǎn)生滲透，浸潤(rùn)的作用，而且能夠蝕刻銦錫氧化物半導(dǎo)體透明導(dǎo)電膜速率適中，反應(yīng)穩(wěn)定，使其在不影響產(chǎn)品質(zhì)量的前提下提高產(chǎn)品的蝕刻效果，并使產(chǎn)品能在較低的環(huán)境溫度下保存，避免了原有技術(shù)造成的蝕刻不干凈，不能在低溫下儲(chǔ)存的缺點(diǎn)，本方法能適用于大規(guī)模生產(chǎn)。
【具體實(shí)施方式】
[0016]實(shí)施例1
[0017]上述液晶顯示器用蝕刻液的制備方法，包括如下步驟:
[0018]第一步:將強(qiáng)酸性陽(yáng)離子交換樹(shù)脂加入到重量百分比為1.5%有機(jī)鹽酸中，攪拌混合，攪拌的速度為75轉(zhuǎn)/分鐘，攪拌時(shí)間為12分鐘，然后濾出強(qiáng)酸性陽(yáng)離子交換樹(shù)脂，控制或去除有機(jī)鹽酸中的雜質(zhì)離子；
[0019]第二步:將重量百分比為0.5%的硝酸鈰銨和五分之一的蒸餾水到入反應(yīng)釜中，在常溫、常壓下充分?jǐn)嚢瑁瑪嚢钑r(shí)間為5分鐘，攪拌速度為55轉(zhuǎn)/分鐘；
[0020]第三步:然后加入重量百分比為0.2%的鄰氟苯甲酸，充分?jǐn)嚢?分鐘；加入重量百分比為1.2%的正戊酸，充分?jǐn)嚢?分鐘；加入五分之一的蒸餾水，充分?jǐn)嚢?分鐘；加入重量百分比為1.2%的碘酸，充分?jǐn)嚢?分鐘；加入重量百分比為1.5%的有機(jī)鹽酸，充分?jǐn)嚢?分鐘；加入重量百分比為2.5%的非離子表面活性劑，充分?jǐn)嚢?分鐘；加入重量百分比為1.5%的消泡劑，充分?jǐn)嚢?分鐘；最后再加滿(mǎn)蒸饋水，再攪拌10分鐘，攪拌速度為65轉(zhuǎn)/分鐘；
[0021]第五步:最后將制得的混合物經(jīng)0.16 μm的過(guò)濾器過(guò)濾，以去除混合物中粒徑大于0.16 μ m的有害粒子，制得所需蝕刻液，其表面張力低為70 X 10 3N/m，結(jié)晶溫度為0°C。
[0022]其中，所述硝酸鈰銨的濃度大于95.5% (重量百分比)，所述鄰氟苯甲酸的濃度大于97.5% (重量百分比)，所述正戊酸的濃度大于89% (重量百分比)，所述碘酸的濃度大于89% (重量百分比)，所述有機(jī)鹽酸的濃度大于75% (重量百分比)。
[0023]其中，所述非離子表面活性劑為司盤(pán)類(lèi)非離子表面活性劑。
[0024]其中，所述強(qiáng)酸性陽(yáng)離子交換樹(shù)脂為強(qiáng)酸性苯乙烯系陽(yáng)離子交換樹(shù)脂。
[0025]其中，所述強(qiáng)酸性陽(yáng)咼子交換樹(shù)脂與有機(jī)鹽酸的質(zhì)量比為0.6?0.9。
[0026]實(shí)施例2
[0027]上述液晶顯示器用蝕刻液的制備方法，包括如下步驟:
[0028]第一步:將強(qiáng)酸性陽(yáng)離子交換樹(shù)脂加入到重量百分比為1.9%有機(jī)鹽酸中，攪拌混合，攪拌的速度為82轉(zhuǎn)/分鐘，攪拌時(shí)間為17分鐘，然后濾出強(qiáng)酸性陽(yáng)離子交換樹(shù)脂，控制或去除有機(jī)鹽酸中的雜質(zhì)離子；
[0029]第二步:將重量百分比為1.5%的硝酸鈰銨和五分之一的蒸餾水到入反應(yīng)釜中，在常溫、常壓下充分?jǐn)嚢?，攪拌時(shí)間為8分鐘，攪拌速度為60轉(zhuǎn)/分鐘；