多輥多室卷繞鍍膜裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及卷材表面鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種多輥多室卷繞鍍膜裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]柔性智能電致變色膜是一種的新型電致變色材料，它在電場(chǎng)作用下具有光吸收透過(guò)的可調(diào)節(jié)性，可選擇地吸收或反射外界的熱輻射和內(nèi)部的熱擴(kuò)散，減少夏季保持涼爽和冬季保持溫暖而必須消耗的大量能源，同時(shí)起到改善自然光照程度、防窺的目的。目前常用于智能窗、防炫目后視鏡、高檔轎車(chē)和飛機(jī)上的調(diào)光玻璃等變色用途，是一種市場(chǎng)需求量較大的產(chǎn)品。
[0003]對(duì)于柔性智能電致、光致、熱致變色膜的加工，傳統(tǒng)的方式是采用單面鍍膜，需雙面鍍膜時(shí)，將工件鍍完一面后再取出復(fù)卷后放入真空室再鍍另一面，該方式的生產(chǎn)周期長(zhǎng)，生產(chǎn)效率低，成本高。目前也有在同一真空環(huán)境中，采用臥式水平安裝雙水冷鼓的方式來(lái)加工的方法，但由于同一真空環(huán)境中，不同的鍍膜區(qū)域之間會(huì)出現(xiàn)濺射繞射，因此會(huì)出現(xiàn)污染相鄰靶材的現(xiàn)象，導(dǎo)致膜層質(zhì)量不高，且雙水冷鼓水平擺放，濺射靶位于水冷鼓下方，鍍膜過(guò)程中會(huì)有膜層掉落靶材表面，導(dǎo)致二次污染，產(chǎn)品質(zhì)量無(wú)法提高，產(chǎn)品市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力不強(qiáng)。
[0004]在現(xiàn)有的撓性線(xiàn)路板鍍膜設(shè)備中，都是采用將水冷鼓、收卷輥、放卷輥等機(jī)構(gòu)置于同一真空室內(nèi)的形式。這就使得在加工過(guò)程中，每鍍一爐就需要破真空一次，收卷輥、放卷輥與鍍膜區(qū)域都處于大氣狀態(tài)下，這樣鍍膜區(qū)域會(huì)吸附水蒸氣及空氣中的粉塵而造成污染，因此難以得到高品質(zhì)膜層。另外，鍍膜室每爐都需重新抽真空，鍍膜周期加長(zhǎng)，生產(chǎn)效率低。同時(shí)，因破真空后，每鍍一爐都需重新充入反應(yīng)氣體或保護(hù)氣體，加工成本高。
[0005]在現(xiàn)有的撓性線(xiàn)路板鍍膜設(shè)備中，都是采用濺射靶圍繞水冷鼓來(lái)進(jìn)行膜層鍍制，各濺射靶處于同一真空環(huán)境中，容易出現(xiàn)繞射污染靶材，無(wú)法得到高品質(zhì)膜層，尤其是當(dāng)卷繞基材表面需要多種不同性質(zhì)的鍍膜層時(shí)，該現(xiàn)象更加明顯。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種鍍膜質(zhì)量高、加工成本低的多輥多室卷繞鍍膜裝置。
[0007]本發(fā)明的技術(shù)方案為:一種多輥多室卷繞鍍膜裝置，包括多個(gè)相互獨(dú)立的真空室，多個(gè)真空室包括放卷室、收卷室和至少一個(gè)鍍膜室，放卷室和收卷室分別設(shè)于鍍膜室的兩側(cè)，任意兩個(gè)相鄰的真空室之間設(shè)有真空鎖；鍍膜室內(nèi)設(shè)有呈上下分布的多個(gè)水冷鼓，每個(gè)水冷鼓的一側(cè)至少分布有兩個(gè)濺射靶，每個(gè)濺射靶外周設(shè)有靶罩，靶罩底部與水冷鼓表面之間設(shè)有供卷繞基材通過(guò)用的間隙，且各靶罩分別外接抽真空機(jī)組，每個(gè)靶罩內(nèi)形成獨(dú)立的濺射室。其中，每個(gè)真空室也分別外接抽真空機(jī)組，靶罩和真空室外接的抽真空機(jī)組均采用市面通用的抽真空機(jī)組即可。將放卷室、收卷室和各個(gè)鍍膜室均設(shè)置為獨(dú)立的真空室，一方面可實(shí)現(xiàn)在不同鍍膜室中進(jìn)行不同的鍍膜工藝，防止不同工藝之間產(chǎn)生串氣現(xiàn)象，另一方面，根據(jù)鍍膜工藝的實(shí)際需要，可靈活的配置鍍膜室的數(shù)量，也方便對(duì)某一真空室進(jìn)行維護(hù)或更換卷材、靶材等。將兩個(gè)水冷鼓設(shè)置為上下分布的形式，結(jié)合濺射靶設(shè)于水冷鼓側(cè)面，可有效防止濺射過(guò)程中膜層掉落而對(duì)靶材造成二次污染；用靶罩將各個(gè)濺射靶隔離，可實(shí)現(xiàn)對(duì)各個(gè)濺射區(qū)域進(jìn)行氣氛隔離，防止產(chǎn)生串氣現(xiàn)象而影響鍍膜質(zhì)量，另外，也方便根據(jù)鍍膜工藝的實(shí)際需要對(duì)濺射靶的數(shù)量進(jìn)行設(shè)置。
[0008]作為一種優(yōu)選方案，所述鍍膜室內(nèi)設(shè)有兩個(gè)水冷鼓，兩個(gè)水冷鼓外側(cè)的濺射靶分布于兩個(gè)水冷鼓中線(xiàn)的兩側(cè)，且位于同一水冷鼓外側(cè)的濺射靶分布于兩個(gè)水冷鼓中線(xiàn)的同一側(cè)，卷繞基材在兩個(gè)水冷鼓上進(jìn)行雙面鍍膜，即在卷繞基材的輸送過(guò)程中，先在一個(gè)水冷鼓上進(jìn)行一面的鍍膜，再在另一個(gè)水冷鼓上進(jìn)行另一面的鍍膜。
[0009]作為一種優(yōu)選方案，所述鍍膜室有一個(gè)，鍍膜室內(nèi)的兩個(gè)水冷鼓為上水冷鼓和下水冷鼓，上水冷鼓的左側(cè)分布有三個(gè)派射革E，下水冷鼓的右側(cè)分布有三個(gè)派射革巴。
[0010]作為另一種優(yōu)選方案，所述鍍膜室有兩個(gè)，分別為第一鍍膜室和第二鍍膜室；第一鍍膜室內(nèi)的兩個(gè)水冷鼓為第一上水冷鼓和第一下水冷鼓，第一上水冷鼓的左側(cè)分布有兩個(gè)濺射靶，第一下水冷鼓的右側(cè)分布有兩個(gè)濺射靶；第二鍍膜室內(nèi)的兩個(gè)水冷鼓為第二上水冷鼓和第二下水冷鼓，第二上水冷鼓的右側(cè)分布有兩個(gè)濺射靶，第二下水冷鼓的左側(cè)分布有兩個(gè)濺射靶。
[0011]所述靶罩為底部開(kāi)口的中空殼體結(jié)構(gòu)，濺射靶設(shè)于靶罩中部，靶罩一側(cè)設(shè)有抽氣口，且抽氣口外接抽真空機(jī)組。
[0012]作為一種新的真空鎖結(jié)構(gòu)，所述真空鎖包括閥座、閥蓋和閥蓋驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，閥蓋設(shè)于閥座上方，閥蓋頂部與閥蓋驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接；閥座上設(shè)有供卷繞基材通過(guò)用的傾斜通孔，傾斜通孔與真空室側(cè)壁上的進(jìn)料孔連通。該真空鎖結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單而小巧，可根據(jù)需要直接在各真空室上加裝即可，不影響真空室的現(xiàn)有結(jié)構(gòu)，其制造成本也低。
[0013]所述閥座上，傾斜通孔的進(jìn)口端位于閥座的頂面上，傾斜通孔的出口端位于閥座的側(cè)壁上，出口端與真空室側(cè)壁上的進(jìn)料孔相連接；閥蓋的底面為平面，閥座的頂面也為平面，閥座的側(cè)壁與真空室側(cè)壁固定連接；真空鎖處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)，閥蓋的底面與閥座的頂面緊密相接，且閥蓋底面覆蓋于傾斜通孔的進(jìn)口端上。
[0014]所述閥蓋驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括氣缸和密封座，閥蓋和閥座設(shè)于相鄰兩個(gè)真空室中的一個(gè)真空室內(nèi)，氣缸通過(guò)密封座固定于該真空室的外壁上，氣缸的末端伸入真空室內(nèi)，并與閥蓋的頂面固定連接；閥蓋驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)閥蓋上升或下降。
[0015]在鍍膜裝置正常進(jìn)行鍍膜工藝時(shí)，真空鎖處于開(kāi)啟狀態(tài)；當(dāng)需要進(jìn)行換卷或?qū)δ硞€(gè)真空室進(jìn)行維護(hù)時(shí)，關(guān)閉真空鎖，開(kāi)啟相應(yīng)的真空室即可。關(guān)閉真空鎖時(shí)，啟動(dòng)氣缸，氣缸推動(dòng)閥蓋下降，直至閥蓋底面貼緊于閥座頂面上，使閥蓋底面覆蓋于傾斜通孔的進(jìn)口端，從而將相鄰的兩個(gè)真空室隔離，各自形成獨(dú)立的腔體，以保證不需要開(kāi)啟的真空室內(nèi)的潔凈度和真空度。
[0016]所述鍍膜室中，與收卷室相接的鍍膜室內(nèi)還設(shè)有前離子處理機(jī)構(gòu)，且前離子處理機(jī)構(gòu)設(shè)于多個(gè)水冷鼓的進(jìn)口端；與放卷室相接的鍍膜室內(nèi)還設(shè)有后離子處理機(jī)構(gòu)，且后離子處理機(jī)構(gòu)設(shè)于多個(gè)水冷鼓的出口端。前離子處理機(jī)構(gòu)和后離子處理機(jī)構(gòu)均采用目前通用的離子處理機(jī)構(gòu)即可。
[0017]所述鍍膜室外側(cè)還設(shè)有靶車(chē)，靶車(chē)底部設(shè)置導(dǎo)軌，兩個(gè)水冷鼓設(shè)于靶車(chē)上，靶車(chē)沿著導(dǎo)軌移動(dòng)將兩個(gè)水冷鼓送入或送出鍍膜室。當(dāng)需要對(duì)某一鍍膜室進(jìn)行水冷鼓的更換或維護(hù)時(shí)，只要關(guān)閉其兩側(cè)的真空鎖，通過(guò)靶車(chē)將水冷鼓帶出鍍膜室進(jìn)行維護(hù)或更換即可，維護(hù)方便快捷，也不影響其它真空室的潔凈度和真空度。
[0018]上述多輥多室卷繞鍍膜裝置使用時(shí)，其原理是:放卷室放出卷繞基材后，由真空鎖處進(jìn)入鍍膜室，先經(jīng)過(guò)前離子處理機(jī)構(gòu)進(jìn)行離子處理，然后在鍍膜室內(nèi)的一個(gè)水冷鼓處進(jìn)行一面鍍膜，再進(jìn)入另一個(gè)水冷鼓處進(jìn)行另一面的鍍膜，當(dāng)鍍膜裝置中設(shè)有多個(gè)鍍膜室時(shí)，卷繞基材依次通過(guò)各個(gè)鍍膜室內(nèi)進(jìn)行鍍膜，最后由后離子處理機(jī)構(gòu)進(jìn)行離子處理后，送入收卷室進(jìn)行收卷。
[0019]本發(fā)明相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，具有以下有益效果:
[0020]本多輥多室卷繞鍍膜裝置通過(guò)將各個(gè)功能機(jī)構(gòu)設(shè)置在獨(dú)立的真空室中，使相鄰鍍膜室內(nèi)的鍍膜工藝完全隔離，可根據(jù)膜層數(shù)量和膜層種類(lèi)的不同而對(duì)鍍膜室進(jìn)行設(shè)置，實(shí)現(xiàn)在一個(gè)工作周期內(nèi)完成多層復(fù)合膜的鍍制，從而得到高品質(zhì)膜層。
[0021]本多輥多室卷繞鍍膜裝置通過(guò)在任意相鄰的兩個(gè)真空室之間設(shè)置真空鎖，實(shí)現(xiàn)在關(guān)閉真空鎖后，鍍膜室內(nèi)保持真空狀態(tài)，從而縮短后續(xù)的抽真空時(shí)間，提高生產(chǎn)效率。另外，在破真空后，裝拆工件時(shí)，大氣中粉塵或水份也無(wú)法進(jìn)入鍍膜室，使鍍膜室內(nèi)保持潔凈無(wú)污染，從而實(shí)現(xiàn)工藝的重復(fù)性與穩(wěn)定性。
[0022]本多輥多室卷繞鍍膜