技術(shù)特征：

1.一種氧化鋁基板，其特征在于：

在氧化鋁基板表面上形成有AlN層，并且包含碳含有相。

2.如權(quán)利要求1所述的氧化鋁基板，其特征在于：

所述碳含有相是以(AlN)_x(Al₄C₃)_y表示的組成，在此，x以及y為不包括0的正數(shù)。

3.如權(quán)利要求1或者2所述的氧化鋁基板，其特征在于：

所述碳含有相是以Al₅C₃N表示的組成。

4.如權(quán)利要求1～3中任意一項(xiàng)所述的氧化鋁基板，其特征在于：

所述AlN層的厚度為0.02μm～100μm。

5.如權(quán)利要求1～4中任意一項(xiàng)所述的氧化鋁基板，其特征在于：

所述氧化鋁基板為藍(lán)寶石。

6.如權(quán)利要求5所述的氧化鋁基板，其特征在于：

所述AlN層的相對(duì)于基板主面的面方向與基板主面的面方向相一致。