技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及氧化鋁基板。本發(fā)明的目的在于提供一種在將AlN結(jié)晶等制作于氧化鈉基板上時(shí)能夠制作出更高質(zhì)量的結(jié)晶那樣AlN層的翹曲被減小的氧化鋁基板。通過在氧化鋁基板表面形成包含碳含有相的AlN層從而緩和對(duì)AlN層的應(yīng)力，能夠減小翹曲。

技術(shù)研發(fā)人員：山澤和人;大井戶敦;川崎克己
受保護(hù)的技術(shù)使用者：TDK株式會(huì)社
文檔號(hào)碼：201580042856
技術(shù)研發(fā)日：2015.08.06
技術(shù)公布日：2017.05.10