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      一種高純SiC壓敏陶瓷的制作方法

      文檔序號:11210363閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      技術(shù)總結(jié)
      本發(fā)明涉及一種高純SiC壓敏陶瓷,所述SiC壓敏陶瓷的密度為3.21±0.01gcm?3,在20~100℃內(nèi)伏安特性保持不變,所述SiC壓敏陶瓷的制備方法包括:將SiC粉體置于石墨坩堝體的底部,控制粉體孔隙率為50~70%;于真空中升溫至1200~1400℃以排除SiC粉體吸附的雜質(zhì);通入惰性氣氛并繼續(xù)升溫至2100~2300℃,控制壓力為103~105Pa,控制沿石墨坩堝高度方向的溫度梯度為2.5~4?℃/cm,保溫30~120分鐘,采用物理氣相傳輸方法在所述石墨坩堝的頂蓋的內(nèi)表面上生長所述SiC壓敏陶瓷。

      技術(shù)研發(fā)人員:陳健;黃政仁;朱云洲;劉學(xué)建;陳忠明;姚秀敏;劉巖;袁明
      受保護的技術(shù)使用者:中國科學(xué)院上海硅酸鹽研究所
      技術(shù)研發(fā)日:2017.05.19
      技術(shù)公布日:2017.10.10
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