本實(shí)用新型涉及碳化硅生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種坩堝保溫裝置。

背景技術(shù)：

現(xiàn)有的液相法生長(zhǎng)碳化硅晶體技術(shù)，都是通過加熱的方式將硅在高純石墨坩堝中融化，形成碳在硅中的溶液，再將頭部貼付有籽晶的石墨軸伸入到溶液中進(jìn)行生長(zhǎng)；

現(xiàn)有技術(shù)中可以通過坩堝的升降或籽晶軸的升降來實(shí)現(xiàn)溫度的變化，但是現(xiàn)有的坩堝升降裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜，且由于晶體生長(zhǎng)過程中對(duì)于溫度要求很高，現(xiàn)有的升降裝置難以適應(yīng)如此高的溫度，故障率極高，無法適應(yīng)晶體生長(zhǎng)的要求，而如果采用高耐熱材料制備則會(huì)極大提高設(shè)備的成本和后期維護(hù)壓力；而且在實(shí)際操作中操作人員手上不可避免的存在油脂，操作時(shí)很容易沾染到生長(zhǎng)裝置中去，從而給晶體生長(zhǎng)帶來雜質(zhì)，因此如何解決這一系列的問題成為現(xiàn)有技術(shù)中的難題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種坩堝保溫裝置，該保溫裝置包括主體和上蓋以及托盤桿，所述主體內(nèi)部設(shè)置有空腔，所述空腔內(nèi)壁設(shè)置有內(nèi)螺紋，所述主體內(nèi)還設(shè)置有托盤，所述托盤外側(cè)設(shè)置有外螺紋，并通過該外螺紋與內(nèi)壁設(shè)置有內(nèi)螺紋配合連接，所述托盤中心設(shè)置有長(zhǎng)方形通孔；采用這種結(jié)構(gòu)的保溫裝置，使用時(shí)可以根據(jù)不同晶體生長(zhǎng)的需要在托盤桿的帶動(dòng)下將托盤調(diào)節(jié)到不同的高度，之后將坩堝放置在托盤上即可，較之現(xiàn)有技術(shù)中采用的坩堝舉升裝置結(jié)構(gòu)更加簡(jiǎn)單，可以適應(yīng)不同晶體的加工需要。

本實(shí)用新型的具體技術(shù)方案是：

一種坩堝保溫裝置，包括主體和上蓋以及托盤桿，所述主體內(nèi)部設(shè)置有空腔，所述空腔內(nèi)壁設(shè)置有內(nèi)螺紋，所述主體內(nèi)還設(shè)置有托盤，所述托盤外側(cè)設(shè)置有外螺紋，并通過該外螺紋與內(nèi)壁設(shè)置有內(nèi)螺紋配合連接；所述托盤中心設(shè)置有長(zhǎng)方形通孔，所述托盤桿底部設(shè)置有與長(zhǎng)方形通孔配合的凸塊，所述長(zhǎng)方形通孔下方設(shè)置有與之呈90°的長(zhǎng)方形盲孔；

采用這種結(jié)構(gòu)的保溫裝置，使用時(shí)可直接通過外螺紋與內(nèi)螺紋在托盤桿的帶動(dòng)下將托盤旋入主體的空腔內(nèi)，根據(jù)晶體生長(zhǎng)的要求，調(diào)整對(duì)應(yīng)的托盤高度，之后即可將坩堝置于托盤上，將上蓋扣好后即可開始晶體的生長(zhǎng)；采用這種模式，可以方便的實(shí)現(xiàn)坩堝在保溫裝置內(nèi)的定位，同時(shí)確保在晶體生長(zhǎng)過程中坩堝的穩(wěn)定性，較之現(xiàn)有的坩堝升降裝置結(jié)構(gòu)更加簡(jiǎn)單，且成本大大降低；

與現(xiàn)有技術(shù)的最大不同之處，就是本實(shí)用新型采用了專用的托盤桿，這樣可以避免用手觸及托盤，也就可以避免手上的油脂等殘留在托盤上，避免晶體生長(zhǎng)時(shí)雜質(zhì)的進(jìn)入，而托盤桿底部設(shè)置有與長(zhǎng)方形通孔配合的凸塊，長(zhǎng)方形通孔下方設(shè)置有與之呈90°的長(zhǎng)方形盲孔，該盲孔與長(zhǎng)方形通孔大小一致，使用時(shí)可以將凸塊伸入長(zhǎng)方形通孔內(nèi)，穿過通孔后將托盤桿旋轉(zhuǎn)90°后上提，此時(shí)凸塊嵌入長(zhǎng)方形盲孔中，從而與托盤嵌套為一體，這樣就可以對(duì)托盤進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，調(diào)節(jié)其具體位置，調(diào)節(jié)結(jié)束后還可以方便的將其取出，不會(huì)觸及托盤；同時(shí)在晶體生長(zhǎng)時(shí)，長(zhǎng)方形通孔還可以作為通氣孔使用；

所述托盤上均勻設(shè)置有通孔，這樣當(dāng)坩堝放置在托盤上之后，通孔有利于熱量的傳遞，可以確保坩堝內(nèi)溫度均一性，同時(shí)當(dāng)生產(chǎn)完畢需要降溫時(shí)，通孔的存在也有利于坩堝底部溫度的降低；

所述保溫裝置上蓋上設(shè)置有通孔，方便籽晶軸的進(jìn)出；

綜上所述，采用這種結(jié)構(gòu)的保溫裝置，使用時(shí)可以根據(jù)不同晶體生長(zhǎng)的需要將托盤調(diào)節(jié)到不同的高度，之后將坩堝放置在托盤上即可，較之現(xiàn)有技術(shù)中采用的坩堝舉升裝置結(jié)構(gòu)更加簡(jiǎn)單，可以適應(yīng)不同晶體的加工需要。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型所述保溫裝置的結(jié)構(gòu)剖視圖；

圖2為本實(shí)用新型所述保溫裝置主體的結(jié)構(gòu)剖視圖；

圖3為本實(shí)用新型所述保溫裝置托盤的俯視圖；

圖4為本實(shí)用新型所述托盤桿的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中1為主體，2為內(nèi)螺紋，3為托盤，4為外螺紋，5為長(zhǎng)方形通孔，6為通孔，7為上蓋，8為托盤桿，9為凸塊，10為長(zhǎng)方形盲孔。

具體實(shí)施方式

一種坩堝保溫裝置，包括主體1和上蓋7以及托盤桿8，所述主體1內(nèi)部設(shè)置有空腔，所述空腔內(nèi)壁設(shè)置有內(nèi)螺紋2，所述主體1內(nèi)還設(shè)置有托盤3，所述托盤3外側(cè)設(shè)置有外螺紋4，并通過該外螺紋4與內(nèi)壁設(shè)置的內(nèi)螺紋2配合連接，所述托盤3中心設(shè)置有長(zhǎng)方形通孔5，所述托盤桿8底部設(shè)置有與長(zhǎng)方形通孔5配合的凸塊9，所述長(zhǎng)方形通孔5下方設(shè)置有與之呈90°的長(zhǎng)方形盲孔10；所述長(zhǎng)方形盲孔10與長(zhǎng)方形通孔5大小一致；

所述托盤3上還均勻設(shè)置有通孔6，所述托盤3采用石墨材料制成；

所述保溫裝置上蓋7上設(shè)置有方便籽晶軸的進(jìn)出的通孔。